JPH09152375A - 分光光度計 - Google Patents

分光光度計

Info

Publication number
JPH09152375A
JPH09152375A JP33778095A JP33778095A JPH09152375A JP H09152375 A JPH09152375 A JP H09152375A JP 33778095 A JP33778095 A JP 33778095A JP 33778095 A JP33778095 A JP 33778095A JP H09152375 A JPH09152375 A JP H09152375A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
semi
mirror
transparent mirror
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33778095A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Akune
智 阿久根
Hironori Yamauchi
弘規 山内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP33778095A priority Critical patent/JPH09152375A/ja
Publication of JPH09152375A publication Critical patent/JPH09152375A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光源切替用の半透鏡を透過する際に生じる測
定光の光軸のズレに起因する測定データの誤差を正しく
補正する分光光度計を提供する。 【解決手段】 既知の輝線ピークを有する光源又は既知
の吸収線を有する試料を用いて、該光源又は該試料の輝
線ピーク又は吸収線のPDA検出器20上における検出
位置を、半透鏡22が光路上に存在する場合及び存在し
ない場合のそれぞれについて測定し、両者間の検出位置
の差に基づいて補正値を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フォトダイオード
アレイ検出器(以下、「PDA検出器」とする)を有す
るポリクロメータを備える分光光度計であって、光源を
切り替えるために半透鏡を用いるものに関する。
【0002】
【従来の技術】分光光度計による試料の分析において
は、光源から発せられた測定光を試料に照射し、試料を
透過した光あるいは試料の表面で反射した光のスペクト
ルを調べることにより試料の特定が行なわれる。図2に
試料の吸光スペクトル分析に用いられる分光光度計の一
例を示す。この図において、重水素ランプ11は主とし
て紫外領域にわたる連続スペクトルを有する光(以下、
「紫外光」とする)を供給するためのものであり、ハロ
ゲンランプ12は主として赤外領域及び可視領域にわた
る連続スペクトルを有する光(以下、「可視光」とす
る)を供給するためのものである。紫外光の光軸と可視
光の光軸の交点に半透鏡13が斜めに配置されており、
重水素ランプ11からの光の一部は半透鏡13を通過し
て照射レンズ14へと向かう一方、ハロゲンランプ12
からの光の一部も半透鏡13の鏡面13aにより反射さ
れて照射レンズ14へと向かうようになっている。照射
レンズ14を通過した光は試料セル15及び集光レンズ
16を通過した後、ポリクロメータ17の内部へ入る。
ポリクロメータ17の内部において光は、スリット18
を通過した後、回折格子19によりスペクトルに展開さ
れ、各波長の強度がPDA検出器20により検出され
る。
【0003】スペクトルに展開された光をPDA検出器
により検出する場合、一つの波長の光は受光面の一つの
素子位置においてのみ検出されることが必要である。通
常は、分光素子とPDA検出器との位置関係を固定して
おくことにより、分光素子により分散された各波長の光
は常に所定の受光素子に到達する。ところが、分光素子
として回折格子を用いた場合、所定の角度で検出される
1次回折光以外に、異なる角度で検出される高次回折光
が生成される。これにより、長波長の高次回折光が、本
来短波長を受けるべき受光素子に到達し、正しい測定が
できなくなる。例えば、一部の可視光の高次回折光は紫
外領域にまで入り込み、紫外領域のスペクトルの測定を
妨げる。そこで、図2のように、紫外光用の光源と可視
光用の光源とを別個に設け、必要に応じて各光源を点灯
/消灯させる、といった方法が取られる。これによれ
ば、両光源ともに点灯して可視光から紫外光までの幅広
い領域におけるスペクトルを一度に測定できるだけでな
く、片方のみ点灯して可視領域のみ若しくは紫外領域の
みのスペクトルを測定することも可能になる。
