JPH09134608A - 撮像用照明装置 - Google Patents
撮像用照明装置Info
- Publication number
- JPH09134608A JPH09134608A JP33285995A JP33285995A JPH09134608A JP H09134608 A JPH09134608 A JP H09134608A JP 33285995 A JP33285995 A JP 33285995A JP 33285995 A JP33285995 A JP 33285995A JP H09134608 A JPH09134608 A JP H09134608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- liquid crystal
- crystal panel
- tool
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 一つの照明装置照明によって照明の方向や面
積をきめ細かく可変設定し、被撮像物に応じて適切な照
明条件を実現すること。 【解決手段】 光源3と、光源3の前方に配置されて複
数個のセグメント7を備え、各セグメント7に対する電
圧印加を個別に選択設定されることにより光透過部Cと
光遮断部Dとを創生して所定の投光パターンを形成する
液晶パネル5とを設ける。
積をきめ細かく可変設定し、被撮像物に応じて適切な照
明条件を実現すること。 【解決手段】 光源3と、光源3の前方に配置されて複
数個のセグメント7を備え、各セグメント7に対する電
圧印加を個別に選択設定されることにより光透過部Cと
光遮断部Dとを創生して所定の投光パターンを形成する
液晶パネル5とを設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、撮像用照明装置
に関し、特にテレビカメラを撮像手段(入力手段)とし
て用いて工具、機械部品の形状測定や外観検査を行う画
像処理システムなどにて使用される撮像用照明装置に関
するものである。
に関し、特にテレビカメラを撮像手段(入力手段)とし
て用いて工具、機械部品の形状測定や外観検査を行う画
像処理システムなどにて使用される撮像用照明装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】テレビカメラを撮像手段として使用する
画像処理システムにおいて、被撮像物に光を照射してこ
れの照明を行う撮像用照明装置は、電球や蛍光灯などを
光源として被撮像物を直接照明あるいは間接照明する。
画像処理システムにおいて、被撮像物に光を照射してこ
れの照明を行う撮像用照明装置は、電球や蛍光灯などを
光源として被撮像物を直接照明あるいは間接照明する。
【0003】図7は工具の損傷検査における撮像用照明
装置の従来例を示している。撮像用照明装置は、テレビ
カメラ51の両側に配置された蛍光灯53と反射鏡55
とを有し、テレビカメラ51の前方に配置された被撮像
物である工具Tを照明する。
装置の従来例を示している。撮像用照明装置は、テレビ
カメラ51の両側に配置された蛍光灯53と反射鏡55
とを有し、テレビカメラ51の前方に配置された被撮像
物である工具Tを照明する。
【0004】工具の損傷検査においては、テレビカメラ
51によって撮像された工具Tの刃先部分をモニタ装置
に拡大して画像表示し、作業者の目視により欠損部の有
無を調べたり、その画像データをコンピュータに取り込
んで画像処理を行い、パターン認識技術などを使用して
欠損部の有無を検出することが行われる。
51によって撮像された工具Tの刃先部分をモニタ装置
に拡大して画像表示し、作業者の目視により欠損部の有
無を調べたり、その画像データをコンピュータに取り込
んで画像処理を行い、パターン認識技術などを使用して
欠損部の有無を検出することが行われる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述のような撮像にお
いて得られる画像の品質は照明の仕方に依存することが
大きいことは従来よりよく認識されていることであり、
被撮像物に対する光照射の角度、照射位置(領域)は、
必要とする高品質の画像、例えば工具の欠損の有無を調
べるのに好適な画像を得るために、被撮像物の形状や大
きさ等に応じて個々に好適条件を選定されなけばならな
い。
いて得られる画像の品質は照明の仕方に依存することが
大きいことは従来よりよく認識されていることであり、
被撮像物に対する光照射の角度、照射位置(領域)は、
