JPH09148392A - ウエハ観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウエハの搬送時間の短縮を計ることを課題とす
る。 【解決手段】ウエハを収納するカセット部材１と、前記
ウエハを観察する観察装置２２と、カセット部材１から
カセット部材１と観察装置２２との間に設けられた第１
の位置まで前記ウエハを搬送する第１搬送装置１０と、
前記第１の位置から前記ウエハを搬送する第２搬送装置
２３とを備えたウエハ観察装置であって、第１搬送装置
１０から第２搬送装置２３に前記ウエハを受け渡す位置
と、第２搬送装置２３から第１搬送装置１０に前記ウエ
ハを受け渡す位置とが異なっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウエハ観察装置に関
し、特に、ウエハの搬送時間の短縮化ができるウエハ観
察装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のウエハ観察装置は、ウエハを収納
するカセット部と、ウエハの観察（検査）を行う顕微鏡
観察部と、カセット部と顕微鏡観察部との間でウエハを
搬送する搬送部とから構成されていた。この搬送部は、
カセット部から所定の位置までウエハを搬送する第１搬
送部と、前述の所定の位置でウエハを第１搬送部から受
け取り顕微鏡観察部まで搬送する第２搬送部とから構成
されていた。

【０００３】この第１搬送部は２次元に駆動して前述の
搬送を行い、第２搬送部は水平方向に回転駆動して前述
の搬送を行っていた。また、第１搬送部から第２搬送部
へウエハを受け渡す位置と、第２搬送部から第１搬送部
へのウエハの受け渡しの位置とは同じであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第１搬
送部から第２搬送部へのウエハの受け渡しの位置と、第
２搬送部から第１搬送部へのウエハの受け渡しの位置と
が同じ位置のため、１回ウエハの受け渡しを行った後
に、第１搬送部と第２搬送部とはそれぞれの退避位置に
退避しなければならず、ウエハの搬送に時間がかかると
いう問題点があった。

【０００５】そこで、本発明は、ウエハの搬送に時間が
かかることがなく、スループットの高いウエハ観察装置
を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、一実施例を示す図１，図７，図１１，図１２とに
対応付けて説明すると、請求項１記載のウエハ観察装置
は、ウエハを収納するカセット部材（１）と、前記ウエ
ハを観察する観察装置（２２）と、カセット部材（１）
からカセット部材（１）と観察装置（２２）との間に設
けられた第１の位置まで前記ウエハを搬送する第１搬送
装置（１０）と、前記第１の位置から前記ウエハを搬送
する第２搬送装置（２３）とを備えたウエハ観察装置で
あって、第１搬送装置（１０）から第２搬送装置（２
３）に前記ウエハを受け渡す位置と、第２搬送装置（２
３）から第１搬送装置（１０）に前記ウエハを受け渡す
位置とが異なっている。

【０００７】請求項２記載のウエハ観察装置は、第１搬
送装置（１０）から第２搬送装置（２３）に前記ウエハ
を受け渡す位置と、第２搬送装置（２３）から第１搬送
装置（１０）に前記ウエハを受け渡す位置との高さ方向
の位置が異なっている。請求項３記載のウエハ観察装置
は、第２搬送装置（２３）が、複数のアーム部（２３ａ
〜２３ｃ）と、複数のアーム部を回転駆動する回転部
（２８，２９，３０，３２）と、複数のアーム部（２３
ａ〜２３ｃ）を高さ方向に関してそれぞれ独立して駆動
する駆動部（２８，２５，２６，２７，３４）とから構
成されている。

【０００８】請求項４記載のウエハ観察装置は、駆動部
が、１つの駆動源（２８）と、段差を有したカム部材
（３４）とからなることを特徴とするウエハ観察装置。

【０００９】

【作用】請求項１記載のウエハ観察装置は、第１搬送装
置（１０）から第２搬送装置（２３）に前記ウエハを受
け渡す位置と、第２搬送装置（２３）から第１搬送装置
（１０）に前記ウエハを受け渡す位置とが異なっている
ので、第１搬送装置（１０）と第２搬送装置（２３）と
のそれぞれが退避位置へ退避することはない。

