JPH09129576A - Dicer sheet pasting method - Google Patents
Dicer sheet pasting methodInfo
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- JPH09129576A JPH09129576A JP30977795A JP30977795A JPH09129576A JP H09129576 A JPH09129576 A JP H09129576A JP 30977795 A JP30977795 A JP 30977795A JP 30977795 A JP30977795 A JP 30977795A JP H09129576 A JPH09129576 A JP H09129576A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明はダイサーシート貼
付方法に関し、特にたとえば、ダイサーカットを行うべ
きセラミックスなどの割れやすいワークに、伸縮性を有
するダイサーシートを気圧差により貼付するためのダイ
サーシート貼付方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dicer sheet sticking method, and more particularly, to a dicer sheet sticking method for sticking a stretchable dicer sheet to a fragile work such as ceramics to be cut by dicing due to a pressure difference. Regarding
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４は、この発明の背景となる従来のダ
イサーシート貼付方法の一例を示す図解図である。ワー
ク１は、たとえば圧電素子などに用いられるセラミック
スなどからなる薄い板状のものである。このワーク１の
一方主面には、ワーク１を所定の形状にダイサーによっ
て切断（以下、ダイサーカットという）する際の前工程
として、ダイサーシート２が貼付される。ダイサーシー
ト２は、ダイサーによってワーク１を切断する時に、切
断刃がワーク１を載置したテーブルを傷付けるのを防止
し、切断したワーク１が飛散しないようにするためのも
のである。このワーク１とダイサーシート２との間に気
泡が入り込むと、ダイサーカット時にワーク１がダイサ
ーシート２から剥がれて、ワーク１にクラックや割れが
生じたり飛散してしまう原因となる。2. Description of the Related Art FIG. 4 is an illustrative view showing one example of a conventional dicer sheet sticking method which is the background of the present invention. The work 1 is a thin plate-like member made of, for example, ceramics used for a piezoelectric element or the like. A dicer sheet 2 is attached to one main surface of the work 1 as a pre-process when the work 1 is cut into a predetermined shape by a dicer (hereinafter referred to as a dicer cut). The dicer sheet 2 is for preventing the cutting blade from damaging the table on which the work 1 is placed when the work 1 is cut by the dicer, and for preventing the cut work 1 from scattering. When air bubbles enter between the work 1 and the dicer sheet 2, the work 1 is peeled from the dicer sheet 2 during dicer cutting, which causes cracks or breaks in the work 1 or scattering.
【０００３】そこで、ワーク１とダイサーシート２との
間に気泡が生じるのを防止するため、図４に示すような
ダイサーシート貼付装置を用いてダイサーシート２を貼
付する方法がある。このダイサーシート貼付装置１０
は、断面略Ｕ字形状のベース部材１２を含む。ベース部
材１２の底面には、ワーク１を吸引保持するための吸引
孔１４が形成される。また、ベース部材１２の底面に
は、第１の気圧調整孔１６が形成される。ベース部材１
２の上には、ダイサーシートを保持するための平面矩形
の枠状の保持部材１８が配置される。保持部材１８は、
ダイサーシート２を貼着して保持するためのものであ
る。ダイサーシート２の貼着面には、たとえば感圧型の
粘着剤層２ａが設けられている。保持部材１８は、ダイ
サーシート２の粘着剤層２ａをワーク１の一方主面に向
けて、ベース部材１２の上に載置され、ベース部材１
２、保持部材１８、およびダイサーシート２に囲まれ密
閉された第１の空間２０が形成される。Therefore, in order to prevent bubbles from being generated between the work 1 and the dicer sheet 2, there is a method of pasting the dicer sheet 2 using a dicer sheet pasting device as shown in FIG. This dicer sheet sticking device 10
Includes a base member 12 having a substantially U-shaped cross section. A suction hole 14 for sucking and holding the work 1 is formed on the bottom surface of the base member 12. A first atmospheric pressure adjusting hole 16 is formed on the bottom surface of the base member 12. Base member 1
A frame-shaped holding member 18 having a flat rectangular shape for holding the dicer sheet is arranged on the upper surface of the second member 2. The holding member 18 is
This is for attaching and holding the dicer sheet 2. A pressure-sensitive adhesive layer 2a, for example, is provided on the sticking surface of the dicer sheet 2. The holding member 18 is placed on the base member 12 with the pressure-sensitive adhesive layer 2a of the dicer sheet 2 facing one main surface of the work 1 and
A first space 20 surrounded by the holding member 18, the dicer sheet 2 and the dicer sheet 2 is formed.
【０００４】また、保持部材１８の上には、断面略Ｕ字
形状のフード部材２２がダイサーシート２の上を覆うよ
うにして載置され、フード部材２２およびダイサーシー
ト２に囲まれ密閉された第２の空間２４が形成される。
さらに、フード部材２２の略中央部には、第２の気圧調
整孔２６が形成される。第２の気圧調整孔２６は、第２
の空間２４内のエアを吸引または送出し、気圧を調整す
るための気圧調整装置に接続される。A hood member 22 having a substantially U-shaped cross section is placed on the holding member 18 so as to cover the dicer sheet 2, and is surrounded and sealed by the hood member 22 and the dicer sheet 2. The second space 24 is formed.
Further, a second atmospheric pressure adjusting hole 26 is formed in a substantially central portion of the hood member 22. The second air pressure adjusting hole 26 has a second
Is connected to an air pressure adjusting device for sucking or sending out the air in the space 24 and adjusting the air pressure.
【０００５】この装置１０を用いる従来のダイサーシー
ト貼付方法では、まず、図４（Ａ）に示すように、ワー
ク１を吸引孔１４から吸引してベース部材１２に保持す
る。次に、ダイサーシート２を保持部材１８に保持させ
る。そして、ダイサーシート２を保持した保持部材１８
をベース部材１２に載置して、密閉された第１の空間２
０を形成する。次に、ダイサーシート２を覆うようにし
てフード部材２２を取り付けて、密閉された第２の空間
２４を形成する。In the conventional dicer sheet sticking method using this device 10, first, as shown in FIG. 4A, the work 1 is sucked through the suction holes 14 and held by the base member 12. Next, the dicer sheet 2 is held by the holding member 18. Then, the holding member 18 holding the dicer sheet 2
Is placed on the base member 12, and the sealed first space 2
Form 0. Next, the hood member 22 is attached so as to cover the dicer sheet 2, and the sealed second space 24 is formed.