必要とする高品質の画像、例えば工具の欠損の有無を調
べるのに好適な画像を得るために、被撮像物の形状や大
きさ等に応じて個々に好適条件を選定されなけばならな
い。
【0006】このため、従来は、作業者が光源やテレビ
カメラの位置や角度をマニュアルにより動かし、調整す
ることが行われている。この調整作業は面倒であり、し
かも、このように調整が行われても、被撮像物が別のも
のになると、再度、調整し直す必要がある。
カメラの位置や角度をマニュアルにより動かし、調整す
ることが行われている。この調整作業は面倒であり、し
かも、このように調整が行われても、被撮像物が別のも
のになると、再度、調整し直す必要がある。
【0007】このことに鑑みて、各々個別に照明条件を
設定された複数個の照明装置を準備し、被撮像物に応じ
て照明装置を切り換え使用することが考えられている
が、この場合には装置が大型化し、また高価なものにな
る。
設定された複数個の照明装置を準備し、被撮像物に応じ
て照明装置を切り換え使用することが考えられている
が、この場合には装置が大型化し、また高価なものにな
る。
【0008】また、従来の照明装置は、何れのものも照
明の方向と面積とをきめ細かく可変設定することはでき
ない。図8はフライス工具を正面より撮像して得られた
画像をプリントしたものであり、フライス工具は同心円
上に6個のチップAを有している。図9はチップの欠損
検査や工具長測定の自動化を目指して従来の照明装置に
よって照明してフライス工具を正面より撮像した結果を
示している。この撮像結果では、チップに比べて工具中
央部分が明るく照明され、重要なチップ部分が鮮明な画
像になっていないことが解る。
明の方向と面積とをきめ細かく可変設定することはでき
ない。図8はフライス工具を正面より撮像して得られた
画像をプリントしたものであり、フライス工具は同心円
上に6個のチップAを有している。図9はチップの欠損
検査や工具長測定の自動化を目指して従来の照明装置に
よって照明してフライス工具を正面より撮像した結果を
示している。この撮像結果では、チップに比べて工具中
央部分が明るく照明され、重要なチップ部分が鮮明な画
像になっていないことが解る。
【0009】図10はドリル工具を正面より撮像して得
られた画像をプリントしたものであり、符号Bがドリル
工具本体で、その周りの円環状画像はドリル工具のホル
ダ等である。図11はドリル先端のエッジ部分の欠損検
査や摩耗量測定の自動化を目指して従来の照明装置によ
って照明してドリル工具を正面より撮像した結果を示し
ている。この撮像結果では、ドリル工具に比べてその周
辺部が明るく照明され、重要なドリル先端部分が鮮明な
画像になっていないことが解る。
られた画像をプリントしたものであり、符号Bがドリル
工具本体で、その周りの円環状画像はドリル工具のホル
ダ等である。図11はドリル先端のエッジ部分の欠損検
査や摩耗量測定の自動化を目指して従来の照明装置によ
って照明してドリル工具を正面より撮像した結果を示し
ている。この撮像結果では、ドリル工具に比べてその周
辺部が明るく照明され、重要なドリル先端部分が鮮明な
画像になっていないことが解る。
【0010】この発明は、上述の如き問題点に着目して
なされたものであり、一つの照明装置によって照明の方
向や面積をきめ細かく可変設定でき、被撮像物に応じて
適切な照明条件を実現する撮像用照明装置を提供するこ
とを目的としている。
なされたものであり、一つの照明装置によって照明の方
向や面積をきめ細かく可変設定でき、被撮像物に応じて
適切な照明条件を実現する撮像用照明装置を提供するこ
とを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明の請求項1による撮像用照明装置は、光
源と、前記光源の前方に配置されて複数個のセグメント
を備え、各セグメントに対する電圧印加を個別に選択設
定されることにより光透過部と光遮断部とを創生して所
定の投光パターンを形成する液晶パネルとを有してい
る。
めに、この発明の請求項1による撮像用照明装置は、光
源と、前記光源の前方に配置されて複数個のセグメント
を備え、各セグメントに対する電圧印加を個別に選択設
定されることにより光透過部と光遮断部とを創生して所
定の投光パターンを形成する液晶パネルとを有してい
る。
【0012】この発明による撮像用照明装置では、液晶
パネルの各セグメントに対する電圧印加を個別に選択設
定されることにより、液晶パネルが各セグメントを一つ
のピクセルとして光透過部と光遮断部とを創生する。光
