JPH08200467A - ボールねじ - Google Patents
ボールねじInfo
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- JPH08200467A JPH08200467A JP840295A JP840295A JPH08200467A JP H08200467 A JPH08200467 A JP H08200467A JP 840295 A JP840295 A JP 840295A JP 840295 A JP840295 A JP 840295A JP H08200467 A JPH08200467 A JP H08200467A
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- Japan
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- screw shaft
- nut
- peripheral surface
- spiral groove
- ball screw
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ボールねじにおいて、低発塵性、耐荷重性およ
び低回転トルク特性を兼ね備えるようにすること。 【構成】外周面に螺旋溝１１を有するねじ軸１と、内周
面にねじ軸１の螺旋溝２１を有するナット２と、これら
の両螺旋溝１１，２１の間に転動自在に介装される複数
のボール３とを備えたボールねじＡにおいて、少なくと
も、螺旋溝１１を含むねじ軸１の外周面およびナット２
の内周面に二硫化モリブデンからなる被膜６がコーティ
ングされているとともに、被膜６の表面の少なくとも螺
旋溝１１，２１部分に低蒸気圧のふっ素系グリース７が
塗布されている。
び低回転トルク特性を兼ね備えるようにすること。 【構成】外周面に螺旋溝１１を有するねじ軸１と、内周
面にねじ軸１の螺旋溝２１を有するナット２と、これら
の両螺旋溝１１，２１の間に転動自在に介装される複数
のボール３とを備えたボールねじＡにおいて、少なくと
も、螺旋溝１１を含むねじ軸１の外周面およびナット２
の内周面に二硫化モリブデンからなる被膜６がコーティ
ングされているとともに、被膜６の表面の少なくとも螺
旋溝１１，２１部分に低蒸気圧のふっ素系グリース７が
塗布されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空、高温、清浄、腐
食といった環境で好適に用いられるボールねじに関す
る。
食といった環境で好適に用いられるボールねじに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】前述の環境として、例えば半導体製造装
置が挙げられ、その搬送系（半導体ウエハを真空中のチ
ャンバ内に出し入れするＸ−Ｙテーブル）などにボール
ねじが用いられる。
置が挙げられ、その搬送系（半導体ウエハを真空中のチ
ャンバ内に出し入れするＸ−Ｙテーブル）などにボール
ねじが用いられる。
【０００３】このような用途の場合、出願人は、ボール
ねじにおいてねじ軸の螺旋溝、ナットの螺旋溝やボール
の表面に、二硫化モリブデンなどからなる潤滑膜や、ふ
っ素系合成樹脂（ポリテトラフルオロエチレン：ＰＴＦ
Ｅなど）を分散混合してなる潤滑膜をコーティングする
ようにしている。
ねじにおいてねじ軸の螺旋溝、ナットの螺旋溝やボール
の表面に、二硫化モリブデンなどからなる潤滑膜や、ふ
っ素系合成樹脂（ポリテトラフルオロエチレン：ＰＴＦ
Ｅなど）を分散混合してなる潤滑膜をコーティングする
ようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したボ
ールねじでは、ボールの転動に伴い潤滑膜が摩耗してこ
の摩耗粉が螺旋溝へ転移供給されることにより潤滑を行
うが、前者の潤滑膜は、後者の潤滑膜に比べて発塵性に
関して劣り、耐荷重性に関して優れている。
ールねじでは、ボールの転動に伴い潤滑膜が摩耗してこ
の摩耗粉が螺旋溝へ転移供給されることにより潤滑を行
うが、前者の潤滑膜は、後者の潤滑膜に比べて発塵性に
関して劣り、耐荷重性に関して優れている。
【０００５】また、後者の潤滑膜は、剪断抵抗は小さい
ものの金属からなるねじ軸、ナットに対する付着強度が
小さいため付着強度を向上させる工夫が必要となる他、
ボールの転動時の抵抗を小さくするために硬質とする工
夫が必要となることが指摘される。
ものの金属からなるねじ軸、ナットに対する付着強度が
小さいため付着強度を向上させる工夫が必要となる他、