【０００６】次に、第２の空間２４および第１の空間２
０をそれぞれ減圧する。その後、第２の空間２４を開放
して大気圧をかけると、図４（Ｂ）に示すように、ダイ
サーシート２が第１の空間２０へと撓み入る。さらに、
図４（Ｃ）に示すように、第２の空間２４と第１の空間
２０との圧力差により、ダイサーシート２の粘着剤層２
ａがワーク１へと押圧され貼付される。その後、第１の
空間２０の減圧を解除して、第２の空間２４の気圧と第
１の空間２０の気圧とが等しくなると、図４（Ｄ）に示
すように、ダイサーシート２の張力によりワーク１が持
ち上がる。Next, the second space 24 and the first space 2
Depressurize each 0. After that, when the second space 24 is opened and atmospheric pressure is applied, the dicer sheet 2 bends into the first space 20 as shown in FIG. further,
As shown in FIG. 4C, the pressure-sensitive adhesive layer 2 of the dicer sheet 2 due to the pressure difference between the second space 24 and the first space 20.
a is pressed and attached to the work 1. After that, when the pressure in the first space 20 is released and the atmospheric pressure in the second space 24 and the atmospheric pressure in the first space 20 become equal, as shown in FIG. Work 1 is lifted.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の貼付方法では、ワーク１の主面が凹凸してい
る場合に、ワーク１を吸引孔１４から吸引してベース部
材１２に保持する際に、ワーク１とベース部材１２とが
密着せず隙間が生じる。そして、ワーク１とベース部材
１２との隙間から第１の空間２０内のエアが漏れて、第
１の空間２０が減圧されてしまう。すると、第１の空間
２０と第２の空間２４との気圧のバランスが崩れるた
め、ダイサーシート２がベース部材１２の上にセットさ
れると、すぐにダイサーシート２が第１の空間２０へ撓
み入ってワーク１に一気に貼り付いてしまう。そのた
め、ダイサーシート２とワーク１との間に気泡が入り込
みやすい。従来の方法でこのような不都合を避けるため
には、ワークを吸引保持ではなく機械的に保持しなけれ
ばならない。しかし、ワークを機械的に保持する場合に
は、メカが複雑になり、高コストになるとともに、ワー
クにストレスがかかり、割れや欠けの原因となる。However, in such a conventional pasting method, when the main surface of the work 1 is uneven, when the work 1 is sucked from the suction hole 14 and held by the base member 12. In addition, the work 1 and the base member 12 do not come into close contact with each other and a gap is generated. Then, air in the first space 20 leaks from the gap between the work 1 and the base member 12, and the first space 20 is depressurized. Then, the balance of the atmospheric pressure between the first space 20 and the second space 24 is lost, so that when the dicer sheet 2 is set on the base member 12, the dicer sheet 2 immediately bends into the first space 20. It enters and sticks to work 1 all at once. Therefore, air bubbles easily enter between the dicer sheet 2 and the work 1. In order to avoid such an inconvenience in the conventional method, the work must be held mechanically, not by suction. However, in the case of mechanically holding the work, the mechanism becomes complicated, the cost becomes high, and the work is stressed, which causes cracks and chips.
【０００８】また、従来の貼付方法では、ダイサーシー
ト２の貼付時に、第１の空間２０の気圧と第２の空間２
４の気圧との圧力差が急激に大きくなるため、ダイサー
シート２の主面がワーク１に一気に貼り付いてしまう。
そのため、ダイサーシート２とワーク１との間に気泡が
入り込みやすい。Further, in the conventional pasting method, when the dicer sheet 2 is pasted, the atmospheric pressure of the first space 20 and the second space 2 are applied.
Since the pressure difference from the atmospheric pressure of 4 rapidly increases, the main surface of the dicer sheet 2 sticks to the work 1 at a stretch.
Therefore, air bubbles easily enter between the dicer sheet 2 and the work 1.
【０００９】それゆえに、この発明の主たる目的は、ダ
イサーシートの主面がワークに一気に貼付されることを
防止でき、ダイサーシートとワークとの間に気泡が入り
込みにくいダイサーシート貼付方法を提供することであ
る。Therefore, a main object of the present invention is to provide a dicer sheet sticking method capable of preventing the main surface of the dicer sheet from sticking to the work at once, and making it difficult for bubbles to enter between the dicer sheet and the work. Is.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のダイサ
ーシート貼付方法は、ダイサーカットされるワークへの
ダイサーシートの貼付方法であって、密閉空間内でワー
クを吸引して保持するステップと、ワークの一方主面に
貼付すべきダイサーシートがワークに対して急激に貼付
しないようにするため、ワークを吸引して保持すること
により減圧される密閉空間内へエアを送りこんで密閉空
間内外の気圧の平衡をとるステップを含む、ダイサーシ
ート貼付方法である。A method for sticking a dicer sheet according to claim 1 is a method for sticking a dicer sheet to a work to be cut with a dicer, the method comprising sucking and holding the work in a closed space. , In order to prevent the dicer sheet that should be attached to one main surface of the work from abruptly attaching to the work, air is sent into the closed space where the work is sucked and held to reduce the pressure A method for attaching a dicer sheet, which comprises a step of balancing atmospheric pressure.
【００１１】請求項２に記載のダイサーシート貼付方法
は、ダイサーカットされるワークへのダイサーシートの
貼付方法であって、ワークを吸引保持するステップと、
ワークとその一方主面に貼付すべきダイサーシートとの
間に、密閉空間を形成し、密閉空間内外の気圧が平衡に
なるようにその密閉空間内の気圧を調整しながら、ダイ
サーシートをワークの一方主面に対向させつつ保持する
ステップと、ダイサーシートを撓ませてワークに貼付す
る際に、ダイサーシートとワークとの間に気泡が入り込
まないように、ダイサーシートの撓みの頂点から徐々に
ワークの主面に貼付するため、ワークとダイサーシート
との間の密閉空間をゆっくりと減圧するステップと、撓
みの頂点がワークの主面に貼付されたダイサーシートの
残りの部分を、ワークの主面の残りの部分に一気に貼付
するステップとを含む、ダイサーシート貼付方法であ
る。A method for attaching a dicer sheet according to a second aspect is a method for attaching a dicer sheet to a work to be dicer cut, which comprises a step of sucking and holding the work.