【００１０】請求項２記載のウエハ観察装置は、図１１
と図１２とに示してあるように、高さ方向の位置を変え
てウエハの受け渡しを行っているので、第１搬送装置
（１０）が退避することなく、ウエハの受け取りと受渡
しとができる。請求項３記載のウエハ観察装置は、第２
搬送装置（２３）が、複数のアーム部（２３ａ〜２３
ｃ）を高さ方向に関してそれぞれ独立して駆動するの
で、第１搬送装置（１０）が退避することなく、ウエハ
の受け取りと受渡しとができる。

【００１１】請求項４記載のウエハ観察装置は、駆動部
が、１つの駆動源（２８）と、段差を有したカム部材
（３４）とから構成されているので、簡単な構成でウエ
ハの受け取り位置と受け渡し位置とを変えることができ
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態を表す
ウエハ観察装置の概要図であり、図２は図１のウエハ観
察装置の概要図を上から見た図である。図１と図２とに
おいて、カセット部１は、複数のウエハを収納し、この
カセット部１から取り付けと取り外しとが可能なカセッ
ト部材２と、カセット部材２から任意のウエハを取り出
せるように上下方向に移動可能なエレベータ部３とから
構成されている。

【００１３】カセット部材２の大きさは、４インチ，５
インチ，６インチ，８インチ用とがあり、ウエハの大き
さに応じてウエハを収納するカセットが大きくなってい
る。カセット部材２の底面（エレベータ部３への取り付
け面）は、“Ｈ”形状をしている。また、カセット部材
２のウエハを収納する高さ間隔は、４インチ〜６インチ
は同じである。

【００１４】図３はエレベータ部３の詳細を表す図であ
り、図３（ａ）は上から見た図であり、図３（ｂ）は、
図３（ａ）のＡ−Ａ’断面を表す図である。なお、図３
は、カセット部材２が取り外された状態を示しており、
図３（ａ）に点線で囲まれた領域ＡＲ１が４インチ用の
カセット部が取り付けられる位置であり、図３（ａ）に
一点鎖線で囲まれた領域ＡＲ２が８インチ用のカセット
部が取り付けられる位置である。

【００１５】第１スイッチ４は、領域ＡＲ１内に設けら
れた押しスイッチであり、カセット部材２が取り付けら
れたときにON信号を出力し、カセット部材２が取り外さ
れたときにOFF 信号を出力するスイッチである。即ち、
４インチ〜８インチ用のカセットのいずれをエレベータ
部３に取り付けたときに、第１スイッチ４はON信号を出
力する。

【００１６】第２スイッチ５は、領域ＡＲ２内に設けら
れた押しスイッチであり、４〜６インチ用のカセットと
は係合しない位置に設けられている。即ち、第２スイッ
チ５は、８インチ用のカセットが取り付けられたときの
みにON信号を出力するスイッチであり、それ以外はOFF
信号を出力する。エレベータ部３は、モ−タ６を駆動源
としており、モ−タ６の駆動力はギア部７を介してリー
ドネジ８に伝達され、２本のリニアシャフト９をガイド
として上下方向に移動する。

【００１７】図１と図２とに戻って、デュアルアーム部
１０は、ウエハの取り出しと収納とを行う部分である。
図４は、デュアルアーム部１０の詳細を示す図であり、
デュアルアーム部１０は、ロード用アーム１１とアンロ
ード用アーム１２とを有しており、Ｚ方向に所定の間隔
を有してほぼ重なるように配置されている。

【００１８】ロード用アーム１１は、アンロード用アー
ム１２の上方に配置されており、カセット部材２からウ
エハを公知の真空吸着により取り出して、後述の回転ア
ーム部２３に搬送する。アンロード用アーム１２は、検
査が終了し、回転アーム部２３から受け渡されるウエハ
をカセット部材２に戻す。