ボールの転動時の抵抗を小さくするために硬質とする工
夫が必要となることが指摘される。
【０００６】したがって、本発明は、ボールねじにおい
て、低発塵性、耐荷重性および低回転トルク特性を兼ね
備えるようにすることを目的としている。
て、低発塵性、耐荷重性および低回転トルク特性を兼ね
備えるようにすることを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、外周面に螺旋
溝を有するねじ軸と、内周面に前記ねじ軸の螺旋溝に対
応する螺旋溝を有するナットと、これらの両螺旋溝間に
転動自在に介装される複数のボールとを備えたボールね
じにおいて、次のように構成する。
溝を有するねじ軸と、内周面に前記ねじ軸の螺旋溝に対
応する螺旋溝を有するナットと、これらの両螺旋溝間に
転動自在に介装される複数のボールとを備えたボールね
じにおいて、次のように構成する。
【０００８】本発明では、少なくとも、前記螺旋溝を含
むねじ軸の外周面およびナットの内周面に二硫化モリブ
デンからなる被膜がコーティングされているとともに、
該被膜の表面の少なくとも螺旋溝部分に低蒸気圧のふっ
素系グリースが塗布されている構成とした。
むねじ軸の外周面およびナットの内周面に二硫化モリブ
デンからなる被膜がコーティングされているとともに、
該被膜の表面の少なくとも螺旋溝部分に低蒸気圧のふっ
素系グリースが塗布されている構成とした。
【０００９】
【作用】本発明では、ボールの転動により比較的摩耗し
やすい二硫化モリブデンからなるコーティング被膜の耐
荷重性を有効に発揮させつつ、当該コーティング被膜か
らの摩耗粉については、真空雰囲気など特殊な環境にお
いても発塵しにくい低蒸気圧のふっ素系グリースで捕獲
させるようにしている。
やすい二硫化モリブデンからなるコーティング被膜の耐
荷重性を有効に発揮させつつ、当該コーティング被膜か
らの摩耗粉については、真空雰囲気など特殊な環境にお
いても発塵しにくい低蒸気圧のふっ素系グリースで捕獲
させるようにしている。
【００１０】また、本発明のコーティング被膜は、それ
のコーティング対象に対する付着強度が高いから回転初
期にはがれにくくなるし、硬質であるからボールの転動
抵抗が小さくなるとともに、ボールをねじ軸およびナッ
ト間にある程度、負隙間で配設することが可能となり、
ボールねじの高精度化に寄与できる。
のコーティング対象に対する付着強度が高いから回転初
期にはがれにくくなるし、硬質であるからボールの転動
抵抗が小さくなるとともに、ボールをねじ軸およびナッ
ト間にある程度、負隙間で配設することが可能となり、
ボールねじの高精度化に寄与できる。
【００１１】したがって、ボール転動時の潤滑性が良好
となって長寿命化につながる。
となって長寿命化につながる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の詳細を図１ないし図５に示す
実施例に基づいて説明する。図１および図２は本発明の
一実施例にかかり、図１は、ボールねじの概略構成を示
す縦断面図、図２は、図１のＢ部拡大図である。
実施例に基づいて説明する。図１および図２は本発明の
一実施例にかかり、図１は、ボールねじの概略構成を示
す縦断面図、図２は、図１のＢ部拡大図である。
【００１３】図中、Ａはボールねじ、１はねじ軸、２は
ナット、３は複数のボール、４はサーキュレータチュー
ブである。
ナット、３は複数のボール、４はサーキュレータチュー
ブである。
【００１４】ねじ軸１は、その外周面に螺旋溝１１が形
成されている。ナット２は、ねじ軸１に外嵌されてお
り、その内周面にねじ軸１の螺旋溝１１に対応する螺旋
溝２１が形成されている。複数のボール３は、ねじ軸１
の螺旋溝１１と、ナット２の螺旋溝２１との間に介装さ
れている。サーキュレータチューブ４は、ねじ軸１また
はナット２のいずれか一方の回転により両螺旋溝１１，
２１間に介装されるボール３を転動循環させるためのも
ので、ナット２に取り付けられている。
成されている。ナット２は、ねじ軸１に外嵌されてお
り、その内周面にねじ軸１の螺旋溝１１に対応する螺旋
溝２１が形成されている。複数のボール３は、ねじ軸１
の螺旋溝１１と、ナット２の螺旋溝２１との間に介装さ
れている。サーキュレータチューブ４は、ねじ軸１また
はナット２のいずれか一方の回転により両螺旋溝１１，
２１間に介装されるボール３を転動循環させるためのも
ので、ナット２に取り付けられている。
【００１５】ねじ軸１の螺旋溝１１およびナット２の螺
旋溝２１の断面形状は、ゴチックアーチ状、すなわち二
つの曲率中心の異なる円弧の組み合わせによりほぼＶ字
