JPH09133521A - X線寸法測定装置 - Google Patents

X線寸法測定装置

Info

Publication number
JPH09133521A
JPH09133521A JP29132095A JP29132095A JPH09133521A JP H09133521 A JPH09133521 A JP H09133521A JP 29132095 A JP29132095 A JP 29132095A JP 29132095 A JP29132095 A JP 29132095A JP H09133521 A JPH09133521 A JP H09133521A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
image processing
channel
dimension
profile
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29132095A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiichiro Uyama
喜一郎 宇山
Masaji Fujii
正司 藤井
Kiyohide Tamaki
清英 玉木
Hiroshi Mizuguchi
弘 水口
Masaya Yoshida
雅也 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP29132095A priority Critical patent/JPH09133521A/ja
Publication of JPH09133521A publication Critical patent/JPH09133521A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短時間のうちに被検体の内部寸法の測定が可
能なX線寸法測定装置を提供する。 【解決手段】 X線を放射するX線管51と、該X線管
から放射されるX線に基づいてX線ファンビームを形成
する被検体コリメータ53と、前記X線ファンビームに
沿って配置され、前記被検体コリメータを通過後のX線
ファンビームを受けてX線を検出するX線ラインセンサ
56と、被検体を前記X線ファンビームに対して略直交
するように搬送する送り手段57と、該送り手段による
前記被検体の送りの間に前記X線ラインセンサの検出値
に基づいて前記被検体の内部構造を求める画像処理部5
9を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、X線寸法測定装置
に係り、特にX線を用いて非破壊で寸法測定を行うX線
寸法測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図21は、従来の、非破壊で物体内部構
造の寸法を測定するX線寸法測定装置の概略構成図であ
る。
【0003】図21において、X線管101から出るX
線ビーム102は、イメージインテンシファイア(X線
I.I.)104において光学像に変換され、該光学像
は光学系105と撮像管106とにより電気信号に変換
され、画像表示部(CRT)107にて被検体103の
透過画像として表示される。
【0004】前記被検体103はXYテーブル109上
に保持され、機構制御部108によりX線ビーム102
と直角な面内でXY方向に送られる。操作者は、X,Y
方向に被検体103を手動送りして、先ず寸法測定の始
点が画面中央にくるように設定し、次いで終点が中央に
くるように被検体103を送り、その間の移動量に基づ
いて寸法を測定する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
では画像表示部(CRT)の画面の目視と、被検体の手
動送り操作が必要であり、測定に長時間を要していた。
【0006】そこで、本発明の目的は、短時間のうちに
被検体の内部寸法の測定が可能なX線寸法測定装置を提
供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項1記載の発明は、図1および図2に示すよう
に、X線を放射するX線管51と、該X線管51から放
射されるX線に基づいてX線ファンビーム54を形成す
る被検体コリメータ53(53a,53b)と、前記X
線ファンビーム54に沿って配置され、前記被検体コリ
メータ53を通過後のX線ファンビーム54を受けてX
線を検出するX線ラインセンサ56と、被検体55を前
記X線ファンビーム54に対して略直交するように搬送
する送り手段57と、該送り手段57による前記被検体
55の搬送の間に前記X線ラインセンサ56の検出値に
基づいて前記被検体55の内部構造を求める画像処理部
59とを備えたことを特徴とする。
【0008】また、請求項2記載の発明は、図1に示す
ように、前記送り手段57は、前記被検体55を、前記
被検体コリメータ53とX線ラインセンサ56との間を
搬送するようにしたことを特徴とする。
【0009】また、請求項3記載の発明は、図2に示す
ように、前記送り手段57は、前記被検体55を、前記
被検体コリメータ53とX線管51との間を搬送するよ
うにしたことを特徴とする。
【0010】請求項1,請求項2,請求項3の作用を図
10を参照して説明する。
【0011】図10は、X線ファンビーム54の幾何図
でありファン面の通過方向に沿って見たビームの厚さを
示す図である。X線管51から放射されたX線は、被検
体コリメータ53(53a,53b)によりX線ファン
ビーム54として形成される。被検体55は送り手段5
7によりX線ファンビーム54に対して略直交するよう
に搬送される。X線ファンビーム54はX線ラインセン
サ56により受けられ、該X線ラインセンサ56からX
線の検出値が出力される。
【0012】図10において、斜線部はX線ファンビー
ムの半値巾を示す。被検体コリメータ53a,53bに
接した位置でビーム半値巾はコリメータ巾と同じ巾0.
