JPH09137855A - 送りねじおよび送りねじの潤滑膜形成方法 - Google Patents
送りねじおよび送りねじの潤滑膜形成方法Info
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- JPH09137855A JPH09137855A JP8237502A JP23750296A JPH09137855A JP H09137855 A JPH09137855 A JP H09137855A JP 8237502 A JP8237502 A JP 8237502A JP 23750296 A JP23750296 A JP 23750296A JP H09137855 A JPH09137855 A JP H09137855A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】送りねじにおいて、発塵の抑制および潤滑性の
向上を図り、長寿命を達成できるようにすること。 【解決手段】ねじ軸１と、それに螺合されるナット２
と、ねじ軸１とナット２との螺合部位に介装される複数
の転動体３とを備え、これらの少なくともいずれかの転
動、摺動部位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の
固体膜５が形成されている。この固体膜５は、その分子
間がウレタン結合となっていて３次元の網状構造になっ
ているので、剥離や欠落の他、摩耗が抑制される。
向上を図り、長寿命を達成できるようにすること。 【解決手段】ねじ軸１と、それに螺合されるナット２
と、ねじ軸１とナット２との螺合部位に介装される複数
の転動体３とを備え、これらの少なくともいずれかの転
動、摺動部位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の
固体膜５が形成されている。この固体膜５は、その分子
間がウレタン結合となっていて３次元の網状構造になっ
ているので、剥離や欠落の他、摩耗が抑制される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、送りねじおよび送
りねじの潤滑膜形成方法に係り、特に通常のグリースや
オイルの使用ができない真空環境、清浄環境および腐食
環境等で用いるのに好適な送りねじに関する。
りねじの潤滑膜形成方法に係り、特に通常のグリースや
オイルの使用ができない真空環境、清浄環境および腐食
環境等で用いるのに好適な送りねじに関する。
【０００２】
【従来の技術】前述の環境として、例えば半導体製造装
置内部に配設される搬送系などが挙げられるが、このよ
うな環境では、送りねじの潤滑剤としてグリースを用い
ていると、グリースの油分が蒸発することにより、潤滑
機能の劣化や使用環境の汚染といった不具合が発生す
る。
置内部に配設される搬送系などが挙げられるが、このよ
うな環境では、送りねじの潤滑剤としてグリースを用い
ていると、グリースの油分が蒸発することにより、潤滑
機能の劣化や使用環境の汚染といった不具合が発生す
る。
【０００３】このような場合、従来では、ねじ軸および
ナットの軌道面やボールの表面の少なくともいずれか
に、金、銀、鉛、銅などの軟質金属、カーボンや二硫化
モリブデンなどの固体潤滑剤を膜状にコーティングする
ことが行われている。
ナットの軌道面やボールの表面の少なくともいずれか
に、金、銀、鉛、銅などの軟質金属、カーボンや二硫化
モリブデンなどの固体潤滑剤を膜状にコーティングする
ことが行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述の固体
潤滑剤からなるコーティング膜では、このコーティング
膜がボールの転動、摺動動作に伴い僅かずつ剥がれるな
ど、発塵状況がグリース使用時に比べると低レベルにな
るものの、特に清浄環境では不適合となるレベルであ
る。特に、高荷重条件においては発塵量が増大する。
潤滑剤からなるコーティング膜では、このコーティング
膜がボールの転動、摺動動作に伴い僅かずつ剥がれるな
ど、発塵状況がグリース使用時に比べると低レベルにな
るものの、特に清浄環境では不適合となるレベルであ
る。特に、高荷重条件においては発塵量が増大する。
【０００５】また、本願出願人は、バインダーにふっ素
系樹脂を混合した固体潤滑剤を、ねじ軸およびナットの
軌道面やボールの表面の少なくともいずれかにコーティ
ングすることを行っており、この場合には、先の従来例
よりも発塵を桁違いに減らせるようになる。
系樹脂を混合した固体潤滑剤を、ねじ軸およびナットの
軌道面やボールの表面の少なくともいずれかにコーティ
ングすることを行っており、この場合には、先の従来例
よりも発塵を桁違いに減らせるようになる。
【０００６】しかしながら、このコーティング膜でも、
比較的大きなアキシャル荷重がかかる状況において、剥
離や欠落の他、摩耗による発塵が著しく増加し、発塵寿
命が短くなる。しかも、前述のようなコーティング膜の
剥離、欠落が発生すると、転動、摺動部位での潤滑作用
が低下して、金属どうしの接触となるなど凝着しやすく
なる他、各構成要素の摩耗が促進されるなど、寿命とい
う点において問題がある。また、腐食性ガスがある環境
では、前述のようにコーティング膜の剥離、欠落箇所の
各構成要素が腐食されることになる。
比較的大きなアキシャル荷重がかかる状況において、剥
離や欠落の他、摩耗による発塵が著しく増加し、発塵寿
命が短くなる。しかも、前述のようなコーティング膜の
剥離、欠落が発生すると、転動、摺動部位での潤滑作用
が低下して、金属どうしの接触となるなど凝着しやすく
なる他、各構成要素の摩耗が促進されるなど、寿命とい
う点において問題がある。また、腐食性ガスがある環境
では、前述のようにコーティング膜の剥離、欠落箇所の
各構成要素が腐食されることになる。
【０００７】したがって、本発明の目的は、送りねじに
おいて、発塵の抑制および潤滑性の向上を図り、長寿命
を達成できるようにすることである。
おいて、発塵の抑制および潤滑性の向上を図り、長寿命
を達成できるようにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の送りねじ
は、ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナ
ットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、
これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、含ふ
っ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されてい
る。
は、ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナ
ットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、
これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、含ふ
っ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されてい
る。
【０００９】本発明の第２の送りねじは、ねじ軸と、そ
れに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位
に介装される複数の転動体とを備え、これらが金属材で
形成され、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部
位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形
成されている。
れに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位
に介装される複数の転動体とを備え、これらが金属材で
形成され、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部
位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形
成されている。
【００１０】本発明の第３の送りねじは、ねじ軸と、そ
れに螺合されるナットとを備え、これらの少なくともい
ずれかの摺動部位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合
物の固体膜が形成されている。
れに螺合されるナットとを備え、これらの少なくともい
ずれかの摺動部位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合
物の固体膜が形成されている。
【００１１】なお、前述の固体膜は、３次元の網状構造
を有するものとするのが好ましい。また、固体膜に流動
可能な含ふっ素重合体を分散添加するのが好ましい。さ
らに、この流動可能な含ふっ素重合体としては官能基を
有していないものとするのが好ましい。