形に形成されている。なお、両螺旋溝１１，２１の断面
形状は、図３に示すような円弧とすることもできる。
旋溝２１の断面形状は、ゴチックアーチ状、すなわち二
つの曲率中心の異なる円弧の組み合わせによりほぼＶ字
形に形成されている。なお、両螺旋溝１１，２１の断面
形状は、図３に示すような円弧とすることもできる。
【００１６】これらねじ軸１およびナット２の素材とし
ては、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマルテン
サイト系ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施したもの
や、ＪＩＳ規格ＳＫＨ４、ＡＩＳＩ規格Ｍ−５０材など
の耐熱鋼とすることができる。また、ボール３は、前述
と同様の鋼材の他、セラミックス材とすることができ
る。さらに、サーキュレータチューブ４は、例えばＳＵ
Ｓ３０４などのステンレス鋼で形成される。なお、前述
のセラミックス材としては、焼結助剤として、イットリ
ア（Ｙ2Ｏ3）およびアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、その他、適
宜、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、
スピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を用いた窒化けい素（Ｓｉ3
Ｎ4）を主体とするものの他、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や
炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、窒化
アルミ（ＡｌＮ）などが好ましい。
ては、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマルテン
サイト系ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施したもの
や、ＪＩＳ規格ＳＫＨ４、ＡＩＳＩ規格Ｍ−５０材など
の耐熱鋼とすることができる。また、ボール３は、前述
と同様の鋼材の他、セラミックス材とすることができ
る。さらに、サーキュレータチューブ４は、例えばＳＵ
Ｓ３０４などのステンレス鋼で形成される。なお、前述
のセラミックス材としては、焼結助剤として、イットリ
ア（Ｙ2Ｏ3）およびアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、その他、適
宜、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、
スピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を用いた窒化けい素（Ｓｉ3
Ｎ4）を主体とするものの他、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や
炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、窒化
アルミ（ＡｌＮ）などが好ましい。
【００１７】このような材料でボールねじＡの各構成要
素を形成すれば、ボールねじＡを、例えば半導体製造装
置などにおいて用いられるハロゲン系腐食性ガスに対し
ても、腐食せずに済む。
素を形成すれば、ボールねじＡを、例えば半導体製造装
置などにおいて用いられるハロゲン系腐食性ガスに対し
ても、腐食せずに済む。
【００１８】そして、ねじ軸１の外周面、ナット２の内
周面およびサーキュレータチューブ４の内周面には、二
硫化モリブデンからなる被膜６がそれぞれ周知の成膜方
法（例えばスプレー後に焼成）によりコーティングされ
ている。ねじ軸１およびナット２の少なくとも螺旋溝１
１，２１やサーキュレータチューブ４の内周面において
被膜６の表面には、低蒸気圧のふっ素系グリース７が塗
布されている。このふっ素系グリース７としては、例え
ばモンテカチーニ（株）製のフォンブリングリース、ダ
イキン工業（株）製のデムナムグリースやデュポン製の
クライトックスグリースなどが挙げられる。これらのふ
っ素系グリース７は、蒸気圧が１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒ
と低蒸気圧を示し、一般に、大気圧〜１０-6Ｔｏｒｒ、
また室温〜２００℃の範囲で、オイル成分の発塵が少な
いという特徴を有している。
周面およびサーキュレータチューブ４の内周面には、二
硫化モリブデンからなる被膜６がそれぞれ周知の成膜方
