JPH09151894A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH09151894A JPH09151894A JP31218395A JP31218395A JPH09151894A JP H09151894 A JPH09151894 A JP H09151894A JP 31218395 A JP31218395 A JP 31218395A JP 31218395 A JP31218395 A JP 31218395A JP H09151894 A JPH09151894 A JP H09151894A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic body
- base
- bearing housing
- bearing
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ターボ分子ポンプのロータ回転軸を支承する
玉軸受を保持する軸受ハウジングを一定の剛性で保持す
ることができるようにする。 【解決手段】 玉軸受２１、２２を内側に収納するとと
もに、外周側が弾性体を介してベース１２に支持された
軸受ハウジング２０と、この弾性体２１、２２とベース
１２間あるいは軸受ハウジング２０との間に取り付けら
れ、弾性体２１、２２に一定の力を付勢するバネ部材３
０とを備えることにより、弾性体２１、２２を一定の力
で押圧するようにして剛性を一定に保つ。
玉軸受を保持する軸受ハウジングを一定の剛性で保持す
ることができるようにする。 【解決手段】 玉軸受２１、２２を内側に収納するとと
もに、外周側が弾性体を介してベース１２に支持された
軸受ハウジング２０と、この弾性体２１、２２とベース
１２間あるいは軸受ハウジング２０との間に取り付けら
れ、弾性体２１、２２に一定の力を付勢するバネ部材３
０とを備えることにより、弾性体２１、２２を一定の力
で押圧するようにして剛性を一定に保つ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超高真空状態を得
るためのターボ分子ポンプに関する。
るためのターボ分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】ターボ分子ポンプはロータが数万ｒｐｍ
の回転数で回転駆動される高速回転機器である。ロータ
はベースに対して回転可能に支持されるが、ロータを支
持する手段として玉軸受が一般的に用いられている。
の回転数で回転駆動される高速回転機器である。ロータ
はベースに対して回転可能に支持されるが、ロータを支
持する手段として玉軸受が一般的に用いられている。
【０００３】また、ターボ分子ポンプでは、ロータの高
速回転に起因する振動が生じる。この振動を減衰させる
ために、ロータ回転軸を支持する軸受もしくはこの軸受
を収納する軸受ハウジングをＯリング等の弾性体を介し
て保持することにより振動を吸収することがなされたも
のがある。
速回転に起因する振動が生じる。この振動を減衰させる
ために、ロータ回転軸を支持する軸受もしくはこの軸受
を収納する軸受ハウジングをＯリング等の弾性体を介し
て保持することにより振動を吸収することがなされたも
のがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】軸受部を弾性体で保持
する構造にする場合、予め弾性体に適度の剛性を与えて
軸受部を保持することが望ましいが、このためにはＯリ
ング等の弾性体に、適度な剛性を出すのに必要な所定の
力を加えて変形させておくことを要する。しかし予め決
められた剛性で保持できるように各部品を作り上げるこ
とは困難であることから、弾性体のつぶし代（変形量）
を調整するべく、シム材などを用いて各部品の寸法公差
を吸収するようにしていた。
する構造にする場合、予め弾性体に適度の剛性を与えて
軸受部を保持することが望ましいが、このためにはＯリ
ング等の弾性体に、適度な剛性を出すのに必要な所定の
力を加えて変形させておくことを要する。しかし予め決
められた剛性で保持できるように各部品を作り上げるこ
とは困難であることから、弾性体のつぶし代（変形量）
を調整するべく、シム材などを用いて各部品の寸法公差
を吸収するようにしていた。
【０００５】このシム材による調整作業は熟練を要し、
組立時に手間がかかるだけではなく、メンテナンス作業
をユーザ側で行うことを困難にしていた。
組立時に手間がかかるだけではなく、メンテナンス作業
をユーザ側で行うことを困難にしていた。
【０００６】また、適当なシム調整を行ったとしても、
長時間の使用により軸受部の温度が変化すると弾性体の
剛性が変動することがあり（例えば高温になってゴムが
柔らかくなる）、このようなシム調整後に生じる変化に
対しては、対応できないため、予め、温度変化を予測し
てシム調整するぐらいしかなかった。
長時間の使用により軸受部の温度が変化すると弾性体の
剛性が変動することがあり（例えば高温になってゴムが
柔らかくなる）、このようなシム調整後に生じる変化に
対しては、対応できないため、予め、温度変化を予測し
てシム調整するぐらいしかなかった。
【０００７】本発明は以上のような問題を解決し、弾性
体の剛性の調整が容易に行えるターボ分子ポンプを提供
することを目的とする。
体の剛性の調整が容易に行えるターボ分子ポンプを提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明のターボ分子ポンプは、玉軸受により
