JPH09137786A - 真空引き装置 - Google Patents
真空引き装置Info
- Publication number
- JPH09137786A JPH09137786A JP31847895A JP31847895A JPH09137786A JP H09137786 A JPH09137786 A JP H09137786A JP 31847895 A JP31847895 A JP 31847895A JP 31847895 A JP31847895 A JP 31847895A JP H09137786 A JPH09137786 A JP H09137786A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- vacuum pump
- switching valve
- gas
- discharge pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 多段真空ポンプ10の設計圧力比を低減してそ
のコストを低減するとともにその消費動力を節減する。 【解決手段】 被真空機器３と多段真空ポンプ10の各段
１、２の入口とを結ぶ吸込管41、42と各段１、２の出口
を大気に連通する吐出管61、62を設ける。そして、各吸
込管41、42に開閉弁51、52を介装するとともに前段１の
出口を後段２の入口又は大気に選択的に連通させる切換
弁８、９を設けた。
のコストを低減するとともにその消費動力を節減する。 【解決手段】 被真空機器３と多段真空ポンプ10の各段
１、２の入口とを結ぶ吸込管41、42と各段１、２の出口
を大気に連通する吐出管61、62を設ける。そして、各吸
込管41、42に開閉弁51、52を介装するとともに前段１の
出口を後段２の入口又は大気に選択的に連通させる切換
弁８、９を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はタンク等の被真空機
器内のガスを吸引することにより減圧する多段真空ポン
プを具備する真空引き装置に関する。
器内のガスを吸引することにより減圧する多段真空ポン
プを具備する真空引き装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種真空引き装置の１例が図３
に示されている。多段真空ポンプ10を運転すると、タン
ク３内のガスが吸込管４及びこれに介装された開閉弁５
を通って多段真空ポンプ10の第１段１に吸引されてここ
で昇圧され、次いで、接続通路７を通って第２段２に吸
引されてここで再び昇圧された後、吐出管６を経て大気
中に放出される。
に示されている。多段真空ポンプ10を運転すると、タン
ク３内のガスが吸込管４及びこれに介装された開閉弁５
を通って多段真空ポンプ10の第１段１に吸引されてここ
で昇圧され、次いで、接続通路７を通って第２段２に吸
引されてここで再び昇圧された後、吐出管６を経て大気
中に放出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の真空引き装
置によってタンク３内の圧力を1.0ataから0.25ata まで
減圧する場合、真空ポンプ10の運転開始直後は、図４に
示すように、圧力比が1.0 で低いが、吸引終了直前には
圧力比が4.0 となる。
置によってタンク３内の圧力を1.0ataから0.25ata まで
減圧する場合、真空ポンプ10の運転開始直後は、図４に
示すように、圧力比が1.0 で低いが、吸引終了直前には
圧力比が4.0 となる。
【０００４】多段真空ポンプ10は圧力比が最大のとき、
即ち、圧力比4.0 に対応できるように設計されているた
め、タンク３内の圧力が0.25ata より高い間は多段真空
ポンプ10はガスを過剰に昇圧し、これによって図４に斜
線で示す動力が無駄に消費されるという問題があった。
即ち、圧力比4.0 に対応できるように設計されているた
め、タンク３内の圧力が0.25ata より高い間は多段真空
ポンプ10はガスを過剰に昇圧し、これによって図４に斜
線で示す動力が無駄に消費されるという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために発明されたものであって、その要旨とすると
ころは、被真空機器と多段真空ポンプの各段の入口とを
結ぶ吸込管と各段の出口を大気に連通する吐出管を設
け、上記吸込管に開閉弁を介装するとともに上記多段真
空ポンプの前段の出口を後段の入口又は大気に選択的に
連通させる切換弁を設けたことを特徴とする真空引き装
置にある。
するために発明されたものであって、その要旨とすると
ころは、被真空機器と多段真空ポンプの各段の入口とを
結ぶ吸込管と各段の出口を大気に連通する吐出管を設
け、上記吸込管に開閉弁を介装するとともに上記多段真
空ポンプの前段の出口を後段の入口又は大気に選択的に
連通させる切換弁を設けたことを特徴とする真空引き装
置にある。
【０００６】しかして、吸引開始時には各開閉弁を開と
して被真空機器内のガスを吸込管を経て多段真空ポンプ
の各段に吸引して各吐出管から大気に放出する。被真空
機器内のガス圧力が所定値以下に低下したとき、切換弁
を切り換えることにより被真空機器内のガスを多段真空
ポンプの前段に吸引して昇圧した後、後段に吸引して更
に昇圧し、これを順次繰り返して最終段の吐出管から大
気に放出する。
して被真空機器内のガスを吸込管を経て多段真空ポンプ
の各段に吸引して各吐出管から大気に放出する。被真空