1mmとなる。被検体コリメータ53a,53bに接近
した位置(図1,図2参照)において被検体55を搬送
することにより、送り方向に分解能の高い透過データが
得られる。また、送り方向には、被検体55とファンビ
ーム54とが直交しているため視差の無いデータが得ら
れるので、精度の良い寸法測定を行うことができる。
【0013】また、被検体55を停止、位置決めするこ
となく一定方向に送るだけで寸法測定ができるので、高
速で寸法測定を行なうことができる。
【0014】また、請求項4記載の発明は、前記画像処
理部は、前記X線ラインセンサの検出値に基づき予め定
められたチャンネル位置におけるプロフィールを抽出
し、予め定められたしきい値を用いて寸法測定を行なう
ようにしたことを特徴とする。
【0015】請求項4の作用を図3を参照して説明す
る。
【0016】工業製品の場合、同一製品については寸法
測定箇所を予め定めておき、検査を行なう。測定の時、
被検体55を毎回送り手段57の同じ位置に設定する。
被検体55の予め定めた測定位置に対応するX線ライン
センサ56のチャンネル位置Niを予め画像処理部59
Aのメモリに記憶しておく。また、同一製品では同じ材
質で作られており濃度もほぼ同じ画像が得られるので、
寸法測定に用いるしきい値Siも予め定めおいて画像処
理部59Aのメモリに記憶しておく。
【0017】画像処理部59Aは記憶してあるその製品
のチャンネル位置Ni(図11のチャンネル方向を参
照),しきい値Siの組を用いて各チャンネル位置Ni
におけるプロフィールを抽出し、しきい値Siを用いて
次のようにして寸法測定をする。
【0018】図12に基づいてしきい値Siを用いた寸
法測定を説明する。
【0019】前述のチャンネル位置Niのプロフィール
とは、被検体55の送り方向に一定間隔で得られるデー
タの組をいい、グラフ化して表すと図12のようにな
る。図12において、しきい値Siの水平線と折れ線グ
ラフの交点位置x1 ,x2 ,x3 …を求めることにより
寸法測定を行う。
【0020】また、請求項5記載の発明は、前記画像処
理部は、前記抽出されたプロフィールに基づき、予め入
力されたしきい値を用いて寸法測定を行なうようにした
ことを特徴とする。
【0021】請求項5の作用を図4を参照して説明す
る。
【0022】本請求項は同一製品の繰り返しではなく、
一品のみの測定に用いる。
【0023】操作者は直線ROI(関心領域、Region o
f Interest)あるいは数値入力により、チャンネル方向
のチャンネル位置Niを指定する。画像処理部59B
は、チャンネル位置Niにおけるプロフィールを表示す
る。
【0024】操作者はこのプロフィール上で直線ROI
あるいは数値入力によりしきい値Siを指定する。画像
処理部59Bはしきい値Siを用いて寸法測定を行な
う。
【0025】また、請求項6記載の発明は、前記画像処
理部は、透過画像上におけるチャンネル位置の指定をす
るようにしたことを特徴とする。
【0026】請求項6の作用を図4を参照して説明す
る。
【0027】本請求項が請求項5と異なるのは、画像処
理部59Bに透過画像が表示され、この透過画像上で操
作者が直線ROIあるいは数値入力によりチャンネル位
置Niを指定する点である。
【0028】また、請求項7記載の発明は、前記画像処
理部は、前記予め入力されたしきい値とチャンネル位置
との組合せを記憶し、前記X線ラインセンサの検出値に
基いて前記被検体について前記記憶したしきい値とチャ
ンネル位置におけるプロフィールを抽出し、前記記憶し
たしきい値を用いて寸法測定を行うようにしたことを特
徴とする。
【0029】請求項7の作用を図5を参照して説明す
る。
【0030】本請求項は、チャンネル位置Ni,しきい
値Siの入力の仕方に関するものである。操作者は直線
ROIあるいは数値入力によりチャンネル位置Niを指
定する。画像処理部59Cはチャンネル位置Niにおけ
るプロフィールを表示する。操作者はこのプロフィール
上で直線ROIあるいは数値入力によりしきい値Siを
指定する。画像処理部59Cはチャンネル位置Ni,し
きい値Siの複数組を記憶する。
【0031】同一製品の寸法測定を次回以後も行なうと
きは、このチャンネル位置Ni,しきい値Siを用い
て、しきい値を用いた寸法測定を行なう。
【0032】また、請求項8記載の発明は、前記画像処
理部は、透過画像上でチャンネル位置の指定をするよう
にしたことを特徴とする。
【0033】請求項8の作用を図5を参照して説明す
る。
【0034】本請求項が請求項7と異なるのは、画像処
理部59Cにより透過画像が表示され、この透過画像上
で操作者が直線ROIあるいは数値入力によりチャンネ
ル位置Niを指定することである。
【0035】また、請求項9記載の発明は、前記画像処
理部は、前記X線ラインセンサの検出値に基づき予め定
められた送り方向N個分のチャンネル方向プロフィール
よりチャンネル方向プロフィールを抽出し、予め定めら
れたレベル値より低レベル又は高レベル領域の中でチャ
ンネル位置を決めて該チャンネル位置でのプロフィール
を抽出し、予め定められたしきい値を用いて寸法測定を
行なうようにしたことを特徴とする。
【0036】請求項9の作用を図6を参照して説明す
る。
【0037】本請求項は、チャンネル位置Niを自動的
に求めるものである。
【0038】画像処理部59Dは送り方向N個分(ふつ
う送り方向の中央のN個をとる)のチャンネル方向プロ
フィールの最小値あるいは最大値あるいは平均値をとっ
たチャンネル方向プロフィールを作る。そして、予め定
めたレベル値より低レベル、あるいは高レベルの領域の
中でチャンネル位置Niを決め測定位置とする。
【0039】チャンネル位置Niのプロフィールと予め
定めて記憶されているしきい値Siを用いてそれぞれの
寸法測定を行なう。
【0040】また、請求項10記載の発明は、前記画像
処理部は、前記透過画像上で上記N個分のチャンネル方
向プロフィールを抽出するようにしたことを特徴とす
る。
【0041】請求項10の作用を図6を参照して説明す
る。
【0042】本請求項と請求項9との相違点は、画像処
理部59Dで透過画像が作られ、これからN個分のチャ
ンネル方向プロフィールが抽出される点である。
【0043】また、請求項11記載の発明は、前記画像
処理部は、前記被検体の代わりに、該被検体の寸法測定
位置に対応する位置にX線を吸収する線ファントムを配
置し、前記X線ラインセンサの検出値より予め定められ
た送り方向N個分のチャンネル方向プロフィールを抽出
し、予め定められたレベル値より低レベル又は高レベル
領域の中心チャンネル位置を求めて記憶し、前記被検体
について前記X線ラインセンサの検出値より被検体の透
過データを作成し、前記記憶したチャンネル位置でのプ
ロフィールを抽出し、予め定められたしきい値を用いて
法測定を行うようにしたことを特徴とする。
【0044】請求項11の作用を図7を参照して説明す
る。
【0045】本請求項は、線ファントム60を用いてチ
ャンネル位置Niを自動的に求めるものである。即ち、
寸法測定を行なう製品に合せて線ファントム60を作成
し、測定位置に対応した位置にX線を吸収する線60a
をそれぞれ平行に配置し、線60aの方向を送り方向に
して透過データを得る。画像処理部59Eは請求項10
と同様にチャンネル位置Niを決め、記憶し、製品につ
いての透過像を得た後にその製品について記憶したチャ
ンネル位置Niと予め定めて記憶されたしきい値Siを
用いて寸法測定を行なう。
【0046】また、請求項12記載の発明は、前記画像
処理部は、前記X線ラインセンサの検出値より操作者が
入力した送り位置でのチャンネル方向プロフィールを表
示し、予め入力されたしきい値より、又は予め定めたレ
ベル値より低レベル又は高レベル領域の中でチャンネル
位置を決め、前記しきい値およびチャンネル位置を用い
て寸法測定を行うようにしたことを特徴とする。
【0047】請求項12の作用を図8を参照して説明す
る。
【0048】これは送り位置mを画像上で指定して、こ
れよりチャンネル位置Niを自動的に求めるものであ
る。
【0049】操作者はチャンネル位置Niを決めるのに
適当な送り位置mを直線ROIあるいは数値入力で指定
する。
【0050】画像処理部は送り位置mにおけるチャンネ
ル方向プロフィールを表示する。
【0051】操作者はしきい値Siを直線ROIあるい
は数値入力で指定する。
【0052】画像処理部はしきい値Siより、あるいは
予め定めたレベル値より、低レベルあるいは高レベル領
域の中でチャンネル位置miを決める。
【0053】そして、チャンネル位置Niとしきい値S
iの組を用いて寸法測定を行なう。また、チャンネル位
置Niとしきい値Siの組を記憶し、同種の被検体の透
過データを得た後、記憶したチャンネル位置Ni,しき
い値Siの組を用いて寸法測定を行なう。
【0054】また、請求項13記載の発明は、前記X線
ラインセンサの検出値より被検体の透過画像を作成して
表示し、その画像上で入力された送り位置を指定するこ
とを特徴とする。
【0055】請求項13の作用を図8を参照して説明す
る。
【0056】本請求項と請求項12との相違点は、透過
画像が作られて表示され、この透過画像上で操作者が直
線ROIあるいは数値入力により送り位置mを指定する
ことである。
【0057】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態例
に基づいて説明する。
【0058】(1)第1実施形態例 本実施形態例は請求項2に対応する。
【0059】図9は本実施形態例の斜視図である。
【0060】図9に示すように、X線管51はフロア
(図示せず)から支持され、該X線管51のX線焦点S
と被検体コリメータ53(53a,53b)がX線ファ
ンビーム54を作成する。X線管51は、高圧発生器6
1,X線コントローラ62に接続され、電力供給及び管
電圧,管電流の制御がなされる。ここに、X線管51
は、焦点の大きさが3×3mm,管電圧300kv,管
電流10mAの大出力のものである。
【0061】X線管51の下方にはフロアより固定され
た管球コリメータ52が配置され、該管球コリメータ5
2は、X線ファンビーム54を形成しない余分なX線を
遮る機能をなす。
【0062】X線管51の下方には被検体コリメータ5
3とX線ラインセンサ56とが配置され、該被検体コリ
メータ53とX線ラインセンサ56との間には送り部5
7を構成する送り板57cが配置されている。前記被検
体コリメータ53とX線ラインセンサ56はフロアから
支持されている。
【0063】前記X線ラインセンサ56は、多チャンネ
ル一次元のX線検出器であり、X線ファンビーム54の
面に直交するように配置されている。
【0064】前記送り板57c上にはパレット60が載
置され、該パレット60上には複数個の被検体55が固
定されている。該被検体55は、複数個の金属片55a
(図11参照)がモールドされたプラスチック製品であ
る。
【0065】前記送り部57を構成する送り板57c
は、送り機構57a,57bによりX線ファンビーム5
4の面と直交する方向に送られるので、パレット60上
の被検体55は被検体コリメータ53に接近した状態で
送られる。
【0066】送り制御部57dは、送り板57cを一定
速度で送るように制御すると共に、一定送りピッチ
(0.1mm)毎にデータ収集用のタイミングパルスで
ある収集パルスをデータ収集部58に送る。
【0067】データ収集部58は、収集パルスを受ける