法（例えばスプレー後に焼成）によりコーティングされ
ている。ねじ軸１およびナット２の少なくとも螺旋溝１
１，２１やサーキュレータチューブ４の内周面において
被膜６の表面には、低蒸気圧のふっ素系グリース７が塗
布されている。このふっ素系グリース７としては、例え
ばモンテカチーニ（株）製のフォンブリングリース、ダ
イキン工業（株）製のデムナムグリースやデュポン製の
クライトックスグリースなどが挙げられる。これらのふ
っ素系グリース７は、蒸気圧が１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒ
と低蒸気圧を示し、一般に、大気圧〜１０-6Ｔｏｒｒ、
また室温〜２００℃の範囲で、オイル成分の発塵が少な
いという特徴を有している。
【００１９】なお、被膜７の膜厚は、ねじ軸１およびナ
ット２に対して２〜１０μｍ好ましくは５μｍ前後に、
サーキュレータチューブ４に対して５〜２０μｍ好まし
くは８μｍ前後にそれぞれ設定される。ねじ軸１および
ナット２に関しては、サーキュレータチューブ４と異な
り負荷を受けやすくて外部に直接連通しているため、被
膜６の膜厚について規定することが意味を持つ。つま
り、２μｍを下回ると、寿命面においてマイナスとな
り、１０μｍを超えると、発塵量が増大する。グリース
７の量は、例えば１〜１０μｍ程度と設定するのが被膜
６からの発塵捕獲および飛散防止の面から好ましいと言
える。
ット２に対して２〜１０μｍ好ましくは５μｍ前後に、
サーキュレータチューブ４に対して５〜２０μｍ好まし
くは８μｍ前後にそれぞれ設定される。ねじ軸１および
ナット２に関しては、サーキュレータチューブ４と異な
り負荷を受けやすくて外部に直接連通しているため、被
膜６の膜厚について規定することが意味を持つ。つま
り、２μｍを下回ると、寿命面においてマイナスとな
り、１０μｍを超えると、発塵量が増大する。グリース
７の量は、例えば１〜１０μｍ程度と設定するのが被膜
６からの発塵捕獲および飛散防止の面から好ましいと言
える。
【００２０】次に、上記ボールねじＡの発塵特性につい
て試験を行ったので、図４および図５を用いて説明す
る。図４は、試験装置の概略構成を示す縦断面図、図５
は、発塵試験の結果を示すグラフである。
て試験を行ったので、図４および図５を用いて説明す
る。図４は、試験装置の概略構成を示す縦断面図、図５
は、発塵試験の結果を示すグラフである。
【００２１】試験に用いたボールねじＡは、呼び番号１
４０４、７ＴＳ３、５Ｃ７で、ねじ軸１の軸径を１４ｍ
ｍ、ボール３の径を２ｍｍ（３．５巻、１列）、リード
を３／１６″（４．７６３ｍｍ）としている。
４０４、７ＴＳ３、５Ｃ７で、ねじ軸１の軸径を１４ｍ
ｍ、ボール３の径を２ｍｍ（３．５巻、１列）、リード
を３／１６″（４．７６３ｍｍ）としている。
【００２２】試験対象として、ねじ軸１の外周面、ナッ
ト２の内周面およびサーキュラーチューブ４の内面に被
膜６をコーティングするとともにふっ素系グリース７を
塗布した実施例と、ねじ軸１の外周面およびナット２の
内周面に二硫化モリブデンからなる潤滑膜を被覆した比
較例１と、ねじ軸１の外周面およびナット２の内周面に
ＰＴＦＥを分散混合した潤滑膜を塗布、焼成により被覆
した比較例２とを用意している。
ト２の内周面およびサーキュラーチューブ４の内面に被
膜６をコーティングするとともにふっ素系グリース７を
塗布した実施例と、ねじ軸１の外周面およびナット２の
内周面に二硫化モリブデンからなる潤滑膜を被覆した比
較例１と、ねじ軸１の外周面およびナット２の内周面に
ＰＴＦＥを分散混合した潤滑膜を塗布、焼成により被覆
した比較例２とを用意している。
【００２３】実施例でのコーティング被膜６の膜厚は、
ねじ軸１およびナット２は約５μｍ、サーキュレータチ
ューブは約１０μｍに、また、比較例１での潤滑膜の膜
厚は、約５μｍ、比較例２での潤滑膜の膜厚は、約５μ
ｍに設定してある。実施例での使用グリースは、ダイキ
ン工業（株）製のデムナムグリースである。
ねじ軸１およびナット２は約５μｍ、サーキュレータチ
ューブは約１０μｍに、また、比較例１での潤滑膜の膜
厚は、約５μｍ、比較例２での潤滑膜の膜厚は、約５μ
ｍに設定してある。実施例での使用グリースは、ダイキ
ン工業（株）製のデムナムグリースである。
【００２４】試験は、図４に示す装置を用いている。図
中、６０はボールねじＡのねじ軸、６１はボールねじＡ
のサポート軸受、６２は負荷用ばね、６３はパーティク
ルカウンター、６４はボールねじＡのナット、６５は支
持板、６６はナット６４のハウジング、６７はハウジン