【0004】しかし、単にランプを点灯/消灯する方法
では、例えば重水素ランプの場合は5〜10秒程度の時
間がかかってしまうため、10回/秒程度の高速走査が
可能なPDA検出器の性能を十分活かした高速測定がで
きない。この問題を解決する方法の一つとして、図3に
示すような、全反射鏡21、半透鏡22及び開口23を
有する円盤24を半透鏡13の代わりに配し(図4参
照)、モータ25で回転させ、可視光のみを用いる場合
は全反射鏡21を、可視光及び紫外光の混合光を用いる
場合は半透鏡22を、紫外光のみを用いる場合は開口2
3を、それぞれ光路上に配する方法が考えられた。この
方法により、光源の切替を、ランプの点灯/消灯による
方法に比べてより高速で行なうことが可能になった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記方法では、可視光
と紫外光の混合光を発生させるために半透鏡22を用い
ている。半透鏡22は、空気の屈折率とは異なる屈折率
を有する透明平板からなるが、上記方法では半透鏡22
が光路に挿入されたときこの透明平板が光軸に対して斜
めに位置するため、光がこれを透過する際、透過前後で
光軸にズレが生じる。その結果、PDA検出器20が検
出するスペクトルにもズレが生じる。一方、開口23を
光路上に配して紫外光のみを測定光として用いる場合
は、光軸のズレは起こらない。このように、半透鏡を用
いて得られたデータとその他の態様で得られたデータと
の整合性が失われると、正しい測定ができなくなる。本
発明はこのような課題を解決するために成されたもので
あり、その目的とするところは、半透鏡を透過する際に
生じる測定光の光軸のズレに起因する測定データの誤差
を補正して正しいデータを出力することのできる分光光
度計を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係る分光光度計は、 a)PDA検出器を有するポリクロメータと、 b)半透鏡を光路上に置き又は光路から除去することによ
り光源を切り替える光源切替手段と、を有する分光光度
計であって、 c)半透鏡が光路上に存在する場合と存在しない場合との
間に生じる、光源又は既知試料の特性波長のPDA検出
器上における検出位置の変化に基づいて、補正値を作成
する補正値作成手段と、 d)該補正値に基づいて測定データを補正するデータ補正
手段と、を備えることを特徴とする。
【0007】なお、上記において光源の特性波長とは、
該光源の発する光のスペクトルが有する輝線ピークの波
長のことであり、既知試料の特性波長とは、該試料を透
過した光又は該試料の表面で反射された光のスペクトル
が有する吸収線の波長のことである。
【0008】
【発明の実施の形態及び発明の効果】補正値作成手段及
びデータ補正手段をPDA検出器に接続し、それら手段
がPDA検出器の出力電気信号を読み取ることができる
ようにする。一方、補正値作成手段及びデータ補正手段
を光源切替手段にも接続し、それら手段が、半透鏡が光
路上に存在するか否かを検知できるようにする。試料の
分析に先立って、まず特性波長が既知の光源又は試料を
用いて、補正値作成手段により、半透鏡が光路上に存在
する場合及び存在しない場合のそれぞれについて該光源
又は該試料の特性波長のPDA検出器上における検出位
置を測定し、2つの場合の間に生じる該検出位置の差を
調べ、この差に基づいて補正値を求める。一方、試料の
分析時には、データ補正手段が、半透鏡が光路上に存在
するときに得られる測定データを上記補正値を用いて適
宜補正する。本発明によれば、半透鏡を透過する際に生
じる測定光の光軸のズレに起因する測定データの誤差
を、例えばコンピュータ・プログラムの変更程度で補正
できるようになる。また、本発明を、半透鏡を挿入若し
くは除去することにより高速で光源を切り替える構成の
分光光度計にも応用することにより、従来よりも高速で
精度の高いスペクトル測定を行なうことが可能になる。
【0009】
【実施例】図1は本発明に係る分光光度計の一実施例の
概略構成図である。本実施例の分光光度計の基本的な構
成及び作用は図2の装置と同様であるが、全反射鏡2
1、半透鏡22及び開口23を有する円盤24(図3参
照)及びモータ25により光源の切替を行うところは図
2の装置の構成と異なる。更に本実施例では、コンピュ
ータ等からなる制御装置30がPDA検出器20及びモ
ータ25に接続されている。制御装置30は分析の目的
に応じたモータ制御信号をモータ25に送り、該信号に
従ってモータ25は全反射鏡21、半透鏡22又は開口
23が光路上に配されるように円盤24を回転させる。
一方、制御装置30はPDA検出器20の出力電気信号
を入力して、光を受けた各素子における光の強度を検知
する。
【0010】試料の分析に先立って、ランプやレンズ等
の光学系部品の位置を調整し固定する作業が行なわれる