毎にX線ラインセンサ56の出力を収集し、デジタルデ
ータに変換して画像処理CPU59aに送る。画像処理
CPU59aはディスプレイ59b,キーボード59
c,マウス59dと接続されており、画像の表示,RO
I(Region of Interest、関心領域)表示,結果表示や
操作者の入力用に用いられる。
【0068】次に、本実施形態例の作用を説明する。
【0069】X線管51よりX線が放射されると、図1
0に示すように、X線焦点Sと被検体コリメータ53と
によりX線ファンビーム54が形成される。ここに、図
10はX線ファンビームの幾何図であり、ファン面に平
行な方向から見たビームの厚さを示す。図中、斜線部は
ビームの半値巾を示す。この幾何図では、被検体コリメ
ータ53の上下約25mmの範囲でビーム半値巾は、被
検体コリメータ53aと53bがなすコリメータ巾と同
じ巾(0.1mm)となる。
【0070】X線ファンビーム54が放射されている状
態で、被検体コリメータ53の下の25mmの範囲を、
被検体55がその長手方向に沿って送り部57によりX
線ファンビーム54に直角に送られる。前述の如く送り
制御部57dの制御により送り板57cが一定速度で一
定ピッチ送られる度に、送り制御部57dから収集パル
スがデータ収集部58へ送られる。データ収集部58は
1つの収集パルスが到来する度に、X線ラインセンサ5
6の全チャンネルのデータを時分割で取り込んでそれぞ
れのデータをデジタルデータに変換して画像処理CPU
59aに送る。
【0071】画像処理CPU59aは、送られたデータ
を、チャンネル方向を縦方向とし、送り方向を横方向と
して画像メモリ(図示せず)に記憶し、被検体55の透
過画像としてディスプレイ59bに表示する。
【0072】この透過画像の例を図11に示す。図11
に示すように、被検体55の内部の金属片55aはX線
吸収が大きいため黒く表示される(なお、各被検体55
にはそれぞれ8個の金属片55aがモールドされてい
る)。
【0073】この黒く表示された部分につき、公知の画
像処理方法により送り方向の寸法を求め表示する。この
場合、金属片55aの両端の画面上での位置を測定可能
なので、金属片55aの長さや金属片55aの隙間の長
さが求められる。
【0074】以上に説明した本実施形態例によれば、次
の効果を奏することができる。
【0075】被検体を破壊せずに、内部の寸法を求め
ることができる。
【0076】被検体の送り方向に対してはビーム巾が
狭いため(0.1mm、図10参照)、分解能が高く精
度のよい寸法測定を行うことができる。
【0077】被検体の画像は常に送り方向に対して直
角方向から見た画像であり、視差がないため精度のよい
寸法測定を行うことができる。
【0078】被検体の停止や位置決めをする必要がな
く、一方向に送るだけで寸法測定が可能なので、高速で
寸法測定を行うことができる。
【0079】大焦点の高出力のX線管を使用しても被
検体コリメータによりビーム巾を狭くできるので、分解
能が高く、ノイズの少ない透過画像を高速で得ることが
できる。
【0080】(2)第2実施形態例 本実施形態例は請求項3に対応する。
【0081】本実施形態例と第1実施形態例との相違点
は、本実施形態例では、図2に示すように、被検体55
がX線管51と被検体コリメータ53(53a,53
b)との間に配置された状態で被検体55が送られるよ
うにされている点であり、それ以外は第1実施形態例と
同一である。
【0082】本実施形態例の作用および効果は、第1実
施形態例と同一である。
【0083】(3)第3実施形態例 本実施形態例は請求項4に対応する。
【0084】本実施形態例の構成は、第1および第2実
施形態例と同一である。
【0085】本実施形態例の作用を説明する。
【0086】透過画像の作成までは第1および第2実施
形態例と同一であり、作用の相違点を図13(a),
(b)を参照して説明する。
【0087】図13(a),(b)に示すように、被検
体55の種類に応じて、Ni(X線ラインセンサ56の
チャンネル方向がi番目),Si(しきい値i)の組を
メモリからロードするが、どの組をロードするかは操作
者が指定する(ステップS1、ステップS2)。
【0088】先ず画像処理部59は、チャンネル位置N
iのプロフィールを抽出する(ステップS3)。なお、
このときチャンネル位置Niを中心として数チャンネル
分を平均してプロフィールとしてもよい(図12参
照)。この平均するチャンネル数は、画像のノイズと金
属片55aの大きさにより予め定めてチャンネル位置N
iとしきい値Siとを一緒に記憶させておく。
【0089】次に画像処理部59は、しきい値Siによ
る寸法測定を行なう(ステップS4)。即ち、図12に
示すように、チャンネル位置Niのプロフィールは、送
り量について一定間隔で得られているデータを、グラフ
化して表示することで得られる(ステップS5)。しき
い値Siの水平線と折れ線グラフの交点位置x1
2 ,x3 …を求めることにより、寸法測定が行なわれ
る。このような方法で各チャンネル位置Niにおけるし
きい値Siに対応した被検体55の寸法を測定すれば、
被検体55の金属片55aの左右両端の画面上での位置
が測定されるので、金属片55aの長さや金属片55a
の隙間の長さを求めることができる。
【0090】図13(a)では金属片55aの左右の両
端の位置を表示するように描かれているが、金属片55
aの長さや隙間長を数字でデジタル表示してもよい。ま
た測定データを上位計算機(図示せず)に転送して管理
するようにしてもよい。
【0091】図13(a),(b)に示した場合では、
金属片55aの上下方向の中央部1ケ所で測定を行なっ
ているが、被検体55によっては測定箇所が必ずしも中