機器内のガス圧力が所定値以下に低下したとき、切換弁
を切り換えることにより被真空機器内のガスを多段真空
ポンプの前段に吸引して昇圧した後、後段に吸引して更
に昇圧し、これを順次繰り返して最終段の吐出管から大
気に放出する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態が図１に示され
ている。タンク３と多段真空ポンプ10の各段１、２の入
口とを結ぶ吸込管41、42にはそれぞれ開閉弁51、52が介
装されている。
ている。タンク３と多段真空ポンプ10の各段１、２の入
口とを結ぶ吸込管41、42にはそれぞれ開閉弁51、52が介
装されている。
【０００８】第１段１の出口は吐出管61に接続されると
ともに接続通路７を介して第２段２の入口と連通せしめ
られ、吐出管61には切換弁９が介装され、接続通路７に
は切換弁８が介装されている。第２段２の出口は吐出管
62に接続されている。
ともに接続通路７を介して第２段２の入口と連通せしめ
られ、吐出管61には切換弁９が介装され、接続通路７に
は切換弁８が介装されている。第２段２の出口は吐出管
62に接続されている。
【０００９】多段真空ポンプ10を運転すると、タンク３
内のガスは吸込管41、開閉弁51を経て多段真空ポンプ10
の第１段１に吸引されここで昇圧された後、吐出管61、
切換弁９を経て大気に放出されると同時に吸込管42、開
閉弁52を経て多段真空ポンプ10の第２段２に吸引されて
昇圧された後、吐出管62を経て大気に放出される。
内のガスは吸込管41、開閉弁51を経て多段真空ポンプ10
の第１段１に吸引されここで昇圧された後、吐出管61、
切換弁９を経て大気に放出されると同時に吸込管42、開
閉弁52を経て多段真空ポンプ10の第２段２に吸引されて
昇圧された後、吐出管62を経て大気に放出される。
【００１０】これによってタンク３内のガス圧力が0.5a
taに低下したとき、開閉弁52、切換弁９を閉とし、切換
弁８を開とする。すると、タンク３内のガスは吸込管4
1、開閉弁51を経て第１段１に吸引されて昇圧され、次
いで、接続通路７、切換弁８を経て第２段２に吸引され
て更に昇圧された後、吐出管62から大気に放出される。
taに低下したとき、開閉弁52、切換弁９を閉とし、切換
弁８を開とする。すると、タンク３内のガスは吸込管4
1、開閉弁51を経て第１段１に吸引されて昇圧され、次
いで、接続通路７、切換弁８を経て第２段２に吸引され
て更に昇圧された後、吐出管62から大気に放出される。
【００１１】かくして、多段真空ポンプ10の消費動力は
図２に斜線で示されるようになり、従来のものに比し大
巾に低減できる。
図２に斜線で示されるようになり、従来のものに比し大
巾に低減できる。
【００１２】なお、切換弁８及び９に代えて１の三方切
換弁を用いることができる。以上、本発明を２段真空ポ
ンプを有するものに適用した例について説明したが、３
段以上の多段真空ポンプを有するものにも適用しうるこ
とは勿論である。
換弁を用いることができる。以上、本発明を２段真空ポ
ンプを有するものに適用した例について説明したが、３
段以上の多段真空ポンプを有するものにも適用しうるこ
とは勿論である。
【００１３】
【発明の効果】本発明においては、吸引開始時には各開
閉弁を開として被真空機器内のガスを吸込管を経て多段
真空ポンプの各段に吸引して各吐出管から大気に放出
し、被真空機器内のガス圧力が所定値以下に低下したと
き、切換弁を切り換えることにより被真空機器内のガス
を多段真空ポンプの前段に吸引して昇圧した後、後段に
吸引して更に昇圧し、これを順次繰り返して最終段の吐
出管から大気に放出するので、多段真空ポンプの圧力比
を小さく設定できるとともにその消費動力を大巾に低減
できる。
閉弁を開として被真空機器内のガスを吸込管を経て多段
真空ポンプの各段に吸引して各吐出管から大気に放出
し、被真空機器内のガス圧力が所定値以下に低下したと
き、切換弁を切り換えることにより被真空機器内のガス
を多段真空ポンプの前段に吸引して昇圧した後、後段に
吸引して更に昇圧し、これを順次繰り返して最終段の吐
出管から大気に放出するので、多段真空ポンプの圧力比
を小さく設定できるとともにその消費動力を大巾に低減
できる。
【図１】本発明の実施形態を示す系統図である。
【図２】上記実施形態の消費動力を示す線図である。
【図３】従来の真空引き装置の系統図である。
【図４】従来の真空引き装置の消費動力を示す線図であ
る。
る。
３ 被真空機器 10 多段真空ポンプ １ 第１段 ２ 第２段 41、42 吸込管 51、52 開閉弁 61、62 吐出管 ８、９ 切換弁 ７ 接続通路
Claims (1)
- 【請求項１】 被真空機器と多段真空ポンプの各段の入
口とを結ぶ吸込管と各段の出口を大気に連通する吐出管
を設け、上記吸込管に開閉弁を介装するとともに上記多
段真空ポンプの前段の出口を後段の入口又は大気に選択
的に連通させる切換弁を設けたことを特徴とする真空引
き装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31847895A JPH09137786A (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | 真空引き装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31847895A JPH09137786A (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | 真空引き装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09137786A true JPH09137786A (ja) | 1997-05-27 |