ロータ回転軸をベースに対して回転可能に支持するター
ボ分子ポンプであって、前記玉軸受を内側に収納すると
ともに、外周側は弾性体を介してベースに支持された軸
受ハウジングと、この弾性体とベース間あるいは軸受ハ
ウジングとの間に取り付けられ、弾性体を一定の力で押
圧するバネ部材とを備えたことを特徴とする。
になされた本発明のターボ分子ポンプは、玉軸受により
ロータ回転軸をベースに対して回転可能に支持するター
ボ分子ポンプであって、前記玉軸受を内側に収納すると
ともに、外周側は弾性体を介してベースに支持された軸
受ハウジングと、この弾性体とベース間あるいは軸受ハ
ウジングとの間に取り付けられ、弾性体を一定の力で押
圧するバネ部材とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のターボ分子ポンプでは、
弾性体とベースとの間、あるいは弾性体と軸受ハウジン
グとの間にばね材が取り付けられ、これにより、一定の
力で弾性体を押圧することにより、一定の力で押しつぶ
すこととしたので、シムなどによる調整作業をする必要
がなく、予め決められた剛性で回転体を保持することが
できる。 以下、本発明を実施の形態を用いて説明す
る。図１は本発明の一実施例を示すターボ分子ポンプの
断面図である。ターボ分子ポンプ１０は、円筒状のケー
シング１１とベース１２とによりポンプ空間ａが形成さ
れ、ポンプ空間ａの上端に吸気口１３がある。ポンプ空
間ａの内部にはステータ翼１４が軸方向に多段に積み重
ねられてあり、隣合う２つのステータ翼１４の間にロー
タ翼１５が多段に取り付けられている。ロータ翼１５は
ロータ１６に固定されており、ロータ１６はロータ回転
軸１７に結合されている。ロータ回転軸１７は、上部玉
軸受１８、下部玉軸受１９により回転自在に支承されて
いる。上部玉軸受１８、下部玉軸受１９は内部が円筒空
間になっている軸受ハウジング２０の内部円筒空間内に
収納されている。軸受ハウジング２０は、その上部側が
上部弾性体２１を介して、また、その下部側が下部弾性
体２２を介してベース１２に取り付けられている。これ
らの弾性体としてはＯリングなどのゴム材が適してい
る。
弾性体とベースとの間、あるいは弾性体と軸受ハウジン
グとの間にばね材が取り付けられ、これにより、一定の
力で弾性体を押圧することにより、一定の力で押しつぶ
すこととしたので、シムなどによる調整作業をする必要
がなく、予め決められた剛性で回転体を保持することが
できる。 以下、本発明を実施の形態を用いて説明す
る。図１は本発明の一実施例を示すターボ分子ポンプの
断面図である。ターボ分子ポンプ１０は、円筒状のケー
シング１１とベース１２とによりポンプ空間ａが形成さ
れ、ポンプ空間ａの上端に吸気口１３がある。ポンプ空
間ａの内部にはステータ翼１４が軸方向に多段に積み重
ねられてあり、隣合う２つのステータ翼１４の間にロー
タ翼１５が多段に取り付けられている。ロータ翼１５は
ロータ１６に固定されており、ロータ１６はロータ回転
軸１７に結合されている。ロータ回転軸１７は、上部玉
軸受１８、下部玉軸受１９により回転自在に支承されて
いる。上部玉軸受１８、下部玉軸受１９は内部が円筒空
間になっている軸受ハウジング２０の内部円筒空間内に
収納されている。軸受ハウジング２０は、その上部側が
上部弾性体２１を介して、また、その下部側が下部弾性
体２２を介してベース１２に取り付けられている。これ
らの弾性体としてはＯリングなどのゴム材が適してい
る。
【００１０】ベース１２と軸受ハウジング２０の外周面
とに挟まれる空間の下部側である下部弾性体２２の近傍
には、ベース１２に凹部が形成され、付勢空間ｂが設け
られている。そして、付勢空間ｂ内にはバネ３０が取り
付けられ、下部弾性体２２を付勢するようにしてある。
座金３１は、バネ３０からの押圧力を下部弾性体２２に
対してより均一に付勢するようにするために介在させた
ものである。このバネ３０により下部弾性体２２および
上部弾性体２１は、使用するバネのバネ定数で決められ
る強さの圧縮力を受けることになる。すなわち、適当な
強さのバネを選択して取り付けることにより、所望の力
で弾性体２１、２２を押圧することができ、これにより
一定の剛性でロータ回転軸１７を保持することができ
る。
とに挟まれる空間の下部側である下部弾性体２２の近傍
には、ベース１２に凹部が形成され、付勢空間ｂが設け
られている。そして、付勢空間ｂ内にはバネ３０が取り
付けられ、下部弾性体２２を付勢するようにしてある。
座金３１は、バネ３０からの押圧力を下部弾性体２２に
対してより均一に付勢するようにするために介在させた
ものである。このバネ３０により下部弾性体２２および
上部弾性体２１は、使用するバネのバネ定数で決められ
る強さの圧縮力を受けることになる。すなわち、適当な
強さのバネを選択して取り付けることにより、所望の力
で弾性体２１、２２を押圧することができ、これにより
一定の剛性でロータ回転軸１７を保持することができ
る。
【００１１】次に本発明のターボ分子ポンプの動作につ
いて説明する。モータ２４を駆動することにより、ロー
タ１６が回転すると、ステータ翼１４とロータ翼１５と
の相互作用により吸気口１３から飛び込んだ気体分子が
排気口２５から排気されるように作動し、真空ポンプと
して機能する。ロータ１６およびロータ回転軸１７が高
速回転することにより上部玉軸受１８や下部玉軸受１９
において摩擦熱が発生し、上部玉軸受１８、下部玉軸受
１９は温度上昇し、これに伴って玉軸受１８、１９と接
触している軸受ハウジング２０、さらには軸受ハウジン