源が放つ光線は、この液晶パネルの光透過部を透過し、
光遮断部では遮光されるから、光透過部の位置、面積、
形状の調整により、所定の投光パターンをもって照明の
方向や面積がきめ細かく可変設定される。
パネルの各セグメントに対する電圧印加を個別に選択設
定されることにより、液晶パネルが各セグメントを一つ
のピクセルとして光透過部と光遮断部とを創生する。光
源が放つ光線は、この液晶パネルの光透過部を透過し、
光遮断部では遮光されるから、光透過部の位置、面積、
形状の調整により、所定の投光パターンをもって照明の
方向や面積がきめ細かく可変設定される。
【0013】また上述の目的を達成するために、この発
明の請求項2による撮像用照明装置は、請求項1に記載
の撮像用照明装置において、投光パターンに応じて電圧
印加するセグメントと電圧印加しないセグメントとを定
義した投光パターンデータを複数種類記憶する投光パタ
ーンデータ記憶手段と、外部より選択信号を与えられる
ことにより前記投光パターンデータ記憶手段より読み出
された投光パターンデータに従って前記液晶パネルの各
セグメントに対する電圧印加を制御する制御装置を有し
ている。
明の請求項2による撮像用照明装置は、請求項1に記載
の撮像用照明装置において、投光パターンに応じて電圧
印加するセグメントと電圧印加しないセグメントとを定
義した投光パターンデータを複数種類記憶する投光パタ
ーンデータ記憶手段と、外部より選択信号を与えられる
ことにより前記投光パターンデータ記憶手段より読み出
された投光パターンデータに従って前記液晶パネルの各
セグメントに対する電圧印加を制御する制御装置を有し
ている。
【0014】この発明による撮像用照明装置では、選択
信号が与えられることにより投光パターンデータ記憶手
段より投光パターンデータが読み出され、この投光パタ
ーンデータに従って液晶パネルの各セグメントに対する
電圧印加のパターンが自動設定される。
信号が与えられることにより投光パターンデータ記憶手
段より投光パターンデータが読み出され、この投光パタ
ーンデータに従って液晶パネルの各セグメントに対する
電圧印加のパターンが自動設定される。
【0015】
【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を図
面を用いて詳細に説明する。
面を用いて詳細に説明する。
【0016】図1はこの発明による撮像用照明装置の一
つの実施の形態を示している。図1において撮像用照明
装置は符号1により示されている。撮像用照明装置1
は、電球等による光源3と、光源3の前方に配置された
液晶パネル5とを有している。
つの実施の形態を示している。図1において撮像用照明
装置は符号1により示されている。撮像用照明装置1
は、電球等による光源3と、光源3の前方に配置された
液晶パネル5とを有している。
【0017】液晶パネル5は、ネマティック方式の液晶
シャッタのようなものであり、縦横に複数個の矩形のセ
グメント7をマトリックス状に有し、各セグメント7に
対する電圧印加を個別に選択設定されることにより、光
透過部Cと光遮断部Dとを創生して所定の投光パターン
を形成する。工具Tの検査のための撮像では、一つのセ
グメント7の大きさは投光パターンが形成される工具上
で3mm×3mm程度であってよく、セグメント7の配
列個数は、横100、縦80程度であればよい。
シャッタのようなものであり、縦横に複数個の矩形のセ
グメント7をマトリックス状に有し、各セグメント7に
対する電圧印加を個別に選択設定されることにより、光
透過部Cと光遮断部Dとを創生して所定の投光パターン
を形成する。工具Tの検査のための撮像では、一つのセ
グメント7の大きさは投光パターンが形成される工具上
で3mm×3mm程度であってよく、セグメント7の配
列個数は、横100、縦80程度であればよい。
【0018】各セグメント7に対する電圧印加を個別に
選択設定されることにより、液晶パネル5は各セグメン
ト7を一つのピクセルとして光透過部Cと光遮断部Dと
を創生する。光源3が放つ光線は、液晶パネル5の光透
過部Cを透過して被撮像物である工具Tに到達するが、
光遮断部Dでは遮光される。
選択設定されることにより、液晶パネル5は各セグメン
ト7を一つのピクセルとして光透過部Cと光遮断部Dと
を創生する。光源3が放つ光線は、液晶パネル5の光透
過部Cを透過して被撮像物である工具Tに到達するが、
光遮断部Dでは遮光される。
【0019】これにより工具Tにおいて、光遮断部Dに
対応する部分は暗部になり、光透過部Cに対応する部分