Form a closed space between the work and the dicer sheet to be attached to one main surface of the work, and adjust the air pressure inside the closed space so that the air pressure inside and outside the closed space is in equilibrium. On the other hand, the step of holding the dicer sheet while facing it to the main surface and gradually bending the dicer sheet from the top of the dicer sheet so that air bubbles do not enter between the dicer sheet and the work when sticking to the work. The step of slowly depressurizing the closed space between the work and the dicer sheet in order to attach it to the main surface of the work piece, and the remaining portion of the dicer sheet where the apex of bending is attached to the main surface of the work piece. And a step of sticking to the rest of the sheet all at once.
【００１２】請求項３に記載のダイサーシート貼付方法
は、ダイサーカットされるワークへのダイサーシートの
貼付方法であって、容器内にワークを吸引して保持する
第１のステップと、ワークを吸引保持しながら、蓋で容
器を密閉して容器内に密閉空間を形成する第２のステッ
プと、ワークを吸引保持することにより減圧される密閉
空間の気圧を測定する第３のステップと、第３のステッ
プにおいて測定された密閉空間内の気圧を密閉空間外の
気圧と平衡させるため、密閉空間内へ送り込むエア量を
決定する第４のステップと、ワークの一方主面に貼付す
べきダイサーシートとワークとの間に密閉空間を形成す
るため容器から蓋を取り外し、第４のステップで決定さ
れた量のエアを密閉空間内へ送り込みながら、ダイサー
シートで容器を再度密閉して密閉空間を形成する第５の
ステップと、ダイサーシートを撓ませてワークに貼付す
る際に、ダイサーシートとワークとの間に気泡が入り込
まないように、ダイサーシートの撓みの頂点から徐々に
ワークの主面に貼付するため、ダイサーシートとワーク
との間の密閉空間をゆっくりと減圧する第６のステップ
と、撓みの頂点がワークの主面に貼付されたダイサーシ
ートの残りの部分を、ワークの主面の残りの部分に一気
に貼付するため、ワークとダイサーシートとの間の密閉
空間を急激に減圧する第７のステップとを含む、ダイサ
ーシート貼付方法である。A method for attaching a dicer sheet according to a third aspect is a method for attaching a dicer sheet to a work to be cut by a dicer, the first step of sucking and holding the work in a container, and the suction of the work. A second step of sealing the container with a lid to form a sealed space in the container while holding the container, a third step of measuring the atmospheric pressure of the sealed space which is depressurized by sucking and holding the work, and a third step. In order to equilibrate the air pressure inside the closed space measured in the step of (4) with the air pressure outside the closed space, a fourth step of determining the amount of air sent into the closed space, and a dicer sheet to be attached to one main surface of the work Remove the lid from the container to form a closed space with the work, and re-inject the container with the dicer sheet while sending the amount of air determined in the fourth step into the closed space. The fifth step of forming a closed space by hermetically closing, and when the dicer sheet is bent and attached to the work, the dicer sheet is gradually bent from the apex of the dicer sheet so that air bubbles do not enter between the dicer sheet and the work. In order to affix to the main surface of the work, the sixth step of slowly depressurizing the closed space between the dicer sheet and the work, and the remaining portion of the dicer sheet where the apex of bending is affixed to the main surface of the work And a seventh step of abruptly depressurizing the closed space between the work and the dicer sheet in order to apply the dicer sheet to the rest of the main surface of the work at once.
【００１３】[0013]
【作用】請求項１に記載のダイサーシート貼付方法で
は、密閉空間内でワークが吸引されて保持されるため、
密閉空間が減圧される。そして、減圧された密閉空間内
へエアを送り込むことにより、密閉空間内外の気圧が平
衡にされる。したがって、ダイサーシートがワークに対
して急激に貼付されることがなく、ダイサーシートとワ
ークとの間に気泡が入り込まない。In the method for attaching a dicer sheet according to claim 1, since the work is sucked and held in the closed space,
The closed space is decompressed. Then, by sending air into the depressurized enclosed space, the atmospheric pressure inside and outside the enclosed space is balanced. Therefore, the dicer sheet is not abruptly attached to the work, and air bubbles do not enter between the dicer sheet and the work.
【００１４】請求項２に記載のダイサーシート貼付方法
では、まず、ワークが吸引保持される。次に、吸引保持
されるワークと、そのワークの一方主面に貼付すべきダ
イサーシートとの間に密閉空間が形成される。そして、
その密閉空間内外の気圧が平衡になるように気圧を調整
しながら、ダイサーシートがワークの一方主面に対向さ
れつつ保持される。このとき、密閉空間内外の気圧の平
衡がとられているため、保持されたダイサーシートがワ
ークに対して急激に貼付されることがない。次に、ワー
クとダイサーシートとの間の密閉空間をゆっくりと減圧
する。すると、ダイサーシートは、密閉空間内のワーク
へ向かって撓み込む。そして、ダイサーシートは、その
撓みの頂点から徐々にワークの主面に貼り付いていく。
次に、撓みの頂点がワークの主面に貼付されたダイサー
シートの残りの部分が、ワークの主面の残りの部分に一
気に貼付される。したがって、ダイサーシートとワーク
との間のエアが撓みの頂点から外側へ押し出されなが
ら、ダイサーシートがワークに貼付されることとなる。
そのため、このダイサーシート貼付方法によれば、ダイ
サーシートとワークとの間に気泡が入り込みにくい。In the method for attaching a dicer sheet according to a second aspect, first, the work is sucked and held. Next, a closed space is formed between the work to be suction-held and the dicer sheet to be attached to one main surface of the work. And
The dicer sheet is held while facing the one main surface of the work while adjusting the air pressure so that the air pressure inside and outside the closed space is in equilibrium. At this time, since the atmospheric pressures inside and outside the closed space are balanced, the held dicer sheet is not abruptly attached to the work. Next, the closed space between the work and the dicer sheet is slowly depressurized. Then, the dicer sheet bends toward the work in the closed space. Then, the dicer sheet is gradually attached to the main surface of the work from the top of the bending.