を有するものとするのが好ましい。また、固体膜に流動
可能な含ふっ素重合体を分散添加するのが好ましい。さ
らに、この流動可能な含ふっ素重合体としては官能基を
有していないものとするのが好ましい。
【００１２】本発明の第１の送りねじの潤滑膜形成方法
は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素重
合体を溶媒中に希釈してなる溶液を用いて、送りねじの
構成要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程
と、前記付着した液状膜を硬化させることにより、網状
構造の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜を形
成する工程とを含む。
は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素重
合体を溶媒中に希釈してなる溶液を用いて、送りねじの
構成要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程
と、前記付着した液状膜を硬化させることにより、網状
構造の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜を形
成する工程とを含む。
【００１３】本発明の第２の送りねじの潤滑膜形成方法
は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素重
合体と水酸基、アミノ基、カルボキシル基の少なくとも
一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物を溶媒中に
希釈してなる溶液を用いて、送りねじの構成要素の少な
くとも一つに液状膜を付着させる工程と、前記付着した
液状膜を硬化させることにより、網状構造の含ふっ素ポ
リウレタン高分子化合物の固体膜を形成する工程とを含
む。
は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素重
合体と水酸基、アミノ基、カルボキシル基の少なくとも
一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物を溶媒中に
希釈してなる溶液を用いて、送りねじの構成要素の少な
くとも一つに液状膜を付着させる工程と、前記付着した
液状膜を硬化させることにより、網状構造の含ふっ素ポ
リウレタン高分子化合物の固体膜を形成する工程とを含
む。
【００１４】本発明の第３の送りねじの潤滑膜形成方法
は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素重
合体を単独または水酸基、アミノ基、カルボキシル基の
少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物
を溶媒中に希釈してなる溶液に、官能基を有しない含ふ
っ素重合体を加えた溶液を用いて、送りねじの構成要素
の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、前記付
着した液状膜を部分的に硬化させることにより、官能基
を有しない含ふっ素重合体を流動性を有したまま分散さ
せた網状構造の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固
体膜を形成する工程とを含む。
は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素重
合体を単独または水酸基、アミノ基、カルボキシル基の
少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物
を溶媒中に希釈してなる溶液に、官能基を有しない含ふ
っ素重合体を加えた溶液を用いて、送りねじの構成要素
の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、前記付
着した液状膜を部分的に硬化させることにより、官能基
を有しない含ふっ素重合体を流動性を有したまま分散さ
せた網状構造の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固
体膜を形成する工程とを含む。
【００１５】上記本発明の含ふっ素ポリウレタン高分子
化合物は、分子間が密に詰まって結合した固体膜であ
る。そのため、送りねじの各構成要素間での摺接時にお
いて、剥離や摩耗が発生しにくくなるとともに、摺動抵
抗が軽減されることになる。
化合物は、分子間が密に詰まって結合した固体膜であ
る。そのため、送りねじの各構成要素間での摺接時にお
いて、剥離や摩耗が発生しにくくなるとともに、摺動抵
抗が軽減されることになる。
【００１６】特に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物
の固体膜に含ふっ素重合体を流動可能な状態で分散添加
している場合では、この流動可能な含ふっ素重合体が含
ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜から滲み出て
潤滑作用に寄与する。
の固体膜に含ふっ素重合体を流動可能な状態で分散添加
している場合では、この流動可能な含ふっ素重合体が含
ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜から滲み出て
潤滑作用に寄与する。
【００１７】前述の含ふっ素重合体としては、例えば官
能基なしのパーフルオロポリエーテルなどの含ふっ素重
合体とすることができる。
能基なしのパーフルオロポリエーテルなどの含ふっ素重
合体とすることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図１ないし
図８に示す実施例に基づいて説明する。図１ないし図７
は本発明の一実施例にかかり、図１は、送りねじの概略
構成を示す縦断面図、図２は、図１のＢ部拡大図、図３
は、ボール転動溝の他の例を示す部分断面図、図４は、
図１の送りねじに被覆形成した含ふっ素ポリウレタン高
分子化合物の固体膜の構造を模式的に表した構造図、図
５は、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の硬
化前の状態での性状分析結果を示すグラフ、図６は、含
ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の硬化後の状
態での性状分析結果を示すグラフ、図７は、試験装置の
概略構成を示す縦断面図である。
図８に示す実施例に基づいて説明する。図１ないし図７
は本発明の一実施例にかかり、図１は、送りねじの概略
構成を示す縦断面図、図２は、図１のＢ部拡大図、図３
は、ボール転動溝の他の例を示す部分断面図、図４は、
図１の送りねじに被覆形成した含ふっ素ポリウレタン高
分子化合物の固体膜の構造を模式的に表した構造図、図
５は、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の硬
化前の状態での性状分析結果を示すグラフ、図６は、含
ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の硬化後の状
態での性状分析結果を示すグラフ、図７は、試験装置の
概略構成を示す縦断面図である。
【００１９】図中、Ａは送りねじ、１はねじ軸、２はナ
ット、３はボール、４はサーキュレータチューブ、５は
含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜である。
ット、３はボール、４はサーキュレータチューブ、５は
含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜である。
【００２０】ねじ軸１は、その外周面に螺旋溝１１が形
成されている。ナット２は、ねじ軸１に外嵌されてお
り、その内周面にねじ軸１の螺旋溝１１に対応する螺旋
溝２１が形成されている。複数のボール３は、ねじ軸１
の螺旋溝１１と、ナット２の螺旋溝２１との間に介装さ
れている。サーキュレータチューブ４は、ねじ軸１また
はナット２のいずれか一方の回転により両螺旋溝１１，
２１間に介装されるボール３を転動循環させるためのも
ので、ナット２に取り付けられている。
成されている。ナット２は、ねじ軸１に外嵌されてお
り、その内周面にねじ軸１の螺旋溝１１に対応する螺旋
溝２１が形成されている。複数のボール３は、ねじ軸１
の螺旋溝１１と、ナット２の螺旋溝２１との間に介装さ
れている。サーキュレータチューブ４は、ねじ軸１また
はナット２のいずれか一方の回転により両螺旋溝１１，
２１間に介装されるボール３を転動循環させるためのも
ので、ナット２に取り付けられている。
【００２１】ねじ軸１の螺旋溝１１およびナット２の螺
旋溝２１の断面形状は、ゴチックアーチ状、すなわち二
つの曲率中心の異なる円弧の組み合わせによりほぼＶ字
形に形成されている。なお、両螺旋溝１１，２１の断面
