JPH09141214A - ガラス基板の洗浄装置 - Google Patents
ガラス基板の洗浄装置Info
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- JPH09141214A JPH09141214A JP7306178A JP30617895A JPH09141214A JP H09141214 A JPH09141214 A JP H09141214A JP 7306178 A JP7306178 A JP 7306178A JP 30617895 A JP30617895 A JP 30617895A JP H09141214 A JPH09141214 A JP H09141214A
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】エレクトロクロミック用の基板等にも使用でき
るように完全に洗浄可能であり、しかも作業性を向上さ
せた洗浄装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明は、本発明はガラス基板２の対向
する端面部分を支持する水平部材１1と該水平部材に連
結される垂直部材１2からなるＬ字形状の複数の支承部
材を枠体１3からロッド１4により突出させ、枠体の両側
に板状体１5を配設した基板保持具１を搬送ローラなど
に載せて水平方向に搬送させながら研磨、ブラシ洗浄す
ることを特徴とするものである。
るように完全に洗浄可能であり、しかも作業性を向上さ
せた洗浄装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明は、本発明はガラス基板２の対向
する端面部分を支持する水平部材１1と該水平部材に連
結される垂直部材１2からなるＬ字形状の複数の支承部
材を枠体１3からロッド１4により突出させ、枠体の両側
に板状体１5を配設した基板保持具１を搬送ローラなど
に載せて水平方向に搬送させながら研磨、ブラシ洗浄す
ることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エレクトロクロミ
ック調光窓ガラス、プラズマディスプレイ用ガラス基
板、液晶ディスプレイ用ガラス基板などの高度な洗浄を
必要とするガラス基板の洗浄装置に関する。
ック調光窓ガラス、プラズマディスプレイ用ガラス基
板、液晶ディスプレイ用ガラス基板などの高度な洗浄を
必要とするガラス基板の洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板の洗浄は、ガラス基板
を直接搬送ローラーなどに載せて搬送しながら洗浄する
方法が一般的であり、その他特開昭６１−２７９８５７
号などにおいて、基板の端面部を両方から垂直方向に挟
持して、垂直方向に移動させてブラシ洗浄槽内で洗浄す
る装置が提案されている。
を直接搬送ローラーなどに載せて搬送しながら洗浄する
方法が一般的であり、その他特開昭６１−２７９８５７
号などにおいて、基板の端面部を両方から垂直方向に挟
持して、垂直方向に移動させてブラシ洗浄槽内で洗浄す
る装置が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
方法ではベルトコンベアなどの搬送手段からスポンジロ
ールに汚れが付着し、洗浄不良が発生したり、基板ガラ
スの裏面（下側）にロール跡やベルトコンベア跡が付着
し、後の工程でこの汚れが表面に回り込み洗浄不良を引
き起こしており、通常の蛍光灯では勿論、光の強度の強
いハロゲンランプで観察して成膜面に異常がない状態に
まで洗浄可能であるが、特にエレクトロクロミック用、
液晶用の基板などでは色むらなどが発生して不良品とな
る恐れがあった。
方法ではベルトコンベアなどの搬送手段からスポンジロ
ールに汚れが付着し、洗浄不良が発生したり、基板ガラ
スの裏面（下側）にロール跡やベルトコンベア跡が付着
し、後の工程でこの汚れが表面に回り込み洗浄不良を引
き起こしており、通常の蛍光灯では勿論、光の強度の強
いハロゲンランプで観察して成膜面に異常がない状態に
まで洗浄可能であるが、特にエレクトロクロミック用、