Next, the remaining portion of the dicer sheet having the apex of bending attached to the main surface of the work is attached at once to the remaining portion of the main surface of the work. Therefore, while the air between the dicer sheet and the work is pushed outward from the apex of bending, the dicer sheet is attached to the work.
Therefore, according to this dicer sheet attaching method, it is difficult for bubbles to enter between the dicer sheet and the work.
【００１５】請求項３に記載のダイサーシート貼付方法
では、第１のステップにおいて、容器内にワークが吸引
されて保持される。次に、第２のステップにおいて、ワ
ークが吸引保持されながら、蓋で容器が密閉され密閉空
間が形成される。次に、第３のステップにおいて、ワー
クを吸引保持することにより減圧される密閉空間内の気
圧が測定される。次に、第４のステップにおいて、密閉
空間内の気圧と密閉空間外の気圧とを平衡させるため、
密閉空間内へ送り込むエア量が決定される。次に、第５
のステップにおいて、ワークの一方主面に貼付すべきダ
イサーシートとワークとの間に密閉空間を形成するた
め、容器の蓋が取り外される。そして、第４のステップ
で決定された量のエアを容器内へ送り込みながら、ダイ
サーシートで容器が密閉される。こうすることにより、
密閉した瞬間のダイサーシートとワークとの間の密閉空
間内外の気圧の平衡がとられるため、ダイサーシートが
ワークに対して急激に貼付されることがない。次に、第
６のステップにおいて、ワークとダイサーシートとの間
の密閉空間がゆっくりと減圧される。すると、ダイサー
シートは、密閉空間内のワークへ向かって撓み込む。そ
して、ダイサーシートは、その撓みの頂点から徐々にワ
ークの主面に貼り付いていく。次に、第７のステップに
おいて、撓みの頂点がワークの主面に貼付されたダイサ
ーシートの残りの部分を、ワークの主面の残りの部分に
一気に貼付するため、ワークとダイサーシートとの間の
密閉空間が急激に減圧される。したがって、ダイサーシ
ートとワークとの間のエアが、ダイサーシートの撓みの
頂点から外側へ押し出されながら、ダイサーシートがワ
ークに貼付されることとなる。そのため、このダイサー
シート貼付方法によれば、ダイサーシートとワークとの
間に気泡が入り込みにくい。In the method for attaching a dicer sheet according to a third aspect, the work is sucked and held in the container in the first step. Next, in the second step, the container is hermetically sealed by the lid while the work is suction-held to form a hermetically sealed space. Next, in the third step, the atmospheric pressure in the closed space, which is decompressed by holding the work by suction, is measured. Next, in the fourth step, in order to equilibrate the air pressure inside the closed space and the air pressure outside the closed space,
The amount of air sent into the enclosed space is determined. Next, the fifth
In step (1), the lid of the container is removed to form a closed space between the work and the dicer sheet to be attached to the one main surface of the work. Then, the container is sealed with the dicer sheet while feeding the amount of air determined in the fourth step into the container. By doing this,
Since the atmospheric pressures inside and outside the sealed space between the dicer sheet and the work at the moment of sealing are balanced, the dicer sheet is not abruptly attached to the work. Next, in the sixth step, the sealed space between the work and the dicer sheet is slowly depressurized. Then, the dicer sheet bends toward the work in the closed space. Then, the dicer sheet is gradually attached to the main surface of the work from the top of the bending. Next, in the seventh step, since the remaining portion of the dicer sheet having the apex of bending attached to the main surface of the work is attached at once to the remaining portion of the main surface of the work, the distance between the work and the dicer sheet is increased. The closed space of is suddenly decompressed. Therefore, while the air between the dicer sheet and the work is pushed outward from the apex of the bending of the dicer sheet, the dicer sheet is attached to the work. Therefore, according to this dicer sheet attaching method, it is difficult for bubbles to enter between the dicer sheet and the work.
【００１６】[0016]
【発明の効果】この発明にかかるダイサーシート貼付方
法によれば、ダイサーシートの主面がワークに一気に貼
付されることを防止できるので、ダイサーシートとワー
クとの間に気泡が入り込みにくい。また、気圧差により
ダイサーシートをワークに押圧するので、貼付すべきダ
イサーシート全面を均等に押圧することができる。さら
に、気圧差によりダイサーシートをワークに押圧するの
で、ワークに過大なストレスがかからず、クラックや割
れが生じにくい。また、この発明によれば、凹凸のある
ワークであっても、貼付精度を高めることが低コストで
実現できる。According to the dicer sheet sticking method of the present invention, it is possible to prevent the main surface of the dicer sheet from sticking to the work at once, so that it is difficult for air bubbles to enter between the dicer sheet and the work. Further, since the dicer sheet is pressed against the work by the pressure difference, the entire surface of the dicer sheet to be attached can be pressed uniformly. Further, since the dicer sheet is pressed against the work due to the difference in atmospheric pressure, the work is not overly stressed and cracks or breaks are less likely to occur. Further, according to the present invention, even with a work having irregularities, it is possible to improve the sticking accuracy at low cost.
【００１７】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】図１は、この発明の実施形態の一
例の前半工程を示す工程図である。図２は、この発明の
実施形態の一例の後半工程を示す工程図である。まず、
この発明に用いられるダイサーシート貼付装置について
説明する。この発明のダイサーシート貼付装置１０は、
図１（Ａ）に示すように、断面略Ｕ字形状の容器１２を
含む。容器１２は、板状の蓋１４で密閉されて、図１
（Ｃ）に示すように容器１２の内部に密閉空間１６が形
成される。容器１２の底面のたとえば略中央部には、ワ
ーク１を載置するための載置台１２ａが突き出るように
して形成される。載置台１２ａのワーク１と接触する面
の面積は、ワーク１よりもやや小さくなるよう形成され
る。また、容器１２の底面の略中央部には、載置台１２
ａの略中央部を貫通するようにして、ワーク保持手段と
しての吸引孔１８が形成される。吸引孔１８は、ワーク
１を吸引保持するためのものである。吸引孔１８は、吸
引装置（図示せず）に接続される。なお、この実施例に
適用されるワーク１は、たとえば薄い板状のセラミック
材料などであり、たとえば圧電素子などに用いられるも
のである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a process diagram showing a first half process of an example of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a process drawing showing a latter half process of an example of the embodiment of the present invention. First,
The dicer sheet sticking device used in the present invention will be described. The dicer sheet sticking apparatus 10 of the present invention is
As shown in FIG. 1A, the container 12 having a substantially U-shaped cross section is included. The container 12 is sealed with a plate-shaped lid 14, and
As shown in (C), a sealed space 16 is formed inside the container 12. A mounting table 12a for mounting the work 1 is formed so as to project on, for example, a substantially central portion of the bottom surface of the container 12. The area of the surface of the mounting table 12a that contacts the work 1 is formed to be slightly smaller than that of the work 1. In addition, at a substantially central portion of the bottom surface of the container 12, the mounting table 12
A suction hole 18 as a work holding means is formed so as to penetrate substantially the center of a. The suction holes 18 are for holding the work 1 by suction. The suction hole 18 is connected to a suction device (not shown). The work 1 applied to this embodiment is, for example, a thin plate-shaped ceramic material or the like, and is used, for example, for a piezoelectric element or the like.