Family
ID=18099567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31847895A Withdrawn JPH09137786A (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | 真空引き装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09137786A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2883934A1 (fr) * | 2005-04-05 | 2006-10-06 | Alcatel Sa | Pompage rapide d'enceinte avec limitation d'energie |
| JP2013142293A (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-22 | Ebara Corp | 真空排気システム |
-
1995
- 1995-11-14 JP JP31847895A patent/JPH09137786A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2883934A1 (fr) * | 2005-04-05 | 2006-10-06 | Alcatel Sa | Pompage rapide d'enceinte avec limitation d'energie |
| JP2013142293A (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-22 | Ebara Corp | 真空排気システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4395202A (en) | Multi-ejector | |
| JP3822675B2 (ja) | 真空室を迅速に排気するための装置 | |
| US5228838A (en) | Method for the evacuation of a low-vacuum chamber and of a HGH-vacuum chamber, as well as a high-vacuum apparatus for the practice thereof | |
| US6039770A (en) | Semiconductor device manufacturing system having means for reducing a pressure difference between loadlock and processing chambers | |
| CN100465434C (zh) | 负载锁定外壳的排空 | |
| US4505647A (en) | Vacuum pumping system | |
| EP1101943A3 (en) | Control of a two-stage vacuum pump | |
| US10082134B2 (en) | Pumping system | |
| JPH09137786A (ja) | 真空引き装置 | |
| TWM279740U (en) | Improvements in pumping efficiency | |
| JP2004144088A (ja) | 多段ピストン真空ポンプおよびその運転方法 | |
| JP5956754B2 (ja) | 真空排気システム | |
| JP3091961B2 (ja) | 空気の増圧方法および低圧と高圧の空気圧縮装置 | |
| CN210897311U (zh) | 一种层压机用抽真空装置及光伏组件用层压机 | |
| JP3219446B2 (ja) | 造波装置 | |
| JP3668421B2 (ja) | 空気圧縮装置 | |
| JPH0421028Y2 (ja) | ||
| CN218429334U (zh) | 一种搅拌釜防止冷却水倒吸改善装置 | |
| TWI240947B (en) | Pumping system of load lock chamber and operating method thereof | |
| JP2000161215A (ja) | 真空排気システムを備えた処理チャンバ | |
| JPS601768Y2 (ja) | 多段真空脱ガス装置 | |
| JP3027249U (ja) | 真空圧発生装置 | |
| SU1645653A1 (ru) | Способ откачки полости многоступенчатым эжектором | |
| RU2099659C1 (ru) | Вакуумная система для технологической установки | |
| JP3754236B2 (ja) | 無給油式スクリュウ圧縮機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |