JPH09154289A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH09154289A JPH09154289A JP7310448A JP31044895A JPH09154289A JP H09154289 A JPH09154289 A JP H09154289A JP 7310448 A JP7310448 A JP 7310448A JP 31044895 A JP31044895 A JP 31044895A JP H09154289 A JPH09154289 A JP H09154289A
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- JP
- Japan
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- shaped member
- rod
- disc
- flat surface
- elastic body
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- Pending
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 超音波モータの駆動源となる圧電体の超音波
振動を、増幅するための突起を備えた弾性体を、低コス
トで高精度に加工できる構造を提案し、さらに高機能化
を実現する。 【解決手段】 弾性体の円板状部材の任意の円周上に複
数の穴を等間隔に設け、この穴の形状と同じ横断面を持
つ同数で同じ長さの棒材を、穴に圧入もしくは接着する
ことで弾性体を構成する。このことで弾性体の円板状部
材と突起部が別々に加工できるため高精度の加工が低コ
ストで可能になる。また棒材の材質を剛性の高いものに
すると、突起部の撓みの弾性による振動の吸収が少なく
なり、突起部の高さを高く設定できるまめ高速駆動が可
能になり、また円板状部材の剛性を低いものにすると、
弾性体の機械的共振周波数を低くでき、このことで駆動
回路のクロックを高速にする必要がないため、低コスト
を図ることができる。
振動を、増幅するための突起を備えた弾性体を、低コス
トで高精度に加工できる構造を提案し、さらに高機能化
を実現する。 【解決手段】 弾性体の円板状部材の任意の円周上に複
数の穴を等間隔に設け、この穴の形状と同じ横断面を持
つ同数で同じ長さの棒材を、穴に圧入もしくは接着する
ことで弾性体を構成する。このことで弾性体の円板状部
材と突起部が別々に加工できるため高精度の加工が低コ
ストで可能になる。また棒材の材質を剛性の高いものに
すると、突起部の撓みの弾性による振動の吸収が少なく
なり、突起部の高さを高く設定できるまめ高速駆動が可
能になり、また円板状部材の剛性を低いものにすると、
弾性体の機械的共振周波数を低くでき、このことで駆動
回路のクロックを高速にする必要がないため、低コスト
を図ることができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータに関
するものである。
するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、超音波モータは電磁モータに比
べ、単位体積当たりのトルクが高いなどの利点を活かし
た次世代アクチュエータとして注目をあびている。
べ、単位体積当たりのトルクが高いなどの利点を活かし
た次世代アクチュエータとして注目をあびている。
【0003】超音波モータの駆動源である圧電体の振動
を増幅する従来の弾性体の斜視図を図4に示す。前記弾
性体は圧電体の振動振幅を増幅するため、円板状部材2
6上の任意の円周上に複数の突起部27を持った形状を
している。図4において25は前記円板状部材26の厚
み寸法、18は前記円板状部材26の前記突起部27の
突出方向の平面、19は前記円板状部材26の前記圧電
体を固着する側の平面、20は前記円板状部材26の前
記突起部27の突出方向の平面18上に設けられた前記
突起部27の高さ寸法、23は前記突起部27先端の平
面、24は前記円板状部材26,前記突起部27の内周
側面22および前記突起部27の外周側面21の共通の
中心線である。
を増幅する従来の弾性体の斜視図を図4に示す。前記弾
性体は圧電体の振動振幅を増幅するため、円板状部材2
6上の任意の円周上に複数の突起部27を持った形状を
している。図4において25は前記円板状部材26の厚
み寸法、18は前記円板状部材26の前記突起部27の
