JP2000274393A - 真空排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】モータ等の発熱部を冷却するガスを吸入・排気
する機構を備え、かつ、軸受にかかるスラスト荷重が軽
減でき、駆動モータの小形化、省エネルギー運転が可能
な真空排気装置を得る。 【解決手段】円周流ポンプ部１１の最終段に連設して、
冷却ガスを吸入・排気する流路に逆向円周流ポンプ３０
を介設することにより、モータの回転によりエッチング
ガス等の排気を行うとともに、逆向円周流ポンプ３０に
より冷却ガスを吸入し、冷却ガスにより、動圧ガス軸受
１５、１６およびモータ３の発熱部を冷却し、排気を行
うことができるようにした。これにより、回転体の下面
の空間を大気圧より負圧にして運転可能となり、回転体
を上方に押し上げるスラスト力を軽減してスラスト軸受
にかかる荷重を軽減でき、スラスト軸受の小形化と、モ
ータの小形化が図れ、省エネルギー運転ができる真空排
気装置が実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アルミエッチング
プロセス等を行う半導体製造装置に主として用いられる
真空排気装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空排気装置、特に高速回転時に非接触
で回転体を軸支し得る動圧ガス軸受を用いた従来の真空
排気装置の例を図６に示す。真空排気装置９０は、図６
に示すように、ケーシング７０と、外周に複数の回転翼
である円周流ポンプ８１を周設してなるロータ６１と、
このロータ６１に螺着した支持軸６２と、この支持軸６
２を回動自在に支承する非接触形のガス軸受たるジャー
ナル軸受８５、スラスト軸受８４と、この支持軸６２を
回転駆動する電動のモータ６３とを具備してなり、ロー
タ６１を起立させて使用するものである。

【０００３】ロータ６１は円筒状のものである。具体的
には、ロータ下半部６１ａは外周に円盤状の円周流ポン
プ８１が複数段設けられたものであり、上半部６１ｂは
外周面に凹凸のない円筒状のものである。しかして、中
間には竹の節のように間を仕切る円盤状の支持部材６０
が一体に形成されており、この支持部材６０に支持軸６
２を取着できるように挿通孔８２が穿設されている。円
周流ポンプ８１は、図７に示すように、その外周部８１
ａの上面に間欠的にかつ放射状に複数の切欠き溝８１ｂ
を設けることにより、切欠き溝８１ｂと隣接する切欠き
溝８１ｂとの間に、複数の羽根８１ｃを形成するように
したものである。ケーシング７０は、前記ロータ６１を
収容するロータ保持室７１と、このロータ保持室７１の
下方に連続して設けられ、支持軸６２を収容する軸受保
持室７２とを備えてなる。

【０００４】ロータ保持室７１は、ロータ６１の上方に
開口する吸入口７３と、ロータ６１の側方に開口する排
気口７４とを具備する。またその内周部であるステータ
部７５には、ロータ６１の上半部６１ｂに対応する部位
に、ねじ溝７５ａが形成されており、ロータ６１の下半
部６１ａに対応する部位に、円周流ポンプ８１の外周部
８１ａを遊嵌させうる固定溝７５ｂが周回して設けられ
ている。この固定溝７５ｂは、上向き面にＵ字状に形成
してある。一方、上方の逆Ｕ字状溝７５ｃは、逆向きに
Ｕ字状に形成してあり、図８に示すように周回するもの
ではなく、一部には設けられていない。しかして、この
逆Ｕ字状溝７５ｃにおけるロータ６１の回転方向の始端
部７５ｄには、上段の固定溝７５ｃへ貫通する貫通口７
５ｅが穿設されており、この貫通口７５ｅからロータ６
１の回転により、被圧縮ガスを吸入圧縮し、次段に通じ
る終端部７５ｆに導く。同様の吸入圧縮が複数段の円周
流ポンプ部８０で行われる。