形状は、図３に示すような円弧とすることもできる。
旋溝２１の断面形状は、ゴチックアーチ状、すなわち二
つの曲率中心の異なる円弧の組み合わせによりほぼＶ字
形に形成されている。なお、両螺旋溝１１，２１の断面
形状は、図３に示すような円弧とすることもできる。
【００２２】これらねじ軸１、ナット２、ボール３およ
びサーキュレータチューブ４は、耐食性材料により形成
されている。具体的に、ねじ軸１およびナット２の素材
としては、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマル
テンサイト系ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施した
ものや、ＪＩＳ規格ＳＫＨ４、ＡＩＳＩ規格Ｍ−５０材
などの耐熱鋼とすることができる。また、ボール３は、
前述と同様の鋼材の他、セラミックス材とすることがで
きる。さらに、サーキュレータチューブ４は、例えばＳ
ＵＳ３０４などのステンレス鋼で形成される。なお、前
述のセラミックス材としては、焼結助剤として、イット
リア（Ｙ2Ｏ3）およびアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、その他、
適宜、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ2）、スピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を用いた窒化けい素
（Ｓｉ3Ｎ4）を主体とするものの他、アルミナ（Ａｌ2
Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2）、窒化アルミ（ＡｌＮ）などが好ましい。
びサーキュレータチューブ４は、耐食性材料により形成
されている。具体的に、ねじ軸１およびナット２の素材
としては、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマル
テンサイト系ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施した
ものや、ＪＩＳ規格ＳＫＨ４、ＡＩＳＩ規格Ｍ−５０材
などの耐熱鋼とすることができる。また、ボール３は、
前述と同様の鋼材の他、セラミックス材とすることがで
きる。さらに、サーキュレータチューブ４は、例えばＳ
ＵＳ３０４などのステンレス鋼で形成される。なお、前
述のセラミックス材としては、焼結助剤として、イット
リア（Ｙ2Ｏ3）およびアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、その他、
適宜、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ2）、スピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を用いた窒化けい素
（Ｓｉ3Ｎ4）を主体とするものの他、アルミナ（Ａｌ2
Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2）、窒化アルミ（ＡｌＮ）などが好ましい。
【００２３】このような材料で送りねじＡの各構成要素
を形成すれば、例えば半導体製造装置などにおいて用い
られるハロゲン系腐食性ガスに対しても、腐食せずに済
むようになる。
を形成すれば、例えば半導体製造装置などにおいて用い
られるハロゲン系腐食性ガスに対しても、腐食せずに済
むようになる。
【００２４】そして、ねじ軸１、ナット２、ボール３お
よびサーキュレータチューブ４の転動、摺動部位には、
含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５が形成さ
れている。但し、図には、固体膜５をねじ軸１の螺旋溝
１１、ナット２の螺旋溝２１、ボール３の表面、サーキ
ュレータチューブ４の内面だけに形成したように例示し
ているが、これらの外表面にも形成される。
よびサーキュレータチューブ４の転動、摺動部位には、
含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５が形成さ
れている。但し、図には、固体膜５をねじ軸１の螺旋溝
１１、ナット２の螺旋溝２１、ボール３の表面、サーキ
ュレータチューブ４の内面だけに形成したように例示し
ているが、これらの外表面にも形成される。
【００２５】含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体
膜５は、−ＣXＦ2X−Ｏ−という一般式（Ｘは１〜４の
整数）で示される単位を主要構造単位とし、いずれも平
均分子量が数百万以上で硬化反応により分子間がウレタ
ン結合された３次元の網状構造を有している。３次元の
網状構造とは、化学構造上の表現であって、膜の断面が
網状になっているのではなく、分子間が網状のように連
続してつながって密に詰まった均質な構造になっている
ことを意味している。このような重合体としては、下記
化学式１に示すような末端がイソシアネートの官能基付
き含ふっ素重合体を用いて、化学構造を変化させたもの
とすることができる。前述の末端がイソシアネートの官
能基付き含ふっ素重合体としては、パーフルオロポリエ
ーテル（ＰＦＰＥ）の誘導体、具体的に例えばモンテカ
チーニ社の商品名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DI
SOCなど）が好適に用いられる。
膜５は、−ＣXＦ2X−Ｏ−という一般式（Ｘは１〜４の
整数）で示される単位を主要構造単位とし、いずれも平
均分子量が数百万以上で硬化反応により分子間がウレタ
ン結合された３次元の網状構造を有している。３次元の
網状構造とは、化学構造上の表現であって、膜の断面が
網状になっているのではなく、分子間が網状のように連
続してつながって密に詰まった均質な構造になっている
ことを意味している。このような重合体としては、下記
化学式１に示すような末端がイソシアネートの官能基付
き含ふっ素重合体を用いて、化学構造を変化させたもの
とすることができる。前述の末端がイソシアネートの官
能基付き含ふっ素重合体としては、パーフルオロポリエ
ーテル（ＰＦＰＥ）の誘導体、具体的に例えばモンテカ
チーニ社の商品名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DI
SOCなど）が好適に用いられる。
【００２６】
【化１】
【００２７】次に、前述の含ふっ素ポリウレタン高分子
化合物の固体膜５の形成方法の一例を説明する。
化合物の固体膜５の形成方法の一例を説明する。
【００２８】（ａ） 含ふっ素ポリウレタン高分子化合
物の固体膜５を得るための溶液を用意し、この溶液中に
ねじ軸１、ナット２、ボール３およびサーキュレータチ
ューブ４をそれぞれ個別に浸漬するか、あるいはそれら
を組み立てた完成状態の送りねじＡを潤滑油中に浸漬し
て数回回転させることにより、ねじ軸１、ナット２、ボ
ール３およびサーキュレータチューブ４の表面全面に液
状膜を付着させる（付着処理）。ここで用意する溶液
は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体
〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）〕を希釈
溶媒（ふっ素系溶剤ＳＶ９０Ｄ）で含ふっ素重合体の濃
度を１ｍａｓｓ％にまで希釈したものとする。
物の固体膜５を得るための溶液を用意し、この溶液中に
ねじ軸１、ナット２、ボール３およびサーキュレータチ
ューブ４をそれぞれ個別に浸漬するか、あるいはそれら
を組み立てた完成状態の送りねじＡを潤滑油中に浸漬し
て数回回転させることにより、ねじ軸１、ナット２、ボ
ール３およびサーキュレータチューブ４の表面全面に液
状膜を付着させる（付着処理）。ここで用意する溶液
は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体
〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）〕を希釈
溶媒（ふっ素系溶剤ＳＶ９０Ｄ）で含ふっ素重合体の濃
度を１ｍａｓｓ％にまで希釈したものとする。
【００２９】（ｂ） 前記液状膜を付着した送りねじＡ
の全体を４０〜５０℃で約１分間加熱し、液状膜に含む
溶媒を除去する（乾燥処理）。この時点では、液状膜の
ままであり、流動性を有している。
の全体を４０〜５０℃で約１分間加熱し、液状膜に含む
溶媒を除去する（乾燥処理）。この時点では、液状膜の
ままであり、流動性を有している。
【００３０】（ｃ） この後、例えば１００〜２００℃
で２０時間、加熱する（硬化処理）。これにより、液状
膜の化学構造が変化することにより硬化反応して含ふっ
素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５が得られる。ち
なみに、この硬化処理では、液状膜に存在している官能
基付き含ふっ素重合体の個々について、下記化学式２〜