突出方向の平面、19は前記円板状部材26の前記圧電
体を固着する側の平面、20は前記円板状部材26の前
記突起部27の突出方向の平面18上に設けられた前記
突起部27の高さ寸法、23は前記突起部27先端の平
面、24は前記円板状部材26,前記突起部27の内周
側面22および前記突起部27の外周側面21の共通の
中心線である。
【0004】前記弾性体は前記圧電体の超音波振動の振
動振幅を増幅するという目的より、前記弾性体の材質の
物性条件として剛性および密度が均一である必要がある
ために、プレスなどの圧力を掛ける工法では剛性,密度
が不均一になるため用いることができず、切削加工によ
って図4のような形状に加工していた。
動振幅を増幅するという目的より、前記弾性体の材質の
物性条件として剛性および密度が均一である必要がある
ために、プレスなどの圧力を掛ける工法では剛性,密度
が不均一になるため用いることができず、切削加工によ
って図4のような形状に加工していた。
【0005】また前記弾性体はその役割より、図4にお
いて前記円板状部材26の両平面18,19の平面度、
前記円板状部材26の前記突起部27の突出方向の平面
18と前記圧電体を固着する側の平面19との平行度、
前記圧電体を固着する側の平面19と前記突起部27先
端の平面23との平行度、前記突起部27先端の平面2
3の表面粗さ、前記突起部27の外周側面21と前記中
心線24との同心度、前記突起部27の内周側面22と
前記中心線24との同心度に高い寸法精度が必要とされ
るため、前記弾性体の切削加工は困難である。
いて前記円板状部材26の両平面18,19の平面度、
前記円板状部材26の前記突起部27の突出方向の平面
18と前記圧電体を固着する側の平面19との平行度、
前記圧電体を固着する側の平面19と前記突起部27先
端の平面23との平行度、前記突起部27先端の平面2
3の表面粗さ、前記突起部27の外周側面21と前記中
心線24との同心度、前記突起部27の内周側面22と
前記中心線24との同心度に高い寸法精度が必要とされ
るため、前記弾性体の切削加工は困難である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図4のような従来の弾
性体の高精度の切削加工は、加工が困難であるためコス
ト高となる。
性体の高精度の切削加工は、加工が困難であるためコス
ト高となる。
【0007】前記弾性体の裏面に前記圧電体を固着しそ
の振動を増幅する増幅率は、前記弾性体の前記突起部2
7の長さによって決定され、前記突起部27の先端に加
圧接触されたロータを摺動させることで駆動力を取出す
ため、前記ロータの駆動時には前記突起部27の先端に
振動を阻害する負荷がかかるため、前記弾性体の突起部
27の長さ寸法20が長くなると、前記突起部27の撓
みの弾性で前記圧電体の超音波振動を吸収し、振動の伝
達損失が大きくなるため前記突起部27の長さ寸法20
は、前記弾性体の材料の剛性との関係で特定の長さ以下
にしなければならず、前記圧電体の超音波振動の振幅の
増幅率を前記弾性体の突起部27の長さ寸法20で稼ぐ
ことができず、高速回転が不可能であった。
の振動を増幅する増幅率は、前記弾性体の前記突起部2
7の長さによって決定され、前記突起部27の先端に加
圧接触されたロータを摺動させることで駆動力を取出す
ため、前記ロータの駆動時には前記突起部27の先端に
振動を阻害する負荷がかかるため、前記弾性体の突起部
27の長さ寸法20が長くなると、前記突起部27の撓
みの弾性で前記圧電体の超音波振動を吸収し、振動の伝
達損失が大きくなるため前記突起部27の長さ寸法20
は、前記弾性体の材料の剛性との関係で特定の長さ以下
にしなければならず、前記圧電体の超音波振動の振幅の
増幅率を前記弾性体の突起部27の長さ寸法20で稼ぐ
ことができず、高速回転が不可能であった。
【0008】従来の振動体の構造では、当然ながら前記
弾性体の前記円板状部材26と前記突起部27の材質は
同じであるため前記理由から回転速度および、この材料
の摩擦係数で決定されるトルクが共に制限され、さらに
前記弾性体の加工性などを考慮すると、使用できる材質
が限定されて、振動体の径を決定するとほぼ仕様が決ま
り同一径の振動体で、ある一定の回転数以上の出力を取
出すことが不可能であった。
弾性体の前記円板状部材26と前記突起部27の材質は
同じであるため前記理由から回転速度および、この材料
の摩擦係数で決定されるトルクが共に制限され、さらに
前記弾性体の加工性などを考慮すると、使用できる材質
が限定されて、振動体の径を決定するとほぼ仕様が決ま
り同一径の振動体で、ある一定の回転数以上の出力を取
出すことが不可能であった。
【0009】
【課題を解決するための手段】これらの目的を達成する
ために本発明における弾性体は、弾性体の円板状部材と
突起部を別々に加工したものを組合せる構造をとる。
ために本発明における弾性体は、弾性体の円板状部材と
突起部を別々に加工したものを組合せる構造をとる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
【0011】(実施の形態1)本発明の第1の実施の形
態における弾性体の組立図を図1に示す。図1において
1は円板状で厚み寸法12の円板状部材で、前記円板状
部材1の中心9と同じ中心の円8上に等間隔に内径寸法
13の12個の円形の穴2を設ける。3は前記円板状部
材1の前記穴2の内径寸法13と同じ外径寸法10で長
さ11が同じの12本の円柱状の棒材で、前記棒材3を
前記穴2に圧入する側とは逆の自由端のエッジ4は、面
取り加工が施されている。5は前記棒材3の自由端の平
面で、前記棒材3は前記円板状部材1上の平面6側から
圧入し、前記円板状部材1の反対側の平面7に前記圧電
体を固着し、前記振動体を構成する。前記棒材3を前記
円板状部材1に圧入する際に、前記複数の棒材3の自由
端の平面5は所定の平面度に入るように設定する。
態における弾性体の組立図を図1に示す。図1において
1は円板状で厚み寸法12の円板状部材で、前記円板状
部材1の中心9と同じ中心の円8上に等間隔に内径寸法
13の12個の円形の穴2を設ける。3は前記円板状部
材1の前記穴2の内径寸法13と同じ外径寸法10で長
さ11が同じの12本の円柱状の棒材で、前記棒材3を
前記穴2に圧入する側とは逆の自由端のエッジ4は、面
取り加工が施されている。5は前記棒材3の自由端の平
面で、前記棒材3は前記円板状部材1上の平面6側から
圧入し、前記円板状部材1の反対側の平面7に前記圧電
体を固着し、前記振動体を構成する。前記棒材3を前記
円板状部材1に圧入する際に、前記複数の棒材3の自由
端の平面5は所定の平面度に入るように設定する。
【0012】図1においては前記円板状部材1上に設け
られた穴2は12個で、円形状をしているが、これ以外
の数でも、その他の多角形でも同様の効果が得られるこ
とは言うまでもない。
られた穴2は12個で、円形状をしているが、これ以外
の数でも、その他の多角形でも同様の効果が得られるこ
とは言うまでもない。
【0013】弾性体は圧電体の振動振幅を増幅するとい
う役割より、前記円板状部材1の前記両平面6,7の平
面度および前記円板状部材1の前記棒材3を圧人する側
の前記平面6と前記円板状部材1の前記圧電体を固着す
る側の前記平面7との平行度、前記棒材3の自由端の前
記平面5と前記円板状部材1の前記圧電体を固着する側
の平面7との平行度、前記棒材3の自由端の前記平面5
の平面度及び面粗さに高い精度が要求されるが、本発明
における構造では前記円板状部材1と前記棒材3を別々
に高精度加工できるため、低コストで高精度な弾性体を
形成できる。
う役割より、前記円板状部材1の前記両平面6,7の平
面度および前記円板状部材1の前記棒材3を圧人する側
の前記平面6と前記円板状部材1の前記圧電体を固着す
る側の前記平面7との平行度、前記棒材3の自由端の前
記平面5と前記円板状部材1の前記圧電体を固着する側
の平面7との平行度、前記棒材3の自由端の前記平面5
の平面度及び面粗さに高い精度が要求されるが、本発明
における構造では前記円板状部材1と前記棒材3を別々
に高精度加工できるため、低コストで高精度な弾性体を
形成できる。
【0014】なお前記榛材3の自由端側の移動体と接す
る面5のエッジ4は面取り加工してあり不均一なバリな
どを除去し均一な接触を実現する。
る面5のエッジ4は面取り加工してあり不均一なバリな
どを除去し均一な接触を実現する。
【0015】(実施の形態2)本発明の第2の実施の形
態における弾性体の組立図を図2に示す。図2において
円板状部材14の中心と同心で任意の径の円上に等間隔
に12個の穴15を設け、その内径に雌ネジを形成し、
これと同径同ピッチの雌ネジを端部に備えた同じ長さの
棒材16を前記穴15にねじ込み前記弾性体を形成す
る。図2においては前記円板状部材14に設けられた穴
15は12個であるが、これ以外の数でも同様の効果が
得られることは言うまでもない。この時複数の棒材16
の自由端面の平面度が所定値に納まるように各々ネジで
調整した後に、接着剤などで緩み止めを施す。
態における弾性体の組立図を図2に示す。図2において
円板状部材14の中心と同心で任意の径の円上に等間隔
に12個の穴15を設け、その内径に雌ネジを形成し、
これと同径同ピッチの雌ネジを端部に備えた同じ長さの
棒材16を前記穴15にねじ込み前記弾性体を形成す
る。図2においては前記円板状部材14に設けられた穴
15は12個であるが、これ以外の数でも同様の効果が
得られることは言うまでもない。この時複数の棒材16
の自由端面の平面度が所定値に納まるように各々ネジで
調整した後に、接着剤などで緩み止めを施す。
【0016】なお実施の形態1で記載するような各箇所
の高い寸法精度の加工も、円板状部材14と棒材16を
別々に加工できるため容易であり、コストの削減につな
がる。また棒材16の移動体と接する面のエッジ17は
面取り加工してあり、不均一なバリなどを除去し均一な
接触を行う。
の高い寸法精度の加工も、円板状部材14と棒材16を
別々に加工できるため容易であり、コストの削減につな
がる。また棒材16の移動体と接する面のエッジ17は
面取り加工してあり、不均一なバリなどを除去し均一な
接触を行う。
【0017】(実施の形態3)本発明の第3の実施の形
態における弾性体の組立図を図3に示す。図3において
1は厚み寸法12の円板状部材で、前記円板状部材1の
中心9と同じ中心の円8上に等間隔に内径寸法13の1
2個の円形の穴2を設ける。3は前記円板状部材1の前
記穴2の内径寸法13と同じ外径寸法10で長さ11が
同じの12本の円柱状の棒材で、前記棒材3を前記穴2
に圧入する側とは逆の自由端のエッジ4は、面取り加工
が施されている。5は前記棒材3の自由端の平面で、前
記棒材3は前記円板状部材1上の平面6側から圧入し、
前記円板状部材1の反対側の面7に前記圧電体を固着
し、前記振動体を構成する。前記棒材3を前記円板状部
材1に圧入する際に、前記複数の棒材3の自由端の平面
5は所定の平面度に入るように設定する。
態における弾性体の組立図を図3に示す。図3において
1は厚み寸法12の円板状部材で、前記円板状部材1の
中心9と同じ中心の円8上に等間隔に内径寸法13の1
2個の円形の穴2を設ける。3は前記円板状部材1の前
記穴2の内径寸法13と同じ外径寸法10で長さ11が
同じの12本の円柱状の棒材で、前記棒材3を前記穴2
に圧入する側とは逆の自由端のエッジ4は、面取り加工
が施されている。5は前記棒材3の自由端の平面で、前
記棒材3は前記円板状部材1上の平面6側から圧入し、
前記円板状部材1の反対側の面7に前記圧電体を固着
し、前記振動体を構成する。前記棒材3を前記円板状部
材1に圧入する際に、前記複数の棒材3の自由端の平面
5は所定の平面度に入るように設定する。
【0018】前記棒材3の材質を、前記円板状部材1の
材質より剛性の高いものを用いることで、前記棒材3の
平面5に前記ロータを加圧接触させ駆動を行う際に、前
記棒材3の平面5に振動を阻害する負荷がかかっても、
前記圧電体の振動を前記棒材3の撓み弾性で吸収する量
が少なくなるため、円板状部材1の平面7から棒材3の
平面5までの高さ(11−12)を高くでき、これによ
って振動振幅の増幅率を突起部の長さで稼ぐことができ
るため、前記ロータの移動速度を速くし、さらに前記棒
材3の材質の摩擦係数と加圧力によって決定されるトル
クの設定も、この材質の選択によって任意に設定するこ
とできる。
材質より剛性の高いものを用いることで、前記棒材3の
平面5に前記ロータを加圧接触させ駆動を行う際に、前
記棒材3の平面5に振動を阻害する負荷がかかっても、
前記圧電体の振動を前記棒材3の撓み弾性で吸収する量
が少なくなるため、円板状部材1の平面7から棒材3の
平面5までの高さ(11−12)を高くでき、これによ
って振動振幅の増幅率を突起部の長さで稼ぐことができ
るため、前記ロータの移動速度を速くし、さらに前記棒
材3の材質の摩擦係数と加圧力によって決定されるトル
クの設定も、この材質の選択によって任意に設定するこ
とできる。
【0019】また前記円板状部材1の材質を剛性の低い
ものにすることで、前記弾性体全体の機械的な共振周波
数が低くなり駆動電圧の周波数も低くできるため、駆動
回路に高速クロックを用いる必要もなく簡素化すること
もできる。
ものにすることで、前記弾性体全体の機械的な共振周波
数が低くなり駆動電圧の周波数も低くできるため、駆動
回路に高速クロックを用いる必要もなく簡素化すること
もできる。
【0020】
【発明の効果】以上のように本発明は超音波モータの構
