JPH0915165A - 特徴点抽出装置 - Google Patents

特徴点抽出装置

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JPH0915165A
JPH0915165A JP7163196A JP16319695A JPH0915165A JP H0915165 A JPH0915165 A JP H0915165A JP 7163196 A JP7163196 A JP 7163196A JP 16319695 A JP16319695 A JP 16319695A JP H0915165 A JPH0915165 A JP H0915165A
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JP7163196A
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English (en)
Inventor
Shunichi Nojima
俊一 野島
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Asia Electronics Co
Original Assignee
Asia Electronics Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】濃度のばらつきをもつ背景画像の中から特徴点
のみを抽出する。 【構成】カメラ14を用いて、ICパッケ−ジ15の表
面を単一色の濃度の濃淡で表すと、一定の濃度のばらつ
きを有する背景画像と背景画像の濃度に対して極端に異
なる濃度を有する特徴点が得られる。そこで、背景画像
の各画素の濃度の平均値AVE及び背景画像の各画素の
濃度の平均値AVEからのばらつき量STD(標準偏差
σ×補正量n)を算出する。そして、濃度値が平均値A
VEからばらつき量STDを引いた値よりも小さい画
素、及び濃度値が平均値AVEにばらつき量STDを加
えた値よりも大きい画素を最大濃度(255)とし、そ
の他の画素を最小濃度(0)とする2値化を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、画像処理技術に関す
る。
【0002】
【従来の技術】製品の検査は、その製品に対する顧客の
信頼性を得るために重要である。例えば、ICパッケ−
ジの表面のボイドや汚れなどの検査、ICリ−ドのバ
リ、ヒゲや異物などの検査、金属板の塗装後の傷や色む
らなどの検査、及び紙や金属板のピンホ−ルの検査など
は、製品を出荷する前に行うことが必要不可欠な工程で
ある。
【0003】これら検査の対象となる製品は、単一色を
有している。従って、この製品をカメラにより単一色の
濃淡画像で表すと、一定の濃度のばらつきを有する背景
画像と背景画像の濃度に対して極端に異なる濃度を有す
る特徴点(欠陥部分)に分離される。
【0004】そこで、従来、これら製品の検査には、主
として画像処理技術が利用されている。以下、ICパッ
ケ−ジの表面の検査を例にとって、従来の技術について
説明する。
【0005】図16は、特徴点抽出装置の全体図を示す
ものである。図17は、図18の特徴点抽出装置を用い
て特徴点の抽出(製品の検査)を行う場合の工程の流れ
を概略的に示すものである。
【0006】11は、画像デ−タを記憶する画像メモリ
部である。12は、画像メモリ部11のデ−タについて
所定の処理を行う処理部である。13は、画像メモリ部
11及び処理部12の動作を制御する制御部である。1
4は、画像デ−タを画像メモリ部11に取り込むための
カメラである。
【0007】カメラ14は、CCDカメラ、ビデオカメ
ラ及びデジタルカメラのいずれであってもよい。次に、
特徴点抽出装置を用いて特徴点の抽出を行う場合の工程
の流れについて説明する。
【0008】この特徴点抽出装置は、ほぼ均一な濃度を
有する背景画像の中から背景画像の濃度に対して極端に
濃度が異なる点(特徴点)を抽出する。なお、前提とし
て、画像デ−タは、N画素×M画素から構成され、各画
素は、8ビット(0〜255)の単一色の濃淡で表され
ると仮定する。
【0009】まず、カメラ14により、ICパッケ−ジ
