JP2023081084A - Holding mechanism and sticking device - Google Patents

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Yeh Chen
洋平 増田
Yohei Masuda
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Abstract

To suppress displacement of a workpiece without using an electrostatic chuck.SOLUTION: A holding mechanism 2, which is a mechanism for holding a workpiece, includes: a suction table 10 having a holding surface 141 that sucks and holds the workpiece; a vacuum chamber 40 that houses the suction table 10 and is capable of reducing pressure of an inner part thereof; and displacement prevention means 70 that prevents displacement of the workpiece when the pressure of the inner side of the vacuum chamber 40 is reduced while the workpiece is kept sucked and held by the suction table 10. At least part of the holding surface 141 of the suction table 10 is composed of a tack layer 14 having a tack force, and the suction table 10 also serves as the displacement prevention means 70.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ワークを保持する保持機構及び貼着装置に関する。 The present invention relates to a holding mechanism for holding a work and a sticking device.

例えば半導体デバイスの製造工程においては、各種のテープを半導体ウェーハに貼着するテープ貼着装置（例えば、特許文献１、及び特許文献２参照）が広く利用されている。 For example, in the manufacturing process of semiconductor devices, a tape sticking apparatus (for example, see Patent Documents 1 and 2) for sticking various tapes to semiconductor wafers is widely used.

一方、真空マウンタと呼ばれる減圧雰囲気内でウェーハにテープを貼着するテープ貼着装置（例えば、特許文献３参照）も広く利用されている。この種のテープ貼着装置は、減圧雰囲気内でウェーハにテープを貼着した後に大気との差圧でテープをウェーハに密着させ、ウェーハとテープ間に気泡が形成されることを防止している。 On the other hand, a tape sticking device called a vacuum mounter (see, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-100000) is also widely used, which sticks a tape to a wafer in a reduced pressure atmosphere. This type of tape applying apparatus adheres the tape to the wafer in a reduced-pressure atmosphere, and then adheres the tape to the wafer by the differential pressure from the atmosphere, thereby preventing air bubbles from forming between the wafer and the tape. .

特開２０２０－０４７８９９号公報JP 2020-047899 A 特開２０２０－０４７６９９号公報JP 2020-047699 A 特開２０２１－０３４６０５号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2021-034605

通常真空チャンバ（減圧チャンバ）内でウェーハを保持するためには静電チャックテーブルが利用されている。しかし、静電チャックテーブルは高価であり、被加工物を吸引保持する吸引テーブルの利用が切望されている。しかし、吸引テーブルではチャンバ内が減圧されると吸引テーブル表面にワークを吸着し続けることができず、吸引力が消失した際にワークが動いて吸引保持した位置からずれてしまうという問題がある。 An electrostatic chuck table is typically used to hold a wafer in a vacuum chamber (decompression chamber). However, the electrostatic chuck table is expensive, and there is a strong demand for the use of a suction table that suction-holds the workpiece. However, when the chamber is decompressed, the suction table cannot continue to suck the workpiece on the surface of the suction table, and when the suction force is lost, the workpiece moves and deviates from the suction-held position.

特にワークが薄化されて反りが生じている場合、吸引テーブルで吸引保持した状態から吸引力が消失するとワークが大きく動くため、問題となる。 In particular, when the workpiece is thinned and warped, the workpiece moves greatly when the suction force is lost from the state in which the workpiece is held by suction on the suction table, which poses a problem.

本発明の目的は、静電チャックを利用することなくワークの位置ずれを抑制することができる保持機構及び貼着装置を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a holding mechanism and a sticking device capable of suppressing displacement of a work without using an electrostatic chuck.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保持機構は、ワークを保持する保持機構であって、ワークを吸引保持する保持面を有した吸引テーブルと、該吸引テーブルを収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバと、該吸引テーブルでワークを吸引保持した状態で該真空チャンバ内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段と、を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the holding mechanism of the present invention is a holding mechanism for holding a work, comprising: a suction table having a holding surface for holding the work by suction; and a vacuum chamber whose interior can be decompressed; and a deviation preventing means for preventing deviation of the work when the interior of the vacuum chamber is decompressed while the work is sucked and held by the suction table. .