成部品を安く、さらに高機能にし回路の簡略化を実現で
きる。
成部品を安く、さらに高機能にし回路の簡略化を実現で
きる。
【図1】本発明の第1の実施の形態による超音波モータ
の弾性体の組立図
の弾性体の組立図
【図2】本発明の第2の実施の形態による超音波モータ
の弾性体の組立図
の弾性体の組立図
【図3】本発明の第3の実施の形態による超音波モータ
の弾性体の組立図
の弾性体の組立図
【図4】従来の超音波モータの振動体の形状斜視図
l,14,26 円板状部材 2,15 穴 3,16 棒材 4,17 エッジ 5,6,7,18,19,23 平面 8 円 9,24 中心線 10 外径寸法 11,20 長さ寸法 12,25 厚み寸法 13 内径寸法 21 突起部の外周側面 22 突起部の内周側面 27 突起部
Claims (3)
- 【請求項1】超音波振動する圧電体と、この超音波振動
の振幅を増幅する弾性体とを固着して形成した振動体
と、この振動体上を摺動するロータを備えた超音波モー
タにおいて、前記弾性体を円板状部材と、複数の棒材と
で構成し、前記円板状部材には、任意の同心円周上に等
間隔で前記棒材とほぼ同じ直径の複数の穴を厚み方向に
設け、この穴に前記棒材を圧入、もしくは接着にて固定
したことを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項2】円板状部材の任意の円周上に等間隔で複数
設けられた穴の内周に雌ネジを形成し、端部に雄ネジを
形成した棒材を前記穴に螺合した後、接着剤で固定して
構成した弾性体を有することを特徴とした請求項1記載
の超音波モー夕。 - 【請求項3】円板状部材より棒材の剛性を高くしたこと
を特徴とする請求項1または請求項2記載の超音波モー
タ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7310448A JPH09154289A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7310448A JPH09154289A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09154289A true JPH09154289A (ja) | 1997-06-10 |
Family
ID=18005379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7310448A Pending JPH09154289A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09154289A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010263729A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Canon Inc | 振動波駆動装置用振動体、及び振動波駆動装置用振動体の製造方法 |
JPWO2019078239A1 (ja) * | 2017-10-18 | 2020-11-19 | 株式会社ニコン | 振動波モータおよび光学機器 |
-
1995
- 1995-11-29 JP JP7310448A patent/JPH09154289A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010263729A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Canon Inc | 振動波駆動装置用振動体、及び振動波駆動装置用振動体の製造方法 |
US9154054B2 (en) | 2009-05-08 | 2015-10-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibrating body for vibration wave drive device and method of producing vibrating body for vibration wave drive device |
JPWO2019078239A1 (ja) * | 2017-10-18 | 2020-11-19 | 株式会社ニコン | 振動波モータおよび光学機器 |
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