JPS60252194A

JPS60252194A - タ−ボ分子ポンプ

Info

Publication number: JPS60252194A
Application number: JP10929284A
Authority: JP
Inventors: Hideto Nishikawa; 秀人西川
Original assignee: Shimadzu Corp; Shimazu Seisakusho KK
Current assignee: Shimadzu Corp; Shimazu Seisakusho KK
Priority date: 1984-05-28
Filing date: 1984-05-28
Publication date: 1985-12-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、機械的に気体分子を吹き飛ばして超高真空を
得るようにしたターボ分子ポンプに関するものである。

（ロ）従来技術ターボ分子ポンプでは、真空室内に配したロータを支持
し高速回転させるロータ駆動軸の共振を防Ｉトするため
、その駆動側で該ロータ駆動軸を回転可能に支持する軸
受をＯリングのようなダンパを介してハウジングに支承
させることにより、前記ロータ駆動軸を軸受を介してハ
ウジングに弾性的に支承せしめるようにしているのが普
通である。そして、このようなものには、前記ハウジン
グ内に前記軸受をアキシャル方向に予圧するための予圧
付与機構を設けているが、従来の予圧材４機構は、前記
予圧の付与のためにバネを用いているものが一般的であ
る。

ところが、このようなものでは、前記アキシャル予圧を
適切な値に設定するために前記バネの荷重を調整する必
要があり、しかもかかる調整が非常に困難であるという
不都合がある。さらに、バネを使用することによって部
品点数がそれだけ多くなりコストも高くなるという不都
合がある。

（ハ）ｌ＝Ｉ的本発明は、このような事情に着目してなされたもので、
予圧付与機構をバネが不要で予圧調整を要しないものと
することにより、アキシャル予圧の調整に要する手間を
省くことができるとともに部品点数を少なくしコストダ
ウンを図ることができるターボ分子ポンプを提供するこ
とを目的とする。

（ニ）構成本発明は、かかる目的を達成するために、前記予圧付与
機構を、前記真空室から隔離させて前記ハウジング内に
形成され内部に大気圧が導入される大気室と、前記軸受
に当接させて設けられ反ロータ側に向けて形成した受圧
面を前記大気室に臨ませた軸受押え部材とを具備してな
るものに・したことを特徴とする。

（ホ）実施例以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

図示しない円筒状のケーシングとこのケーシングと一体
をなすベース１ａからなるハウジング１の内部に、ポン
プ駆動時に高真空状態となる真空室２を形成している。

この真空室２は、前記ケーシング内部に形成したポンプ
室３と、ベースｌａ内部に形成した機械室４とからなる
。そして、この真空室２内にロータ駆動軸５を第１図中
略鉛直方向に設け、その先端部５ａを前記ポンプ室３内
に配設し、該先端部５＆にロータ６を外嵌固定し、この
ロータ６のロータ翼６ａを図示しないステータ翼と交互
に配置している。また、機械室４中には、ロータ駆動軸
５の基端部５ｂを配設し、ロータ６側に設けた軸受７お
よび反ロータ側軸端部に設けた軸受８によって回転可能
に支持しつつモータ９によって高速回転させるようにし
ている。また、これら各軸受７．８とハウジング１との
間にはダンパとして０リング１１．１２をそれぞれ介設
し、該軸受７．８を介してロータ駆動軸５をハウジング
１によって弾性的に支承するようにしている。また、１
０は真空室２内の気体を排出させる排気孔である。

このようなポンプにおいて、前記ハウジングｌの底壁１
ａ’と軸受８との間に予圧付与機構１３を設けている。

この予圧付与機構１３は、軸受押え部材１４と、大気室
１５とを具備してなる。軸受押え部材１４は、その上端
１４ａを軸受８に当接させるとともに、その下端には反
ロータ側に向けて受圧面１６を形成し、該受圧面１６を
前記大気室１５に臨ませている。大気室１５は、軸受押
え部材１４の外周に介装したシール用の０リング１７に
よって、該０リング１７より上側の真空室２をなす空間
から隔離して該Ｏリング１７よりｆ側に形成した室であ
り、前記ハウシング１の底壁ｌａ’に穿設した孔１８を
介して大気を導入するようになっている。また、前記受
圧面１６は、その面積を、大気圧により適切な値のアキ
シャル予圧を軸受８および軸受７に付与できる面積に設
定している。したかって、前記軸受８および軸受７には
大気室１５の大気が受圧［Ｉ′ｉ′ｉ１６を有する軸受
押え部材１４を介して適切なアキシャル予圧を加えてい
る。なお、かかるアキシャル予圧によって軸受７はその
上端側がハウジング１に係止面１９において接触するよ
うになっている。