前記保持機構において、該吸引テーブルの該保持面の少なくとも一部はタック力を有する部材から構成され、該吸引テーブルが該ずれ防止手段を兼用しても良い。 In the holding mechanism, at least a part of the holding surface of the suction table may be made of a member having a tack force, and the suction table may also serve as the displacement preventing means.

前記保持機構において、該ずれ防止手段は、該吸引テーブルで保持されたワークの外周縁の外側から該保持面の中心に向かって移動自在に構成された複数のワーク固定部材を有しても良い。 In the holding mechanism, the deviation prevention means may have a plurality of workpiece fixing members configured to be movable from the outside of the outer peripheral edge of the workpiece held by the suction table toward the center of the holding surface. .

前記保持機構において、該ずれ防止手段は、該吸引テーブル上のワークの上面側を押圧する押圧部材を有しても良い。 In the holding mechanism, the displacement preventing means may have a pressing member that presses the upper surface side of the workpiece on the suction table.

本発明の貼着装置は、ワークにテープを貼着する貼着装置であって、ワークを吸引保持する保持面を有した吸引テーブルと、該吸引テーブル上のワークにテープを対面させた状態で該テープを保持するテープ保持ユニットと、該テープ保持ユニットで保持されたテープを該吸引テーブル上のワークに貼着する貼着ローラと、該吸引テーブルと該貼着ローラとを収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバと、該吸引テーブルでワークを吸引保持した状態で該真空チャンバ内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段と、を備えたことを特徴とする。 A sticking device according to the present invention is a sticking device for sticking a tape to a work, and includes a suction table having a holding surface for holding the work by suction, and a tape facing the work on the suction table. a tape holding unit for holding the tape; a sticking roller for sticking the tape held by the tape holding unit to a workpiece on the suction table; The apparatus is characterized by comprising a vacuum chamber capable of being decompressed, and a deviation prevention means for preventing deviation of the work when the vacuum chamber is decompressed while the work is suction-held by the suction table.

本発明は、静電チャックを利用することなくワークの位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。 ADVANTAGE OF THE INVENTION This invention is effective in the ability to suppress positional displacement of a workpiece|work, without using an electrostatic chuck.

図１は、実施形態１に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a sticking device according to Embodiment 1. FIG. 図２は、図１に示された貼着装置によりテープに貼着されたワークを斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a work stuck to a tape by the sticking device shown in FIG. 図３は、図１に示された貼着装置の吸引テーブルにワーク及び環状フレームを吸引保持した状態を模式的に示す断面図である。3 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the workpiece and the annular frame are held by suction on the suction table of the adhering apparatus shown in FIG. 1. FIG. 図４は、図３に示された貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークにテ－プを押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the tape is pressed against the workpiece held by suction on the suction table of the adhering apparatus shown in FIG. 図５は、実施形態１の変形例に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。5 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a sticking device according to a modification of Embodiment 1. FIG. 図６は、実施形態２に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a sticking device according to Embodiment 2. FIG. 図７は、実施形態２に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークをワーク固定部材で固定した状態を模式的に示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a workpiece suction-held on the suction table of the sticking device according to Embodiment 2 is fixed by a workpiece fixing member. 図８は、実施形態３に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークにテ－プを押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a tape is pressed against a work sucked and held by a suction table of a sticking apparatus according to Embodiment 3. FIG. 図９は、図８に示された貼着装置の貼着ローラがテープをワークの裏面に貼着する状態を模式的に示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the sticking roller of the sticking device shown in FIG. 8 sticks the tape to the back surface of the work. 図１０は、実施形態４に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークを保持面に押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a workpiece sucked and held by the suction table of the sticking device according to Embodiment 4 is pressed against the holding surface.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 A form (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。図２は、図１に示された貼着装置によりテープに貼着されたワークを斜視図である。 [Embodiment 1]
A sticking device according to Embodiment 1 of the present invention will be described based on the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a sticking device according to Embodiment 1. FIG. FIG. 2 is a perspective view of a work stuck to a tape by the sticking device shown in FIG.