液晶用の基板などでは色むらなどが発生して不良品とな
る恐れがあった。
【０００４】また、後者の方法では、対向する２辺につ
いては全周にわたり挟持しているので、洗浄できない部
分がどうしても多くなり未洗浄部分の汚れが残ってしま
うだけでなく、後の工程にも悪影響を与えることが避け
られない。しかも洗浄槽内で洗浄するものであるから、
作業性がきわめて悪いものであった。
いては全周にわたり挟持しているので、洗浄できない部
分がどうしても多くなり未洗浄部分の汚れが残ってしま
うだけでなく、後の工程にも悪影響を与えることが避け
られない。しかも洗浄槽内で洗浄するものであるから、
作業性がきわめて悪いものであった。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、エレクトロクロミック用の基板等にも使用で
きるように完全に洗浄可能であり、しかも作業性を向上
させた洗浄装置を提供することを目的とする。
のであり、エレクトロクロミック用の基板等にも使用で
きるように完全に洗浄可能であり、しかも作業性を向上
させた洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の問題点を解決する
ために、本発明はガラス基板の対向する端面部分を支持
する水平部材と該水平部材に連結される垂直部材からな
るＬ字形状の複数の支承部材を枠体からロッドにより突
出させ、枠体の両側に板状体を配設した基板保持具を搬
送ローラに載せて水平方向に搬送するものであるから、
基板が搬送ローラに直接接触することがなく、しかも支
承部材の水平部分と基板端面部分の接触する部分は有効
長さが短く、さらに全周にわたって接触しているのでは
ないので僅かであり、ローラによる影響を全く受けず、
洗浄されない部分もほとんどなく、ほぼ完全に洗浄する
ことができる。
ために、本発明はガラス基板の対向する端面部分を支持
する水平部材と該水平部材に連結される垂直部材からな
るＬ字形状の複数の支承部材を枠体からロッドにより突
出させ、枠体の両側に板状体を配設した基板保持具を搬
送ローラに載せて水平方向に搬送するものであるから、
基板が搬送ローラに直接接触することがなく、しかも支
承部材の水平部分と基板端面部分の接触する部分は有効
長さが短く、さらに全周にわたって接触しているのでは
ないので僅かであり、ローラによる影響を全く受けず、
洗浄されない部分もほとんどなく、ほぼ完全に洗浄する
ことができる。
【０００７】さらにセリア、アルミナなどを使用した研
磨装置によって研磨し、ブラシロールを有する洗浄装置
により洗浄することにより、さらに洗浄をより完全にす
ることができる。
磨装置によって研磨し、ブラシロールを有する洗浄装置
により洗浄することにより、さらに洗浄をより完全にす
ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の洗浄装置は、ガラス基板
の対向する端面部分を支持する水平部材と該水平部材に
連結される垂直部材からなるＬ字形状の複数の支承部材
を枠体からロッドにより突出させ、枠体の両側に板状体
を配設した基板保持具を水平方向に搬送する搬送ローラ
と該搬送ローラの途中にセリア、アルミナなどによる研
磨装置とブラシロールを有する洗浄装置を少なくとも具
備するものであり、ガラス基板を、支承部材の水平部分
により支持した状態で、基板保持具を搬送ローラ上に載
置して水平方向に搬送しながら、搬送経路中に設置され
た研磨装置で、セリア、アルミナなどの研磨材で研磨
し、その後ブラシロールを有する洗浄装置で洗浄する。
の対向する端面部分を支持する水平部材と該水平部材に
連結される垂直部材からなるＬ字形状の複数の支承部材
を枠体からロッドにより突出させ、枠体の両側に板状体
を配設した基板保持具を水平方向に搬送する搬送ローラ
と該搬送ローラの途中にセリア、アルミナなどによる研
磨装置とブラシロールを有する洗浄装置を少なくとも具
備するものであり、ガラス基板を、支承部材の水平部分
により支持した状態で、基板保持具を搬送ローラ上に載
置して水平方向に搬送しながら、搬送経路中に設置され
た研磨装置で、セリア、アルミナなどの研磨材で研磨
し、その後ブラシロールを有する洗浄装置で洗浄する。
【０００９】この場合に、支承部材の水平部材の有効長
さは１．５ｍｍ程度あれば基板が落下しないので、好ま
しいが、５ｍｍを超えると未洗浄部分が大きくなり洗浄
が不完全になる恐れがあるので、１．５ｍｍ〜５ｍｍの
範囲にした方がよい。
さは１．５ｍｍ程度あれば基板が落下しないので、好ま
しいが、５ｍｍを超えると未洗浄部分が大きくなり洗浄
が不完全になる恐れがあるので、１．５ｍｍ〜５ｍｍの
範囲にした方がよい。
【００１０】また、支承部材は、実施例に示すように、
基板の周辺４辺を支持すると、確実に基板を保持できる
ので好ましいが、対向する２辺で支持しても勿論よい。
また、支承部材の数は１辺あたり最低２個必要であり、
１辺長さが５００ｍｍ程度までは２個でも十分保持する
ことができるが、さらに大きくなると増やした方がよ
い。
基板の周辺４辺を支持すると、確実に基板を保持できる
ので好ましいが、対向する２辺で支持しても勿論よい。
また、支承部材の数は１辺あたり最低２個必要であり、
１辺長さが５００ｍｍ程度までは２個でも十分保持する
ことができるが、さらに大きくなると増やした方がよ
い。
【００１１】また、実施例で述べる装置以外にも、洗浄
後工程において、超音波洗浄装置などを付加すると、さ
らに好ましい。
後工程において、超音波洗浄装置などを付加すると、さ
らに好ましい。
【００１２】
【実施例１】以下、図面を参照しながら、本発明を詳細
に説明する。図１は実施例における本発明のブラシロー
ルで洗浄する装置を示す要部斜視図、図２は本発明の洗
浄装置を示す要部側面図である。
に説明する。図１は実施例における本発明のブラシロー
ルで洗浄する装置を示す要部斜視図、図２は本発明の洗
浄装置を示す要部側面図である。
【００１３】本発明の基板保持具１は図１に示すよう
に、水平部材１1と該水平部材に連結される垂直部材１2
からなるＬ字形状の複数の支承部材を枠体１3からロッ
ド１4により突出させ、枠体の両側に板状体１5を連結し
た構成になっており、ロッドは枠体１3に固着した中空
部分にネジ溝が形成されるリング１6に螺着し、ロッド
の長さの調整ができるように形成する。
に、水平部材１1と該水平部材に連結される垂直部材１2
からなるＬ字形状の複数の支承部材を枠体１3からロッ
ド１4により突出させ、枠体の両側に板状体１5を連結し
た構成になっており、ロッドは枠体１3に固着した中空
部分にネジ溝が形成されるリング１6に螺着し、ロッド
の長さの調整ができるように形成する。
【００１４】図２に示すように、例えば４０ｍｍ×５０
ｍｍサイズのガラス基板２の膜面となる面を上にして、
その４辺の端面部分を基板保持具１の水平部材１1によ
り支持した状態で、ローラ３と押さえローラ４の間に枠
体両側に設けた板状体を間挿して搬送し、ガラス基板に
図示しない装置あるいは人手により水にセリア等の研磨
材を加えた研磨液が塗布され、ガラス基板を支持してい
る基板保持具の板状体を押さえローラ４により押さえた
状態で、上下の研磨装置５、５’の先端にそれぞれ設け
られたスポンジロール５1、５1’がガラス基板に接触す
るように上側研磨装置のスポンジロール５1を図示しな
い昇降装置により下降させ、下側研磨装置のスポンジロ
ール５1’を図示しない昇降装置により上昇させる。こ
の状態で、スポンジロール５1、５1’を回転させてガラ
ス基板２を研磨する。研磨終了後スポンジロール５1、
５1’は昇降装置によりそれぞれ上昇、下降させてお
く。
ｍｍサイズのガラス基板２の膜面となる面を上にして、
その４辺の端面部分を基板保持具１の水平部材１1によ
り支持した状態で、ローラ３と押さえローラ４の間に枠
体両側に設けた板状体を間挿して搬送し、ガラス基板に
図示しない装置あるいは人手により水にセリア等の研磨
材を加えた研磨液が塗布され、ガラス基板を支持してい
る基板保持具の板状体を押さえローラ４により押さえた
状態で、上下の研磨装置５、５’の先端にそれぞれ設け
られたスポンジロール５1、５1’がガラス基板に接触す
るように上側研磨装置のスポンジロール５1を図示しな
い昇降装置により下降させ、下側研磨装置のスポンジロ