央でない場合がある。また、上下方向の数ケ所で測定す
るようにしてもよく、この場合には金属片の傾きも知る
ことができる。
【0092】なお、以上は透過画像を作成する場合につ
いて説明したが、透過画像の代わりに、チャンネル位置
Niのプロフィールを抽出するのに必要なデータのみを
作成してもよい。
【0093】本実施形態例の効果は、第1,第2の実施
形態例の効果に加え、更に自動測定を行うことができ、
操作者の手間がかからず高速で測定できることである。
【0094】また、プロフィールにしきい値を用いるこ
とにより、画像ディスプレイ(CRT)59bの画素よ
り細かい寸法測定が可能となり、寸法測定の精度を高く
することができる。
【0095】(4)第4実施形態例 本実施形態例は請求項5,請求項6に対応する。
【0096】本実施形態例の構成は第1または第2の実
施形態例と同一である。
【0097】本実施形態例の作用は、透過画像の作成ま
では第1および第2の実施形態例と同一であり、それ以
後の作用を図14(a),(b)を参照して説明する。
【0098】図14(a),(b)に示すように、しき
い値Siが「1」の場合を開始する(ステップS1
1)。
【0099】操作者は画像上に直線ROI(水平方向)
をマウス(図示せず)を使って設定することにより、或
いは数値入力によりチャンネル位置Niを入力する(ス
テップS12)。
【0100】画像処理部59は、チャンネル位置Niに
おけるプロフィールを表示する(ステップS13)。な
お、この場合、隣接チャンネルの数チャンネルを平均し
てもよい。
【0101】次に操作者はこのプロフィール上に直線R
OI(水平)を設定することにより或いは数値入力によ
りしきい値Siを入力する(ステップS14)。
【0102】画像処理部59は、次にしきい値Siによ
る寸法測定を行ない表示する。この処理は、第3実施形
態例と同一なので説明を省略する。
【0103】以上で操作者は画像上でチャンネル位置N
iを指定したが、必ずしも画像は必要でない。即ち、画
像を見ずにチャンネル位置Niを指定し、チャンネル位
置Niでのプロフィール表示を見ることにより最適なチ
ャンネル位置Niを選択するようにしてもよい。
【0104】本実施形態例の効果は、第3実施形態例の
効果と同一である。
【0105】(5)第5実施形態例 本実施形態例は請求項7,請求項8に対応する。
【0106】本実施形態例の構成は、第1および第2の
実施形態例と同一である。
【0107】本実施形態例の作用は、透過画像の作成ま
では第1および第2の実施形態例と同一であり、それ以
後の作用を図15(a),(b)を参照して説明する。
【0108】図15(a),(b)に示すように、先ず
しきい値Siが「1」の場合を開始する(ステップS2
1)。
【0109】操作者は画像上に直線ROI(水平方向)
をマウスを使って設定するか、或いは数値入力によりチ
ャンネル位置Niを入力する(ステップS22)。
【0110】画像処理部59は、チャンネル位置Niで
のプロフィールを表示する(ステップS23)。なお、
隣接チャンネルの数チャンネルを平均してもよい。
【0111】次に操作者はこのプロフィール上に直線R
OI(水平方向)を設定することにより、或いは数値入
力によりしきい値Siを入力する(ステップS24)。
【0112】画像処理部59はこのように入力されたチ
ャンネル位置Ni,しきい値Siの組を記憶する。操作
者は被検査体の種類を識別する登録名を入力する。登録
名もチャンネル位置Ni,しきい値Siと一緒に記憶さ
れる(ステップS25)。
【0113】次に同種の被検体の寸法測定を行うとき、
登録済みの登録名を入力して記憶したチャンネル位置N
i,しきい値Siを使って寸法測定を行なうが、このと
きの作用は第3実施形態例と全く同一である。
【0114】以上で操作者は画像上でチャンネル位置N
iを指定したが、必ずしも画像は必要でない。即ち、画
像を見ずにチャンネル位置Niを指定し、チャンネル位
置Niでのプロフィール表示を見ることで最適チャンネ
ル位置Niを選択することができる。
【0115】本実施形態例の効果は、第3実施形態例と
同一である。
【0116】(6)第6実施形態例 本実施形態例は請求項9,請求項10に対応する。
【0117】本実施形態例の構成は、第1または第2の
実施形態例と同一である。
【0118】本実施形態例の作用は、透過画像の作成ま
では第1または第2の実施形態例と同一であり、それ以
後の作用を図15(a),(b)を参照して説明する。
【0119】本実施形態例はチャンネル位置Niを自動
的に求めるものである。
【0120】画像処理部59は透過画像上の送り方向N
個分(ここでは中央のN個を用いるが中央に限定される
わけではない)のチャンネル方向プロフィールの各チャ
ンネル位置での最小値をとったチャンネル方向プロフィ
ールを作る。これは吸収の強い金属片55a部を通るプ
ロフィールを作るためである(金属片のギャップの影響
を除くため)。逆に、測定対象部位のX線吸収が弱いよ
うな被検体55の場合は最大値のプロフィールを作り、
金属片55aのギャップが金属片55aの長さにくらべ
短いような場合は平値値のプロフィールでもよい。
【0121】画像処理部59は、このチャンネル方向プ
ロフィールを予め定めたレベル値で2値化し、2値化領
域(レベルより高い領域或いは低い領域)の中心位置N
iを求める。但し、チャンネル位置Niは必ずしも中心
でなくともよく1ケ所でなくてもよい。(例えば、2値
化領域の上から1/3と下から1/3の2ケ所)。
【0122】次に、各チャンネル位置Niでのプロフィ
ールと予め定められ、記憶されているしきい値Siを用
いてそれぞれ寸法測定を行なう。
【0123】しきい値を用いた寸法測定は実施形態例3
と同じなので説明を省略する。