のみが照明される。即ち、光透過部Cの形状に応じた投
光パターンをもって照明が行われ、光透過部Cの位置、
面積、形状の調整により照明の方向や面積がきめ細かく
可変設定できる。
対応する部分は暗部になり、光透過部Cに対応する部分
のみが照明される。即ち、光透過部Cの形状に応じた投
光パターンをもって照明が行われ、光透過部Cの位置、
面積、形状の調整により照明の方向や面積がきめ細かく
可変設定できる。
【0020】なお、図1において、符号9は、CCDな
どによるテレビカメラであり、工具Tの撮像を行う。
どによるテレビカメラであり、工具Tの撮像を行う。
【0021】図2はこの発明による撮像用照明装置の制
御系の一つの実施の形態を示している。
御系の一つの実施の形態を示している。
【0022】この制御系は、投光パターンに応じて電圧
印加するセグメント7と電圧印加しないセグメント7と
を定義した投光パターンデータを複数種類記憶した投光
パターンデータ記憶装置11と、外部より選択信号を与
えられることにより投光パターンデータ記憶装置11よ
り投光パターンデータを読み出し、その投光パターンデ
ータに従って液晶パネル5の各セグメント7に対する電
圧印加を制御する制御装置13とを有している。
印加するセグメント7と電圧印加しないセグメント7と
を定義した投光パターンデータを複数種類記憶した投光
パターンデータ記憶装置11と、外部より選択信号を与
えられることにより投光パターンデータ記憶装置11よ
り投光パターンデータを読み出し、その投光パターンデ
ータに従って液晶パネル5の各セグメント7に対する電
圧印加を制御する制御装置13とを有している。
【0023】この実施の形態では、投光パターンデータ
記憶装置11は各工具の種類やサイズ毎に投光パターン
データを格納しており、工具に装着されているツールI
Dと称されている工具認識装置より工具認識信号を選択
信号として制御装置13に入力されることにより、制御
装置13が撮像対象の工具に対応する投光パターンデー
タを投光パターンデータ記憶装置11より読み出し、そ
の投光パターンデータに従って液晶パネル5の各セグメ
ント7に対する電圧印加を制御する。
記憶装置11は各工具の種類やサイズ毎に投光パターン
データを格納しており、工具に装着されているツールI
Dと称されている工具認識装置より工具認識信号を選択
信号として制御装置13に入力されることにより、制御
装置13が撮像対象の工具に対応する投光パターンデー
タを投光パターンデータ記憶装置11より読み出し、そ
の投光パターンデータに従って液晶パネル5の各セグメ
ント7に対する電圧印加を制御する。
【0024】これにより光透過部Cの位置、面積、形状
が工具認識信号により特定される工具に応じたものに自
動設定される。
が工具認識信号により特定される工具に応じたものに自
動設定される。
【0025】なお、この投光パターンデータの呼び出
し、換言すれば投光パターンの選択設定は、工具認識信
号による以外に、作業者によるキースイッチ操作により
マニュアル設定することも可能である。
し、換言すれば投光パターンの選択設定は、工具認識信
号による以外に、作業者によるキースイッチ操作により
マニュアル設定することも可能である。
【0026】図3は図4に示されているような投光パタ
ーンを液晶パネル5により生成して照明を行った場合の
フライス工具の撮像結果を示している。この投光パター
ンでは、中央部に円形の光遮断部Dがあることから、工
具中央部分が暗部になり、その周りにあるチップ部分を
鮮明に浮かび上がらせた画像が得られる。これにより全
体の画像よりチップ部分のみを取り出し、チップの欠損
等を観察することが容易に行われ得るようになる。
ーンを液晶パネル5により生成して照明を行った場合の
フライス工具の撮像結果を示している。この投光パター
ンでは、中央部に円形の光遮断部Dがあることから、工
具中央部分が暗部になり、その周りにあるチップ部分を
鮮明に浮かび上がらせた画像が得られる。これにより全
体の画像よりチップ部分のみを取り出し、チップの欠損
等を観察することが容易に行われ得るようになる。
【0027】図5は図6に示されているような投光パタ
ーンを液晶パネル5により生成して照明を行った場合の
ドリル工具の撮像結果を示している。この投光パターン
では、中央部にのみ円形の光透過部Cがあることから、
工具中央部分以外は暗部になり、工具中央部分が重点的
に照明され、工具中央部分、即ちドリル刃先部が鮮明に
撮像される。これによりドリル刃先の欠損の観察が容易
に行われ得るようになる。
ーンを液晶パネル5により生成して照明を行った場合の