５に示すような４種の硬化反応でもって末端のイソシア
ネート（ＮＣＯ）が消失し、各官能基付き含ふっ素重合
体が互いにウレタン結合することにより３次元の網状構
造となる。ウレタン結合は、化学式２，３に示すような
硬化反応でもって、図４（ａ）に模式的に示すように直
線的に架橋するとともに、化学式４，５に示すような硬
化反応でもって、図４（ｂ）に模式的に示すように３次
元方向で架橋する。
で２０時間、加熱する（硬化処理）。これにより、液状
膜の化学構造が変化することにより硬化反応して含ふっ
素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５が得られる。ち
なみに、この硬化処理では、液状膜に存在している官能
基付き含ふっ素重合体の個々について、下記化学式２〜
５に示すような４種の硬化反応でもって末端のイソシア
ネート（ＮＣＯ）が消失し、各官能基付き含ふっ素重合
体が互いにウレタン結合することにより３次元の網状構
造となる。ウレタン結合は、化学式２，３に示すような
硬化反応でもって、図４（ａ）に模式的に示すように直
線的に架橋するとともに、化学式４，５に示すような硬
化反応でもって、図４（ｂ）に模式的に示すように３次
元方向で架橋する。
【００３１】
【化２】
【００３２】
【化３】
【００３３】
【化４】
【００３４】
【化５】
【００３５】このようにすれば、送りねじＡの構成要素
において少なくとも互いに接触する部位に含ふっ素ポリ
ウレタン高分子化合物の固体膜５を好適な膜厚で形成す
ることができる。なお、（ａ）、（ｂ）は必要に応じて
数回繰り返すようにしてもよく、最終的には、用途に応
じて、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５の
膜厚を例えば０．１〜３μｍの範囲で適宜に設定するこ
とができる。
において少なくとも互いに接触する部位に含ふっ素ポリ
ウレタン高分子化合物の固体膜５を好適な膜厚で形成す
ることができる。なお、（ａ）、（ｂ）は必要に応じて
数回繰り返すようにしてもよく、最終的には、用途に応
じて、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５の
膜厚を例えば０．１〜３μｍの範囲で適宜に設定するこ
とができる。
【００３６】ここで、（ａ）で用意した溶液を濃縮乾燥
しただけの状態（流動性がある状態）と、（ａ）で用意
した溶液をステンレス鋼板などの試料に付着して硬化し
た状態とについて、その性状を分析したので説明する。
しただけの状態（流動性がある状態）と、（ａ）で用意
した溶液をステンレス鋼板などの試料に付着して硬化し
た状態とについて、その性状を分析したので説明する。
【００３７】前者は、ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換−赤
外分光、液膜法）で分析している。その結果は、図５の
グラフに示すように、ふっ素系のピーク以外にＮＨ（３
３００ｃｍ-1）、Ｎ＝Ｃ＝Ｏ（２２７９ｃｍ-1）、Ｎ
（Ｈ）Ｃ＝Ｏ（１７１２ｃｍ-1，１５４６ｃｍ-1）、ベ
ンゼン（１６００ｃｍ-1）などのピークが見られ、ベン
ゼン環、ウレタン結合、イソシアネートが官能基として
存在していることが確認できる。ここでは、薄膜と厚膜
との場合についてそれぞれ調べているが、膜厚に関係な
く分析が行えた。後者は、ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換
−赤外分光、高感度反射法）で分析している。その結果
は、図６のグラフに示すように、ベンゼン環やウレタン
結合のピークが見られるが、イソシアネートのピークが
見られない。つまり、これらの結果に基づき、上記化学
式２〜５に示す硬化反応による官能基の化学構造変化が
確認される。
外分光、液膜法）で分析している。その結果は、図５の
グラフに示すように、ふっ素系のピーク以外にＮＨ（３
３００ｃｍ-1）、Ｎ＝Ｃ＝Ｏ（２２７９ｃｍ-1）、Ｎ
（Ｈ）Ｃ＝Ｏ（１７１２ｃｍ-1，１５４６ｃｍ-1）、ベ
ンゼン（１６００ｃｍ-1）などのピークが見られ、ベン
ゼン環、ウレタン結合、イソシアネートが官能基として
存在していることが確認できる。ここでは、薄膜と厚膜
との場合についてそれぞれ調べているが、膜厚に関係な
く分析が行えた。後者は、ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換
−赤外分光、高感度反射法）で分析している。その結果
は、図６のグラフに示すように、ベンゼン環やウレタン
結合のピークが見られるが、イソシアネートのピークが
見られない。つまり、これらの結果に基づき、上記化学
式２〜５に示す硬化反応による官能基の化学構造変化が
確認される。
【００３８】以上説明した含ふっ素ポリウレタン高分子
化合物の固体膜５は、それ自体３次元の網状構造をもっ
て、被覆対象上に緻密に被覆されるとともに自己潤滑性
を有するため、送りねじＡの構成要素間の転動、摺動動
作に伴う摩耗、剥離といった発塵を抑制できるようにな
り、送りねじＡの構成要素どうしの直接的な接触を回避
できるようになる。
化合物の固体膜５は、それ自体３次元の網状構造をもっ
て、被覆対象上に緻密に被覆されるとともに自己潤滑性
を有するため、送りねじＡの構成要素間の転動、摺動動
作に伴う摩耗、剥離といった発塵を抑制できるようにな
り、送りねじＡの構成要素どうしの直接的な接触を回避
できるようになる。
【００３９】ところで、本発明の他の実施例として、上
記実施例で説明した含ふっ素ポリウレタン高分子化合物
の固体膜５について、分子間がウレタン結合した３次元
の網状構造中に、フルオロポリエーテルなどの含ふっ素
重合体を流動可能に分散添加した構造とすることもでき
る。この場合、具体的に、上記実施例での形成方法の
（ａ）の付着処理において、用意する溶液を、末端がイ
ソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔例えば商品
名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOCなど）〕
と、含ふっ素化合物として官能基なし含ふっ素重合体
〔例えば商品名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60な
ど）〕とを所定の割合で混合したものとすればよい。こ
の場合では、（ｃ）の硬化処理において、官能基なし含
ふっ素重合体が、官能基付き含ふっ素重合体と結合しな
いので、これが、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の
固体膜５の内部において流動可能となり、含ふっ素ポリ
ウレタン高分子化合物の固体膜５から滲み出るなどして
潤滑作用を発揮することになる。なお、含ふっ素重合体
としては、前述の官能基なし含ふっ素重合体のみに限定
されず、化学式６，７，８に示すような官能基付き含ふ
っ素重合体とすることができる。
記実施例で説明した含ふっ素ポリウレタン高分子化合物
の固体膜５について、分子間がウレタン結合した３次元
の網状構造中に、フルオロポリエーテルなどの含ふっ素
重合体を流動可能に分散添加した構造とすることもでき
る。この場合、具体的に、上記実施例での形成方法の
（ａ）の付着処理において、用意する溶液を、末端がイ
ソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔例えば商品
名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOCなど）〕
と、含ふっ素化合物として官能基なし含ふっ素重合体
〔例えば商品名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60な
ど）〕とを所定の割合で混合したものとすればよい。こ
の場合では、（ｃ）の硬化処理において、官能基なし含
ふっ素重合体が、官能基付き含ふっ素重合体と結合しな
いので、これが、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の
固体膜５の内部において流動可能となり、含ふっ素ポリ
ウレタン高分子化合物の固体膜５から滲み出るなどして
潤滑作用を発揮することになる。なお、含ふっ素重合体
としては、前述の官能基なし含ふっ素重合体のみに限定
されず、化学式６，７，８に示すような官能基付き含ふ
っ素重合体とすることができる。
【００４０】
【化６】
【００４１】
【化７】
【００４２】
【化８】
【００４３】そして、上述した含ふっ素ポリウレタン高
分子化合物の固体膜５についての発塵寿命、トルク寿命
を調べているので、説明する。ここでは、実施例１〜
４、比較例の計５つを挙げている。
分子化合物の固体膜５についての発塵寿命、トルク寿命
を調べているので、説明する。ここでは、実施例１〜
４、比較例の計５つを挙げている。
【００４４】実施例１〜４では、含ふっ素ポリウレタン
高分子化合物の固体膜５を、ねじ軸、ナット、ボールお
よびサーキュレータチューブの全表面に形成しており、