が、この際、半透鏡22を光路上に配した状態で重水素
ランプ11及びハロゲンランプ12の光軸が一致するよ
うにしておく。このようにした場合、全反射鏡21若し
くは半透鏡22により反射された可視光の光軸と半透鏡
22を透過した紫外光の光軸は一致するが、開口23を
配したときの紫外光の光軸は上記反射光(及び透過光)
の光軸からずれる。このことを考慮して、以下に述べる
手順で補正値を作成する。
【0011】補正値を作成する作業について述べる。ま
ず開口23を光路上に配した状態で重水素ランプ11の
光を照射し、PDA検出器20によりこの光のパワース
ペクトルを検出する。制御装置30は重水素ランプの代
表的な2つの輝線ピーク(486.00nm、656.
10nm)に対応するPDA検出器20の素子位置を検
出し、該素子位置を「正常値」として記憶する。次に、
半透鏡22を光路上に配した状態で同様の作業を行な
い、上記各ピークに対応する素子位置を検出し、これら
の素子位置を「変位値」とする。制御装置30は、上記
各ピーク毎の正常値と変位値の差に基づいて、PDA検
出器20の各素子位置毎に補正値を求める。
【0012】補正値を求める方法として最も簡単なもの
はゼロ次近似による方法で、上記2つのピークにおける
正常値と変位値との差の平均値を求め、この平均値をP
DA検出器の各素子位置に共通の補正値とするものであ
る。もちろん、制御装置30が、2つのピークにおける
正常値と変位値との差を通る1次近似式を求めてこれを
記憶し、試料の分析時にはPDA検出器20の各素子位
置毎に上記1次近似式に基づく補正を適宜行なうように
してもよい。また、分析に先立って、重水素ランプ11
の代わりに、3つ以上のピークを有する光を発する別の
光源を用いて、先と同様に各ピーク毎に正常値と変位値
の差を調べれば、より高次の補正式あるいは補正値テー
ブルを作成することも可能である。この場合、例えば6
つ程度のピークを有する光を発する低圧水銀ランプが好
適に利用できる。なお、以上のように輝線ピークのズレ
を用いる方法の代わりに、既知の吸光スペクトルを有す
る標準試料を、半透鏡22が光路上に存在する場合及び
存在しない場合について測定し、2つの場合の間に生じ
る吸収線のズレを調べ、このズレに基づいて補正値を求
めるようにしてもよい。
【0013】上に述べた補正値作成作業においては、開
口23が光路上に配されているときに得られる素子位置
データを「正常値」としているため、全反射鏡21又は
半透鏡22が配されているときに得られる素子位置デー
タは「変位値」となる。実際に試料を分析する際には、
上記「変位値」のみ補正すればよい。
【0014】試料の分析においては、制御装置30は、
PDA検出器20の出力電気信号を受けると同時に、先
にモータ25に送ったモータ制御信号を参照することに
より円盤24の状態を検知する。もし上記電気信号の検
出時に光路上に開口23が配されていたなら、制御装置
30は素子位置データの補正を行なわない。それ以外の
場合には、制御装置30は該電気信号に基づく素子位置
データを所定の補正値を用いて補正する。
【0015】制御装置30により補正された素子位置デ
ータは更に波長に変換される。この変換は、分光光度計
が有する従来のデータ処理手段により行なってもよい
が、制御装置30がこれを行なうようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る分光光度計の一実施例の概略構
成図。
【図2】 従来の分光光度計の一例の概略構成図。
【図3】 半透鏡などの光学素子を有する円盤の平面
図。
【図4】 図3の円盤を有する光源切替手段の概略構成
図。
【符号の説明】 11…重水素ランプ 12…ハロゲンランプ 13…半透鏡 14…照射レンズ 15…試料セル 16…集光レンズ 18…スリット 19…回折格子 20…フォトダイオードアレイ検出器(PDA検出器) 21…全反射鏡 22…半透鏡 23…開口 24…円盤 25…モータ 30…制御装置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 a)フォトダイオードアレイ検出器を有す
    るポリクロメータと、 b)半透鏡を光路上に置き又は光路から除去することによ
    り光源を切り替える光源切替手段と、を有する分光光度
    計であって、 c)半透鏡が光路上に存在する場合と存在しない場合との
    間に生じる、光源又は既知試料の特性波長のフォトダイ
    オードアレイ検出器上における検出位置の変化に基づい
    て、補正値を作成する補正値作成手段と、 d)該補正値に基づいて測定データを補正するデータ補正
    手段と、を備える分光光度計。
