JPH09155371A - 超純水製造装置 - Google Patents
超純水製造装置Info
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- JPH09155371A JPH09155371A JP8211190A JP21119096A JPH09155371A JP H09155371 A JPH09155371 A JP H09155371A JP 8211190 A JP8211190 A JP 8211190A JP 21119096 A JP21119096 A JP 21119096A JP H09155371 A JPH09155371 A JP H09155371A
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Purification Treatments By Anaerobic Or Anaerobic And Aerobic Bacteria Or Animals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 超純水製造システムの微生物の増殖によるト
ラブルを防止する。 【解決手段】 膜分離装置及びイオン交換樹脂を内蔵し
たイオン交換塔を備えた超純水製造システムＢに、微生
物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生
物反応槽１３と、その処理水が導入されるマイクロフィ
ルターからなる菌体分離器１４とを有する生物処理手段
Ｆを設ける。 【効果】 生物処理手段においては、エネルギー源及び
栄養源の存在下で好気的に生物処理が行なわれ、純水に
含まれていた微量のＴＯＣ成分及び／又はリン成分がほ
ぼ完全に除去される。得られる超純水は、微生物の増殖
のおそれのない、極めて優れた水質のものとなる。
ラブルを防止する。 【解決手段】 膜分離装置及びイオン交換樹脂を内蔵し
たイオン交換塔を備えた超純水製造システムＢに、微生
物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生
物反応槽１３と、その処理水が導入されるマイクロフィ
ルターからなる菌体分離器１４とを有する生物処理手段
Ｆを設ける。 【効果】 生物処理手段においては、エネルギー源及び
栄養源の存在下で好気的に生物処理が行なわれ、純水に
含まれていた微量のＴＯＣ成分及び／又はリン成分がほ
ぼ完全に除去される。得られる超純水は、微生物の増殖
のおそれのない、極めて優れた水質のものとなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は超純水製造装置に係
り、特に生物処理手段を組み入れて、水中の微生物の増
殖を抑制するようにした超純水製造装置に関する。
り、特に生物処理手段を組み入れて、水中の微生物の増
殖を抑制するようにした超純水製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩや超ＬＳＩの製造においては、多
量の純水や超純水が用いられている。超純水は理論純水
（Ｈ2 Ｏのみからなる水）の比抵抗１８．２４ＭΩ・ｃ
ｍに極めて近く、１７〜１８ＭΩ・ｃｍの比抵抗を有す
る純水である。
量の純水や超純水が用いられている。超純水は理論純水
（Ｈ2 Ｏのみからなる水）の比抵抗１８．２４ＭΩ・ｃ
ｍに極めて近く、１７〜１８ＭΩ・ｃｍの比抵抗を有す
る純水である。
【０００３】一般に、超純水製造プロセスは、活性炭、
イオン交換樹脂、ＵＶ酸化、逆浸透膜（ＲＯ）、限外濾
過膜（ＵＦ）等で構成されている。
イオン交換樹脂、ＵＶ酸化、逆浸透膜（ＲＯ）、限外濾
過膜（ＵＦ）等で構成されている。
【０００４】例えば、超純水を用いた半導体ウェーハ洗
浄システムからの洗浄廃液回収工程における超純水製造
プロセスは図２に示す通りである。図２に示す装置にお
いては、半導体洗浄工程１からの廃水を、まず回収シス
テムＡの活性炭吸着塔２において活性炭吸着処理し、イ
オン交換塔３で処理して脱塩した後、更に必要なときに
は逆浸透膜装置（図示せず）を介して紫外線酸化装置４
で処理している。紫外線酸化装置４においては、有機物
をほぼ完全に酸化分解させるために、一般に、酸化剤と
して過酸化水素を添加し、過酸化水素存在下で紫外線を
照射して処理が行なわれる。
浄システムからの洗浄廃液回収工程における超純水製造
プロセスは図２に示す通りである。図２に示す装置にお
いては、半導体洗浄工程１からの廃水を、まず回収シス
テムＡの活性炭吸着塔２において活性炭吸着処理し、イ