膜厚は、１μｍに設定している。
高分子化合物の固体膜５を、ねじ軸、ナット、ボールお
よびサーキュレータチューブの全表面に形成しており、
膜厚は、１μｍに設定している。
【００４５】実施例１の含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISO
C）〕のみを用いて得ている。
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISO
C）〕のみを用いて得ている。
【００４６】実施例２の含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISO
C）〕に対して、末端が水酸基（−ＯＨ）の官能基付き
含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DO
L）〕を添加して得ている。
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISO
C）〕に対して、末端が水酸基（−ＯＨ）の官能基付き
含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DO
L）〕を添加して得ている。
【００４７】実施例３の含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISO
C）〕に対して、官能基なし含ふっ素重合体〔フォンブ
リンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）〕を添加して得ている。
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISO
C）〕に対して、官能基なし含ふっ素重合体〔フォンブ
リンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）〕を添加して得ている。
【００４８】実施例４の含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISO
C）〕に対して、末端が水酸基の官能基付き含ふっ素重
合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DOL）〕と、
官能基なし含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FO
NBLIN Z-60）〕とを添加して得ている。
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISO
C）〕に対して、末端が水酸基の官能基付き含ふっ素重
合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DOL）〕と、
官能基なし含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FO
NBLIN Z-60）〕とを添加して得ている。
【００４９】比較例は、ねじ軸、ナット、ボールおよび
サーキュレータチューブの全表面にコーティング膜を形
成したものとする。このコーティング膜は、熱硬化性合
成樹脂（ポリイミド）からなるバインダー中にポリテト
ラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を分散混合したもので
あり、膜厚は１μｍとしている。このコーティング膜
は、比較的硬質で緻密な熱硬化性合成樹脂が海状とな
り、不均質なポリテトラフルオロエチレンが島状に点在
する構造となっており、両者の結合が弱い状態になって
いる。
サーキュレータチューブの全表面にコーティング膜を形
成したものとする。このコーティング膜は、熱硬化性合
成樹脂（ポリイミド）からなるバインダー中にポリテト
ラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を分散混合したもので
あり、膜厚は１μｍとしている。このコーティング膜
は、比較的硬質で緻密な熱硬化性合成樹脂が海状とな
り、不均質なポリテトラフルオロエチレンが島状に点在
する構造となっており、両者の結合が弱い状態になって
いる。
【００５０】試験は、図７に示す装置を用いている。図
中、６０は送りねじＡのねじ軸、６１は送りねじＡのサ
ポート軸受、６２は負荷用ばね、６３はパーティクルカ
ウンター、６４は送りねじＡのナット、６５は支持板、
６６はナット６４のハウジング、６７はハウジングの回
転止め、６８はモータ、６９はモータ６８とねじ軸６０
とのカップリングである。
中、６０は送りねじＡのねじ軸、６１は送りねじＡのサ
ポート軸受、６２は負荷用ばね、６３はパーティクルカ
ウンター、６４は送りねじＡのナット、６５は支持板、
６６はナット６４のハウジング、６７はハウジングの回
転止め、６８はモータ、６９はモータ６８とねじ軸６０
とのカップリングである。
【００５１】試験条件は、下記のとおり。
【００５２】 ・回転速度 ：１２０ｒｐｍ ・荷重 ：アキシャル荷重（２５Ｎ，５０Ｎ，７５Ｎ） ・ストローク：５０ｍｍ ・雰囲気 ：大気でクリーンベンチ内（クラス１０）、 真空（２．６×１０-4Ｐａ以下） ・環境温度 ：室温 ・計測条件 ：粒子径０．１μｍ以上の発塵粒子数 試験に用いた送りねじＡは、呼び番号１４０４、７ＴＳ
３、５Ｃ７で、ねじ軸１の軸径を１４ｍｍ、ボール３の
径を２ｍｍ（３．５巻、１列）、リードを３／１６″
（４．７６３ｍｍ）としている。
３、５Ｃ７で、ねじ軸１の軸径を１４ｍｍ、ボール３の
径を２ｍｍ（３．５巻、１列）、リードを３／１６″
（４．７６３ｍｍ）としている。
【００５３】発塵寿命試験では、雰囲気を大気、環境温
度を室温、アキシャル荷重を７５Ｎとしている。発塵寿
命試験では、総発塵量が１０００個／０．１ｃｆ以上と
なる状況を、連続１０回測定した時点までの時間を計測
している。なお、測定は１０分間隔とする。実施例１の
フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１
ｍａｓｓ％とし、実施例２は、ベースとなるフォンブリ
ンＺ誘導体（FONBLINZ DISOC）の濃度を１ｍａｓｓ％、
添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DOL）の濃
度を０．２５ｍａｓｓ％、実施例３は、ベースとなるフ
ォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１ｍ
ａｓｓ％、添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-
60）の濃度を０．２５ｍａｓｓ％、実施例４は、ベース
となるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃
度を１ｍａｓｓ％、添加するフォンブリンＺ誘導体（FO
NBLIN Z DOL）およびフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z
-60）の濃度を合わせて０．２５ｍａｓｓ％とする。
度を室温、アキシャル荷重を７５Ｎとしている。発塵寿
命試験では、総発塵量が１０００個／０．１ｃｆ以上と
なる状況を、連続１０回測定した時点までの時間を計測
している。なお、測定は１０分間隔とする。実施例１の
フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１
ｍａｓｓ％とし、実施例２は、ベースとなるフォンブリ
ンＺ誘導体（FONBLINZ DISOC）の濃度を１ｍａｓｓ％、
添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DOL）の濃
度を０．２５ｍａｓｓ％、実施例３は、ベースとなるフ
ォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１ｍ
ａｓｓ％、添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-
60）の濃度を０．２５ｍａｓｓ％、実施例４は、ベース
となるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃
度を１ｍａｓｓ％、添加するフォンブリンＺ誘導体（FO
NBLIN Z DOL）およびフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z
-60）の濃度を合わせて０．２５ｍａｓｓ％とする。
【００５４】結果としては、比較例で２００時間、実施
例１で３００時間、実施例２で５００時間、実施例３で
１４００時間、実施例４で１３５０時間となり、寿命が
長い順に実施例３、実施例４、実施例２、実施例１、比
較例となる。つまり、実施例１のようにフォンブリンＺ
誘導体（FONBLIN Z DISOC）のみを用いて得た含ふっ素
ポリウレタン高分子化合物の固体膜でも比較例に比べて
優れるが、実施例２〜４のようにベースとなるフォンブ
リンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）に対して側鎖に官能
基を持つフォンブリンＺ誘導体や側鎖に官能基を持たな
いフォンブリンＺ誘導体を添加して得た含ふっ素ポリウ
レタン高分子化合物の固体膜５の方が実施例１よりもさ
らに優れるのである。
例１で３００時間、実施例２で５００時間、実施例３で
１４００時間、実施例４で１３５０時間となり、寿命が
長い順に実施例３、実施例４、実施例２、実施例１、比
較例となる。つまり、実施例１のようにフォンブリンＺ
誘導体（FONBLIN Z DISOC）のみを用いて得た含ふっ素
ポリウレタン高分子化合物の固体膜でも比較例に比べて
優れるが、実施例２〜４のようにベースとなるフォンブ
リンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）に対して側鎖に官能
基を持つフォンブリンＺ誘導体や側鎖に官能基を持たな
いフォンブリンＺ誘導体を添加して得た含ふっ素ポリウ
レタン高分子化合物の固体膜５の方が実施例１よりもさ
らに優れるのである。
【００５５】つまり、実施例１〜４の含ふっ素ポリウレ
タン高分子化合物の固体膜５は、３次元の網状構造で密
に詰まった均質膜になっているから、送りねじＡの各構
成要素間での転動、摺動時において、剥離や摩耗が発生
しにくくなるのである。
タン高分子化合物の固体膜５は、３次元の網状構造で密
に詰まった均質膜になっているから、送りねじＡの各構
成要素間での転動、摺動時において、剥離や摩耗が発生
しにくくなるのである。
【００５６】ちなみに、実施例３，４において、アキシ
ャル荷重を５０Ｎにした場合だと発塵寿命は各々５６０
０時間、５５００時間、また、２０Ｎにした場合だと発
塵寿命は各々１４０００時間、１３９００時間にと大幅
に向上する。実施例２や１についても実施例３，４の場
合と同様の比率で向上する。一方、比較例において、ア
キシャル荷重を５０Ｎにした場合だと発塵寿命は２６０
時間にと向上するものの、実施例３，４に比べると、か
なり低いレベルとなる。したがって、使用対象での条件
に応じて実施例１〜４のいずれかを選択すればよいので
ある。
ャル荷重を５０Ｎにした場合だと発塵寿命は各々５６０
０時間、５５００時間、また、２０Ｎにした場合だと発
塵寿命は各々１４０００時間、１３９００時間にと大幅
に向上する。実施例２や１についても実施例３，４の場
合と同様の比率で向上する。一方、比較例において、ア
キシャル荷重を５０Ｎにした場合だと発塵寿命は２６０
時間にと向上するものの、実施例３，４に比べると、か
なり低いレベルとなる。したがって、使用対象での条件
に応じて実施例１〜４のいずれかを選択すればよいので
ある。
【００５７】以上の結果より、含ふっ素ポリウレタン高
分子化合物の固体膜５としては、末端がイソシアネート
の官能基付き含ふっ素重合体のみを用いて形成するより
も、流動性を有する含ふっ素重合体を添加するのが好ま
しいことが分かった。添加する含ふっ素重合体について
は、上記結果より、官能基なしの含ふっ素重合体が最も
好ましいことも分かった。
分子化合物の固体膜５としては、末端がイソシアネート
の官能基付き含ふっ素重合体のみを用いて形成するより
も、流動性を有する含ふっ素重合体を添加するのが好ま
しいことが分かった。添加する含ふっ素重合体について
は、上記結果より、官能基なしの含ふっ素重合体が最も
好ましいことも分かった。
【００５８】そこで、添加量について検討する。ベース
となるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃
度を１ｍａｓｓ％として、添加するフォンブリンＺ誘導
体（FONBLIN Z-60）の濃度を０．２５ｍａｓｓ％、０．
５ｍａｓｓ％として、発塵寿命（アキシャル荷重１００
Ｎ）を調べた。結果的には、０．２５ｍａｓｓ％で１４
００時間、０．５ｍａｓｓ％で９９０時間となり、０．
２５ｍａｓｓ％が適当であると考えられる。但し、添加
量については、上限、下限に余裕を持たせて、ベースと
なるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度
１ｍａｓｓ％に対して、添加するフォンブリンＺ誘導体
（FONBLIN Z-60）の濃度０．１〜０．７５ｍａｓｓ％の
範囲とすることができる。また、ベースとなるフォンブ
リンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度は、１〜１０
ｍａｓｓ％の範囲とすることができる。この場合、ベー
スとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の
濃度を例えば上限の５ｍａｓｓ％とする場合には、添加
するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）の濃度も
０．５〜２．５ｍａｓｓ％の範囲として、両方の比率を
常に一定に設定するのがよい。但し、ベースの濃度は濃
くするにつれて発塵寿命が低下する傾向となる。
となるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃
度を１ｍａｓｓ％として、添加するフォンブリンＺ誘導
体（FONBLIN Z-60）の濃度を０．２５ｍａｓｓ％、０．
５ｍａｓｓ％として、発塵寿命（アキシャル荷重１００
Ｎ）を調べた。結果的には、０．２５ｍａｓｓ％で１４
００時間、０．５ｍａｓｓ％で９９０時間となり、０．
２５ｍａｓｓ％が適当であると考えられる。但し、添加
量については、上限、下限に余裕を持たせて、ベースと
なるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度
１ｍａｓｓ％に対して、添加するフォンブリンＺ誘導体
（FONBLIN Z-60）の濃度０．１〜０．７５ｍａｓｓ％の
範囲とすることができる。また、ベースとなるフォンブ
リンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度は、１〜１０
ｍａｓｓ％の範囲とすることができる。この場合、ベー
スとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の
濃度を例えば上限の５ｍａｓｓ％とする場合には、添加
するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）の濃度も
０．５〜２．５ｍａｓｓ％の範囲として、両方の比率を
常に一定に設定するのがよい。但し、ベースの濃度は濃
くするにつれて発塵寿命が低下する傾向となる。
【００５９】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものでなく、種々な応用や変形が考えられる。
るものでなく、種々な応用や変形が考えられる。
【００６０】（１） ナット２の軸方向一端または軸方
向両端には、必要に応じねじ軸１の螺旋溝１１に対して
近接する非接触タイプのシールを設けてもよく、この場
合には低発塵性に、より貢献できる。このシールとして
は、合成ゴムなどの弾性体により円筒形に形成されてお
り、内周面の所要角度範囲にねじ軸１の螺旋溝１１に近
似する断面形状の凸部を有するものが考えられる。
向両端には、必要に応じねじ軸１の螺旋溝１１に対して
近接する非接触タイプのシールを設けてもよく、この場
合には低発塵性に、より貢献できる。このシールとして
は、合成ゴムなどの弾性体により円筒形に形成されてお
り、内周面の所要角度範囲にねじ軸１の螺旋溝１１に近
似する断面形状の凸部を有するものが考えられる。
【００６１】（２） 上記実施例では、送りねじとして
ボールを備えるタイプを引用しているが、図８に示すよ
うに、ボールを備えないタイプの送りねじにも本発明を
適用できる。この場合、固体膜５は、ねじ軸１の螺旋溝
１１とナット２の螺旋溝２１の少なくともいずれか一方
に形成すればよい。
ボールを備えるタイプを引用しているが、図８に示すよ
うに、ボールを備えないタイプの送りねじにも本発明を
適用できる。この場合、固体膜５は、ねじ軸１の螺旋溝
１１とナット２の螺旋溝２１の少なくともいずれか一方
に形成すればよい。
【００６２】（３） 上記実施例において（ｃ）の硬化
処理については、加熱に代えて、紫外線、赤外線、γ
線、電子線などの電磁波（光）のエネルギーを利用する
ことができる。
処理については、加熱に代えて、紫外線、赤外線、γ
線、電子線などの電磁波（光）のエネルギーを利用する
ことができる。
【００６３】（４） 上記実施例において（ｂ）の乾燥
処理は、省略してもよい。
処理は、省略してもよい。
【００６４】（５） 上記実施例では、送りねじＡの構
成要素のすべてに含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の
固体膜５を形成しているが、送りねじＡの少なくとも、
ねじ軸１およびナット２だけ、あるいはボール３だけに
形成することができる。