【００１９】モ−タ１３は、ロード用アーム１１とアン
ロード用アーム１２とを図のＸ方向に移動するためのモ
−タである。モ−タ１４はロード用アーム１１を図のＹ
方向に移動するためのモ−タであり、モ−タ１５はアン
ロード用アーム１２を図のＹ方向に移動するためのモ−
タである。

【００２０】即ち、ロード用アーム１１とアンロード用
アーム１２とは、それぞれ独立してＹ方向（ウエハの取
り出し及び収納方向）へ移動することが可能である。モ
−タ１６は、ロード用アーム１１とアンロード用アーム
１２とを図のＺ方向に移動するためのモ−タであり、円
筒カム１７を介して、モ−タ１６の駆動力をロード用ア
ーム１１とアンロード用アーム１２とに伝達している。

【００２１】図５は、円筒カム１７の詳細を表す図であ
る。図５に示してあるように、円筒カム１７は、ロード
用のカム溝１８とアンロード用のカム溝１９とを有して
いる。ロードアーム１１はロード用のカム溝１８にカム
フロワー２０を係合させることによりＺ方向に移動し、
アンロード用アーム１２はアンロード用のカム溝１９に
カムフロワー２１を係合させることによりＺ方向に移動
する。

【００２２】図６は、ロード用のカム溝１８とアンロー
ド用のカム溝１９とを平面的に展開した図であり、横軸
が角度を表し、縦軸がＺ方向の高さを表している。図中
〜で示す区間は、４〜６インチのウエハのロードと
アンロードとを行うときのストロークを表しており、
の位置が４〜６インチのウエハのアンロード位置であ
り、の位置が４〜６インチのウエハのロード位置であ
る。

【００２３】図中〜で示す区間は、８インチのウエ
ハのロードとアンロードとを行うときのストロークを表
しており、の位置が８インチのウエハのアンロード位
置であり、の位置が８インチのウエハのロード位置で
ある。図１から明らかなように、本実施の形態において
は、オペレータがカセット部材２を交換するときに持ち
運び及び取り付けが簡単なように低い位置（電源部４４
の上方に設置されており、床面から約９００ｍｍの位
置）にカセット部１を設け、また、オペレータが顕微鏡
観察を行い易いように高い位置（架台部４５に設置され
ており、床面から約１２００ｍｍの位置）に顕微鏡観察
部２２を設けている。

【００２４】即ち、顕微鏡観察部２２に対して、カセッ
ト部１が低い位置に設けられている。このため、カセッ
ト部１と顕微鏡観察部２２との高低差を補正するため
に、ロード用のカム溝１８とアンロード用のカム溝１９
とに受渡し高さ補正区間が設けられている。

【００２５】即ち、ロードアーム１１とアンロードアー
ム１２とは、後述の回転アーム部２３とウエハの受け取
り及び受け渡しをの位置にて行う。図１と図２とに戻
って、回転アーム部２３は、反時計方向に回転可能であ
り、半円弧状の３つのアーム２３ａ，２３ｂ，２３ｃと
を有している。図中のＡ位置において、回転アーム部２
３は、ロード用アーム１１からウエハを受け取るか、若
しくは、アンロード用アーム１２へウエハを受け渡す。

【００２６】図中のＢ位置において、回転アーム部２３
は、不図示のマクロ観察ユニットへウエハを受け渡す
か、若しくは、不図示のマクロ観察ユニットからウエハ
を受け取る。なお、マクロ観察工程とは、オペレータの
目視によりウエハのキズ等の欠陥を観察する工程であ
る。

【００２７】図中のＣ位置において、回転アーム部２３
は、顕微鏡観察部２２へウエハを受け渡すか、若しく
は、顕微鏡観察部２２からウエハを受け取る。図７は、
回転アーム部２３の詳細を表す図である。端面カム２５
は、平坦部と傾斜部とからなるカム部を有しており、ア
ーム２３ａ〜２３ｃを上下に移動させる部材である。