【０００５】軸受保持室７２には、その下端部に後述す
るモータ６３を配設するためのモータ配設部７７と、こ
のモータ配設部７７の上方に後述するスラスト軸受８４
を配設するためのスラスト軸受配設部７６とを設けてい
る。さらに、下端からは外部接続経路６６を延出し、ケ
ーシング７０の外面に開口し、冷却ガスを導入する外部
ポート６７に連通させている。支持軸６２は、その一端
側である上部６２ａにおねじ部６４を一体に突出させた
もので、このおねじ部６４を支持部材６０に貫通させた
挿通孔８２に貫通させ、突出部分にナット６５を螺着す
ることによりロータ６１に取着している。一方他端側で
ある下部６２ｂ近傍には円板体８３を一体に固設してい
る。

【０００６】軸受は、つぎに記述する２種類の動圧ガス
軸受からなる。ジャーナル方向に作用する負荷に対して
支持軸６２を軸支するジャーナル軸受８５と、スラスト
方向に作用する負荷に対して支持軸６２を支承するスラ
スト軸受８４とから構成している。ジャーナル軸受８５
は、支持軸６２の上方よりおよび下方よりの２ケ所に配
設したもので、たとえば、矩形状の薄板を丸めて形成す
るとともにその一端を軸受保持室７２の内壁面に支持さ
せ、支持軸６２の周囲に配置したジャーナル支持板８６
と、このジャーナル支持板８６の外方に周設され、その
一端を軸受保持室７２の内壁面に支持させ、ジャーナル
支持板８６を内方に弾性付勢して支持軸６２に押接させ
る複数の板ばね８７とから構成したものである。スラス
ト軸受８４は、円板体８３の上下にそれぞれ配設したリ
ング状のスラスト支持板８８と、スラスト支持板８８を
弾性付勢して円板体８３に押接させるリング状の板ばね
８９とから構成している。そして、支持軸６２が静止も
しくは一定回転数以下の場合には、ジャーナル支持板８
６とスラスト支持板８８とを前記板ばね８７、８９の弾
性付勢力により支持軸６２に近接もしくは密着させ、支
持軸６２を支承するとともに、一定回転数以上になると
支持軸６２の回転により支持軸６２の回りのガスが、支
持軸６２とジャーナル支持板８６とスラスト支持板８８
の間に巻き込まれることにより、支持軸６２の周囲およ
び円板体８３の上下面にくさび状勾配を持つ動圧を発生
させ、この動圧によりジャーナル支持板８６およびスラ
スト支持板８８を後退させて気体膜を形成し、この気体
膜を介して支持軸６２を非接触に支持する機能を有する
ものである。なお、この動圧ガス軸受であるスラスト軸
受８４、ジャーナル軸受８５に供給する冷却ガス（たと
えば窒素ガス）は、外部ポート６７から外部接続経路６
６を介して供給している。

【０００７】モータ６３は、支持軸６２と、その外径を
略等しく設定され、支持軸６２の外周面６２ｃより突出
しないように内蔵させた回転子６３ａと、回転子６３ａ
の周囲においてモータ配設部７７に配設した固定子６３
ｂとを有してなる例えばＤＣブラッシレス式のものであ
り、直接的に支持軸６２を駆動させるものである。本実
施例ではモータ６３の駆動源として図示しないインバー
タを用いており、このインバータによって、モータ６３
を、任意の回転数で回転させるように構成している。こ
のように構成した真空排気装置９０は、ロータ６１をモ
ータ６３により回転させることにより、例えば半導体製
造装置のチャンバー内におけるエッチングガス等を、吸
入口７３から吸入し、ねじ溝７５ａに沿って下方に移動
させる。しかしてこの作用は、分子流領域から遷移流領
域で行われるものであり、このねじ溝７５ａの設けられ
たねじ形ポンプ部は遠心圧縮ポンプとして機能する。そ
して、このねじ形ポンプ部６９で圧縮され、ねじ溝７５
ａの最下段まで導かれたエッチングガス等を、次に、流
路７５ｇを経由して、円周流ポンプ８１の回転で前記固
定溝７５ｂに導き、具体的には固定溝７５ｂに設けられ
た前記逆Ｕ字状溝７５ｃに沿って移動させる。円周流ポ
ンプ８１の回転方向に沿って移動し圧縮されたエッチン
グガス等は、この逆Ｕ字状溝７５ｃの始端部７５ｄの貫
通孔７５ｅから吸入して、回転方向の終端部７５ｆから
下段に通じる貫通孔を介して次段（下段）の固定溝７５
ｂに流入し、再び同様の動作で各段において圧縮されつ
つ次々下段の固定溝７５ｂに移動されることになる。そ
して、最終段の固定溝７５ｂから排気口７４を介してケ
ーシング７０の外部に排出される。しかしてこの作用は
粘性流領域で行われるものであり、この円周流ポンプ８
１の設けられた部分は円周圧縮ポンプとして機能する。