15の表面の画像を取り込み、画像デ−タとして画像メ
モリAに記憶する。次に、画像メモリAの画像デ−タを
取り出し、処理部において画像デ−タの2値化処理を行
う。なお、2値化処理とは、以下のようなものである。
【0010】濃度と画素数の関係を示す濃度ヒストグラ
ムを作成する(図18参照)。この濃度ヒストグラムで
は、背景画像(ICパッケ−ジの表面)を表す画素が大
部分を占める。また、背景画像の濃度と画素数の関係
は、正規分布に近い形となっている。つまり、背景画像
の濃度は、ばらつきを有している。
【0011】一方、ICパッケ−ジの表面にボイドや汚
れなどが存在する場合、そのボイドや汚れなどは、背景
画像の濃度に対して極端に濃い濃度又は淡い濃度を有す
る特徴点となる。従って、背景画像の濃度と画素数の関
係を表す分布(正規分布)に加えて、この分布の一端又
は両端には、特徴点を示す膨らみが形成される。
【0012】そこで、背景画像の膨らみと特徴点の膨ら
みの間のくびれ部分に2値化レベル(しきい値)X1又
はX2を設定する。例えば、ICパッケ−ジの表面の明
るい欠陥(特徴点)を検出する場合には、2値化レベル
は、くびれ部分X1に設定すればよく、また、ICパッ
ケ−ジの表面の暗い欠陥(特徴点)を検出する場合に
は、2値化レベルは、くびれ部分X2に設定すればよ
い。
【0013】2値化レベルをX2に設定した場合、IC
パッケ−ジの表面の暗い欠陥(特徴点)は、濃度255
となり、その他の背景画像及び明るい欠陥は、濃度0と
なる(図19を参照)。また、2値化レベルをX1に設
定した場合、ICパッケ−ジの表面の明るい欠陥(特徴
点)は、濃度0となり、その他の背景画像及び暗い欠陥
は、濃度255となる(図20を参照)。
【0014】従って、上述の2値化処理が施された画像
デ−タを画像メモリBに記憶した後、濃度0又は濃度2
55のいずれか一方を抽出することにより、背景画像か
ら特徴点のみを抽出することができる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】従来の画像処理技術で
は、上述のように、カメラ14により画像メモリAに取
り込んだ画像デ−タそのものについて2値化処理を行っ
ている。しかし、背景画像の濃度は、実際は均一ではな
く、多少のばらつきを含んでいる。また、背景画像と特
徴点を区分けする2値化レベルは、固定点であり、濃度
のばらつきを考慮せずに決定されている。
【0016】従って、図21及び図22に示すように、
上述の2値化処理により抽出された特徴点には、背景画
像の濃度のばらつきに起因するノイズが含まれている。
つまり、上述の画像処理技術では、ノイズが特徴点とし
て認識されないように、さらにノイズを除去する処理が
必要になる。
【0017】また、上述の画像処理技術では、2値化レ
ベルが一箇所のみであるから、明るい欠陥及び暗い欠陥
のいずれか一方しか抽出することができない。即ち、上
述の画像処理技術では、さらに、抽出したい特徴点が明
るい欠陥であるのか、又は暗い欠陥であるのかを判定す
るための特徴点の判定処理が必要になる。
【0018】このように、従来は、画像デ−タの2値化
処理後にノイズを除去する処理及び特徴点の判定処理が
必要となり、検査時間の増加及びコストの増大が生じる
欠点がある。
【0019】本発明は、上記欠点を解決すべくなされた
もので、その目的は、ある程度のばらつきをもつ濃度分
布を有する背景画像の中から背景画像の濃度に対して極
端に異なる濃度を有する特徴点のみを確実かつ簡易に抽
出し得る特徴点抽出装置を提供することである。
【0020】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の特徴点抽出装置は、被検査物を単一色の濃
淡画像で表し、一定の濃度のばらつきを有する背景画像
と前記背景画像の濃度に対して極端に異なる濃度を有す
る特徴点を得るための手段と、前記背景画像の各画素の
濃度の平均値AVE及び前記背景画像の各画素の濃度の
平均値AVEからのばらつき量STDを算出する手段
と、濃度値が前記平均値AVEから前記ばらつき量ST
Dを引いた値よりも小さい画素、及び濃度値が前記平均
値AVEに前記ばらつき量STDを加えた値よりも大き
い画素を第一濃度とし、その他の画素を第二濃度とする