グ２０に接触する上部弾性体２１、下部弾性体２２も温
度が上昇する。温度上昇により上部弾性体２１、下部弾
性体２２は柔らかくなるが、バネ３０により一定の力で
押しつけているため、弾性体を初期の剛性に保つことが
できる。
いて説明する。モータ２４を駆動することにより、ロー
タ１６が回転すると、ステータ翼１４とロータ翼１５と
の相互作用により吸気口１３から飛び込んだ気体分子が
排気口２５から排気されるように作動し、真空ポンプと
して機能する。ロータ１６およびロータ回転軸１７が高
速回転することにより上部玉軸受１８や下部玉軸受１９
において摩擦熱が発生し、上部玉軸受１８、下部玉軸受
１９は温度上昇し、これに伴って玉軸受１８、１９と接
触している軸受ハウジング２０、さらには軸受ハウジン
グ２０に接触する上部弾性体２１、下部弾性体２２も温
度が上昇する。温度上昇により上部弾性体２１、下部弾
性体２２は柔らかくなるが、バネ３０により一定の力で
押しつけているため、弾性体を初期の剛性に保つことが
できる。
【００１２】なお、本実施例では下部弾性体に対してバ
ネによる付勢力を与えたが、上部弾性体に対して行って
もよい。また、凹部をベース側に設けたが軸受ハウジン
グ側に凹部を加工してもよい。さらには、バネ３０を弾
性体と軸受ハウジングの間に設けても本実施例と同様の
効果を得ることができる。
ネによる付勢力を与えたが、上部弾性体に対して行って
もよい。また、凹部をベース側に設けたが軸受ハウジン
グ側に凹部を加工してもよい。さらには、バネ３０を弾
性体と軸受ハウジングの間に設けても本実施例と同様の
効果を得ることができる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明のターボ分子
ポンプでは、軸受ハウジングを保持するための弾性体
と、ベースあるいは軸受ハウジングとの間に、弾性体を
一定の力で押圧するバネ部材を備えたことにより、シム
調整をする必要がなくなり、組立の際の手間がなくな
り、また、調整作業が容易になって、組立工数の低減に
よるコストの低減につながる。
ポンプでは、軸受ハウジングを保持するための弾性体
と、ベースあるいは軸受ハウジングとの間に、弾性体を
一定の力で押圧するバネ部材を備えたことにより、シム
調整をする必要がなくなり、組立の際の手間がなくな
り、また、調整作業が容易になって、組立工数の低減に
よるコストの低減につながる。
【００１４】また、軸受部の温度変化による弾性体の剛
性が変化した場合にも、バネにより一定の力で押圧する
ことができるので、弾性体を初期の剛性に保つことがで
きる。
性が変化した場合にも、バネにより一定の力で押圧する
ことができるので、弾性体を初期の剛性に保つことがで
きる。
【図１】本発明の一実施例であるターボ分子ポンプの断
面図。
面図。
１０：ターボ分子ポンプ １１：ケーシング １２：ベース １３：吸気口 １４：ステータ翼 １５：ロータ翼 １６：ロータ １７：ロータ回転軸 １８：上部玉軸受 １９：下部玉軸受 ２０：軸受ハウジング ２１：上部弾性体 ２２：下部弾性体 ３０：バネ ３１：座金 ａ：ポンプ空間 ｂ：付勢空間
Claims (1)
- 【請求項１】玉軸受によりロータ回転軸をベースに対し
て回転可能に支持するターボ分子ポンプであって、前記
玉軸受を内側に収納するとともに、外周側は弾性体を介
してベースに支持された軸受ハウジングと、この弾性体
とベース間あるいは軸受ハウジングとの間に取り付けら
れ、弾性体を一定の力で押圧するバネ部材とを備えたこ
とを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31218395A JPH09151894A (ja) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31218395A JPH09151894A (ja) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09151894A true JPH09151894A (ja) | 1997-06-10 |
Family
ID=18026225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31218395A Pending JPH09151894A (ja) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09151894A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109162957A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-01-08 | 南京腾图节能科技有限公司 | 一种水泵 |
-
1995
- 1995-11-30 JP JP31218395A patent/JPH09151894A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109162957A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-01-08 | 南京腾图节能科技有限公司 | 一种水泵 |
| CN109162957B (zh) * | 2018-11-14 | 2023-08-15 | 南京腾图节能科技有限公司 | 一种水泵 |
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