【０００８】一方、前記モータ６３および２種類の動圧
ガス軸受８４、８５は作動中発熱を伴うので十分安全に
運転可能とするため、冷却手段が必要となる。このた
め、外部ポート６７を図示してない冷却ガス源（たとえ
ば窒素ガスタンク）に管路で接続し、外部ポート６７か
ら冷却ガスを導入し、その冷却ガスを、モータ配設部７
７、スラスト軸受配設部７６、軸受保持室７２、冷却ガ
ス流路６８を経て排気口７４からケーシング７０の外部
に排出するようにしている。しかして、この冷却ガスに
より、前記の発熱部を冷却し、安全に運転できるように
するためには、十分に冷却可能な流量を確保する必要が
あり、冷却ガスは加圧されたガス源から供給する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空排気装置は
以上のように構成されているが、発熱するモータや動圧
ガス軸受けを冷却するために冷却ガス（例えば窒素ガ
ス）を外部から導入して冷却を行い排気口から排出して
いた。ロータを駆動するモータは、作動時、固定子と回
転子それぞれに損失が生じ発熱する。固定子の損失によ
る発熱は、ハウジングに水冷ジャケットなどの冷却手段
を配設することにより温度上昇を押さえる対策が取られ
るが、回転子の損失による発熱は、回転子の温度上昇に
よる破損を避けるため、冷却ガスを導入して積極的に冷
却する必要がある。また動圧ガス軸受けも導入された冷
却ガスに対して圧縮仕事をして発生した動圧を用いて支
持軸を軸支するため仕事をして発熱する。発熱部を冷却
して排気口から排出されるガスの圧力は大気圧であり、
冷却に必要な流量を確保するためには、外部ポートから
導入される冷却ガスは、大気圧よりガス流路の圧損をま
かなうだけ加圧する必要がある。吸入口が真空であるた
め、加圧された冷却ガスはロータや支持軸からなる回転
体を約１気圧で上方に押し上げるためスラスト軸受の負
荷が増大し、スラスト軸受はそのスラストに耐える容量
を確保する必要がある。大きなスラストに対抗する軸受
けは、大きな駆動動力を必要とするため、出力の大きな
モータを必要とし、軸受けの損失および発熱も大きくな
るため冷却負荷が増大し、冷却に必要となる冷却ガスの
流量も増大し、排気口７４までの圧損も増大して軸受け
にかかるスラスト力も増大する。

【００１０】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、冷却ガス流路が、大気圧より負圧になる
ようにしてスラスト軸受にかかるスラストを軽減するこ
とができる真空排気装置を提供することを目的とする。

【００１１】さらに、上記真空排気装置において、モー
タの負荷を適正に抑えるため、冷却ガスの吸引・排気用
の円周流ポンプの仕事を適正化する必要があり、適正な
冷却流量を確保するため調整ができるようにした真空排
気装置を提供することを目的とする。

【００１２】さらに、上記真空排気装置において、導入
する冷却ガスとして空気が使用できるようにした真空排
気装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【問題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明の真空排気装置は、ガスを吸入するための吸
入口および排気するための排気口が形成された円筒状の
ハウジングと、このハウジング内部に収容され外周部に
回転翼を複数段設け、回転自在に軸支されてなるロータ
と、このロータを回転駆動するためのモータを具備し、
前記ロータの回転による回転翼とハウジング内周部との
協働により、前記吸入口から前記ガスを吸入し、前記ロ
ータに沿ってこのガスを移動させて排気口から排気する
真空排気装置において、前記ロータの前記吸入口側と反
対の他端部に、前記ガスを圧縮する回転翼とは別の回転
翼を設けるとともに、この回転翼をハウジングに別個に
穿設されたガス導入口から導入されモータを冷却する冷
却ガスの流路に介設し、モータを冷却するガスを吸気す
るとともに、冷却したガスを前記排気口に排出し、冷却
ガス流路が、大気圧より負圧になるようにして、スラス
ト軸受にかかるスラストを軽減できることを特徴とす
る。

【００１４】さらに、上記冷却ガス導入口に配設する管
路に、圧力調整弁を具備し、被冷却室内を調圧し、適正
な冷却流量を確保し、かつ冷却ガスの吸引・排気用の円
周流ポンプの仕事を適正化し、モータの負荷を適正に抑
えることができるようにしたことを特徴とする。さら
に、上記冷却ガス導入口に配設する管路に、圧力調整
弁、フィルタおよび除湿機構を具備したことにより、導
入する冷却ガスとして空気が使用できるようにしたこと
を特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明が提供する真空排
気装置の実施例を示す構成図である。真空排気装置５０
は、図１に示すように、ケーシング４と、外周に複数の
回転翼である円周流ポンプ１１を周設してなるロータ１
と、このロータ１に螺着した支持軸２と、この支持軸２
を回動自在に支承する非接触形のガス軸受たるジャーナ
ル軸受１５とスラスト軸受１６、この支持軸２を回転駆
動するモータ３とを具備してなり、ロータ１を起立させ
て使用するものである。ロータ１は円筒状のものであ
る。具体的には、下半部１ａは外周に円盤状の円周流ポ
ンプ１１が複数段設けられたものであり、上半部１ｂは
外周面に凹凸のない円筒状のものである。しかして、中
間には竹の節のように間を仕切る円盤状の支持部材１２
が一体に形成されており、この支持部材１２に支持軸２
を取着できるように挿通孔１３が穿設されている。円周
流ポンプ１１は、図２に示すように、その外周部１１ａ
の上面に間欠的にかつ放射状に複数の切欠き溝１１ｂを
設けることにより、切欠き溝１１ｂと隣接する切欠き溝
１１ｂとの間に、複数の羽根１１ｃを形成するようにし
たものである。

【００１６】ケーシング４は、前記ロータ１を収容する
ロータ保持室４１と、このロータ保持室４１の下方に連
続して設けられ、支持軸２を収容する軸受保持室４２と
を備えてなる。ロータ保持室４１は、ロータ１の上方に
開口する吸入口４３と、ロータ１の側方に開口する排気
口４４とを具備する。またその内周部であるステータ部
４５には、ロータ１の上半部１ｂに対応する部位に、ね
じ溝４５ａが形成されており、ロータ１の下半部１ａに
対応する部位に、円周流ポンプ１１の外周部１１ａを遊
嵌させうる固定溝４５ｂが周回して設けられている。こ
の固定溝４５ｂは、上向き面にＵ字状に形成してある。
一方、上方の逆Ｕ字状溝４５ｃは、逆向きにＵ字状に形
成してあり、図３に示すように周回するものではなく、
一部には設けられていない。しかして、この逆Ｕ字状溝
４５ｃにおけるロータ１の回転方向の始端部４５ｄに
は、上段の固定溝４５ｃへ貫通する貫通口４５ｅが穿設
されており、この貫通口４５ｅからロータ１の回転によ
り、被圧縮ガスを吸入圧縮し、次段に通じる終端部４５
ｆに導く。同様の吸入圧縮が複数段の円周流ポンプ部２
１で行われる。

【００１７】軸受保持室４２には、その下端部に後述す
るモータ３を配設するためのモータ配設部４７と、この
モータ配設部４７の上方に後述するスラスト軸受１６を
配設するためのスラスト軸受配設部４６とを設けてい
る。さらに、下端からは外部接続経路６を延出し、ケー
シング４の外面に開口し、冷却ガスを導入する外部ポー
ト７に連通させている。支持軸２は、その一端側である
上部２ａにおねじ部９を一体に突出させたもので、この
おねじ部９を支持部材１２に貫通させた挿通孔１３に貫
通させ、突出部分にナット１０を螺着することによりロ
ータ１に取着している。一方他端側である下部２ｂ近傍
には円板体１４を一体に固設している。

【００１８】軸受は、つぎに記述する２種類の動圧ガス
軸受からなる。ジャーナル方向に作用する負荷に対して
支持軸２を軸支するジャーナル軸受１５と、スラスト方
向に作用する負荷に対して支持軸２を支承するスラスト
軸受１６とから構成している。ジャーナル軸受１５は、
支持軸２の上方よりおよび下方よりの２ケ所に配設した
もので、たとえば、矩形状の薄板を丸めて形成するとと
もにその一端を軸受保持室４２の内壁面に支持させ、支
持軸２の周囲に配置したジャーナル支持板１７と、この
ジャーナル支持板１７の外方に周設され、その一端を軸
受保持室４２の内壁面に支持させ、ジャーナル支持板１
７を内方に弾性付勢して支持軸２に押接させる複数の板
ばね１８とから構成したものである。スラスト軸受１６
は、円板体１４の上下にそれぞれ配設したリング状のス
ラスト支持板１９と、スラスト支持板１９を弾性付勢し
て円板体１４に押接させるリング状の板ばね２０とから
構成している。そして、支持軸２が静止もしくは一定回
転数以下の場合には、ジャーナル支持板１７とスラスト
支持板１９とを前記板ばね１８、２０の弾性付勢力によ
り支持軸２と円板体１４に近接もしくは密着させ、支持
軸２を支承するとともに、一定回転数以上になると支持
軸２の回転により支持軸２の回りのガスが、支持軸２と
ジャーナル支持板１７とスラスト支持板１９の間に巻き
込まれることにより、支持軸２の周囲および円板体１４
の上下面にくさび状勾配を持つ動圧を発生させ、この動
圧によりジャーナル支持板１７およびスラスト支持板１
９を後退させて気体膜を形成し、この気体膜を介して支
持軸２を非接触に支持する機能を有するものである。な
お、この動圧ガス軸受であるジャーナル軸受１５、スラ
スト軸受１６に供給する冷却ガス（たとえば窒素ガス）
は、図示しない冷却ガス源から外部ポート７まで管路を
介設し、外部接続経路６を介して供給している。

【００１９】モータ３は、支持軸２と、その外径を略等
しく設定され支持軸２の外周面２ｃより突出しないよう
に内蔵させた回転子３ａと、回転子３ａの周囲において
モータ配設部４７に配設した固定子３ｂとを有してなる
例えばＤＣブラシレス式のものであり、直接的に支持軸
２を駆動させるものである。本実施例ではモータ３の駆
動源として図示しないインバータを用いており、このイ
ンバータによって、モータ３を、任意の回転数で回転さ
せるように構成している。

【００２０】このように構成した真空排気装置５０は、
ロータ１をモータ３により回転させることにより、例え
ば半導体製造装置のチャンバー内におけるエッチングガ
ス等を、吸入口４３から吸入し、ねじ溝４５ａに沿って
下方に移動させる。しかしてこの作用は、分子流領域か
ら遷移流領域で行われるものであり、このねじ溝４５ａ
の設けられたねじ形ポンプ部２２は遠心圧縮ポンプとし
て機能する。そして、このねじ形ポンプ部２２で圧縮さ
れ、ねじ溝４５ａの最下段まで導かれたエッチングガス
等を、次に、流路４５ｇを経由して、円周流ポンプ１１
の回転で前記固定溝４５ｂに導き、具体的には固定溝４
５ｂに設けられた前記逆Ｕ字状溝４５ｃに沿って移動さ
せる。円周流ポンプ１１の回転方向に沿って移動し圧縮
されたエッチングガス等は、この逆Ｕ字状溝４５ｃの始
端部４５ｄの貫通孔４５ｅから吸入して、回転方向の終
端部４５ｆから下段に通じる貫通孔を介して次段（下
段）の固定溝４５ｂに流入し、再び同様の動作で各段に
おいて圧縮されつつ次々下段の固定溝４５ｂに移動され
ることになる。そして、最終段の固定溝４５ｂから排気
口４４を介してハウジング４の外部に排出される。しか
してこの作用は粘性流領域で行われるものであり、この
円周流ポンプ１１の設けられた部分は円周圧縮ポンプと
して機能する。