【0124】以上は透過画像を作成する場合について説
明したが、透過画像は必ずしも作る必要はない。
【0125】本実施形態例の効果は、第3実施形態例と
同一である。
【0126】(7)第7実施形態例 本実施形態例は請求項11に対応する。
【0127】本実施形態例の構成は、第1または第2の
実施形態例と同一である。
【0128】本実施形態例の作用を説明する。
【0129】ここでは被検体の測定位置を模擬した線フ
ァントムを用いて測定位置Niを求める。線ファントム
70は、図18(a)に示すようにプラスチック板70
aに金属線70bを埋め込んだもので、金属線70bは
被検体の測定位置に合せて平行に複数配置されている。
線ファントム70は金属線70bが送り方向になるよう
に、また正確に被検体と同じ位置になるように送り板5
7c(図10参照)の上におかれる。この状態で線ファ
ントム70の透過画像を作るが、透過画像の作成までは
第1または第2実施形態例と同一である。
【0130】図18(a),(b)を参照して以後の作
用を説明する。これはチャンネル位置Niを自動的に求
めるものである。
【0131】透過画像上の送り方向N個分(ここでは中
央のN個を用いるが中央でなくてもよい)のチャンネル
方向のプロフィールの平均プロフィールを求める(ステ
ップS41)。
【0132】次に予め定めたレベル値で2値化し、2値
化領域(レベルより高い領域或いは低い領域)の中心位
置チャンネル位置Niを求め、記憶する(ステップS4
2、ステップS43)。
【0133】操作者は被検体の種類を識別する登録名を
入力する(ステップS44)。登録名もチャンネル位置
Niと一緒に記憶され、また、予め定められたしきい値
Siも一緒に記憶される。
【0134】次に同種の被検体の寸法測定を行おうと
き、登録名を入力して記憶したチャンネル位置Ni(と
しきい値Si)を使って寸法測定を行なうが、このとき
の作用は実施形態例3と全く同一である。
【0135】以上は透過画像を作成する場合について説
明したが、必ずしも透過画像を作成する必要はない。
【0136】本実施形態例の効果は、第3の実施形態例
の効果と同一である。
【0137】(8)第8実施形態例 本実施形態例は請求項12,請求項13に対応する。
【0138】本実施形態例の構成は、第1または第2の
実施形態例と同一である。
【0139】本実施形態例の作用は、透過画像の作成ま
では第1または第2の実施形態例と同一である。
【0140】図19、図20を参照して以後の作用を説
明する。
【0141】操作者は画像上に直線ROI(垂直方向)
をマウスを使って設定することにより、或いは数値入力
により送り位置mを入力する(ステップS51)。この
とき縦方向に金属片55aが全てかかるような送り位置
mを選択する。
【0142】画像処理部59は、送り位置mでのプロフ
ィールを表示する(ステップS52)。操作者は直線R
OI(垂直)の設定或いは数値入力によりしきい値Sを
入力する(ステップS53)。または、プロフィールの
各山(谷)毎にしきい値Siを入力してもよい。
【0143】画像処理部59は、このしきい値S(又は
しきい値Si)により或いは別に定めたレベル値より2
値化し、2値化領域(レベルより高い領域或いは低い領
域)の中心位置niのチャンネル位置Niを求める(ス
テップS54)。但し、中心位置niは必ずしも中心で
なくともよく、1ケ所でなくてもよい。例えば、2値化
領域の上から1/3と下から1/3の2ケ所でもよい。
【0144】中心位置niとしきい値S(又はしきい値
Si)は操作者が入力した登録名と一緒に記憶される
(ステップS55、ステップS56)。
【0145】次に同種の被検体の寸法測定を行うとき、
登録名を入力して記憶した中心位置niとしきい値S
(又はしきい値Si)を使って寸法測定を行なうが、こ
のときの作用は第3実施形態例と全く同一である。
【0146】前述の説明において、中心位置niとしき
い値S(又はしきい値Si)を記憶する代わりに、直接
中心位置niとしきい値S(又はしきい値Si)を使っ
て中心位置niとしきい値S(又はしきい値Si)を求
めるのに使った画像を直接寸法測定することもできる
(ステップS58〜ステップS60)。このときの作用
は第3実施形態例と同一である。
【0147】以上の説明において透過画像作成と表示は
必ずしも必要でない。操作者は画像を見ずに送り位置m
を指定し、該送り位置mにおけるプロフィール表示を見
ることにより最適送り位置mを選択することができる。
【0148】本実施形態例の効果は、第3実施形態例と
同一である。
【0149】
【発明の効果】以上説明したように各請求項記載の発明
によれば、X線管から放射されたX線に基づいて被検体
コリメータでX線ファンビームを形成し、X線ラインセ
ンサにより被検体を通過後のX線ファンビームを受け、
該X線ラインセンサの検出値に基づいて画像処理部で被
検体の内部構造を求めているので、人手を介することな
く高速で被検体の寸法測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の請求項2のクレーム対応図である。
【図2】本発明の請求項3のクレーム対応図である。
【図3】本発明の請求項4のクレーム対応図である。
【図4】本発明の請求項5,請求項6のクレーム対応図
である。
【図5】本発明の請求項7,請求項8のクレーム対応図
である。
【図6】本発明の請求項9,請求項10のクレーム対応
図である。
【図7】本発明の請求項11のクレーム対応図である。
【図8】本発明の請求項12,請求項13のクレーム対
応図である。
【図9】本発明の第1実施形態例の斜視図である。
【図10】同第1乃至第8実施形態例におけるファンビ
ームの幾何図である。
【図11】同第1乃至第8実施形態例における透過画像
を示す平面図である。
【図12】同第3乃至第8実施形態例におけるしきい値
による寸法測定を説明する図である。
【図13】同第3実施形態例における自動寸法測定を説
明する図であって、(a)は平面図、(b)はフローチ
ャートである。
【図14】同第4実施形態例における手動寸法測定を説
明する図であって、(a)は平面図、(b)はフローチ
ャートである。
【図15】同第5実施形態例におけるパラメータ登録を
説明する図であって、(a)は平面図、(b)はフロー
チャートである。
【図16】同第6実施形態例における自動寸法測定を説
明するための平面図である。(b)はフローチャートで
ある。
【図17】同第6実施形態例における自動寸法測定を説
明するためのフローチャートである。
【図18】同第7実施形態例におけるチャンネル位置N
iの登録を説明する図であって、(a)は平面図、
(b)はフローチャートである。
【図19】同第8実施形態例におけるチャンネル位置N
iの登録を説明する平面図である。
【図20】同第8実施形態例におけるしきい値Siの登
録を説明する平面図である。
【図21】従来例の概略構成図である。
【符号の説明】
S X線焦点 51 X線管 52 管球コリメータ 53 被検体コリメータ 54 X線ファンビーム 55 被検体 56 X線ラインセンサ 57 送り手段 58 データ収集部 59 画像処理部 59a 画像処理CPU 59b ディスプレイ 59c キーボード 59d マウス 60 パレット 70 線ファントム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水口 弘 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 吉田 雅也 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 X線を放射するX線管と、 該X線管から放射されるX線に基づいてX線ファンビー
    ムを形成する被検体コリメータと、 前記X線ファンビームに沿って配置され、前記被検体コ
    リメータを通過後のX線ファンビームを受けてX線を検
    出するX線ラインセンサと、 前記X線ファンビームに対して略直交するように被検体
    を搬送する送り手段と、 該送り手段による前記被検体の搬送の間に前記X線ライ
    ンセンサの検出値に基づいて前記被検体の内部構造を求
    める画像処理部とを備えたことを特徴とするX線寸法測
    定装置。
  2. 【請求項2】 前記送り手段は、前記被検体を、前記被
    検体コリメータとX線ラインセンサとの間を搬送するよ
    うにしたことを特徴とする請求項1記載のX線寸法測定
    装置。
  3. 【請求項3】 前記送り手段は、前記被検体を、前記被
    検体コリメータとX線管との間を搬送するようにしたこ
    とを特徴とする請求項1記載のX線寸法測定装置。
  4. 【請求項4】 前記画像処理部は、前記X線ラインセン
    サの検出値に基づき予め定められたチャンネル位置にお
    けるプロフィールを抽出し、予め定められたしきい値を
    用いて寸法測定を行なうようにしたことを特徴とする請
    求項1記載のX線寸法測定装置。
  5. 【請求項5】 前記画像処理部は、前記抽出されたプロ
    フィールに基づき、予め入力されたしきい値を用いて寸
    法測定を行なうようにしたことを特徴とする請求項4記
    載のX線寸法測定装置。
  6. 【請求項6】 前記画像処理部は、透過画像上における
    チャンネル位置の指定をするようにしたことを特徴とす
    る請求項5記載のX線寸法測定装置。
  7. 【請求項7】 前記画像処理部は、前記予め入力された
    しきい値とチャンネル位置との組合せを記憶し、前記X
    線ラインセンサの検出値に基いて前記被検体について前
    記記憶したしきい値とチャンネル位置におけるプロフィ
    ールを抽出し、前記記憶したしきい値を用いて寸法測定
    を行うようにしたことを特徴とする請求項5記載のX線
    寸法測定装置。
  8. 【請求項8】 前記画像処理部は、透過画像上でチャン
    ネル位置の指定をするようにしたことを特徴とする請求
    項6記載のX線寸法測定装置。
  9. 【請求項9】 前記画像処理部は、前記X線ラインセン
    サの検出値に基づき予め定められた送り方向N個分のチ
    ャンネル方向プロフィールによりチャンネル方向プロフ
    ィールを抽出し、予め定められたレベル値より低レベル
    又は高レベル領域の中でチャンネル位置を決めて該チャ
    ンネル位置でのプロフィールを抽出し、予め定められた
    しきい値を用いて寸法測定を行なうようにしたことを特
    徴とする請求項1記載のX線寸法測定装置。
  10. 【請求項10】 前記画像処理部は、前記透過画像上で
    上記N個分のチャンネル方向プロフィールを抽出するよ
    うにしたことを特徴とする請求項9記載のX線寸法測定
    装置。
  11. 【請求項11】 前記画像処理部は、前記被検体の代わ
    りに、該被検体の寸法測定位置に対応する位置にX線を
    吸収する線ファントムを配置し、前記X線ラインセンサ
    の検出値より予め定められた送り方向N個分のチャンネ
    ル方向プロフィールを抽出し、予め定められたレベル値
    より低レベル又は高レベル領域の中心チャンネル位置を
    求めて記憶し、 前記被検体について前記X線ラインセンサの検出値より
    被検体の透過データを作成し、前記記憶したチャンネル
    位置でのプロフィールを抽出し、予め定められたしきい