実施形態１に係る図１に示された貼着装置１は、図２に示されたワーク２００の裏面２０５にテープ２１０を貼着する装置である。実施形態１に係る貼着装置１によりテープ２１０が貼着されるワーク２００は、シリコン（Ｓｉ）、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）または炭化ケイ素（ＳｉＣ）等を基板２０１とする円板状の半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ等のウェーハである。 The sticking device 1 shown in FIG. 1 according to the first embodiment is a device that sticks a tape 210 to the back surface 205 of the workpiece 200 shown in FIG. The work 200 to which the tape 210 is stuck by the sticking apparatus 1 according to the first embodiment has a substrate 201 made of silicon (Si), sapphire (Al 2 O 3 ), gallium arsenide (GaAs), silicon carbide (SiC), or the like. wafers such as disk-shaped semiconductor wafers and optical device wafers.

ワーク２００は、図２に示すように、交差する複数の分割予定ライン２０２で区画された表面２０３の各領域それぞれにデバイス２０４が形成されている。デバイス２０４は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、あるいやＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）、又は、メモリ（半導体記憶装置）等である。ワーク２００は、表面２０３と表面２０３の裏側の裏面２０５とに亘って外周方向に凸に湾曲した面取り部２０６を全周に亘って形成している。 As shown in FIG. 2, the work 200 has a device 204 formed in each region of a surface 203 partitioned by a plurality of intersecting dividing lines 202 . The device 204 is, for example, an integrated circuit such as an IC (Integrated Circuit) or LSI (Large Scale Integration), an image sensor such as a CCD (Charge Coupled Device) or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor), a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), memory (semiconductor memory device), or the like. The workpiece 200 has a chamfered portion 206 that is convexly curved in the outer peripheral direction and is formed over the entire circumference of the front surface 203 and the rear surface 205 on the back side of the front surface 203 .

実施形態１において、ワーク２００は、裏面２０５側にワーク２００よりも大径でかつ外縁部に環状フレーム２１１が貼着された円板状のテープ２１０が貼着され、環状フレーム２１１の内側の開口内に支持される。ワーク２００は、分割予定ライン２０２に沿って個々のデバイス２０４に分割される。実施形態１では、テープ２１０は、可撓性を有し非粘着性の樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ可撓性と粘着性とを有する樹脂により構成された粘着層とを備える。 In the first embodiment, the workpiece 200 has a disk-shaped tape 210 having a larger diameter than that of the workpiece 200 and having an annular frame 211 attached to the outer edge thereof. supported within. A workpiece 200 is divided into individual devices 204 along dividing lines 202 . In the first embodiment, the tape 210 is composed of a base layer made of a flexible and non-adhesive resin, and a flexible and sticky resin laminated on the base layer. and an adhesive layer.

実施形態１に係る貼着装置１は、ワーク２００の裏面２０５にワーク２００よりも大径でかつ外縁部に環状フレーム２１１が貼着された円板状のテープ２１０を貼着する装置である。貼着装置１は、図１に示すように、保持機構２と、制御ユニット１００とを備える。 The sticking device 1 according to the first embodiment is a device that sticks a disc-shaped tape 210 having a diameter larger than that of the work 200 and having an annular frame 211 stuck to the outer edge thereof to the back surface 205 of the work 200 . The sticking device 1 includes a holding mechanism 2 and a control unit 100, as shown in FIG.