【００２１】上記の円周流ポンプ１１の最下段には、最
下段の円周流ポンプ１１と背中合わせに逆向円周流ポン
プ３０の翼車が形成されており、この逆向円周流ポンプ
３０は外部ポート７から導入された冷却ガスの流路に配
設されている。逆向円周流ポンプ３０の回転により冷却
ガスは、外部ポート７から吸引により導入され、支持軸
２を支承する動圧ガス軸受であるジャーナル軸受１５
と、スラスト軸受１６との動圧生成源のガスとなり、か
つモータ３とジャーナル軸受１５とスラスト軸受１６の
発熱部を冷却して逆向円周流ポンプ３０で大気圧まで圧
縮されて排気口４４から排気される。このような円周流
ポンプ３０により冷却ガスを導入、排気する構成によ
り、冷却ガスは加圧する必要がないばかりか、軸受保持
室４２や冷却ガス流路８は負圧となる。かくして冷却ガ
ス圧によりロータ１を上方に押し上げるスラスト力は、
加圧する場合に比べ軽減されスラスト軸受１６の負荷が
軽減される。これによりモータ３の負荷が軽減されるこ
ととなり、モータの小形化が図れ、かつ発熱も軽減され
るので、省エネルギー化も実現する真空排気装置が実現
できる。図４は、上記真空排気装置５０の外部ポート７
に、冷却ガス源５２から冷却ガスを導入する管路を接続
し、その管路にに圧力調整弁５１を介設してなる真空排
気装置の構成の例を示す。図４では、真空排気装置５０
のガスの入り口、すなわち吸入口４３と外部ポート７お
よび出口、すなわち排気口４４以外は省略して示してい
る。冷却ガスの導入管路に配設した圧力調整弁５１を、
発熱部の冷却に必要な適正な流量の冷却ガス及び圧力損
失が確保できるように調整することにより、軸受保持室
４２等は負圧となり、冷却ガスの吸引・排気用の逆向き
円周流ポンプ３０の仕事を適正化することができ、モー
タの負荷を適正に抑えることができる。

【００２２】図５は、上記真空排気装置５０の外部ポー
ト７に、冷却ガスの代わりに大気をを導入する管路を接
続し、その管路にフィルタ５３、除湿機構５４、圧力調
整弁５１を配設してなる真空排気装置の構成の例を示
す。図５では、真空排気装置５０のガスの入り口、すな
わち吸入口４３と外部ポート７および出口、すなわち排
気口４４以外は省略して示している。このような構成に
より、大気を導入し、空気中の塵埃をフィルタ５３で除
去し、さらに、除湿機構５３により空気中の水分を除
き、前記したように圧力調整弁５１で適正な流量となる
よう調圧することにより、冷却ガスとして空気を使用で
きるようになり、（たとえば窒素ガスなどの）特別な冷
却ガスを必要としない真空排気装置を提供することがで
きる。以上の説明においては、回転体を構成するロータ
１と一体になった支持軸２を支承する軸受に動圧ガス軸
受１５、１６を用いた例をあげて説明したが、転がり軸
受を用いた真空排気装置であっても、上記と同様にエッ
チングガス等の排気用の翼車の背面を負圧にするための
翼車をロータの一部に介設し、軸受室内のガスを排気す
ることにより、軸受に負荷されるスラスト力を軽減で
き、軸受の寿命を延ばすことができる。また、回転体の
終端に介設する翼車を円周流ポンプの例で示したが、遠
心ポンプなど他の翼車を用いてもよい。さらに、冷却ガ
スの排気口と真空圧縮ガスの排気口を共通にしているが
シールを行うことにより分離しても良い。