オン交換塔３で処理して脱塩した後、更に必要なときに
は逆浸透膜装置（図示せず）を介して紫外線酸化装置４
で処理している。紫外線酸化装置４においては、有機物
をほぼ完全に酸化分解させるために、一般に、酸化剤と
して過酸化水素を添加し、過酸化水素存在下で紫外線を
照射して処理が行なわれる。
【０００５】このような活性炭吸着塔２、イオン交換塔
３及び紫外線酸化装置４からなる回収システムＡからの
処理水は、超純水製造システムＢに戻される。この超純
水製造システムＢは、前処理システムＣ（凝集槽５及び
二槽濾過器６からなる。）、１次純水システムＤ（逆浸
透膜装置７、脱気塔８及びイオン交換装置９からな
る。）及びサブシステムＥ（紫外線殺菌装置１０、混床
式イオン交換装置１１及び限外濾過膜装置１２からな
る。）から構成されている。
３及び紫外線酸化装置４からなる回収システムＡからの
処理水は、超純水製造システムＢに戻される。この超純
水製造システムＢは、前処理システムＣ（凝集槽５及び
二槽濾過器６からなる。）、１次純水システムＤ（逆浸
透膜装置７、脱気塔８及びイオン交換装置９からな
る。）及びサブシステムＥ（紫外線殺菌装置１０、混床
式イオン交換装置１１及び限外濾過膜装置１２からな
る。）から構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような超純水製造
装置で得られる超純水や純水のような貧栄養の水中にお
いても、微生物は極めて微量ではあるが存在し、純水中
にｐｐｂオーダーでも有機物質が存在すると、微生物は
増殖して、ＲＯ装置等の超純水製造装置にトラブルが生
じる原因となる。
装置で得られる超純水や純水のような貧栄養の水中にお
いても、微生物は極めて微量ではあるが存在し、純水中
にｐｐｂオーダーでも有機物質が存在すると、微生物は
増殖して、ＲＯ装置等の超純水製造装置にトラブルが生
じる原因となる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、膜処理装置及
びイオン交換塔を有する超純水製造装置において、更
に、微量のエネルギー源及び／又は栄養源を除去するた
めに、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在のもとに
生物処理する生物反応槽と、この生物反応槽で増殖した
菌体を分離・除去するためのマイクロフィルターからな
る菌体分離器とからなる生物処理手段を付加するように
したものである。
びイオン交換塔を有する超純水製造装置において、更
に、微量のエネルギー源及び／又は栄養源を除去するた
めに、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在のもとに
生物処理する生物反応槽と、この生物反応槽で増殖した
菌体を分離・除去するためのマイクロフィルターからな
る菌体分離器とからなる生物処理手段を付加するように
したものである。
【０００８】即ち、本発明は、膜処理装置及びイオン交
換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた、超純水処理手
段、及び微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生
物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が
導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを
有する生物処理手段、を備えてなる超純水製造装置、を
要旨とする。
換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた、超純水処理手
段、及び微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生
物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が
導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを
有する生物処理手段、を備えてなる超純水製造装置、を
要旨とする。
【０００９】純水処理手段から得られる水は、ＴＯＣ成
分や塩類の含有量が少ないものであり、半導体の洗浄工
程等に使用し得る。しかるに、叙上の如く、このままで
は微生物が増殖し易い。そこで、この処理水を更に生物
処理手段にて処理する。
分や塩類の含有量が少ないものであり、半導体の洗浄工
程等に使用し得る。しかるに、叙上の如く、このままで
は微生物が増殖し易い。そこで、この処理水を更に生物
処理手段にて処理する。