保持機構２は、ワーク２００を保持する機構である。保持機構２は、吸引テーブル１０と、貼着ローラ２０と、ローラ移動ユニット３０と、真空チャンバ４０と、吸引テーブル１０を昇降する昇降ユニット６０を備える。 The holding mechanism 2 is a mechanism that holds the workpiece 200 . The holding mechanism 2 includes a suction table 10 , a sticking roller 20 , a roller moving unit 30 , a vacuum chamber 40 , and an elevating unit 60 that moves the suction table 10 up and down.

吸引テーブル１０は、環状フレーム２１１を吸引保持するフレーム保持面１１１を有したフレーム保持部１１と、ワーク２００を吸引保持する保持面１４１を有したワーク保持部１２とを備える。フレーム保持部１１は、外径がワーク２００の外径よりも大径な円盤状の円盤部１１２と、円盤部１１２の外縁から立設しかつ内外径が環状フレーム２１１の内外径と等しい円環部１１３とを一体に備える。円環部１１３は、上面が環状フレーム２１１を吸引保持するフレーム保持面１１１である。フレーム保持面１１１は、水平方向に沿って平坦に形成されている。フレーム保持面１１１には、フレーム用吸引孔１１４が開口している。 The suction table 10 includes a frame holding portion 11 having a frame holding surface 111 for holding an annular frame 211 by suction, and a work holding portion 12 having a holding surface 141 for holding a work 200 by suction. The frame holding portion 11 includes a disc-shaped disc portion 112 having an outer diameter larger than the outer diameter of the workpiece 200, and an annular ring erected from the outer edge of the disc portion 112 and having an inner and outer diameter equal to the inner and outer diameters of the annular frame 211. A part 113 is integrally provided. The annular portion 113 is a frame holding surface 111 whose upper surface holds the annular frame 211 by suction. The frame holding surface 111 is formed flat along the horizontal direction. A frame suction hole 114 is opened in the frame holding surface 111 .

ワーク保持部１２は、外径がワーク２００の外径よりも若干小径の円板状に形成され、フレーム保持部１１の円盤部１１２上にフレーム保持部１１と同軸に配置されている。ワーク保持部１２は、上面１２１が、水平方向に沿って平坦に形成されている。上面１２１には、シリコーン樹脂、シリコーン系ゴム又はフッ素系ゴムにより構成されたタック層１４（タック力を有する部材に相当）が積層されている。タック層１４は、例えば、株式会社ユーエムアイ社製の「フレックスキャリア（登録商標）」や株式会社エクシールコーポレーション製の「ゲルベース（登録商標）」等により構成することができる。 The work holding portion 12 is formed in a disc shape with an outer diameter slightly smaller than the outer diameter of the work 200 and is arranged coaxially with the frame holding portion 11 on the disc portion 112 of the frame holding portion 11 . The upper surface 121 of the work holding portion 12 is formed flat along the horizontal direction. A tack layer 14 (corresponding to a member having a tack force) made of silicone resin, silicone rubber, or fluororubber is laminated on the upper surface 121 . The tack layer 14 can be composed of, for example, "Flex Carrier (registered trademark)" manufactured by UMI Co., Ltd., "Gel Base (registered trademark)" manufactured by Exeal Corporation, or the like.

タック層１４は、ワーク２００の表面２０３側が載置されると、タック力で貼着し、ワーク２００の表面２０３をタック力で固定するものである。なお、タック力とは、弱粘着力又は強粘着力のことであり、弱粘着力とは、タック層１４に物品として球状のビーズを載置して、タック層１４を傾けていき、球状のビーズが転がり始める時のタック層１４の水平方向に対する角度が３．５度である時の粘着力であり、強粘着力とは、球状のビーズが転がり始める時のタック層１４の水平方向に対する角度が１０度であってもタック層１４上に転がることなく球状のビーズを保持する時の粘着力である。 When the surface 203 side of the work 200 is placed, the tack layer 14 adheres with tack force and fixes the surface 203 of the work 200 with tack force. In addition, tack strength means weak adhesion strength or strong adhesion strength, and weak adhesion strength means that a spherical bead as an article is placed on the tack layer 14, the tack layer 14 is tilted, and a spherical bead is applied. This is the adhesive strength when the angle of the tack layer 14 with respect to the horizontal direction when the beads start rolling is 3.5 degrees. is the adhesive force when holding a spherical bead without rolling on the tack layer 14 even if is 10 degrees.