ドリル工具の撮像結果を示している。この投光パターン
では、中央部にのみ円形の光透過部Cがあることから、
工具中央部分以外は暗部になり、工具中央部分が重点的
に照明され、工具中央部分、即ちドリル刃先部が鮮明に
撮像される。これによりドリル刃先の欠損の観察が容易
に行われ得るようになる。
【0028】以上に於ては、この発明を特定の実施の形
態について詳細に説明したが、この発明は、これに限定
されるものではなく、この発明の範囲内にて種々の実施
の形態が可能であることは当業者にとって明らかであろ
う。
態について詳細に説明したが、この発明は、これに限定
されるものではなく、この発明の範囲内にて種々の実施
の形態が可能であることは当業者にとって明らかであろ
う。
【0029】
【発明の効果】以上の説明から理解される如く、請求項
1による撮像用照明装置によれば、液晶パネルの各セグ
メントに対する電圧印加を個別に選択設定されることに
より液晶パネルが各セグメントを一つのピクセルとして
光透過部と光遮断部とを創生するから、光透過部の位
置、面積、形状の調整によって一つの照明装置で照明の
方向や面積がきめ細かく可変設定でき、各被撮像物に応
じて適切な照明条件を実現することができる。
1による撮像用照明装置によれば、液晶パネルの各セグ
メントに対する電圧印加を個別に選択設定されることに
より液晶パネルが各セグメントを一つのピクセルとして
光透過部と光遮断部とを創生するから、光透過部の位
置、面積、形状の調整によって一つの照明装置で照明の
方向や面積がきめ細かく可変設定でき、各被撮像物に応
じて適切な照明条件を実現することができる。
【0030】請求項2による撮像用照明装置によれば、
選択信号が与えられることにより投光パターンデータ記
憶手段より投光パターンデータが読み出され、この投光
パターンデータに従って液晶パネルの各セグメントに対
する電圧印加のパターンが自動設定されるから、各被撮
像物に応じた適切な照明条件を選択信号の入力だけで実
現することができる。
選択信号が与えられることにより投光パターンデータ記
憶手段より投光パターンデータが読み出され、この投光
パターンデータに従って液晶パネルの各セグメントに対
する電圧印加のパターンが自動設定されるから、各被撮
像物に応じた適切な照明条件を選択信号の入力だけで実
現することができる。
【図1】この発明による撮像用照明装置の一つの実施の
形態を示す概略構成図である。
形態を示す概略構成図である。
【図2】この発明による撮像用照明装置の制御系の一つ
の実施の形態を示すブロック線図である。
の実施の形態を示すブロック線図である。
【図3】この発明による撮像用照明装置を使用した場合
のフライス工具の撮像結果を示す説明図である。
のフライス工具の撮像結果を示す説明図である。
【図4】この発明による撮像用照明装置においてフライ
ス工具を撮像する場合の液晶パネルの投光パターンを示
す説明図である。
ス工具を撮像する場合の液晶パネルの投光パターンを示
す説明図である。
【図5】この発明による撮像用照明装置を使用した場合
のドリル工具の撮像結果を示す説明図である。
のドリル工具の撮像結果を示す説明図である。
【図6】この発明による撮像用照明装置においてドリル
工具を撮像する場合の液晶パネルの投光パターンを示す
説明図である。
工具を撮像する場合の液晶パネルの投光パターンを示す
説明図である。
【図7】従来の撮像用照明装置を示す構成図である。
【図8】フライス工具を正面より撮像して得られた画像
のプリント例を示す説明図である。
のプリント例を示す説明図である。
【図9】従来の撮像用照明装置を使用した場合のフライ
ス工具の撮像結果を示す説明図である。
ス工具の撮像結果を示す説明図である。
【図10】ドリル工具を正面より撮像して得られた画像
のプリント例を示す説明図である。
のプリント例を示す説明図である。
【図11】従来の撮像用照明装置を使用した場合のドリ
ル工具の撮像結果を示す説明図である。
ル工具の撮像結果を示す説明図である。
1 撮像用照明装置 3 光源 5 液晶パネル 7 セグメント 9 テレビカメラ 11 投光パターンデータ記憶装置 13 制御装置
Claims (2)
- 【請求項1】 光源と、前記光源の前方に配置されて複
数個のセグメントを備え、各セグメントに対する電圧印
加を個別に選択設定されることにより光透過部と光遮断
部とを創生して所定の投光パターンを形成する液晶パネ
ルとを有していることを特徴とする撮像用照明装置。 - 【請求項2】 投光パターンに応じて電圧印加するセグ