【００２８】カムフロワ−２６は、端面カム２５のカム
部と係合する部材である。リンク２７は、カムフロワ−
２６を保持しており、一端が軸３８に固定され、他端が
リンク２７に設けられた長孔を介して軸３９と係合して
いる。また、リンク２７は、軸３８を支点として、端面
カム２５の平坦部と傾斜部とに沿って図の矢印方向に回
転運動する。

【００２９】即ち、モ−タ２８の回転力が端面カム２５
に伝達されると、端面カム２５のカム部に沿ってリンク
２７が前述の回転運動をする。また、リンク２７の下方
には、間欠カム２９と３０とが設けられており、モ−タ
２８の回転力により端面カム２５と一体となって回転す
る。図８は、図７のＡ−Ａ断面であり、間欠カム２９と
３０とを表している。

【００３０】図８に表してあるように、間欠カム２９の
先端部２９ａは、ベアリング３１と係合するときに、ア
ーム２３ａ〜２３ｃが取り付けられている軸３２を回転
させる。同様に、間欠カム３０の先端部３０ａは、ベア
リング３３と係合するときに、アーム２３ａ〜２３ｃが
取り付けられている軸３２を回転させる。

【００３１】即ち、アーム２３ａ〜２３ｃは、軸３２の
回転により回転をする。図７に戻って、段付き環状カム
３４は、２段階の高さを有した部材であり、上面部と下
面部と、この上面部と下面部との境界である境界面とか
ら構成されている。この段付き環状カム３４は、リンク
２７により上下方向に移動し、後述するように、所定の
高さにあるときにアーム２３ａ〜２３ｃのベアリング部
２３ａ₁ 〜２３ｃ₁ （図９参照）と接触している。

【００３２】なお、段付き環状カム３４は、軸３２の回
転により回転することはない。図９は、端面カム２５の
回転と段付き環状カム３４との関係を示す図である。上
段の図は、各アーム２３ａ〜２３ｃのベアリング部２３
ａ₁ 〜２３ｃ₁ と、段付き環状カム３４との位置関係を
示しており、黒く塗られた部分は段付き環状カム３４の
上面部を表している。

【００３３】また、段付き環状カム３４は、外枠４０と
ベアリング４１とを介して固定されている。外枠４０に
はストッパ４２が固定されており、ベアリング４１には
軸４３が固定されている。バネ３７は、環状カム３４を
時計方向に付勢する部材である。図９（ａ）に示してあ
るように、カムフロワー２６が端面カム２５の傾斜部の
一番低い位置にあるときに、回転アーム２３ａ〜２３ｃ
のベアリング部２３ａ₁〜２３ｃ₁ は、段付き環状カム
３４と接触しておらず、回転アーム２３ａ〜２３ｃは最
も低い位置において同じ高さになっている。

【００３４】図９（ａ）の状態から端面カム２５がモ−
タ２８により１０５°回転すると、カムフロワー２６が
端面カム２５の平坦部に移動してリンク２７が反時計方
向に回転するので、段付き環状カム３４は上昇する。ま
た、段付き環状カム３４は、上昇する途中でベアリング
部２３ａ₁ 〜２３ｃ ₁ と接触し、この後ベアリング部２
３ａ₁ 〜２３ｃ₁ と一緒に上昇する（図９（ｂ））。

【００３５】端面カム２５が１０５°回転する時に間欠
カム２９，３０のそれぞれの先端部２９ａ，３０ａはベ
アリング３１，３３と係合していないので、軸３２は回
転しない。これにより、回転アーム２３ａは回転アーム
２３ｂと２３ｃとに比べ高い位置になる。なお、後述す
るように、この高い位置にあるときにロードアーム１１
からウエハが受け渡される。

【００３６】図９（ｂ）の状態から更に端面カム２５が
１１２．５°回転すると、カムフロワー２６の高さが変
わらないので、回転アーム２３ａ〜２３ｃの高さの関係
は維持される。端面カム２５が１１２．５°回転するの
に伴って、間欠カム２９，３０のそれぞれの先端部２９
ａ，３０ａはベアリング３１，３３と係合し、軸３２を
回転させるので、ベアリング部２３ａ₁ 〜２３ｃ₁ が段
付き環状カム３４の上面部と下面部をそれぞれ９０°回
転移動する。