成要素のすべてに含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の
固体膜５を形成しているが、送りねじＡの少なくとも、
ねじ軸１およびナット２だけ、あるいはボール３だけに
形成することができる。
【００６５】（６） 上記実施例では、含ふっ素ポリウ
レタン高分子化合物の固体膜５を被覆対象の外表面にも
形成しているが、ねじ軸１、ナット２に対してはその螺
旋溝１１，２１だけに、また、サーキュレータチューブ
４に対してはその内面だけに形成することができる。こ
の場合、不要箇所をマスキングしておいて、送りねじと
して組み立てる前に各単体を上記（ａ）で用意する溶液
中に浸漬して、適宜硬化させるようにすればよい。但
し、外表面にも固体膜５を形成していれば、耐食性環境
での使用においても腐食防止効果が強くなり、別途、腐
食防止処理を施さなくて済む。
レタン高分子化合物の固体膜５を被覆対象の外表面にも
形成しているが、ねじ軸１、ナット２に対してはその螺
旋溝１１，２１だけに、また、サーキュレータチューブ
４に対してはその内面だけに形成することができる。こ
の場合、不要箇所をマスキングしておいて、送りねじと
して組み立てる前に各単体を上記（ａ）で用意する溶液
中に浸漬して、適宜硬化させるようにすればよい。但
し、外表面にも固体膜５を形成していれば、耐食性環境
での使用においても腐食防止効果が強くなり、別途、腐
食防止処理を施さなくて済む。
【００６６】
【発明の効果】本発明の送りねじでは、従来のコーティ
ング膜に比べて剥離、欠落、摩耗が抑制できるととも
に、転動、摺動抵抗を軽減できる含ふっ素ポリウレタン
高分子化合物の固体膜を用いているから、発塵寿命と潤
滑性を向上できるようになり、動作安定性および寿命の
向上に貢献できる。
ング膜に比べて剥離、欠落、摩耗が抑制できるととも
に、転動、摺動抵抗を軽減できる含ふっ素ポリウレタン
高分子化合物の固体膜を用いているから、発塵寿命と潤
滑性を向上できるようになり、動作安定性および寿命の
向上に貢献できる。
【００６７】したがって、例えば半導体製造過程のよう
に高精度な加工が要求されるところに本発明の転がり軸
受を用いると、清浄雰囲気を阻害しにくくなるので、半
導体製造品の歩留まり向上に貢献できる。
に高精度な加工が要求されるところに本発明の転がり軸
受を用いると、清浄雰囲気を阻害しにくくなるので、半
導体製造品の歩留まり向上に貢献できる。
【図１】本発明の送りねじの概略構成を示す縦断面図
【図２】図１のＢ部を拡大した断面図
【図３】ボール転動溝の他の例を示す部分断面図
【図４】図１の送りねじに被覆形成した含ふっ素ポリウ
レタン高分子化合物の固体膜の構造を模式的に表した構
造図
レタン高分子化合物の固体膜の構造を模式的に表した構
造図
【図５】含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の
硬化前の状態での性状分析結果を示すグラフ
硬化前の状態での性状分析結果を示すグラフ
【図６】含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の
硬化後の状態での性状分析結果を示すグラフ
硬化後の状態での性状分析結果を示すグラフ
【図７】試験装置の概略構成を示す縦断面図
【図８】本発明の他の送りねじを示す縦断面図
Ａ 送りねじ １ ねじ軸 ２ ナット ３ ボール ４ サーキュレータチューブ ５ 含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜 １１ ねじ軸の螺旋溝 ２１ ナットの螺旋溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ１０Ｍ 107:40 Ｃ１０Ｎ 40:06
Claims (9)
- 【請求項１】 ねじ軸と、それに螺合されるナットと、
ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体
とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部
位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形
成されている、ことを特徴とする送りねじ。 - 【請求項２】 ねじ軸と、それに螺合されるナットと、
ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体
とを備え、これらが金属材で形成され、これらの少なく
ともいずれかの転動、摺動部位に、含ふっ素ポリウレタ
ン高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴
とする送りねじ。 - 【請求項３】 ねじ軸と、それに螺合されるナットとを
備え、これらの少なくともいずれかの摺動部位に、含ふ
っ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されてい
る、ことを特徴とする送りねじ。 - 【請求項４】 前記固体膜は、３次元の網状構造を有し
ている、請求項１ないし３のいずれかに記載の送りね
じ。 - 【請求項５】 前記固体膜に流動可能な含ふっ素重合体
が分散添加されている、請求項１ないし４に記載の送り
ねじ。 - 【請求項６】 前記流動可能な含ふっ素重合体が官能基
を有していない、請求項５に記載の送りねじ。 - 【請求項７】 官能基としてイソシアネート基を有する
含ふっ素重合体を溶媒中に希釈してなる溶液を用いて、
送りねじの構成要素の少なくとも一つに液状膜を付着さ
せる工程と、 前記付着した液状膜を硬化させることにより、網状構造
の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜を形成す
る工程と、 を含むことを特徴とする送りねじの潤滑膜形成方法。 - 【請求項８】 官能基としてイソシアネート基を有する
含ふっ素重合体と水酸基、アミノ基、カルボキシル基の
少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物
を溶媒中に希釈してなる溶液を用いて、送りねじの構成
要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、 前記付着した液状膜を硬化させることにより、網状構造
の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜を形成す
る工程と、 を含むことを特徴とする送りねじの潤滑膜形成方法。 - 【請求項９】 官能基としてイソシアネート基を有する
含ふっ素重合体を単独または水酸基、アミノ基、カルボ
キシル基の少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体
との混合物を溶媒中に希釈してなる溶液に、官能基を有
しない含ふっ素重合体を加えた溶液を用いて、送りねじ
の構成要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程
と、 前記付着した液状膜を部分的に硬化させることにより、
官能基を有しない含ふっ素重合体を流動性を有したまま
分散させた網状構造の含ふっ素ポリウレタン高分子化合
物の固体膜を形成する工程と、 を含むことを特徴とする送りねじの潤滑膜形成方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23750296A JP3698830B2 (ja) | 1995-09-11 | 1996-09-09 | 送りねじおよび送りねじの潤滑膜形成方法 |
| DE69620578T DE69620578T2 (de) | 1995-09-11 | 1996-09-10 | Vorschubspindel und methode zur aufbringung eines schmierfilms |
| US08/836,388 US6007286A (en) | 1995-09-11 | 1996-09-10 | Driving screw and a method for forming lubricating film thereon |
| EP96929582A EP0803660B1 (en) | 1995-09-11 | 1996-09-10 | Driving screw and method of forming film of lubricant |
| KR1019970703062A KR100390688B1 (ko) | 1995-09-11 | 1996-09-10 | 이송나사 및 이송나사의 윤활막형성방법 |
| PCT/JP1996/002579 WO1997012162A1 (fr) | 1995-09-11 | 1996-09-10 | Vis d'avance et procede de production de film lubrifiant |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-232609 | 1995-09-11 | ||