【００１０】この生物処理手段においては、エネルギー
源及び栄養源の存在下で好気的に生物処理が行なわれ、
純水に含まれていた微量のＴＯＣ成分及び／又はリン成
分がほぼ完全に除去される。
源及び栄養源の存在下で好気的に生物処理が行なわれ、
純水に含まれていた微量のＴＯＣ成分及び／又はリン成
分がほぼ完全に除去される。
【００１１】これにより、得られる超純水は、微生物の
増殖のおそれのない、極めて優れた水質のものとなる。
増殖のおそれのない、極めて優れた水質のものとなる。
【００１２】ところで、下水や産業廃水等、有機物を比
較的多く含む水を生物処理することは慣用技術に属す
る。
較的多く含む水を生物処理することは慣用技術に属す
る。
【００１３】しかし、超純水のように極めて貧栄養下の
水を生物処理することは従来全く行なわれていなかっ
た。また、そもそも生物処理は不可能と考えられてい
た。
水を生物処理することは従来全く行なわれていなかっ
た。また、そもそも生物処理は不可能と考えられてい
た。
【００１４】それは、超純水のような貧栄養下での生物
増殖機構は全く解明されていなかったことに加え、この
ような水を生物処理することは、微生物を加えることに
なるので、逆に水を汚染するものと考えられていたから
である。
増殖機構は全く解明されていなかったことに加え、この
ような水を生物処理することは、微生物を加えることに
なるので、逆に水を汚染するものと考えられていたから
である。
【００１５】そこで、本発明者らは、従来の純水製造プ
ロセスにおける微生物の挙動を研究した結果、このプロ
セスでは、有機性炭素は大部分除去されるものの、処理
水中にはＴＯＣ濃度で５０ｐｐｂ程度の有機物質がなお
も残存し、そして、微生物は、水中のＴＯＣが１ｐｐｂ
存在すれば、これを資化することにより４〜５×１０3
Ｎ／ｍｌに増殖し、ＴＯＣが５０ｐｐｂ残存する場合に
は約２×１０5 Ｎ／ｍｌとなり、ＲＯ、ＵＦ膜等の目詰
りの原因となり、純水製造に悪影響を及ぼすことが分っ
た。実際、測定の結果（バイオアッセイ値）、超純水中
では、微生物が菌数として１０3 〜１０4 Ｎ／ｍｌにま
で増殖するに十分な有機物が残存しており、これに更
に、配管、樹脂等の設備からのリンあるいは窒素の溶出
又は洗浄薬品等により、リン等が付加された場合には、
微生物は更に容易に増殖し、１０5Ｎ／ｍｌ以上にも達
することが確認された。
ロセスにおける微生物の挙動を研究した結果、このプロ
セスでは、有機性炭素は大部分除去されるものの、処理
水中にはＴＯＣ濃度で５０ｐｐｂ程度の有機物質がなお
も残存し、そして、微生物は、水中のＴＯＣが１ｐｐｂ
存在すれば、これを資化することにより４〜５×１０3
Ｎ／ｍｌに増殖し、ＴＯＣが５０ｐｐｂ残存する場合に
は約２×１０5 Ｎ／ｍｌとなり、ＲＯ、ＵＦ膜等の目詰
りの原因となり、純水製造に悪影響を及ぼすことが分っ
た。実際、測定の結果（バイオアッセイ値）、超純水中
では、微生物が菌数として１０3 〜１０4 Ｎ／ｍｌにま
で増殖するに十分な有機物が残存しており、これに更
に、配管、樹脂等の設備からのリンあるいは窒素の溶出
又は洗浄薬品等により、リン等が付加された場合には、
微生物は更に容易に増殖し、１０5Ｎ／ｍｌ以上にも達
することが確認された。
【００１６】なお、従来の純水製造装置において、紫外
線殺菌処理が行なわれているが（図２の装置ではサブシ
ステムＥの１０）、紫外線照射処理は一過性のものであ
り、微量の微生物がその後再び増殖することが分った。
線殺菌処理が行なわれているが（図２の装置ではサブシ
ステムＥの１０）、紫外線照射処理は一過性のものであ
り、微量の微生物がその後再び増殖することが分った。
【００１７】而して、本発明者らは、純水中の微生物の
増殖機構について上述したような研究の結果、微生物は
リンが極めて低濃度例えば１０ｐｐｔとなるまで速い除
去速度でＴＯＣ、リンその他の栄養塩を除去して増殖
し、ＴＯＣ、リン又は窒素が欠乏した時点で、増殖が急
激に抑制されるという事実が判明した。
増殖機構について上述したような研究の結果、微生物は
リンが極めて低濃度例えば１０ｐｐｔとなるまで速い除
去速度でＴＯＣ、リンその他の栄養塩を除去して増殖
し、ＴＯＣ、リン又は窒素が欠乏した時点で、増殖が急
激に抑制されるという事実が判明した。
【００１８】本発明はこのような知見を発明完成の背景
として有するものであり、本発明の好ましい一態様にお
いては、純水製造手段からの純水を、生物処理手段にて
処理し、該水中に含まれるＴＯＣ成分を除去する。この
際、好ましくは栄養源を添加して生物処理する。前述の
ように、通常、純水中にはイオン交換樹脂等から溶出し