実施形態１では、タック層１４の表面は、ワーク２００を吸引保持する保持面１４１である。実施形態１では、保持面１４１全体が、タック層１４の表面即ちタック層１４により構成されているが、本発明では、これに限定されることなく、保持面１４１の少なくとも一部が、タック層１４により構成されていれば良い。また、実施形態では、保持面１４１は、フレーム保持面１１１よりも低い位置に配置されている。 In Embodiment 1, the surface of the tack layer 14 is a holding surface 141 that holds the workpiece 200 by suction. In Embodiment 1, the entire holding surface 141 is the surface of the tack layer 14, that is, the tack layer 14. However, the present invention is not limited to this, and at least a portion of the holding surface 141 is formed of the tack layer. 14. Moreover, in the embodiment, the holding surface 141 is arranged at a position lower than the frame holding surface 111 .

保持面１４１には、タック層１４を貫通し、ワーク保持部１２の上面１２１に開口した吸引孔１４２が複数開口している。フレーム用吸引孔１１４と、吸引孔１４２は、フレーム保持部１１及びワーク保持部１２内に設けられた吸引路１５に連なっている。吸引路１５は、吸引源１６に接続している。吸引路１５のフレーム保持部１１と吸引源１６との間には開閉弁１７が設けられている。 A plurality of suction holes 142 that penetrate the tack layer 14 and open to the upper surface 121 of the workpiece holding portion 12 are formed in the holding surface 141 . The frame suction holes 114 and the suction holes 142 are connected to the suction paths 15 provided in the frame holding section 11 and the work holding section 12 . The suction path 15 is connected to a suction source 16 . An on-off valve 17 is provided between the frame holding portion 11 of the suction path 15 and the suction source 16 .

吸引テーブル１０は、保持面１４１にワーク２００の表面２０３側が載置され、フレーム保持面１１１にテープ２１０の外縁部が貼着された環状フレーム２１１が載置されて、開閉弁１７が開いて、吸引孔１１４，１４２が吸引源１６により吸引されることで、保持面１４１にワーク２００を吸引保持し、フレーム保持面１１１に環状フレーム２１１を吸引保持する。このように、実施形態１では、フレーム保持部１１は、吸引テーブル１０のワーク保持部１２の保持面１４１上のワーク２００にテープ２１０を対面させた状態で環状フレーム２１１を吸引保持することで、テープ２１０を保持するテープ保持ユニットである。 In the suction table 10, the surface 203 side of the work 200 is placed on the holding surface 141, and the annular frame 211 to which the outer edge of the tape 210 is adhered is placed on the frame holding surface 111, and the on-off valve 17 is opened. When the suction holes 114 and 142 are sucked by the suction source 16 , the workpiece 200 is suction-held on the holding surface 141 and the annular frame 211 is suction-held on the frame holding surface 111 . As described above, in the first embodiment, the frame holding section 11 sucks and holds the annular frame 211 with the tape 210 facing the workpiece 200 on the holding surface 141 of the workpiece holding section 12 of the suction table 10. It is a tape holding unit that holds the tape 210 .

貼着ローラ２０は、フレーム保持部１１で保持された環状フレーム２１１に貼着されたテープ２１０を吸引テーブル１０の保持面１４１上のワーク２００に貼着するものである。貼着ローラ２０は、吸引テーブル１０に吸引保持された環状フレーム２１１に貼着されたテープ２１０を挟んで、吸引テーブル１０に吸引保持されたワーク２００に対して鉛直方向に沿って対面する。貼着ローラ２０は、ワーク２００の表面２０３に沿いかつ水平方向と平行な方向に沿ってローラ移動ユニット３０により移動可能に設けられている。 The sticking roller 20 sticks the tape 210 stuck to the annular frame 211 held by the frame holding portion 11 to the workpiece 200 on the holding surface 141 of the suction table 10 . The sticking roller 20 vertically faces the workpiece 200 sucked and held by the suction table 10 with the tape 210 stuck to the annular frame 211 held by the suction table 10 sandwiched therebetween. The sticking roller 20 is provided so as to be movable by the roller moving unit 30 along the surface 203 of the workpiece 200 and along a direction parallel to the horizontal direction.