ール５1’を図示しない昇降装置により上昇させる。こ
の状態で、スポンジロール５1、５1’を回転させてガラ
ス基板２を研磨する。研磨終了後スポンジロール５1、
５1’は昇降装置によりそれぞれ上昇、下降させてお
く。
【００１５】次いで、ブラシロール６、６’、７、７’
により、ガラス基板に付着している異物、研磨剤など
を、シャワーノズル８から濾過水をガラス基板の上面、
下面にかけながら、洗い落とす。
により、ガラス基板に付着している異物、研磨剤など
を、シャワーノズル８から濾過水をガラス基板の上面、
下面にかけながら、洗い落とす。
【００１６】さらに、中性洗剤をガラス基板の上面と下
面にかけ、図２の研磨装置と同様の装置（図示しない）
で研磨し、研磨後、純水、イオン交換水などをガラス基
板の上面と下面にかけながら、残りの付着物を洗い落と
す。
面にかけ、図２の研磨装置と同様の装置（図示しない）
で研磨し、研磨後、純水、イオン交換水などをガラス基
板の上面と下面にかけながら、残りの付着物を洗い落と
す。
【００１７】このようにして洗浄されたガラス基板の片
面（表面）に下部ＩＴＯ膜、Ｉｒ・ＳｎＯx膜、Ｔａ2Ｏ
5膜、ＷＯ3膜、上部ＩＴＯ膜などを通常のスパッタリン
グなどの方法により成膜してエレクトロクロミック調光
窓ガラスを得、下部ＩＴＯ膜を＋側、上部ＩＴＯ膜を−
側として直流１．５Ｖを通電すると約１２０秒で全面が
青色に均一に薄く着色した。さらに通電を行い、５分で
色むらもなく色濃く着した。その後、−１．５Ｖの電圧
を印加すると６０秒で消色した。
面（表面）に下部ＩＴＯ膜、Ｉｒ・ＳｎＯx膜、Ｔａ2Ｏ
5膜、ＷＯ3膜、上部ＩＴＯ膜などを通常のスパッタリン
グなどの方法により成膜してエレクトロクロミック調光
窓ガラスを得、下部ＩＴＯ膜を＋側、上部ＩＴＯ膜を−
側として直流１．５Ｖを通電すると約１２０秒で全面が
青色に均一に薄く着色した。さらに通電を行い、５分で
色むらもなく色濃く着した。その後、−１．５Ｖの電圧
を印加すると６０秒で消色した。
【００１８】このような着消色を５万回繰り返し駆動し
たが色むらの発生はなく、ガラス基板が十分に洗浄され
たことがわかる。
たが色むらの発生はなく、ガラス基板が十分に洗浄され
たことがわかる。
【００１９】
【実施例２】洗浄時に成膜される面を下にした以外は実
施例１と同じ基板を同じ装置で洗浄したものであり、同
様の着消色を行ったところ、２万回繰り替えしても色む
らの発生はなく、５万回でコーナー付近に通常では、わ
からない程度の若干の濃淡差が見られるが、実用上支障
がなく、実施例１とほぼ同等の洗浄度であることがわか
る。
施例１と同じ基板を同じ装置で洗浄したものであり、同
様の着消色を行ったところ、２万回繰り替えしても色む
らの発生はなく、５万回でコーナー付近に通常では、わ
からない程度の若干の濃淡差が見られるが、実用上支障
がなく、実施例１とほぼ同等の洗浄度であることがわか
る。
【００２０】
【比較例１】実施例１と同じガラス基板を、本発明の基
板保持具を使用せず、ベルトコンベヤなどに直接載置し
て、先ず、一回目は成膜される面（表面）を上にして、
上部のみに設けた研磨装置で研磨し、その後、ステンレ
ス丸棒に幅３０ｍｍのゴムリングを２００ｍｍの間隔で
巻着した搬送ローラにより上部ならびに下部に設けたブ
ラシロールの位置まで搬送し、ガラス基板の両面をブラ
シロールにより洗浄し、２回目は成膜される面を下にし
て、同様の洗浄、すなわちガラス基板の成膜されない面
のみ研磨し、その後ガラス基板の両面をブラシロールで
洗浄した。
板保持具を使用せず、ベルトコンベヤなどに直接載置し
て、先ず、一回目は成膜される面（表面）を上にして、
上部のみに設けた研磨装置で研磨し、その後、ステンレ
ス丸棒に幅３０ｍｍのゴムリングを２００ｍｍの間隔で
巻着した搬送ローラにより上部ならびに下部に設けたブ
ラシロールの位置まで搬送し、ガラス基板の両面をブラ
シロールにより洗浄し、２回目は成膜される面を下にし
て、同様の洗浄、すなわちガラス基板の成膜されない面
のみ研磨し、その後ガラス基板の両面をブラシロールで
洗浄した。
【００２１】このようにして洗浄されたガラス基板を蛍
光灯により観察したところ、ほとんど異常を観察でき