グの回転止め、６８はモータ、６９はモータ６８とねじ
軸６０とのカップリングである。
中、６０はボールねじＡのねじ軸、６１はボールねじＡ
のサポート軸受、６２は負荷用ばね、６３はパーティク
ルカウンター、６４はボールねじＡのナット、６５は支
持板、６６はナット６４のハウジング、６７はハウジン
グの回転止め、６８はモータ、６９はモータ６８とねじ
軸６０とのカップリングである。
【００２５】試験条件としては、アキシャル荷重Ｆａを
４９０Ｎ、ストロークを５０ｍｍ、回転速度を１２０ｒ
ｐｍ、試験時間を２５０時間としている。発塵量は、試
験装置のクリーンベンチケース内において０．１ｃｔに
存在する粒子径０．１μｍ以上の塵埃をパーティクルカ
ウンター６３で計測する。計測は１０分間隔とする。前
記ケース内雰囲気は大気中クラス１０の清浄度に、また
環境温度は室温に設定される。
４９０Ｎ、ストロークを５０ｍｍ、回転速度を１２０ｒ
ｐｍ、試験時間を２５０時間としている。発塵量は、試
験装置のクリーンベンチケース内において０．１ｃｔに
存在する粒子径０．１μｍ以上の塵埃をパーティクルカ
ウンター６３で計測する。計測は１０分間隔とする。前
記ケース内雰囲気は大気中クラス１０の清浄度に、また
環境温度は室温に設定される。
【００２６】図５の結果に示すように、比較例２でも比
較例１に比べると回転初期からある程度の時間が経過す
るまで１桁以上も発塵量が少なくなるが、本実施例品で
は比較例２に比べてもさらに１桁もの発塵量が少なくな
るだけでなく、時間経過が長くなっても発塵量が増加し
なくなる。このように、本実施例品では、比較例１，２
に示す従来品に比べて格段に優れた効果を発揮すること
が判るであろう。これは、ボール３の転動に伴いコーテ
ィング被膜６から発生する摩耗粉を低蒸気圧のふっ素系
グリース７でもって捕獲するようになっていて、外部へ
の放出を阻止するようになっているからと考えられ、低
発塵性が要求される環境において本発明がきわめて有効
となると言える。
較例１に比べると回転初期からある程度の時間が経過す
るまで１桁以上も発塵量が少なくなるが、本実施例品で
は比較例２に比べてもさらに１桁もの発塵量が少なくな
るだけでなく、時間経過が長くなっても発塵量が増加し
なくなる。このように、本実施例品では、比較例１，２
に示す従来品に比べて格段に優れた効果を発揮すること
が判るであろう。これは、ボール３の転動に伴いコーテ
ィング被膜６から発生する摩耗粉を低蒸気圧のふっ素系
グリース７でもって捕獲するようになっていて、外部へ
の放出を阻止するようになっているからと考えられ、低
発塵性が要求される環境において本発明がきわめて有効
となると言える。
【００２７】なお、本発明は、上記実施例のみに限定さ
れるものでなく、種々な応用や変形が考えられる。
れるものでなく、種々な応用や変形が考えられる。
【００２８】（１） ねじ軸１の外表面全面とナット２
の内周面全面とに被膜６をコーティングしていれば、こ
れらねじ軸１とナット２とを必ずしも上述したような耐
食材料で形成しなくてもよい。この場合には、コスト面
において有利となる。
の内周面全面とに被膜６をコーティングしていれば、こ
れらねじ軸１とナット２とを必ずしも上述したような耐
食材料で形成しなくてもよい。この場合には、コスト面
において有利となる。
【００２９】（２） ナット２の軸方向一端または軸方
向両端には、必要に応じねじ軸１の螺旋溝１１に対して
近接する非接触タイプのシールを設けてもよく、この場
合には低発塵性により貢献できる。このシールとして
は、合成ゴムなどの弾性体により円筒形に形成されてお
り、内周面の所要角度範囲にねじ軸１の螺旋溝１１に近
似する断面形状の凸部を有するものが考えられる。
向両端には、必要に応じねじ軸１の螺旋溝１１に対して
近接する非接触タイプのシールを設けてもよく、この場
合には低発塵性により貢献できる。このシールとして
は、合成ゴムなどの弾性体により円筒形に形成されてお
り、内周面の所要角度範囲にねじ軸１の螺旋溝１１に近
似する断面形状の凸部を有するものが考えられる。
【００３０】（３） 本発明のボールねじＡは、真空環
境のみに限定されず、大気環境でも使用することができ
る。
境のみに限定されず、大気環境でも使用することができ
る。
【００３１】
【発明の効果】本発明では、ボールの転動により比較的
摩耗しやすい二硫化モリブデンからなるコーティング被
膜の耐荷重性を有効に発揮させつつ、当該コーティング
被膜からの摩耗粉については、真空雰囲気など特殊な環
境においても発塵しにくい低蒸気圧のふっ素系グリース
で捕獲させるようにしているから、ボールねじの使用環
境を清浄に保つ上で効果を発揮するとともに、潤滑膜の