【００１９】また、容器１２の一方側壁には、第１の気
圧調整孔２０が形成される。第１の気圧調整孔２０は、
第１のバルブ２２を介して、エアを送り込むための第１
の気圧調整装置（図示せず）に接続される。第１のバル
ブ２２と第１の気圧調整装置との間には、密閉空間１６
へ送り込むエアの圧力を測定するための第１の気圧計２
４が設けられる。この実施形態では、第１の気圧計２４
は、図示するように、第１のバルブ２２とともに同一の
ケース内に収納される。A first atmospheric pressure adjusting hole 20 is formed on one side wall of the container 12. The first air pressure adjusting hole 20 is
First for feeding air through the first valve 22
Connected to a barometric pressure adjusting device (not shown). A closed space 16 is provided between the first valve 22 and the first air pressure adjusting device.
First barometer 2 for measuring the pressure of the air sent to the
4 are provided. In this embodiment, the first barometer 24
Are housed in the same case together with the first valve 22, as shown.
【００２０】また、容器１２の他方側壁には、第２の気
圧調整孔２６が形成される。第２の気圧調整孔２６は、
第２のバルブ２８を介して、エアを吸引するための第２
の気圧調整装置（図示せず）に接続される。第２の気圧
調整孔２６と第２のバルブ２８との間には、密閉空間１
６内の気圧を測定するための第２の気圧計３０が設けら
れる。この実施形態では、第２の気圧計３０は、図示す
るように、第２のバルブ２８とともに同一のケース内に
収納される。なお、密閉空間１６の気圧を測定するため
の気圧計は、エアの吸引経路と別個に設けてもよい。A second atmospheric pressure adjusting hole 26 is formed on the other side wall of the container 12. The second air pressure adjusting hole 26 is
A second valve for sucking air through the second valve 28.
Connected to a barometric pressure adjusting device (not shown). The closed space 1 is provided between the second air pressure adjusting hole 26 and the second valve 28.
A second barometer 30 for measuring the pressure inside 6 is provided. In this embodiment, the second barometer 30 is housed together with the second valve 28 in the same case, as shown. The barometer for measuring the air pressure in the closed space 16 may be provided separately from the air suction path.
【００２１】さらに、第１のバルブ２２，第２のバルブ
２８，第１の気圧計２４および第２の気圧計３０は、そ
れぞれ制御装置３２に電気的に接続される。制御装置３
２は、第１の気圧計２４および第２の気圧計３０による
測定結果に基づいて、第１のバルブ２２および第２のバ
ルブ２８の開閉度を調整し、密閉空間１６内の気圧が密
閉空間１６外の気圧と一致するようにフィードバック制
御するためのものである。制御装置３２としては、たと
えばパーソナルコンピュータを用いることができる。Further, the first valve 22, the second valve 28, the first barometer 24 and the second barometer 30 are electrically connected to the controller 32, respectively. Control device 3
2 adjusts the opening / closing degree of the first valve 22 and the second valve 28 based on the measurement results by the first barometer 24 and the second barometer 30, and the atmospheric pressure in the closed space 16 is a closed space. It is for feedback control so that the atmospheric pressure outside 16 is matched. As the control device 32, for example, a personal computer can be used.
【００２２】次に、この実施形態のダイサーシート貼付
方法を説明する。まず、図１（Ｂ）に示すように、第１
のステップとして、ワーク１が、容器１２の載置台１２
ａの上に載置され、吸引装置により吸引孔１８から吸引
されることにより吸引保持される。このワーク１は、必
ずしも平滑なものではなく、反っていたり表面が凸凹し
ていたりする。また、載置台１２ａの表面も必ずしも平
滑ではない。そのため、ワーク１を載置台１２ａ上に吸
引保持した場合、気密状態を保つことができず、ワーク
１と載置台１２ａの隙間からエアが漏れ出ることにな
る。Next, the method for attaching the dicer sheet of this embodiment will be described. First, as shown in FIG.
As a step of, the work 1 is placed on the mounting table 12 of the container 12.
It is placed on a and is sucked and held by being sucked from the suction hole 18 by the suction device. The work 1 is not always smooth, and is warped or has an uneven surface. Moreover, the surface of the mounting table 12a is not necessarily smooth. Therefore, when the work 1 is suction-held on the mounting table 12a, the airtight state cannot be maintained, and air leaks from the gap between the work 1 and the mounting table 12a.
【００２３】次に、第２のステップとして、図１（Ｃ）
に示すように、容器１２が蓋１４で密閉され、容器１２
の内部に密閉空間１６が形成される。この時、第１のバ
ルブ２２および第２のバルブ２８は、いずれも閉じられ
ている。そして、密閉空間１６内部では、ワーク１が引
き続き吸引保持され、ワーク１と載置台１２ａとの隙間
からエアが漏れ出し続ける。そのため、ワーク１の吸引
保持を原因として、密閉空間１６内部が減圧される。Next, as a second step, as shown in FIG.
As shown in FIG.
A closed space 16 is formed inside. At this time, both the first valve 22 and the second valve 28 are closed. Then, the work 1 is continuously suction-held inside the closed space 16, and air continues to leak from the gap between the work 1 and the mounting table 12a. Therefore, the inside of the closed space 16 is decompressed due to the suction and holding of the work 1.