貼着ローラ２０は、支持部材２１により水平方向と平行な軸心回りに回転自在に支持され、吸引テーブル１０に保持されたワーク２００の上方に配置されているとともに、吸引テーブル１０に吸引保持された環状フレーム２１１に貼着されたテープ２１０を挟んで、吸引テーブル１０に保持されたワーク２００に対して鉛直方向に沿って対面する。貼着ローラ２０の軸心は、水平方向と平行でかつローラ移動ユニット３０による移動方向と直交している。 The sticking roller 20 is supported by a support member 21 so as to be rotatable around an axis parallel to the horizontal direction, is arranged above the workpiece 200 held by the suction table 10, and is held by the suction table 10 by suction. It faces the workpiece 200 held on the suction table 10 along the vertical direction with the tape 210 adhered to the annular frame 211 interposed therebetween. The axis of the sticking roller 20 is parallel to the horizontal direction and perpendicular to the moving direction of the roller moving unit 30 .

貼着ローラ２０は、ローラ移動ユニット３０により支持部材２１が水平方向に沿って移動されることで、ワーク２００の表面２０３に沿って移動する。貼着ローラ２０は、昇降ユニット６０により吸引テーブル１０が上昇されると、吸引テーブル１０に吸引保持された環状フレーム２１１に貼着されたテープ２１０をワーク２００に向かって押圧して、テープ２１０をワーク２００に押し付けるとともに、ワーク２００を吸引テーブル１０に押さえ付ける。 The adhering roller 20 moves along the surface 203 of the workpiece 200 as the support member 21 is horizontally moved by the roller moving unit 30 . When the suction table 10 is lifted by the elevating unit 60 , the sticking roller 20 presses the tape 210 stuck to the annular frame 211 sucked and held by the suction table 10 toward the workpiece 200 . While pressing against the work 200, the work 200 is pressed against the suction table 10. - 特許庁

このように、貼着ローラ２０は、昇降ユニット６０により吸引テーブル１０が上昇されると、テープ２１０をワーク２００に押し付けるとともにワーク２００を吸引テーブル１０に押さえ付ける位置に配置されている。また、貼着ローラ２０は、昇降ユニット６０により吸引テーブル１０が上昇された状態で、ローラ移動ユニット３０によりワーク２００の表面２０３に沿って移動されると、テープ２１０をワーク２００に押し付けるとともに、ワーク２００を吸引テーブル１０に押さえ付けて、テープ２１０上を転動して、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着する。 In this way, the sticking roller 20 is arranged at a position to press the tape 210 against the work 200 and the work 200 against the suction table 10 when the suction table 10 is lifted by the lifting unit 60 . When the sticking roller 20 is moved along the surface 203 of the workpiece 200 by the roller moving unit 30 with the suction table 10 raised by the lifting unit 60, the tape 210 is pressed against the workpiece 200 and 200 is pressed against the suction table 10 and rolled on the tape 210 to adhere the tape 210 to the back surface 205 of the workpiece 200 .

ローラ移動ユニット３０は、貼着ローラ２０を水平方向に移動するものである。ローラ移動ユニット３０は、貼着ローラ２０を軸心回りに回転自在に支持した支持部材２１を水平方向に移動する。 The roller moving unit 30 moves the sticking roller 20 in the horizontal direction. The roller moving unit 30 horizontally moves the support member 21 that supports the sticking roller 20 so as to be rotatable about its axis.