長寿命化が達成されるようになる。
摩耗しやすい二硫化モリブデンからなるコーティング被
膜の耐荷重性を有効に発揮させつつ、当該コーティング
被膜からの摩耗粉については、真空雰囲気など特殊な環
境においても発塵しにくい低蒸気圧のふっ素系グリース
で捕獲させるようにしているから、ボールねじの使用環
境を清浄に保つ上で効果を発揮するとともに、潤滑膜の
長寿命化が達成されるようになる。
【００３２】また、本発明のコーティング被膜は、それ
のコーティング対象に対する付着強度が高いから回転初
期にはがれにくくなるし、硬質であるからボールの転動
抵抗が小さくなるとともに、ボールをねじ軸およびナッ
ト間にある程度、負隙間で配設することが可能となり、
ボールねじの高精度化に寄与できる。
のコーティング対象に対する付着強度が高いから回転初
期にはがれにくくなるし、硬質であるからボールの転動
抵抗が小さくなるとともに、ボールをねじ軸およびナッ
ト間にある程度、負隙間で配設することが可能となり、
ボールねじの高精度化に寄与できる。
【図１】本発明のボールねじの概略構成を示す縦断面
図。
図。
【図２】図１のＢ部を拡大した断面図。
【図３】ボール転動溝の他の例を示す部分断面図。
【図４】試験装置の概略構成を示す縦断面図。
【図５】発塵試験の結果を示すグラフ。
１ ねじ軸 ２ ナット ３ ボール ６ 被膜 ７ ふっ素系グリース １１ ねじ軸の螺旋溝 ２１ ナットの螺旋溝
Claims (1)
- 【請求項１】 外周面に螺旋溝を有するねじ軸と、内周
面に前記ねじ軸の螺旋溝に対応する螺旋溝を有するナッ
トと、これらの両螺旋溝間に転動自在に介装される複数
のボールとを備えたボールねじであって、 少なくとも、前記螺旋溝を含むねじ軸の外周面およびナ
ットの内周面に二硫化モリブデンからなる被膜がコーテ
ィングされているとともに、該被膜の表面の少なくとも
螺旋溝部分に低蒸気圧のふっ素系グリースが塗布されて
いる、ことを特徴とするボールねじ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP840295A JPH08200467A (ja) | 1995-01-23 | 1995-01-23 | ボールねじ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP840295A JPH08200467A (ja) | 1995-01-23 | 1995-01-23 | ボールねじ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08200467A true JPH08200467A (ja) | 1996-08-06 |
Family
ID=11692190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP840295A Pending JPH08200467A (ja) | 1995-01-23 | 1995-01-23 | ボールねじ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08200467A (ja) |
-
1995
- 1995-01-23 JP JP840295A patent/JPH08200467A/ja active Pending
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Legal Events
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Effective date: 20031202 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040302 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040428 |
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| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040507 |
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| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20040611 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 |