JP33778095A 1995-11-30 1995-11-30 分光光度計 Pending JPH09152375A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33778095A JPH09152375A (ja) 1995-11-30 1995-11-30 分光光度計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33778095A JPH09152375A (ja) 1995-11-30 1995-11-30 分光光度計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09152375A true JPH09152375A (ja) 1997-06-10

Family

ID=18311899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33778095A Pending JPH09152375A (ja) 1995-11-30 1995-11-30 分光光度計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09152375A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1152211A2 (de) * 2000-05-02 2001-11-07 Leica Microsystems Jena GmbH Optische Messanordnung insbesondere zur Schichtdickenmessung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1152211A2 (de) * 2000-05-02 2001-11-07 Leica Microsystems Jena GmbH Optische Messanordnung insbesondere zur Schichtdickenmessung
EP1152211A3 (de) * 2000-05-02 2002-05-29 Leica Microsystems Jena GmbH Optische Messanordnung insbesondere zur Schichtdickenmessung
US6618154B2 (en) 2000-05-02 2003-09-09 Leica Microsystems Jena Gmbh Optical measurement arrangement, in particular for layer thickness measurement

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5771094A (en) Film measurement system with improved calibration
KR960042049A (ko) 광학적 측정방법 및 광학적 측정장치
JP2002181698A (ja) 分光反射率測定装置および分光反射率測定方法
GB2128359A (en) Double-beam spectrophotometer
JPH06317408A (ja) 偏光解析法を用いて透明層の特性値を決定するための方法
JP2007139632A (ja) 反射率測定機及び反射率測定方法。
JPH052931B2 (ja)
CN102753949B (zh) 分光光度计及其性能测定方法
US5715061A (en) Optical measuring apparatus and optical measuring method
US6023332A (en) Device and method for measuring birefringence in an optical data carrier
CN111175424B (zh) 一种基于多级信号校准的二极管阵列检测器及校准方法
JPH0580981B2 (ja)
JPH09152375A (ja) 分光光度計
CN113188767B (zh) 紫外镜片反、透射率测试及紫外成像系统定标装置及方法
JP4660696B2 (ja) 反射特性測定装置
JP3755997B2 (ja) 液体クロマトグラフ
US6870617B2 (en) Accurate small-spot spectrometry systems and methods
JPH11101739A (ja) エリプソメトリ装置
JP2000035363A (ja) 光学特性検出装置
KR100414186B1 (ko) 과일의 당도선별을 위한 광원자동보정장치
TWI736222B (zh) 光穿透率的測量方法
JP2001343283A (ja) 紫外・可視光検出装置
JPH0443222B2 (ja)
JP3182744B2 (ja) 分光分析装置
JP2003185498A (ja) 分光光度計