昇降ユニット６０は、吸引テーブル１０を鉛直方向に沿って昇降するものである。昇降ユニット６０は、吸引テーブル１０のフレーム保持部１１を鉛直方向に昇降する。 The lifting unit 60 vertically lifts the suction table 10 . The lifting unit 60 vertically lifts the frame holder 11 of the suction table 10 .

真空チャンバ４０は、吸引テーブル１０と、貼着ローラ２０と、ローラ移動ユニット３０と、昇降ユニット６０とを収容するとともに、内部が減圧可能な容器である。真空チャンバ４０は、互いの外縁が接触する状態と、互いの外縁が離間する状態とに亘って移動可能な上部筐体４１と下部筐体４２と、下部筐体４２に排気路４５、開閉弁４６を介して接続された真空源４７と、上部筐体４１に供給路４８、開閉弁４９を介して接続されたエアー供給源５０とを備える。 The vacuum chamber 40 is a container that accommodates the suction table 10, the sticking roller 20, the roller moving unit 30, and the lifting unit 60, and whose interior can be evacuated. The vacuum chamber 40 includes an upper housing 41 and a lower housing 42 that are movable between a state in which the outer edges are in contact with each other and a state in which the outer edges are separated from each other. A vacuum source 47 connected via 46 and an air supply source 50 connected to the upper housing 41 via a supply path 48 and an on-off valve 49 are provided.

筐体４１，４２は、外径が環状フレーム２１１よりも大径な円板部４３と、円板部４３の外縁から立設した円筒部４４とを一体に備える。筐体４１，４２の円板部の外径は、等しい。筐体４１，４２は、円筒部４４の内側の開口がＺ軸方向に沿って対面して配置される。上部筐体４１と、下部筐体４２とは、図示しない昇降ユニットにより相対的に昇降移動される。上部筐体４１は、円板部４３にローラ移動ユニット３０を取り付けている。下部筐体４２は、円板部４３に昇降ユニット６０を取り付けている。 The housings 41 and 42 integrally include a disc portion 43 having an outer diameter larger than that of the annular frame 211 and a cylindrical portion 44 erected from the outer edge of the disc portion 43 . The disc portions of the housings 41 and 42 have the same outer diameter. The housings 41 and 42 are arranged such that the inner openings of the cylindrical portion 44 face each other along the Z-axis direction. The upper housing 41 and the lower housing 42 are moved up and down relative to each other by a lifting unit (not shown). The roller moving unit 30 is attached to the disk portion 43 of the upper housing 41 . A lifting unit 60 is attached to the disk portion 43 of the lower housing 42 .

真空チャンバ４０は、上部筐体４１と下部筐体４２とが昇降ユニットにより互いに近づく方向に昇降されることで、筐体４１，４２の円筒部４４の外縁同士が気密な状態で互いに接触して、内部が外部から遮断されて、内部が密閉される。真空チャンバ４０は、上部筐体４１と下部筐体４２とが昇降ユニットにより互いに離れる方向に昇降されることで、筐体４１，４２の円筒部４４の外縁同士が互いに離れて、ワーク２００及び環状フレーム２１１を搬入、搬出可能とする。 In the vacuum chamber 40, the upper housing 41 and the lower housing 42 are moved up and down by the lifting unit so that the outer edges of the cylindrical portions 44 of the housings 41 and 42 come into contact with each other in an airtight state. , the inside is shut off from the outside and the inside is sealed. In the vacuum chamber 40, the upper housing 41 and the lower housing 42 are lifted and lowered by the elevating unit so that the outer edges of the cylindrical portions 44 of the housings 41 and 42 are separated from each other, and the work 200 and the ring are separated. The frame 211 can be carried in and out.

制御ユニット１００は、貼着装置１を構成する各構成要素を制御して、ワーク２００の表面２０３にテープ２１０を貼着する貼着動作を貼着装置１に実行させるものである。制御ユニット１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。 The control unit 100 controls each component of the sticking device 1 to cause the sticking device 1 to stick the tape 210 to the surface 203 of the workpiece 200 . The control unit 100 includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a CPU (Central Processing Unit), a storage device having a memory such as ROM (Read Only Memory) or RAM (Random Access Memory), and an input/output interface device. and a computer capable of executing a computer program.