ず、ハロゲンランプで観察するとガラス基板の進行方向
に平行に、幅が３０ｍｍ程度の搬送ローラ（ゴムリン
グ）の跡らしき細長い直線状の汚れを膜が形成される面
に確認することができた。
光灯により観察したところ、ほとんど異常を観察でき
ず、ハロゲンランプで観察するとガラス基板の進行方向
に平行に、幅が３０ｍｍ程度の搬送ローラ（ゴムリン
グ）の跡らしき細長い直線状の汚れを膜が形成される面
に確認することができた。
【００２２】このガラス基板に実施例と同様にＩＴＯ
膜、Ｉｒ・ＳｎＯX膜、Ｔａ2Ｏ5膜、ＷＯ3膜、上部ＩＴ
Ｏ膜を成膜してエレクトロクロミック調光窓ガラスを作
製して、下部ＩＴＯ膜を＋側、上部ＩＴＯ膜を−側にし
て直流１．５Ｖを通電すると、１２０秒後に表示面積の
２／３が薄青く着色したが、前述の洗浄装置のロール跡
とみられる箇所に色むらが発生した。
膜、Ｉｒ・ＳｎＯX膜、Ｔａ2Ｏ5膜、ＷＯ3膜、上部ＩＴ
Ｏ膜を成膜してエレクトロクロミック調光窓ガラスを作
製して、下部ＩＴＯ膜を＋側、上部ＩＴＯ膜を−側にし
て直流１．５Ｖを通電すると、１２０秒後に表示面積の
２／３が薄青く着色したが、前述の洗浄装置のロール跡
とみられる箇所に色むらが発生した。
【００２３】
【比較例２】成膜される面を上にして比較例１と同様
に、上部のみに設けた研磨装置で研磨し、その後、ステ
ンレス丸棒に幅３０ｍｍのゴムリングを２００ｍｍの間
隔で巻着した搬送ローラにより上部ならびに下部に設け
たブラシロールの位置まで搬送し、ガラス基板の両面を
ブラシロールにより洗浄したものはハロゲンランプでも
異物等の観察が困難であり、成膜前に洗浄が完全に行わ
れたかどうか判定することは困難であるが、このガラス
基板に実施例１と同じ膜を成膜し、エレクトロクロミッ
ク調光窓としたものに、直流１．５Ｖを通電すると１２
０秒で全面均一に薄青く着色、５分で色むらもなく色濃
く着色したが、着消色を５０００回程度繰り返すと全面
に色むらが発生した。
に、上部のみに設けた研磨装置で研磨し、その後、ステ
ンレス丸棒に幅３０ｍｍのゴムリングを２００ｍｍの間
隔で巻着した搬送ローラにより上部ならびに下部に設け
たブラシロールの位置まで搬送し、ガラス基板の両面を
ブラシロールにより洗浄したものはハロゲンランプでも
異物等の観察が困難であり、成膜前に洗浄が完全に行わ
れたかどうか判定することは困難であるが、このガラス
基板に実施例１と同じ膜を成膜し、エレクトロクロミッ
ク調光窓としたものに、直流１．５Ｖを通電すると１２
０秒で全面均一に薄青く着色、５分で色むらもなく色濃
く着色したが、着消色を５０００回程度繰り返すと全面
に色むらが発生した。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、基板保持具により、ガ
ラス基板を搬送ローラなどに直接触れないように、しか
もほとんど基板と保持具の接触部分を小さくした状態で
搬送することができ、搬送ロールなどの汚れの影響を受
けず、洗浄することができ、搬送経路中に設置されたセ
リアなどを使用したスポンジロールによる研磨装置とブ
ラシロールを有する洗浄装置によって、研磨、洗浄する
ことにより、より完全に洗浄することができ、エレクト
ロクロミック用のガラス基板以外にも液晶用、プラズマ
ディスプレイ用のガラス基板などの洗浄に好適である
。
ラス基板を搬送ローラなどに直接触れないように、しか
もほとんど基板と保持具の接触部分を小さくした状態で
搬送することができ、搬送ロールなどの汚れの影響を受
けず、洗浄することができ、搬送経路中に設置されたセ
リアなどを使用したスポンジロールによる研磨装置とブ
ラシロールを有する洗浄装置によって、研磨、洗浄する
ことにより、より完全に洗浄することができ、エレクト
ロクロミック用のガラス基板以外にも液晶用、プラズマ
ディスプレイ用のガラス基板などの洗浄に好適である
。
【図１】実施例における本発明のブラシロールで洗浄す
る装置を示す要部斜視図である。
る装置を示す要部斜視図である。
【図２】本発明の洗浄装置を示す要部側面図である。
１ 基板保持具 １1 水平部材 １2 垂直部材 １3 枠体 １4 ロッド １5 板状体 ２ ガラス基板 ５、５’ 研磨装置 ６、６’、７、７’ ブラシロール