次に、この実施例の作動を説明する。

モータ９によりロータ駆動軸５を高速回転させると、ロ
ータ６のロータ翼６ａが一体に高速回転し、図示しない
被排気容器中の気体をポンプ内に吸込み、ポンプ室３を
介して排気孔１０からポンプ外へ排気する。このとき、
真空室２をなすポンプ室３および機械室４中の気体も排
気されるので、該ポンプ室３および機械室４は高真空状
態となり気体圧がゼロに近くなる。一方、大気室１５に
は孔１８を介して常時大気が導入されている。

したがって、ポンプ駆動時には真空室２と大ヌ室１６と
の間に圧力差が生じ、かかる差圧によって軸受７．８が
アキシャル方向へ押圧される。この押圧力は前記受圧面
１８の面積および大気圧に比例するが、該面積は前述し
たように適切な値に設定してあり、また大気圧の変動幅
はごく小さいので、軸受７．８は常に適切な押圧力でア
キシャル方向へ押圧される。

このように、本実施例にあっては、従来使用していたア
キシャル予圧付与のためのバネを使用せず、軸受押え部
劇１４に反ロータ側に向けて受圧面１６を形成するとと
もに、真空室２と隔離して設けられ常時大気が導入され
る大気室１５に該受圧面１６を臨ませている。そのため
、調整なしに常に一定の予圧を付与することができ、従
来のようなバネ荷重の調整が不要であり、かかる調整に
要する手間を省くことができる。しかも、バネが不要で
あるのでそれだけ部品点数を少なくでき、コストダウン
が可能である。

なお、本発明は前記実施例に限られないのは勿論であり
、例えば第２図に示すように、／＼ウジング２１のベー
ス２１ａの底ｖ２１　ａ　’と軸受押え部材２２との間
にベローズ２３を介設し、該°ベローズ２３によって真
空室２４から隔離して大気室２５を形成し、孔２６を介
して大気を導入するようにするとともに、前記軸受押え
部材２２の反ロータ側のへローズ２３に囲まれた面を受
圧面２７とし、該大気室２５と受圧面２７を有する軸受
押え部材２２とによって予圧付与機構２８を構成するよ
うにしたものであってもよい。なお、２９は軸受、３１
はロータ駆動軸、３２はダンパである。

また、第３図に示すように、予圧付与機構４１の軸受押
え部材４２の受圧面４３の面積は、該軸受押え部材４２
の軸受４４側の面４２ａの面積より小であってもよい。

なお、４５は／＼ウジング、４６はロータ駆動軸、４７
はダンパ、４８はシール部材、４９は大気室、５１は真
空室、５２は孔である。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可
能である。

（へ）効果以上、説明したように、本発明は、予圧付与機構をバネ
が不要でしかも予圧調整を要しなし）ものとすることに
より、アキシャル予圧の調整に要する手間を省くことが
でき、さらに、部品点数を少なくしコストダウンを図る
ことができるターボ分子ポンプを提供できるものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図、第２図は
本発明の他の実施例の要部を示す断面図、第３図は本発
明のさらに他の実施例の要部を示す断面図である。１．２」、４５・拳中ハウジング２．２４．５１争φ・真空室５．３１．４６・・拳ロータ駆動軸６や＠争ロータ７．８．２９．４４−＠―軸軸受３．２８．４１拳Φ拳予圧伺与機構１４．２２．４２・・・軸受押え部材１５．２５．４９◆φ−大気室１６．２７．４．３・・・受圧面代理人　弁理士　赤澤−博第１図

Claims

【特許請求の範囲】

真空室内に配したロータを支持するロータ駆動軸と、こ
のロータ駆動軸を回転可能に支持する軸受と、この軸受
を介して前記ロータ駆動軸を支承するハウジングと、こ
のハウジング内に設けられボｊ記軸受にアキシャル予圧
を付与する予圧付与機構とを具備してなるターボ分子ポ
ンプにおいて、Ｉｇｉｉ記予圧伺与機構を、前記真空室
から隔離させて前記ハウシング内に形成され内部に大気
圧が導入される大気室と、前記軸受に当接させて設けら
れ反ロータ側に向けて形成した受圧面を前記大気室内に
臨ませた軸受押え部材とを具備してなるも゛のにしたこ
とを特徴とするターボ分子ポンプ。