2値化を行い、前記背景画像の中から特徴点のみを抽出
する手段とを備える。
【0021】本発明の特徴点抽出装置は、被検査物を単
一色の濃淡画像で表し、一定の濃度のばらつきを有する
背景画像と前記背景画像の濃度に対して極端に異なる濃
度を有する特徴点を得るための手段と、前記背景画像の
各画素の濃度の平均値AVE及び前記背景画像の各画素
の濃度の平均値AVEからのばらつき量STDを算出す
る手段と、濃度値が前記平均値AVEから前記ばらつき
量STDを引いた値よりも小さい画素を第一濃度とし、
その他の画素を第二濃度とする2値化を行い、前記背景
画像の中から特徴点のみを抽出する手段とを備える。
【0022】本発明の特徴点抽出装置は、被検査物を単
一色の濃淡画像で表し、一定の濃度のばらつきを有する
背景画像と前記背景画像の濃度に対して極端に異なる濃
度を有する特徴点を得るための手段と、前記背景画像の
各画素の濃度の平均値AVE及び前記背景画像の各画素
の濃度の平均値AVEからのばらつき量STDを算出す
る手段と、濃度値が前記平均値AVEに前記ばらつき量
STDを加えた値よりも大きい画素を第一濃度とし、そ
の他の画素を第二濃度とする2値化を行い、前記背景画
像の中から特徴点のみを抽出する手段とを備える。
【0023】前記ばらつき量STDは、前記背景画像及
び前記特徴点の濃度の標準偏差に一定の補正を施した値
である。前記被検査物は、単一色を有している。
【0024】
【作用】上記構成の特徴点抽出装置によれば、背景画像
の各画素の濃度の平均値AVE及び背景画像の各画素の
濃度の平均値AVEからのばらつき量STDを算出して
いる。このため、平均値AVE及びばらつき量STDに
基づく2値化処理により、背景画像と特徴点を完全に分
離することができる。従って、背景画像の濃度のばらつ
きに伴うノイズが発生することがない。
【0025】また、平均値AVE及びばらつき量STD
に基づいて背景画像と特徴点を分離しているため、明る
い欠陥(特徴点)と暗い欠陥(特徴点)を同時に検査す
ることもできるし、明るい欠陥及び暗い欠陥のいずれか
一方のみを検査することもできる。
【0026】このように、上記構成の特徴点抽出装置で
は、ある程度のばらつきをもつ濃度分布を有する背景画
像の中から背景画像の濃度に対して極端に異なる濃度を
有する特徴点のみを確実かつ簡易に抽出することができ
る。
【0027】また、ばらつき量STDが背景画像及び特
徴点の濃度の標準偏差に一定の補正を施した値であれ
ば、特徴点のみを完全に絞り込むことができる。また、
被検査物が単一色を有している場合、その被検査物の特
徴点(ICパッケ−ジの場合はボイド、傷、汚れなど)
を容易に抽出できる。
【0028】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の特徴点
抽出装置について詳細に説明する。なお、以下では、I
Cパッケ−ジの表面のボイドや汚れなどを検査する場合
を例にとって説明する。
【0029】図1は、特徴点抽出装置の全体図を示すも
のである。図2は、図1の特徴点抽出装置を用いて特徴
点の抽出(製品の検査)を行う場合の工程の流れを概略
的に示すものである。
【0030】11は、画像デ−タを記憶する画像メモリ
部である。12は、画像メモリ部11のデ−タについて
所定の処理を行う処理部である。13は、画像メモリ部
11及び処理部12の動作を制御する制御部である。1
4は、画像デ−タを画像メモリ部11に取り込むための
カメラである。
【0031】カメラ14は、CCDカメラ、ビデオカメ
ラ及びデジタルカメラのいずれであってもよい。次に、
特徴点抽出装置を用いて特徴点の抽出を行う場合の工程
の流れについて説明する。
【0032】この特徴点抽出装置は、ほぼ均一な濃度を
有する背景画像の中から背景画像の濃度に対して極端に
濃度が異なる点(特徴点)を抽出する。なお、前提とし
て、画像デ−タは、N画素×M画素から構成され、各画
素は、8ビット(0〜255)の単一色の濃淡で表され
ると仮定する。
【0033】ここで、単一色とは、白黒画像から抽出し
た単一色、カラ−画像から抽出した単一色、及びカラ−
画像を加工した単一色の全てを含んでいる。まず、カメ
ラ14により、ICパッケ−ジ15の表面の画像を取り