    値を用いて法測定を行うようにしたことを特徴とする請
    求項1記載のX線寸法測定装置。
  12. 【請求項12】 前記画像処理部は、前記X線ラインセ
    ンサの検出値より操作者が入力した送り位置でのチャン
    ネル方向プロフィールを表示し、予め入力されたしきい
    値より、又は予め定めたレベル値より低レベル又は高レ
    ベル領域の中でチャンネル位置を決め、前記しきい値お
    よびチャンネル位置を用いて寸法測定を行うようにした
    ことを特徴とする請求項1記載のX線寸法測定装置。
  13. 【請求項13】 前記X線ラインセンサの検出値より被
    検体の透過画像を作成して表示し、その画像上で入力さ
    れた送り位置を指定することを特徴とする請求項12記
    載のX線寸法測定装置。
JP29132095A 1995-11-09 1995-11-09 X線寸法測定装置 Pending JPH09133521A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29132095A JPH09133521A (ja) 1995-11-09 1995-11-09 X線寸法測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29132095A JPH09133521A (ja) 1995-11-09 1995-11-09 X線寸法測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09133521A true JPH09133521A (ja) 1997-05-20

Family

ID=17767387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29132095A Pending JPH09133521A (ja) 1995-11-09 1995-11-09 X線寸法測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09133521A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005106640A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置
JP2007147661A (ja) * 2007-03-16 2007-06-14 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005106640A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置
JP2007147661A (ja) * 2007-03-16 2007-06-14 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6333962B1 (en) Non-destructive inspection apparatus and inspection system using it
AU2002307053B2 (en) X-ray inspection system
JP5340524B2 (ja) 放射線検出器及び放射線検出方法
EP0160160B1 (en) Video measuring system for defining location orthogonally
CN101315341B (zh) 分层摄影检测系统与方法
EP3327430A1 (en) Method and apparatus for estimating weight of inspected object in safety inspection system
US7056020B2 (en) Alignment systems and methods for radiographic imaging systems
JPH0627249A (ja) 放射線検査装置
CN111297386A (zh) 一种ct数据定位方法
EP0074588B1 (en) Imaging apparatus using nuclear magnetic resonance
JP2923199B2 (ja) 曲げ角度検出装置およびそれに用いる直線抽出装置並びに曲げ角度検出位置設定装置
KR940002506B1 (ko) 코드로 보강된 타이어직물의 기준중량을 측정하는 장치
GB2356453A (en) X-ray tomography device for use in high resolution profiling and velocity measurement
EP3605073B1 (en) X-rax transmission inspection apparatus and x-ray transmission inspection method
JPH09133521A (ja) X線寸法測定装置
JP4395581B2 (ja) ワイヤ検出プログラム及びワイヤ検査装置
JP2003148936A (ja) 光切断法による対象物の三次元計測方法
JP3308629B2 (ja) X線ラインセンサ透視装置
JPH10246708A (ja) 非破壊検査装置及び方法
JPH06109437A (ja) 三次元形状計測装置
JPS6410220B2 (ja)
JPH0866388A (ja) 放射線撮像装置
JPH01297772A (ja) 欠陥異物検出装置
JP2004226202A (ja) 画像処理装置および記録媒体
KR920700579A (ko) 뼈형태계측 방법 및 장치와 뼈평가 시스템