【００３７】また、この時に、ベアリング部２３ｃ₁ が
段付き環状カム３４の上面と下面との境界面に接触する
（図９（ｃ））。図９（ｃ）の状態から更に端面カム２
５が３７．５°回転すると、回転アーム２３ａ〜２３ｃ
の高さの関係を維持したまま、ベアリング部２３ｃ₁ が
段付き環状カム３４の側面を押して回転するので、段付
き環状カム３４がベアリング部２３ａ₁ 〜２３ｃ₁ と共
に３０°回転する（図９（ｄ））。

【００３８】図９（ｂ）と図９（ｃ）とに示してあるよ
うに、端面カム２５が１５０°回転している間に、間欠
カム２９，３０のそれぞれの先端部２９ａ，３０ａはベ
アリング３１，３３と係合し、軸３２を１２０°回転さ
せる。図９（ｄ）の状態から端面カム２５がモ−タ２８
により回転すると、カムフロワー２６が端面カム２５の
平坦部から傾斜部に移動することにより、段付き環状カ
ム３４は下降する（図９（ｅ））。

【００３９】カムフロワー２６が端面カム２５の一番低
い位置に達すると、ベアリング部２３ａ₁ 〜２３ｃ₁ と
段付き環状カム３４とは非接触になる。このため、ベア
リング部２３ｃ₁ が段付き環状カム３４の側面を押さな
くなるため、段付き環状カム３４はバネ３７の力により
−３０°回転し、元の位置に戻る。

【００４０】図１に戻って、顕微鏡観察部２２は、ウエ
ハを顕微鏡観察するものであり、種々の倍率を有した対
物レンズを取り付け可能である。モニター部２４は、ウ
エハの検査結果及び装置の状態を表示すると共に、後述
のＣＰＵ３６により検査レシピの設定を行うときに用い
られる。電源部４４は、ウエハ観察装置に電源を供給す
るものである。

【００４１】図１０は、ウエハ観察装置のブロック図を
示しており、ＣＰＵ３６はウエハ観察機全体を制御する
ものであり、特に、カセット部１，デュアルアーム部１
０，顕微鏡観察部２２，回転アーム部２３，モニター部
３５を制御するものである。以上のように構成された、
本実施の形態のウエハ観察装置の動作について以下説明
を続ける。

【００４２】本実施の形態では、カセット１に４インチ
のウエハが２５枚収納されている場合で、特にＮ枚目
（３＜Ｎ≦２５）のウエハを搬送する場合について説明
を行う。従って、アンロードアーム１２は、回転アーム
部２３から（Ｎ−３）枚目の顕微鏡観察を終えたウエハ
を受け取って保持している状態である。

【００４３】なお、説明を簡単にするために、アンロー
ドアーム１２は、アーム２３ａから（Ｎ−３）枚目のウ
エハを受け取ったものとする。ＣＰＵ３６は、カセット
部１のエレベータ部３をＮ枚目のウエハを搬送する位置
へ移動させる。ＣＰＵ３６は、第１スイッチ４と第２ス
イッチ５の出力からウエハのサイズが４インチと識別し
ている。

【００４４】ＣＰＵ３６は、デュアルアーム部１０を制
御して、ロードアーム１１とアンロードアーム１２とを
図６のの位置に移動させる。なお、８インチのウエハ
を検査する場合に、ＣＰＵ３６は、円筒カム１７を制御
してロードアーム１１とアンロードアーム１２とを図６
のの位置に移動させる。