込み、画像デ−タとして画像メモリAに記憶する。
【0034】次に、画像メモリAの画像デ−タを取り出
し、処理部において背景画像のばらつき量を算出する処
理を行う。なお、ばらつき量の算出処理は、以下のよう
にして行われる。
【0035】図3は、ばらつき量の算出処理を概略的に
示すものである。まず、濃度と画素数の関係を示す濃度
ヒストグラムを作成する。この濃度ヒストグラムでは、
背景画像(ICパッケ−ジの表面)を表す画素が大部分
を占める。また、背景画像の濃度と画素数の関係は、正
規分布に近い形となっている。つまり、背景画像の濃度
は、ばらつきを有している。背景画像(特徴点を含む)
の濃度の分布の標準偏差σを、以下の(1)式から求め
る。
【0036】
【数1】
【0037】ここで、P(x,y)は、各画素の濃度
値、AVEは、全画素の濃度の平均値、Nは、画素の総
数である。さらに、特徴点を絞り込み、背景画像のばら
つきに起因するノイズを完全になくすため、標準偏差σ
に補正係数nを乗算した値STDを背景画像のばらつき
量とする。
【0038】次に、上記ばらつき量の算出処理により求
められたばらつき量に基づいて、画像デ−タの濃度ヒス
トグラムから背景画像に関わるデ−タを除去する(ばら
つきを除去する)。
【0039】図4は、ばらつき量の除去処理を概略的に
示すものである。まず、濃度の平均値AVE及びばらつ
き量STDに基づいて濃度値A,Bを求める。
【0040】なお、濃度値Aよりも低い濃度を有する部
分は、特徴点(明)のみを表す画素であり、また、濃度
値Bよりも高い濃度を有する部分は、特徴点(暗)のみ
を表す画素である。
【0041】そこで、例えば、濃度値Aよりも低い濃度
を有する画素及び濃度値Bよりも高い濃度を有する画素
を全て濃度値255(最大値)にし、濃度値がA以上B
以下の画素は、全て濃度値0(最小値)にするような階
調変換テ−ブルを作成する。
【0042】次に、特徴点抽出処理を行う。図5は、特
徴点抽出処理前後の画像デ−タを示すものである。即
ち、ばらつき量の除去処理により求められた階調変換テ
−ブルに基づき、全画素の濃度を2値化する。
【0043】この時、 暗い欠陥(特徴点) : P(x,y)−(AVE+STD) > 0 明るい欠陥(特徴点) : (AVE−STD)−P(x,y) > 0 背景画像 : (AVE+STD)> P(x,y) > (AVE−STD) であり、明るい欠陥及び暗い欠陥は、濃度値255(最
大値)とし、背景画像は、濃度値0とする。
【0044】これにより、背景画像と特徴点が完全に分
離される。なお、図6に示すような階調変換テ−ブルを
用いてもよい。この場合、図7に示すように、濃度値A
よりも低い濃度を有する画素及び濃度値Bよりも高い濃
度を有する画素は、全て濃度値0(最小値)になり、濃
度値がA以上B以下の画素は、全て濃度値255(最大
値)になる。
【0045】上記構成の特徴点抽出装置によれば、背景
画像の濃度のばらつき量を算出し、このばらつき量に基
づいて背景画像と特徴点を完全に分離している。従っ
て、背景画像の濃度のばらつきに伴うノイズが発生しな
い。
【0046】また、背景画像の濃度のばらつき量に基づ
いて背景画像と特徴点を分離しているため、明るい欠陥
(特徴点)と暗い欠陥(特徴点)を同時に検査すること
ができる。
【0047】このように、上記構成の特徴点抽出装置で
は、ある程度のばらつきをもつ濃度分布を有する背景画
像の中から背景画像の濃度に対して極端に異なる濃度を
有する特徴点のみを確実かつ簡易に抽出することができ
る。
【0048】図8及び図9は、本発明の特徴点抽出装置
の第1変形例を示している。この特徴点抽出装置は、ば
らつき量の除去処理の構成が変形されたものである。そ
こで、以下、変形されたばらつき量の除去処理について
説明する。
【0049】まず、濃度の平均値AVE及びばらつき量
STDに基づいて濃度値A,Bを求める。なお、濃度値
Aよりも低い濃度を有する部分は、特徴点(明)のみを
表す画素であり、また、濃度値Bよりも高い濃度を有す
る部分は、特徴点(暗)のみを表す画素である。
【0050】そこで、例えば、濃度値Aよりも低い濃度
を有する画素を全て濃度値255(最大値)にし、濃度
値がA以上の画素は、全て濃度値0(最小値)にするよ
うな階調変換テ−ブルを作成する。