【００２４】次に、第３のステップとして、図１（Ｃ）
に示す状態において、減圧された密閉空間１６内部の気
圧が、第２の気圧計３０によって測定される。第２の気
圧計３０によって測定された密閉空間１６内部の気圧
は、制御装置３２にフィードバックされる。次に、第４
のステップとして、第２の気圧計３０によって測定され
た密閉空間１６内部の気圧を、密閉空間１６外の気圧
（大気圧）と平衡させるために、容器１２内へ送り込む
エア量が決定される。そのため、まず、制御装置３２に
よって、第２の気圧計３０による測定結果に基づき、密
閉空間１６内へ送り込むエア量が仮に設定される。そし
て、制御装置３２によって第１のバルブ２２の開き具合
が調整され、第１の気圧調整装置によって、第１のバル
ブ２２および第１の気圧調整孔２０を介して、エアが密
閉空間１６内へ送り込まれる。送り込まれるエアの圧力
は、第１の気圧計２４によって測定することができる。
こうして、密閉空間１６内の気圧が密閉空間１６外の気
圧（大気圧）と平衡になるまで、上述の第３のステップ
および第４のステップの動作が繰り返されてフィードバ
ック制御される。そして、平衡状態になったときに送り
込まれているエア量が、この第４のステップで決定され
るエア量となる。Next, as a third step, FIG.
In the state shown in (1), the pressure inside the closed space 16 that has been decompressed is measured by the second barometer 30. The air pressure inside the closed space 16 measured by the second barometer 30 is fed back to the control device 32. Next, the fourth
In the step of, the amount of air sent into the container 12 is determined in order to balance the atmospheric pressure inside the closed space 16 measured by the second barometer 30 with the atmospheric pressure outside the closed space 16 (atmospheric pressure). Therefore, first, the control device 32 temporarily sets the amount of air to be sent into the closed space 16 based on the measurement result by the second barometer 30. Then, the opening degree of the first valve 22 is adjusted by the control device 32, and the air is introduced into the closed space 16 via the first valve 22 and the first air pressure adjusting hole 20 by the first air pressure adjusting device. Sent in. The pressure of the delivered air can be measured by the first barometer 24.
In this manner, the above-described operations of the third step and the fourth step are repeated until the atmospheric pressure inside the closed space 16 and the atmospheric pressure (atmospheric pressure) outside the closed space 16 are balanced, and feedback control is performed. Then, the amount of air sent in when the equilibrium state is reached is the amount of air determined in the fourth step.
【００２５】次に、第５のステップとして、第４のステ
ップで決定された量のエアを密閉空間１６内へ送り込み
ながら、蓋１４が取り外され、引き続き、図２（Ａ）に
示すように、ダイサーシート２で容器１２が密閉され
る。ダイサーシート２の容器１２へのセットは、ダイサ
ーシート２の周囲を容器１２の開口部端面に粘着剤層２
ａで貼付することにより行われる。なお、粘着剤層２ａ
は、たとえば感圧型の粘着剤がダイサーシート２の一方
面にコーティングされて設けられる。このように、この
実施形態では、第４のステップで決定された量のエアを
密閉空間１６内へ送り込みながらダイサーシート２をセ
ットするので、密閉した瞬間のダイサーシート２とワー
ク１との間の密閉空間１６内外の気圧の平衡がとられ、
密閉した瞬間にダイサーシート２がワーク１に対して急
激に貼付されるということがない。Next, as a fifth step, while the amount of air determined in the fourth step is being sent into the closed space 16, the lid 14 is removed, and subsequently, as shown in FIG. The container 12 is sealed with the dicer sheet 2. When the dicer sheet 2 is set in the container 12, the adhesive layer 2 is formed around the dicer sheet 2 on the opening end face of the container 12.
It is performed by pasting with a. The adhesive layer 2a
Is provided by coating one side of the dicer sheet 2 with a pressure-sensitive adhesive, for example. As described above, in this embodiment, since the dicer sheet 2 is set while sending the air of the amount determined in the fourth step into the closed space 16, the distance between the dicer sheet 2 and the work 1 at the moment of closing is set. The air pressure inside and outside the closed space 16 is balanced,
The dicer sheet 2 is not abruptly attached to the work 1 at the moment of sealing.
【００２６】次に、第６のステップとして、制御装置３
２によって、第２のバルブ２８が少しだけ開かれ、第２
の気圧調整装置によって、密閉空間１６内の気圧がゆっ
くりと減圧されていく。この際、第４のステップで決定
された量のエアは、引き続き密閉空間１６内へ送り込ま
れるが、平衡をとるためのフィードバック制御動作は停
止されている。こうすることにより、ダイサーシート２
は、密閉空間１６内にワーク１へ向かって徐々に撓み込
む。そして、ダイサーシート２は、その撓みの頂点から
徐々にワーク１の主面に貼り付いていく。Next, as a sixth step, the controller 3
2 causes the second valve 28 to open slightly,
The atmospheric pressure in the closed space 16 is gradually reduced by the atmospheric pressure adjusting device. At this time, the amount of air determined in the fourth step is continuously fed into the closed space 16, but the feedback control operation for balancing is stopped. By doing this, dicer sheet 2
Gradually bends toward the work 1 in the closed space 16. Then, the dicer sheet 2 is gradually attached to the main surface of the work 1 from the apex of the bending.
【００２７】次に、第７のステップとして、制御装置３
２によって、第２のバルブ２８が全開にされ、第２の気
圧調整装置によって、密閉空間１６内の気圧が急激に減
圧されていく。この際、減圧を促進するために、第４の
ステップで決定された量のエアの送り込みも停止され
る。こうすることにより、撓みの頂点がワーク１の主面
に貼付されたダイサーシート２の残りの部分が、ワーク
１の主面の残りの部分に一気に貼付されることとなる。
こうして、ダイサーシート２がワーク１に完全に貼付さ
れる。したがって、ダイサーシート２とワーク１との間
のエアが、ダイサーシート２の撓みの頂点から外側へ押
し出されながら、ダイサーシート２がワーク１に完全に
貼付されることとなる。そのため、このダイサーシート
貼付方法によれば、ダイサーシート２とワーク１との間
に気泡が入り込みにくい。Next, as the seventh step, the controller 3
The second valve 28 is fully opened by 2 and the atmospheric pressure in the closed space 16 is rapidly reduced by the second atmospheric pressure adjusting device. At this time, in order to accelerate the depressurization, the feeding of the air of the amount determined in the fourth step is also stopped. By doing so, the remaining portion of the dicer sheet 2 having the apex of bending attached to the main surface of the work 1 is attached at once to the remaining portion of the main surface of the work 1.