| JP23260995 | 1995-09-11 | ||
| JP23750296A JP3698830B2 (ja) | 1995-09-11 | 1996-09-09 | 送りねじおよび送りねじの潤滑膜形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09137855A true JPH09137855A (ja) | 1997-05-27 |
| JP3698830B2 JP3698830B2 (ja) | 2005-09-21 |
Family
ID=26530555
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6007286A (ja) |
| EP (1) | EP0803660B1 (ja) |
| JP (1) | JP3698830B2 (ja) |
| KR (1) | KR100390688B1 (ja) |
| DE (1) | DE69620578T2 (ja) |
| WO (1) | WO1997012162A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011169435A (ja) * | 2010-02-22 | 2011-09-01 | Jtekt Corp | ボールねじ |
Families Citing this family (22)
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|---|---|---|---|---|
| KR100515941B1 (ko) * | 1997-03-25 | 2005-09-16 | 고요 세이코 가부시키가이샤 | 정보 기기 |
| DE19831940A1 (de) * | 1998-07-16 | 2000-01-20 | Alltec Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Gewindetriebmutter und Gewindetriebmutter |
| US6390747B1 (en) * | 1999-09-24 | 2002-05-21 | Alfred Commins | Shrinkage compensator for building tiedowns |
| US6645261B2 (en) | 2000-03-06 | 2003-11-11 | Cargill, Inc. | Triacylglycerol-based alternative to paraffin wax |
| US7150132B2 (en) * | 2003-08-12 | 2006-12-19 | Commins Alfred D | Continuous hold-down system |
| ES2291183T3 (es) * | 2000-10-13 | 2008-03-01 | Hawa Ag | Dispositivo de fijacion para un carril. |
| US6824572B2 (en) | 2001-03-06 | 2004-11-30 | Cargill, Incorporated | Vegetable oil based wax compositions |
| US6797020B2 (en) * | 2002-11-12 | 2004-09-28 | Cargill, Incorporated | Triacylglycerol based wax for use in container candles |
| US6773469B2 (en) * | 2002-11-12 | 2004-08-10 | Cargill, Incorporated | Triacylglycerol based wax for use in candles |
| US20060133912A1 (en) * | 2003-06-23 | 2006-06-22 | Commins Alfred D | Circumferentially balanced, take-up device |
| US7510584B2 (en) * | 2004-10-13 | 2009-03-31 | Daniel S. Cap | Acetylated wax compositions and articles containing them |
| US7621085B2 (en) * | 2005-01-03 | 2009-11-24 | Commins Alfred D | Racheting take-up device |
| US7588607B1 (en) | 2005-03-16 | 2009-09-15 | Daniel S. Cap | Candlewax compositions with improved scent-throw |
| JP2007292221A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Fujitsu Ltd | 構造体および記録媒体駆動装置並びに潤滑膜付きねじ |
| US7729082B2 (en) * | 2006-07-25 | 2010-06-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Application of PFPES for HDD screw lubricant |
| JP4742007B2 (ja) * | 2006-10-11 | 2011-08-10 | 株式会社トープラ | タッピンねじ用皮膜形成剤、同皮膜形成剤を用いてタッピンねじの外周を被覆する皮膜を形成する皮膜形成方法、および、同皮膜形成剤にて形成された皮膜付きタッピンねじ |
| EP2674360A1 (en) * | 2012-06-13 | 2013-12-18 | Claverham Limited | Dry lubricated linear actuator for in blade rotor control |
| DE102012014163B4 (de) * | 2012-07-18 | 2019-01-10 | Thyssenkrupp Presta Aktiengesellschaft | Kugelgewindetrieb |
| DE102013015346A1 (de) * | 2013-09-17 | 2015-03-19 | Thyssenkrupp Presta Ag | Zirkoniumcarbonitrid-Beschichtung für einen Kugelgewindetrieb |
| US9908637B2 (en) * | 2014-05-23 | 2018-03-06 | The Boeing Company | Modified shank fasteners for electromagnetic effect (EME) technology |
| JP5877890B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2016-03-08 | Thk株式会社 | ねじ装置用冷却ノズル及び運動案内装置用冷却ノズル |
| US11137014B2 (en) | 2019-01-08 | 2021-10-05 | The Boeing Company | Conductive fastening system and method for improved EME performance |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS6376908A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-07 | Yobea Rulon Kogyo Kk | ころがり軸受 |
| JPH07119808A (ja) * | 1993-10-25 | 1995-05-12 | Nippon Seiko Kk | 潤滑剤供給部材を有するボールねじ装置 |
| KR101580589B1 (ko) * | 2011-10-03 | 2015-12-28 | 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 | 연속 열간 압연에 있어서의 시트바의 접합 방법 |
-
1996
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- 1996-09-10 EP EP96929582A patent/EP0803660B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011169435A (ja) * | 2010-02-22 | 2011-09-01 | Jtekt Corp | ボールねじ |
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