【0051】次に、特徴点抽出処理を行う。即ち、ばら
つき量除去処理により求められた階調変換テ−ブルに基
づき、全画素の濃度を2値化する。
【0052】この時、 明るい欠陥(特徴点) : (AVE−STD)−P(x,y) > 0 背景画像(暗い欠陥を含む): (AVE−STD)−P(x,y) ≦ 0 であり、明るい欠陥は、濃度値255(最大値)とし、
背景画像(暗い欠陥を含む)は、濃度値0とする。
【0053】これにより、背景画像と明るい欠陥(特徴
点)が完全に分離される。なお、図10に示すような階
調変換テ−ブルを用いてもよい。この場合、図11に示
すように、濃度値Aよりも低い濃度を有する画素は、全
て濃度値0(最小値)になり、濃度値がA以上の画素
は、全て濃度値255(最大値)になる。
【0054】上記構成の特徴点抽出装置によれば、背景
画像の濃度のばらつき量を算出し、このばらつき量に基
づいて背景画像と特徴点を完全に分離している。従っ
て、背景画像の濃度のばらつきに伴うノイズが発生しな
い。
【0055】また、明るい欠陥(特徴点)と暗い欠陥
(特徴点)を選択的に検査することができる。図12及
び図13は、本発明の特徴点抽出装置の第2変形例を示
している。
【0056】この特徴点抽出装置は、ばらつき量の除去
処理の構成が変形されたものである。そこで、以下、変
形されたばらつき量の除去処理について説明する。ま
ず、濃度の平均値AVE及びばらつき量STDに基づい
て濃度値A,Bを求める。
【0057】なお、濃度値Aよりも低い濃度を有する部
分は、特徴点(明)のみを表す画素であり、また、濃度
値Bよりも高い濃度を有する部分は、特徴点(暗)のみ
を表す画素である。
【0058】そこで、例えば、濃度値B以下の画素を全
て濃度値0(最小値)にし、濃度値がBを越える画素
は、全て濃度値255(最大値)にするような階調変換
テ−ブルを作成する。
【0059】次に、特徴点抽出処理を行う。即ち、ばら
つき量除去処理により求められた階調変換テ−ブルに基
づき、全画素の濃度を2値化する。
【0060】この時、 暗い欠陥(特徴点) : P(x,y)−(AVE+STD) > 0 背景画像(明るい欠陥を含む): P(x,y)−(AVE+STD) ≦ 0 であり、暗い欠陥は、濃度値255(最大値)とし、背
景画像(明るい欠陥を含む)は、濃度値0とする。
【0061】これにより、背景画像と暗い欠陥(特徴
点)が完全に分離される。なお、図14に示すような階
調変換テ−ブルを用いてもよい。この場合、図15に示
すように、濃度値Bよりも高い濃度を有する画素は、全
て濃度値0(最小値)になり、濃度値がB以下の画素
は、全て濃度値255(最大値)になる。
【0062】上記構成の特徴点抽出装置によれば、背景
画像の濃度のばらつき量を算出し、このばらつき量に基
づいて背景画像と特徴点を完全に分離している。従っ
て、背景画像の濃度のばらつきに伴うノイズが発生しな
い。
【0063】また、明るい欠陥(特徴点)と暗い欠陥
(特徴点)を選択的に検査することができる。なお、本
発明は、カラ−画像処理などのように数種類のデ−タ成
分(例えば、R,G,B)を有する場合であっても、各
々のデ−タ成分の特徴点を抽出する場合に適用できる。
【0064】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の特徴点
抽出装置によれば、次のような効果を奏する。背景画像
の濃度のばらつき量STD(=標準偏差σ×補正量n)
を算出し、このばらつき量STDに基づいて背景画像と
特徴点を完全に分離している。従って、背景画像の濃度
のばらつきに伴うノイズが発生しない。
【0065】また、背景画像の濃度のばらつき量STD
に基づいて背景画像と特徴点を分離しているため、明る
い欠陥(特徴点)と暗い欠陥(特徴点)を同時に検査す
ることができる。
【0066】このように、上記構成の特徴点抽出装置で
は、ある程度のばらつきをもつ濃度分布を有する背景画
像の中から背景画像の濃度に対して極端に異なる濃度を
有する特徴点のみを確実かつ簡易に抽出することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の特徴点抽出装置の全体を示すブロック
図。
【図2】図1の装置の動作を概略的に示す図。