てくる窒素が溶解しているので、添加する栄養源として
はリンを添加するのが好ましい。リンの添加量は、純水
中のＴＯＣが殆ど除去された時点でリンが殆ど全て消費
されるような量とするのが最も好ましいが、この量より
も若干、増減しても良い。
として有するものであり、本発明の好ましい一態様にお
いては、純水製造手段からの純水を、生物処理手段にて
処理し、該水中に含まれるＴＯＣ成分を除去する。この
際、好ましくは栄養源を添加して生物処理する。前述の
ように、通常、純水中にはイオン交換樹脂等から溶出し
てくる窒素が溶解しているので、添加する栄養源として
はリンを添加するのが好ましい。リンの添加量は、純水
中のＴＯＣが殆ど除去された時点でリンが殆ど全て消費
されるような量とするのが最も好ましいが、この量より
も若干、増減しても良い。
【００１９】このようにしてＴＯＣ成分が十分に除去さ
れれば、その後、微生物が増殖することはない。
れれば、その後、微生物が増殖することはない。
【００２０】ＴＯＣの除去の程度としては、純水中のＴ
ＯＣが１０ｐｐｂ以下好ましくは１ｐｐｂ以下となるよ
うにするのが好ましい。
ＯＣが１０ｐｐｂ以下好ましくは１ｐｐｂ以下となるよ
うにするのが好ましい。
【００２１】本発明の好ましい他の態様においては、純
水製造手段からの処理水を、生物処理手段にて処理し、
該純水中に含まれるリンを１０ｐｐｔ以下まで除去す
る。このようにリンを除去すれば、その後リンが該純水
に付加されない限り、微生物が増殖することはない。
水製造手段からの処理水を、生物処理手段にて処理し、
該純水中に含まれるリンを１０ｐｐｔ以下まで除去す
る。このようにリンを除去すれば、その後リンが該純水
に付加されない限り、微生物が増殖することはない。
【００２２】本発明の更に他の態様としては、純水製造
手段からの処理水を生物処理手段にて処理し、該純水中
に含まれる窒素を除去することである。
手段からの処理水を生物処理手段にて処理し、該純水中
に含まれる窒素を除去することである。
【００２３】本発明において、このような貧栄養下にお
ける生物処理に用いられる菌種としては、オリゴトロフ
ィックバクテリア(Origotrophic bacteria) 等が好適で
ある。オリゴトロフィックバクテリアは超純水のような
極度にＴＯＣ濃度の低い水中において生育する微生物で
あって、これを用いることにより、処理水中のＴＯＣ濃
度を５０ｐｐｂ以下、例えば１０〜１ｐｐｂ以下程度
に、リン又は窒素濃度であれば１０ｐｐｔ以下程度まで
低減することが可能となる。
ける生物処理に用いられる菌種としては、オリゴトロフ
ィックバクテリア(Origotrophic bacteria) 等が好適で
ある。オリゴトロフィックバクテリアは超純水のような
極度にＴＯＣ濃度の低い水中において生育する微生物で
あって、これを用いることにより、処理水中のＴＯＣ濃
度を５０ｐｐｂ以下、例えば１０〜１ｐｐｂ以下程度
に、リン又は窒素濃度であれば１０ｐｐｔ以下程度まで
低減することが可能となる。
【００２４】図３は超純水中のＴＯＣ濃度（横軸）とオ
リゴトロフィックバクテリアの増殖速度（縦軸）との関
係の一例を示すグラフである。この例は酢酸を基質と
し、その添加量を変えることにより水中のＴＯＣ濃度を
０〜３５ｐｐｂの間で変えている。図示の如く、この例
ではＴＯＣ濃度の減少に伴って増殖速度μ（ｈｒ-1）も
次第に減少し、ＴＯＣ濃度が５ｐｐｂ以下になると増殖
速度μは直線的に小さくなる。一方、ＴＯＣ濃度が増加
してもμの増加率は次第に減少し、増殖速度の最大値μ
maｘは０．２４ｈｒ-1であった。この例から、酢酸を基
質とした場合は、０．１２〜０．２４ｈｒ-1の増殖速度
でオリゴトロフィックバクテリアが増殖し、純水中のＴ
ＯＣ濃度を５ｐｐｂ以下にまで、かなり速い速度で低下
され得ることが認められる。
リゴトロフィックバクテリアの増殖速度（縦軸）との関
係の一例を示すグラフである。この例は酢酸を基質と
し、その添加量を変えることにより水中のＴＯＣ濃度を
０〜３５ｐｐｂの間で変えている。図示の如く、この例
ではＴＯＣ濃度の減少に伴って増殖速度μ（ｈｒ-1）も
次第に減少し、ＴＯＣ濃度が５ｐｐｂ以下になると増殖
速度μは直線的に小さくなる。一方、ＴＯＣ濃度が増加
してもμの増加率は次第に減少し、増殖速度の最大値μ
maｘは０．２４ｈｒ-1であった。この例から、酢酸を基
質とした場合は、０．１２〜０．２４ｈｒ-1の増殖速度
でオリゴトロフィックバクテリアが増殖し、純水中のＴ
ＯＣ濃度を５ｐｐｂ以下にまで、かなり速い速度で低下
され得ることが認められる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００２６】図１は本発明の純水製造装置を、図２に示