メントと電圧印加しないセグメントとを定義した投光パ
ターンデータを複数種類記憶する投光パターンデータ記
憶手段と、外部より選択信号を与えられることにより前
記投光パターンデータ記憶手段より読み出された投光パ
ターンデータに従って前記液晶パネルの各セグメントに
対する電圧印加を制御する制御装置を有していることを
特徴とする請求項1に記載の撮像用照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33285995A JPH09134608A (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 撮像用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33285995A JPH09134608A (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 撮像用照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09134608A true JPH09134608A (ja) | 1997-05-20 |
Family
ID=18259609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33285995A Pending JPH09134608A (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 撮像用照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09134608A (ja) |
-
1995
- 1995-11-08 JP JP33285995A patent/JPH09134608A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69636183T2 (de) | Vorrichtung zur Prüfung von Halbleitersubstraten | |
JP2969401B2 (ja) | ボンデイングワイヤ検査装置 | |
US7330265B2 (en) | Appearance inspection apparatus and projection method for projecting image of sample under inspection | |
JP3657694B2 (ja) | 照明装置 | |
JPS61120110A (ja) | 明視野及び暗視野顕微鏡照明装置 | |
JPH02272412A (ja) | 反射光試料照明装置 | |
JP2005536732A (ja) | 物体を検査するための装置及び方法 | |
CN110021042B (zh) | 图像检查装置及照明装置 | |
JP4663334B2 (ja) | 線幅測定方法 | |
JP2003294578A (ja) | カラーフィルタ検査装置 | |
JP4250721B2 (ja) | 眼検査用立体顕微鏡における照明装置及びその方法 | |
JP2006284212A (ja) | ムラ検査装置およびムラ検査方法 | |
WO2020036251A1 (ko) | 표시장치 패널에 대한 레이저 리페어 및 검사 방법과 이에 적합한 리페어 및 검사 장치 | |
JP3519813B2 (ja) | 欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
US10088613B1 (en) | Photochromic filter-based imaging system | |
JPH09134608A (ja) | 撮像用照明装置 | |
JPH0595907A (ja) | 眼底カメラ | |
JP5397889B2 (ja) | カップ取付け装置 | |
JP3017572B2 (ja) | 表面状態検査方法 | |
KR101153246B1 (ko) | 기판검사방법 | |
JP3644311B2 (ja) | 投写レンズ検査装置および投写レンズ検査方法 | |
JPH0868942A (ja) | 光学顕微鏡用照明装置 | |
KR950003643B1 (ko) | 새도우 마스크 검사용 영상취득 장치 | |
JP2002023062A (ja) | レーザ顕微鏡の照明光学系の調整方法 | |
JPH05232040A (ja) | 外観検査用投光装置 |