【図3】本発明のばらつき量の抽出処理を詳細に示す
図。
【図4】本発明のばらつき量の除去処理を詳細に示す
図。
【図5】特徴点抽出処理の前後における画像デ−タを示
す図。
【図6】本発明のばらつき量の除去処理を詳細に示す
図。
【図7】特徴点抽出処理の前後における画像デ−タを示
す図。
【図8】本発明のばらつき量の除去処理の第1変形例を
示す図。
【図9】特徴点抽出処理の前後における画像デ−タを示
す図。
【図10】本発明のばらつき量の除去処理の第1変形例
を示す図。
【図11】特徴点抽出処理の前後における画像デ−タを
示す図。
【図12】本発明のばらつき量の除去処理の第2変形例
を示す図。
【図13】特徴点抽出処理の前後における画像デ−タを
示す図。
【図14】本発明のばらつき量の除去処理の第2変形例
を示す図。
【図15】特徴点抽出処理の前後における画像デ−タを
示す図。
【図16】従来の特徴点抽出装置の全体を示すブロック
図。
【図17】図16の装置の動作を概略的に示す図。
【図18】画像デ−タの濃度と画素数の関係を示す図。
【図19】従来の画像処理技術の2値化前後の濃度の関
係を示す図。
【図20】従来の画像処理技術の2値化前後の濃度の関
係を示す図。
【図21】従来の画像デ−タの変化の様子を示す図。
【図22】従来の画像デ−タの変化の様子を示す図。
【符号の説明】
11 …画像メモリ部、 12 …処理部、 13 …制御部、 14 …カメラ、 15 …ICパッケ−ジ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査物を単一色の濃淡画像で表し、一
    定の濃度のばらつきを有する背景画像と前記背景画像の
    濃度に対して極端に異なる濃度を有する特徴点を得るた
    めの手段と、 前記背景画像の各画素の濃度の平均値AVE及び前記背
    景画像の各画素の濃度の平均値AVEからのばらつき量
    STDを算出する手段と、 濃度値が前記平均値AVEから前記ばらつき量STDを
    引いた値よりも小さい画素、及び濃度値が前記平均値A
    VEに前記ばらつき量STDを加えた値よりも大きい画
    素を第一濃度とし、その他の画素を第二濃度とする2値
    化を行い、前記背景画像の中から特徴点のみを抽出する
    手段とを具備することを特徴とする特徴点抽出装置。
  2. 【請求項2】 被検査物を単一色の濃淡画像で表し、一
    定の濃度のばらつきを有する背景画像と前記背景画像の
    濃度に対して極端に異なる濃度を有する特徴点を得るた
    めの手段と、 前記背景画像の各画素の濃度の平均値AVE及び前記背
    景画像の各画素の濃度の平均値AVEからのばらつき量
    STDを算出する手段と、 濃度値が前記平均値AVEから前記ばらつき量STDを
    引いた値よりも小さい画素を第一濃度とし、その他の画
    素を第二濃度とする2値化を行い、前記背景画像の中か
    ら特徴点のみを抽出する手段とを具備することを特徴と
    する特徴点抽出装置。
  3. 【請求項3】 被検査物を単一色の濃淡画像で表し、一
    定の濃度のばらつきを有する背景画像と前記背景画像の
    濃度に対して極端に異なる濃度を有する特徴点を得るた
    めの手段と、 前記背景画像の各画素の濃度の平均値AVE及び前記背
    景画像の各画素の濃度の平均値AVEからのばらつき量
    STDを算出する手段と、 濃度値が前記平均値AVEに前記ばらつき量STDを加
    えた値よりも大きい画素を第一濃度とし、その他の画素
    を第二濃度とする2値化を行い、前記背景画像の中から
    特徴点のみを抽出する手段とを具備することを特徴とす
    る特徴点抽出装置。
  4. 【請求項4】 前記ばらつき量STDは、前記背景画像
    及び前記特徴点の濃度の標準偏差に一定の補正を施した
    値であることを特徴とする請求項1又は2又は3に記載
    の特徴点抽出装置。
  5. 【請求項5】 前記被検査物は、単一色を有しているこ
    とを特徴とする請求項1又は2又は3に記載の特徴点抽
    出装置。
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