In this way, the dicer sheet 2 is completely attached to the work 1. Therefore, while the air between the dicer sheet 2 and the work 1 is pushed outward from the bending apex of the dicer sheet 2, the dicer sheet 2 is completely attached to the work 1. Therefore, according to this dicer sheet sticking method, it is difficult for bubbles to enter between the dicer sheet 2 and the work 1.
【００２８】図３は、この発明の実施形態の一例の密閉
空間の減圧状況の経時的変化を示すグラフである。図３
に示すグラフにおいて、原点は、上述の第５のステップ
が終了した時点である。そして、時間軸上のｔ1 時は、
上述の第６のステップが終了した時点である。さらに、
時間軸上のｔ2 時は、上述の第７のステップが終了した
時点である。図３に示すように、第６のステップが終了
するまでは、緩やかな傾きでゆっくりと減圧され、第６
のステップが終了した後、急な傾きで急激に減圧され
る。FIG. 3 is a graph showing changes over time in the depressurized state of the closed space in one example of the embodiment of the present invention. FIG.
In the graph shown in (1), the origin is the time when the above-mentioned fifth step is completed. Then, at t 1 on the time axis,
This is the time when the above-mentioned sixth step is completed. further,
The time t 2 on the time axis is the time when the above-mentioned seventh step is completed. As shown in FIG. 3, until the sixth step is completed, the pressure is gradually reduced with a gentle slope, and the sixth step is performed.
After the above step is completed, the pressure is rapidly reduced with a steep slope.
【００２９】このように、この実施形態のダイサーシー
ト貼付方法によれば、ダイサーシート２の主面がワーク
１に一気に貼付されることを防止できるので、ダイサー
シート２とワーク１との間に気泡が入り込みにくい。ま
た、この実施形態のダイサーシート貼付方法によれば、
撓んだダイサーシート２が、撓みの頂点近傍から外周部
へと徐々に貼付されていくので、ワーク１との間に気泡
が入り込みにくい。また、気圧差で押圧するので、ダイ
サーシート２は、ワーク１に対して全面均等な圧力で押
圧される。さらに、気圧差により押圧するので、気圧の
調整を行うことにより押圧力の調整が行いやすい。ま
た、気圧差により押圧するので、ワーク１に対して過大
なストレスがかかりにくく、クラックや割れが発生しに
くい。さらに、この実施形態によれば、凹凸のあるワー
ク１であっても、貼付精度を高めることが低コストで実
現できる。また、ダイサーシート２を貼付するための圧
力や時間を制御できるので、ダイサーシート２の特性に
合った貼付条件が設定でき、仕上がりのばらつきが少な
くなる。As described above, according to the dicer sheet attaching method of this embodiment, it is possible to prevent the main surface of the dicer sheet 2 from being attached to the work 1 at once, so that air bubbles may be generated between the dicer sheet 2 and the work 1. Is hard to enter. Further, according to the dicer sheet sticking method of this embodiment,
Since the bent dicer sheet 2 is gradually attached from the vicinity of the apex of the bending to the outer peripheral portion, it is difficult for air bubbles to enter the work 1. Further, since the pressure is applied by a difference in atmospheric pressure, the dicer sheet 2 is pressed against the work 1 by a uniform pressure on the entire surface. Further, since the pressure is applied due to the difference in atmospheric pressure, it is easy to adjust the pressing force by adjusting the atmospheric pressure. Further, since the pressure is applied due to the difference in atmospheric pressure, excessive stress is unlikely to be applied to the work 1 and cracks and breaks are less likely to occur. Furthermore, according to this embodiment, even with the work 1 having irregularities, it is possible to improve the sticking accuracy at low cost. Moreover, since the pressure and time for sticking the dicer sheet 2 can be controlled, the sticking conditions can be set according to the characteristics of the dicer sheet 2, and the variations in the finish can be reduced.
【００３０】なお、第７のステップにおいて、上述の方
法に限らず、たとえば、ダイサーシート２のワーク１と
反対側に別の密閉空間を形成し、その空間を加圧するこ
とにより、撓みの頂点がワーク１の主面に貼付されたダ
イサーシート２の残りの部分を、ワーク１の主面の残り
の部分に一気に貼付するようにしてもよい。The seventh step is not limited to the above-described method. For example, another closed space is formed on the side of the dicer sheet 2 opposite to the work 1 and the space is pressurized, so that the apex of the bending is reduced. The remaining portion of the dicer sheet 2 attached to the main surface of the work 1 may be attached to the remaining portion of the main surface of the work 1 at once.
【図１】この発明の実施形態の一例の前半工程を示す工
程図である。FIG. 1 is a process drawing showing a first half process of an example of an embodiment of the present invention.
【図２】この発明の実施形態の一例の後半工程を示す工
程図である。FIG. 2 is a process drawing showing a latter half process of an example of the embodiment of the present invention.
【図３】この発明の実施形態の一例の密閉空間の減圧状
況の経時的変化を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing changes over time in the depressurized state of a closed space according to an example of an embodiment of the present invention.
【図４】従来のダイサーシート貼付方法の一例を示す工
程図である。FIG. 4 is a process chart showing an example of a conventional dicer sheet sticking method.