す洗浄廃液回収工程に採用した例を示す系統図である。
なお図１において、Ａ、Ｃ、Ｄ、Ｅのシステムの構成は
図２のものと同様であるので、同一部材に同一符号を付
し、その構成の説明を省略する。
す洗浄廃液回収工程に採用した例を示す系統図である。
なお図１において、Ａ、Ｃ、Ｄ、Ｅのシステムの構成は
図２のものと同様であるので、同一部材に同一符号を付
し、その構成の説明を省略する。
【００２７】図１において、回収システムＡの紫外線酸
化装置４を通過した水は、生物反応槽１３に導入され好
気的に生物処理される。即ち、生物反応槽１３は、生物
固定手段、例えば材質がセラミックからなるハニカムチ
ューブ等の固定床、又はセラミックの粒状等の流動床を
内蔵している。従って、これら充填材からは、無機ある
いは有機物の溶出は無視できる。そして、微生物のエネ
ルギー源及び栄養源の存在下に微生物が十分に繁殖（増
殖）するに必要な時間以上反応が行なわれる。なお、通
常、純水中には溶存酸素が数ｐｐｍ存在するので、この
反応は好気的に進行するが、溶存酸素が少ないときに
は、純酸素等で曝気し、好気的条件を与えることが必要
である。この反応により、微生物は活性化し、水中のＴ
ＯＣ成分を資化する。而して、本実施例においては、生
物反応槽１３内の水に、微生物の増殖に十分な量のリン
及び窒素が含まれており、反応槽１３内の水に含まれる
ＴＯＣ成分が殆ど完全に無くなるまでこの生物反応が継
続する。
化装置４を通過した水は、生物反応槽１３に導入され好
気的に生物処理される。即ち、生物反応槽１３は、生物
固定手段、例えば材質がセラミックからなるハニカムチ
ューブ等の固定床、又はセラミックの粒状等の流動床を
内蔵している。従って、これら充填材からは、無機ある
いは有機物の溶出は無視できる。そして、微生物のエネ
ルギー源及び栄養源の存在下に微生物が十分に繁殖（増
殖）するに必要な時間以上反応が行なわれる。なお、通
常、純水中には溶存酸素が数ｐｐｍ存在するので、この
反応は好気的に進行するが、溶存酸素が少ないときに
は、純酸素等で曝気し、好気的条件を与えることが必要
である。この反応により、微生物は活性化し、水中のＴ
ＯＣ成分を資化する。而して、本実施例においては、生
物反応槽１３内の水に、微生物の増殖に十分な量のリン
及び窒素が含まれており、反応槽１３内の水に含まれる
ＴＯＣ成分が殆ど完全に無くなるまでこの生物反応が継
続する。
【００２８】生物反応槽１３におけるかかる反応によ
り、有機炭素はＣＯ2 あるいは菌体となる。菌体は後続
の菌体分離器１４において、マイクロフィルターで捕捉
され分離される。マイクロフィルターとしてはメンブレ
ンフィルター、セラミックからなる多孔質濾過等が利用
できる。菌体が分離された水はＴＯＣが極めて低濃度で
あるため、微生物の増殖能力は殆どない。この水はその
後１次純水システムＤの供給側に導入される。
り、有機炭素はＣＯ2 あるいは菌体となる。菌体は後続
の菌体分離器１４において、マイクロフィルターで捕捉
され分離される。マイクロフィルターとしてはメンブレ
ンフィルター、セラミックからなる多孔質濾過等が利用
できる。菌体が分離された水はＴＯＣが極めて低濃度で
あるため、微生物の増殖能力は殆どない。この水はその
後１次純水システムＤの供給側に導入される。
【００２９】なお、図１に示す装置において、紫外線酸
化装置４からの水のリン又は窒素濃度がＴＯＣ濃度に対
して著しく低い場合には、生物反応槽１３における生物
処理速度が非常に遅くなる。このような場合には、生物
が増殖し、有機性炭素を資化できるように、生物反応槽
入口部において微量のリン又は窒素を添加しても良い。
この場合、リンは水中のＢＯＤ成分量に対し、重量比で
ＢＯＤ／リン≒１００／１程度、窒素は１００／５程度
となるように添加するのが好ましい。
化装置４からの水のリン又は窒素濃度がＴＯＣ濃度に対
して著しく低い場合には、生物反応槽１３における生物
処理速度が非常に遅くなる。このような場合には、生物
が増殖し、有機性炭素を資化できるように、生物反応槽
入口部において微量のリン又は窒素を添加しても良い。
この場合、リンは水中のＢＯＤ成分量に対し、重量比で
ＢＯＤ／リン≒１００／１程度、窒素は１００／５程度
となるように添加するのが好ましい。
【００３０】なお、図１の実施例においては、図２に示
す装置の回収システムＡと１次純水システムＤとの間に
生物処理システムＦを設けた構成としているが、本発明
においては、生物処理システムＦを１次純水システムと
サブシステムＥとの間に設けた構成としても良い。ある
いは、回収システムＡのイオン交換塔３と紫外線酸化装