【００４５】ＣＰＵ３６は、モータ１４とモータ１５と
を制御して、ロードアーム１１とアンロードアーム１２
とをカセット部材２内へ移動させる。ＣＰＵ３６は、モ
−タ１６を制御して、ロードアーム１１とアンロードア
ーム１２とを図６のの位置からの位置へ上昇させ
る。これにより、ロードアーム１１はロード用カム溝１
８に沿って上昇しカセット１内のウエハを下方から持ち
上げて真空吸着し、アンロードアーム１２はロード用カ
ム溝１９に沿って下降しカセット１内のウエハを受け渡
す。

【００４６】本実施の形態では、ロードアーム１１とア
ンロードアーム１２とによりカセット部材２のウエハの
受取と収納とをほぼ同時に行っているので、ウエハの搬
送時間を大幅に短縮することができる。ＣＰＵ３６は、
ロードアーム１１とアンロードアーム１２とのＺ方向の
位置を図６のの位置にしたまま、モ−タ１４とモ−タ
１５とを制御して、ロードアーム１１とアンロードアー
ム１２とをカセット部材２から退避させる。

【００４７】ＣＰＵ３６は、カセット部１と顕微鏡観察
部２２との高低差を補正するために、モ−タ１６を制御
して、ロードアーム１１とアンロードアーム１２とを図
６のの位置へ上昇させる。ＣＰＵ３６は、モ−タ１３
を制御してロードアーム１１とアンロードアーム１２と
を図２のＡの位置に移動させる。

【００４８】前述のアーム２３ａは、（Ｎ−３）枚目の
ウエハをアンロードアーム１２に受け渡した後、図９の
（ａ）の位置で待機している。図１１と図１２とは、図
２のＡの位置におけるデュアルアーム部１０と回転アー
ム部２３とのウエハの受渡しを表す概念図である。ロー
ドアーム１１がウエハを保持しているときに、アーム２
３ａは図９の（ａ）の位置にあり、図１１（ａ）に表し
ているようにアンロードアーム１２の下方に位置してい
る。

【００４９】ＣＰＵ３６は、ロードアーム１１とアンロ
ードアーム１２とを図２のＡの位置に移動させた後、回
転アーム部２３を図９の（ｂ）の位置まで上昇させて、
アーム２３ａにロードアーム１１の下方からＮ枚目のウ
エハを受け取らせる（図１１（ｂ）参照）。ＣＰＵ３６
は、アーム２３ａ〜２３ｃを１２０°回転させる（回転
アーム部２３を図９の（ｄ）の位置にする。）。

【００５０】これにより、アーム２３ａは図２のＢの位
置に移動し、（Ｎ−２）枚目のウエハを保持しているア
ーム２３ｃは図２のＡの位置に移動し図１２（ａ）に表
してあるようにロードアーム１１とアンロードアーム１
２との間の空間に位置する。これは、アーム２３ｃのベ
アリング部２３ｃ₁ が段付き環状カム３４の下面部に位
置しているためである。

【００５１】ＣＰＵ３６は、アーム２３ａ〜ｃを下降さ
せる（アーム２３ａを図９の（ｆ）の位置に下降させ
る）間に、アーム２３ａはＮ枚目のウエハを不図示のマ
クロ観察ユニットにウエハを受け渡し、アーム２３ｃは
図１２（ｂ）に示してあるようにアンロードアーム１２
に（Ｎ−２）枚目のウエハを受け渡す。デュアルアーム
部１０は、アンロードアーム１２に（Ｎ−２）枚目のウ
エハを保持させて、再びカセット部材２へ移動し、（Ｎ
−２）枚目のウエハを収納するとともに、ロードアーム
に（Ｎ＋１）枚目のウエハを受け取らせる。

【００５２】以後、ウエハを全て検査するまで上述の工
程を繰り返す。以上詳述したように、本実施の形態にお
いては、デュアルアーム部１０と回転アーム部２３との
間でウエハの受け取り及び受け渡しをするときに、デュ
アルアーム部１０が退避することないので、ウエハの受
け取り及び受け渡しを短時間で行うことができる。