Claims (2)
- 【請求項１】ガラス基板の対向する端面部分を支持する
水平部材と該水平部材に連結される垂直部材からなるＬ
字形状の複数の支承部材を枠体からロッドにより突出さ
せ、枠体の両側に板状体を配設した基板保持具を水平方
向に搬送する搬送ローラと該搬送ローラの途中にセリア
などによる研磨装置とブラシロールを有する洗浄装置を
少なくとも具備するようにしたことを特徴とするガラス
基板の洗浄装置。 - 【請求項２】支承部材の水平部材の有効長さを１．５ｍ
ｍ〜５ｍｍの範囲とするようにしたことを特徴とする請
求項１記載のガラス基板の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30617895A JP3330001B2 (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | ガラス基板の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30617895A JP3330001B2 (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | ガラス基板の洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09141214A true JPH09141214A (ja) | 1997-06-03 |
| JP3330001B2 JP3330001B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=17953985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30617895A Expired - Fee Related JP3330001B2 (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | ガラス基板の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3330001B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003103225A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-08 | Ebara Corp | 四辺形基板洗浄装置、および四辺形基板の洗浄方法 |
| WO2010131581A1 (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | シャープ株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
| CN109304342A (zh) * | 2018-09-21 | 2019-02-05 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光钕玻璃元件机械化清洗装置 |
| CN114054410A (zh) * | 2021-11-08 | 2022-02-18 | 江西省正百科技有限公司 | 一种可对污水回收的有机玻璃用双面同步均匀清洗装置 |
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1995
- 1995-11-24 JP JP30617895A patent/JP3330001B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| WO2010131581A1 (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | シャープ株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
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