置４との間に、更には、この紫外線酸化装置４に代えて
設けた構成としても良い。
す装置の回収システムＡと１次純水システムＤとの間に
生物処理システムＦを設けた構成としているが、本発明
においては、生物処理システムＦを１次純水システムと
サブシステムＥとの間に設けた構成としても良い。ある
いは、回収システムＡのイオン交換塔３と紫外線酸化装
置４との間に、更には、この紫外線酸化装置４に代えて
設けた構成としても良い。
【００３１】また、図１の実施例においては、生物反応
槽１３で、ＴＯＣが残留しなくなるように必要に応じて
リンあるいは窒素を添加し生物反応を行なっているが、
本発明においては、リン又は窒素が残留しなくなるよう
に生物反応させても良い。この場合は、超純水製造装置
全体を、リンや窒素の溶出のおそれのない材質で構成す
るのが好ましい。
槽１３で、ＴＯＣが残留しなくなるように必要に応じて
リンあるいは窒素を添加し生物反応を行なっているが、
本発明においては、リン又は窒素が残留しなくなるよう
に生物反応させても良い。この場合は、超純水製造装置
全体を、リンや窒素の溶出のおそれのない材質で構成す
るのが好ましい。
【００３２】また本発明においては、生物処理を行なう
に際し、リンとＴＯＣ成分とが共に殆ど全て微生物に消
化されるようリン及び／又はＴＯＣ成分の調整を行なう
ようにしても良い。
に際し、リンとＴＯＣ成分とが共に殆ど全て微生物に消
化されるようリン及び／又はＴＯＣ成分の調整を行なう
ようにしても良い。
【００３３】上記の説明では半導体洗浄工程からの排出
水を処理して超純水に再生するよう構成した例について
説明したが、本発明は、当然ながら、他のプロセスから
の回収水処理設備、あるいは、工水、井水等から純水を
製造するプロセス等、その他の各種の設備に適用し得
る。
水を処理して超純水に再生するよう構成した例について
説明したが、本発明は、当然ながら、他のプロセスから
の回収水処理設備、あるいは、工水、井水等から純水を
製造するプロセス等、その他の各種の設備に適用し得
る。
【００３４】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の超純水製造
装置は、生物処理手段を組み入れ、微生物の増殖反応を
利用してＴＯＣ及び／又はリン成分を除去するものであ
り、ＴＯＣ及び／又はリン成分を、低コストで極めて低
濃度にまで除去することができる。
装置は、生物処理手段を組み入れ、微生物の増殖反応を
利用してＴＯＣ及び／又はリン成分を除去するものであ
り、ＴＯＣ及び／又はリン成分を、低コストで極めて低
濃度にまで除去することができる。
【００３５】本発明の装置により製造された超純水は、
微生物増殖の要因であるＴＯＣ及び／又はリン成分の濃
度が極めて低いことから、微生物の増殖は確実に抑制さ
れる。従って、本発明装置においては、微生物増殖に起
因するスライムの発生が抑制され、ＲＯあるいはＵＦ膜
面等のスライム付着等の各種の機器トラブルが防止され
る。そして、ＲＯ又はＵＦの洗浄回数も低減され、装置
の運転を円滑に行ない、効率的な超純水製造を実施する
ことができる。
微生物増殖の要因であるＴＯＣ及び／又はリン成分の濃
度が極めて低いことから、微生物の増殖は確実に抑制さ
れる。従って、本発明装置においては、微生物増殖に起
因するスライムの発生が抑制され、ＲＯあるいはＵＦ膜
面等のスライム付着等の各種の機器トラブルが防止され
る。そして、ＲＯ又はＵＦの洗浄回数も低減され、装置
の運転を円滑に行ない、効率的な超純水製造を実施する
ことができる。
【図１】本発明の超純水製造装置を採用した超純水製造
・回収システムを示す系統図である。
・回収システムを示す系統図である。
【図２】一般的な超純水製造・回収システムを示す系統
図である。
図である。
【図３】超純水のＴＯＣ濃度と微生物の増殖速度との関
係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
Ａ 回収システム Ｂ 超純水製造システム Ｃ 前処理システム Ｄ １次純水システム Ｅ サブシステム Ｆ 生物処理システム ４ 紫外線酸化装置 ７ 逆浸透膜装置 ９ イオン交換装置 １２ 限外濾過膜装置 １３ 生物反応槽 １４ 菌体分離器
Claims (1)
- 【請求項１】 膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵し
たイオン交換塔を備えた超純水処理手段、及び微生物の
エネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反
応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイク
ロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手
段、を備えてなる超純水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21119096A JP2887284B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 超純水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21119096A JP2887284B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 超純水の製造方法 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23173884A Division JPH0645036B2 (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 超純水製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155371A true JPH09155371A (ja) | 1997-06-17 |
| JP2887284B2 JP2887284B2 (ja) | 1999-04-26 |
Family
ID=16601892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21119096A Expired - Lifetime JP2887284B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 超純水の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2887284B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000202481A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-25 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置におけるｔｏｃ成分除去装置 |
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| WO2007034582A1 (ja) * | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | 水処理装置 |
| DE102008009219A1 (de) | 2008-02-06 | 2009-08-13 | Christ Water Technology Ag | Aufbereitung von Wasser mit Mikroorganismen |
| JP2009215186A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Kurita Engineering Co Ltd | アミン液の再生方法 |
-
1996
- 1996-08-09 JP JP21119096A patent/JP2887284B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2007083143A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Sharp Corp | 水処理装置 |
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| DE102008009219A1 (de) | 2008-02-06 | 2009-08-13 | Christ Water Technology Ag | Aufbereitung von Wasser mit Mikroorganismen |
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| Publication number | Publication date |
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| JP2887284B2 (ja) | 1999-04-26 |
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