【００２３】

【発明の効果】本発明の真空排気装置は上記のように構
成されており、円周流ポンプの最終段に続いて翼車を連
設し、該翼車により冷却ガスを真空排気装置内に吸入
し、発熱部を冷却した後、排気口に排出することによ
り、回転体の下面の空間を大気圧より負圧にして運転可
能となり、回転体を上方に押し上げるスラスト力を軽減
でき、スラスト軸受にかかる荷重が軽減でき、スラスト
軸受の小形化と、モータの小形化が図れ、省エネルギー
形の真空排気装置が実現できる。さらに、冷却ガス導入
路の管路に圧力調整弁を配設し、冷却ガスの流量を適正
な値に調整することにより、省エネルギ運転ができる。
さらに、冷却ガスの流路に、圧力調整弁に加えて、フィ
ルタと除湿機構を追加することにより、特別な冷却ガス
を必要とせず、大気を取り込んで冷却することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる真空排気装置の一実施例の構成
を示す図である。

【図２】図１におけるロータのＡ−Ａ線断面図である。

【図３】図１におけるケーシングのＢ−Ｂ線断面図であ
る。

【図４】本発明の請求項２に係わる真空排気装置の構成
を示す図である。

【図５】本発明の請求項３に係わる真空排気装置の構成
を示す図である。

【図６】従来の真空排気装置の構成を示す図である。

【図７】図６におけるロータのＡ−Ａ線断面図である。

【図８】図６におけるケーシングのＢ−Ｂ線断面図であ
る。

【符号の説明】

１・・・・ロータ １ａ・・・・下半部 １ｂ・・・・上半部 １ｃ・・・・内周面 ２・・・・支持軸 ２ａ・・・・上部 ２ｂ・・・・下部 ２ｃ・・・・外周面 ３・・・・モータ ３ａ・・・・回転子 ３ｂ・・・・固定子 ４・・・・ケーシング ６・・・・外部接続経路 ７・・・・外部ポート ８・・・・冷却ガス流路 ９・・・・おねじ部 １０・・・・ナット １１・・・・円周流ポ
ンプ １１ａ・・・・外周部 １１ｂ・・・・切欠き
溝 １１ｃ・・・・羽根 １２・・・・支持部材 １３・・・・挿通孔 １４・・・・円板体 １５・・・・ジャーナル軸受 １６・・・・スラスト
軸受 １７・・・・ジャーナル支持板 １８、２０・・・・板
ばね １９・・・・スラスト支持板 ２１・・・・円周流ポ
ンプ部 ２２・・・・ねじ形ポンプ部 ３０・・・・逆向円周
流ポンプ ４１・・・・ロータ保持室 ４２・・・・軸受保持
室 ４３・・・・吸入口 ４４・・・・排気口 ４５・・・・ステータ部 ４５ａ・・・・ねじ溝 ４５ｂ・・・・固定溝 ４５ｃ・・・・逆Ｕ字
状溝 ４５ｄ・・・・端部 ４５ｅ・・・・貫通孔 ４５ｆ・・・・終端部 ４５ｇ・・・・流路 ４６・・・・スラスト軸受配設部 ４７・・・・モータ配
設部 ５０・・・・真空排気装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ガスを吸入するための吸入口および排気す
   るための排気口が形成された円筒状のハウジングと、こ
   のハウジング内部に収容され外周部に回転翼を複数段設
   け、回転自在に軸支されてなるロータと、このロータを
   回転駆動するためのモータを具備し、前記ロータの回転
   による回転翼とハウジング内周部との協働により、前記
   吸入口から前記ガスを吸入し、前記ロータに沿ってこの
   ガスを移動させて排気口から排気する真空排気装置にお
   いて、前記ロータの前記吸入口側と反対の他端部に、前
   記ガスを圧縮する回転翼とは別の回転翼を設けるととも
   に、この回転翼をハウジングに別個に穿設されたガス導
   入口から導入されモータを冷却する冷却ガスの流路に介
   設し、モータを冷却するガスを吸気するとともに、冷却
   したガスを前記排気口に排出するようにしたことを特徴
   とする真空排気装置。
2. 【請求項２】上記冷却ガス導入口に配設した冷却ガスの
   流路となる管路に、圧力調整弁を介設したことを特徴と
   する請求項１記載の真空排気装置。
3. 【請求項３】上記冷却ガス導入口に配設した冷却ガスの
   流路となる管路に、圧力調整弁、フィルタおよび除湿機
   構を具備したことを特徴とする請求項１記載の真空排気
   装置。