【００５３】

【発明の効果】以上説明してきたように、請求項１記載
のウエハ観察装置は、第１搬送装置から第２搬送装置に
ウエハを受け渡す位置と、第２搬送装置から第１搬送装
置にウエハを受け渡す位置とが異なっているので、第１
搬送装置と第２搬送装置とのそれぞれが退避位置へ退避
することはない。このため、ウエハの搬送時間が短縮
し、スループットの高いウエハ観察装置を実現できる。

【００５４】請求項２記載のウエハ観察装置は、第１搬
送装置が退避することなく、ウエハの受け取りと受渡し
とができるので、ウエハの搬送時間が短縮し、スループ
ットの高いウエハ観察装置を実現できる。請求項３記載
のウエハ観察装置は、第２搬送装置が、複数のアーム部
を高さ方向に関してそれぞれ独立して駆動するので、第
１搬送装置が退避することがない。このため、ウエハの
搬送時間が短縮し、スループットの高いウエハ観察装置
を実現できる。

【００５５】請求項４記載のウエハ観察装置は、駆動部
が、１つの駆動源と、段差を有したカム部材とから構成
されているので、簡単な構成でウエハの搬送時間を短縮
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を表すウエハ収納装置をウ
エハ観察装置に用いた例を示す概要図である。

【図２】図１のウエハ観察装置の概要図を上から見た図
である。

【図３】エレベータ部３の詳細を表す図であり、図３
（ａ）は上から見た図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）
のＡ−Ａ’断面を表す図である。

【図４】デュアルアーム部１０の詳細を示す図である。

【図５】円筒カム１７の詳細を表す図である。

【図６】ロード用のカム溝１８とアンロード用のカム溝
１９とを平面的に展開した図である。

【図７】回転アーム部２３の詳細を表す図である。

【図８】間欠カム２９，３０を表す図である。

【図９】端面カム２５の回転と段付き環状カム３４との
関係を示す図である。

【図１０】ウエハ観察装置のブロック図を表す図であ
る。

【図１１】デュアルアーム部１０と回転アーム部２３と
のウエハの受渡しを表す概念図である。

【図１２】デュアルアーム部１０と回転アーム部２３と
のウエハの受渡しを表す概念図である。

【符号の説明】

１ カセット部 ２ カセット部材 ３ エレベータ部 １０ デュアルアーム部 １１ ロードアーム １２ アンロードアーム ２２ 顕微鏡観察部 ２３ 回転アーム部 ２５ 端面カム ２６ カムフロワ− ２７ リンク ２８ モータ ２９ 間欠カム ３０ 間欠カム ３２ 軸 ３４ 段付き環状カム ３６ ＣＰＵ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 恒夫 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハを収納するカセット部材と、 前記ウエハを観察する観察装置と、 前記カセット部材から前記カセット部材と前記観察装置
   との間に設けられた第１の位置まで前記ウエハを搬送す
   る第１搬送装置と、 前記第１の位置から前記ウエハを搬送する第２搬送装置
   とを備えたウエハ観察装置において、 前記第１搬送装置から前記第２搬送装置に前記ウエハを
   受け渡す位置と、前記第２搬送装置から前記第１搬送装
   置に前記ウエハを受け渡す位置とが異なることを特徴と
   するウエハ観察装置。
2. 【請求項２】請求項１記載のウエハ観察装置において、 前記第１搬送装置から前記第２搬送装置に前記ウエハを
   受け渡す位置と、前記第２搬送装置から前記第１搬送装
   置に前記ウエハを受け渡す位置とは、高さ方向の位置が
   異なっていることを特徴とするウエハ観察装置。
3. 【請求項３】請求項１または請求項２記載のウエハ観察
   装置において、 前記第２搬送装置は、複数のアーム部と、該複数のアー
   ム部を回転駆動する回転部と、該複数のアーム部を高さ
   方向に関してそれぞれ独立して駆動する駆動部とからな
   ることを特徴とするウエハ観察装置。
4. 【請求項４】請求項３記載のウエハ観察装置において、 前記駆動部は、１つの駆動源と、段差を有したカム部材
   とからなることを特徴とするウエハ観察装置。