１ ワーク ２ ダイサーシート １０ ダイサーシート貼付装置 １２ 容器 １２ａ 載置台 １４ 蓋 １６ 密閉空間 １８ 吸引孔 ２０ 第１の気圧調整孔 ２２ 第１のバルブ ２４ 第１の気圧計 ２６ 第２の気圧調整孔 ２８ 第２のバルブ ３０ 第２の気圧計 ３２ 制御装置 1 Work 2 Dicer Sheet 10 Dicer Sheet Sticking Device 12 Container 12a Mounting Table 14 Lid 16 Sealed Space 18 Suction Hole 20 First Atmospheric Pressure Control Hole 22 First Valve 24 First Barometer 26 Second Barometric Pressure Control Hole 28th 2 valve 30 2nd barometer 32 controller
Claims (3)
ーシートの貼付方法であって、 密閉空間内でワークを吸引して保持するステップ、およ
び前記ワークの一方主面に貼付すべきダイサーシートが
前記ワークに対して急激に貼付しないようにするため、
前記ワークを吸引して保持することにより減圧される前
記密閉空間内へエアを送りこんで前記密閉空間内外の気
圧の平衡をとるステップを含む、ダイサーシート貼付方
法。1. A method of attaching a dicer sheet to a work to be cut with a dicer, wherein a step of sucking and holding the work in a closed space, and the dicer sheet to be attached to one main surface of the work is the work. To prevent it from being abruptly attached to
A method for attaching a dicer sheet, comprising the step of sending air into the closed space that is decompressed by sucking and holding the work to balance the atmospheric pressure inside and outside the closed space.
ーシートの貼付方法であって、 前記ワークを吸引保持するステップ、 前記ワークとその一方主面に貼付すべきダイサーシート
との間に、密閉空間を形成し、前記密閉空間内外の気圧
が平衡になるように前記密閉空間内の気圧を調整しなが
ら、前記ダイサーシートを前記ワークの一方主面に対向
させつつ保持するステップ、 前記ダイサーシートを撓ませて前記ワークに貼付する際
に、前記ダイサーシートと前記ワークとの間に気泡が入
り込まないように、前記ダイサーシートの撓みの頂点か
ら徐々に前記ワークの主面に貼付するため、前記ワーク
と前記ダイサーシートとの間の密閉空間をゆっくりと減
圧するステップ、および撓みの頂点が前記ワークの主面
に貼付された前記ダイサーシートの残りの部分を、前記
ワークの主面の残りの部分に一気に貼付するステップを
含む、ダイサーシート貼付方法。2. A method of sticking a dicer sheet to a work to be cut with a dicer, the step of sucking and holding the work, wherein a closed space is provided between the work and the dicer sheet to be stuck on one main surface thereof. Forming and adjusting the air pressure in the closed space so that the air pressures inside and outside the closed space are in equilibrium, and holding the dicer sheet while facing the one main surface of the work, and bending the dicer sheet. When affixing to the work, so that air bubbles do not enter between the dicer sheet and the work, in order to gradually affix to the main surface of the work from the apex of bending of the dicer sheet, the work and the aforesaid The step of slowly depressurizing the closed space between the dicer sheet and the dicer sheet in which the apex of bending is attached to the main surface of the work. A method of attaching a dicer sheet, which comprises the step of attaching the remaining portion of the sheet to the remaining portion of the main surface of the work at once.
ーシートの貼付方法であって、 容器内にワークを吸引して保持する第１のステップ、 前記ワークを吸引保持しながら、蓋で前記容器を密閉し
て前記容器内に密閉空間を形成する第２のステップ、 前記ワークを吸引保持することにより減圧される前記密
閉空間の気圧を測定する第３のステップ、 前記第３のステップにおいて測定された前記密閉空間内
の気圧を前記密閉空間外の気圧と平衡させるため、前記
密閉空間内へ送り込むエア量を決定する第４のステッ
プ、 前記ワークの一方主面に貼付すべきダイサーシートと前
記ワークとの間に密閉空間を形成するため前記容器から
前記蓋を取り外し、前記第４のステップで決定された量
のエアを前記密閉空間内へ送り込みながら、前記ダイサ
ーシートで前記容器を再度密閉して密閉空間を形成する
第５のステップ、 前記ダイサーシートを撓ませて前記ワークに貼付する際
に、前記ダイサーシートと前記ワークとの間に気泡が入
り込まないように、前記ダイサーシートの撓みの頂点か
ら徐々に前記ワークの主面に貼付するため、前記ダイサ
ーシートと前記ワークとの間の前記密閉空間をゆっくり
と減圧する第６のステップ、および撓みの頂点が前記ワ
ークの主面に貼付された前記ダイサーシートの残りの部
分を、前記ワークの主面の残りの部分に一気に貼付する
ため、前記ワークと前記ダイサーシートとの間の密閉空
間を急激に減圧する第７のステップを含む、ダイサーシ
ート貼付方法。3. A method of sticking a dicer sheet to a work to be cut by a dicer, the first step of sucking and holding the work in the container, the container being closed by a lid while sucking and holding the work. And a second step of forming a closed space in the container, a third step of measuring the atmospheric pressure of the closed space which is decompressed by sucking and holding the work, the third step measured in the third step A fourth step of determining the amount of air to be sent into the closed space in order to equilibrate the air pressure inside the closed space with the pressure outside the closed space, of the dicer sheet to be attached to one main surface of the work and the work. The lid is removed from the container to form a closed space therebetween, and the dicer is blown while the amount of air determined in the fourth step is fed into the closed space. Fifth step of resealing the container with a sheet to form a closed space, so that air bubbles do not enter between the dicer sheet and the work when the dicer sheet is bent and attached to the work. , A sixth step of slowly depressurizing the sealed space between the dicer sheet and the work in order to gradually attach the dicer sheet to the main surface of the work from the top of the flexure, and The remaining portion of the dicer sheet attached to the main surface of the work, in order to affix to the remaining portion of the main surface of the work at once, to rapidly depressurize the sealed space between the work and the dicer sheet first A method for attaching a dicer sheet, including the step of 7.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30977795A JPH09129576A (en) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | Dicer sheet pasting method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30977795A JPH09129576A (en) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | Dicer sheet pasting method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09129576A true JPH09129576A (en) | 1997-05-16 |
Family
ID=17997133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30977795A Pending JPH09129576A (en) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | Dicer sheet pasting method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09129576A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007305628A (en) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | Processing system and method therefor |
| JP2010123805A (en) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Lintec Corp | Support device, support method, dicing device, and dicing method |
-
1995
- 1995-11-02 JP JP30977795A patent/JPH09129576A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007305628A (en) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | Processing system and method therefor |
| JP2010123805A (en) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Lintec Corp | Support device, support method, dicing device, and dicing method |
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