制御ユニット１００の演算処理装置は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、貼着装置１を制御するための制御信号を生成する。制御ユニット１００の演算処理装置は、生成した制御信号を入出力インタフェース装置を介して貼着装置１の各構成要素に出力する。 The arithmetic processing device of the control unit 100 executes a computer program stored in the ROM on the RAM to generate control signals for controlling the sticking device 1 . The arithmetic processing device of the control unit 100 outputs the generated control signal to each component of the sticking device 1 via the input/output interface device.

また、制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット、オペレータが加工条件などを登録する際に用いる入力ユニットと接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。 The control unit 100 is also connected to a display unit configured by a liquid crystal display device or the like for displaying the state of machining operations and images, and an input unit used by an operator to register machining conditions and the like. The input unit is composed of at least one of a touch panel provided on the display unit and a keyboard or the like.

次に、前述した構成の貼着装置１のワーク２００の裏面２０５にテープ２１０を貼着する貼着動作を図面に基づいて説明する。図３は、図１に示された貼着装置の吸引テーブルにワーク及び環状フレームを吸引保持した状態を模式的に示す断面図である。図４は、図３に示された貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークにテ－プを押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。 Next, the sticking operation of sticking the tape 210 to the back surface 205 of the workpiece 200 of the sticking apparatus 1 having the above-described configuration will be described with reference to the drawings. 3 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the workpiece and the annular frame are held by suction on the suction table of the adhering apparatus shown in FIG. 1. FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the tape is pressed against the workpiece held by suction on the suction table of the adhering apparatus shown in FIG.

貼着装置１は、制御ユニット１００が入力ユニット等から入力された加工条件を受け付けて記憶し、入力ユニット等から入力された貼着動作の開始指示を受けると、貼着動作を開始する。貼着動作では、貼着装置１は、制御ユニット１００が図示しない昇降ユニットを制御して、筐体４１，４２を互いに離す。貼着動作では、貼着装置１は、保持面１４１にワーク２００の表面側が載置され、フレーム保持面１１１にテープ２１０の外縁部が貼着された環状フレーム２１１が載置されると、昇降ユニットを制御して、筐体４１，４２同士を近づけて筐体４１，４２の円筒部４４の外縁同士が気密な状態で互いに接触して、真空チャンバ４０の内部を密閉する。 In the sticking apparatus 1, the control unit 100 receives and stores the processing conditions input from the input unit or the like, and starts the sticking operation when receiving a sticking operation start instruction input from the input unit or the like. In the adhering operation, the control unit 100 of the adhering apparatus 1 controls an elevation unit (not shown) to separate the housings 41 and 42 from each other. In the adhering operation, the adhering apparatus 1 moves up and down when the surface side of the work 200 is placed on the holding surface 141 and the annular frame 211 to which the outer edge of the tape 210 is adhered is placed on the frame holding surface 111 . By controlling the unit, the housings 41 and 42 are brought closer to each other so that the outer edges of the cylindrical portions 44 of the housings 41 and 42 come into contact with each other in an airtight state, thereby sealing the inside of the vacuum chamber 40 .

貼着動作では、貼着装置１は、図３に示すように、制御ユニット１００が開閉弁１７を開いて、吸引源１６により吸引路１５を通して吸引孔１１４，１４２を吸引して、保持面１４１にワーク２００の表面側を吸引保持するとともに、フレーム保持面１１１に環状フレーム２１１を吸引保持する。このとき、タック層１４は、タック力によりワーク２００を保持面１４１に固定する。貼着動作では、貼着装置１は、制御ユニット１００が開閉弁４６を開いて、真空源４７により排気路４５を通して真空チャンバ４０内の空気を真空チャンバ４０外に排気し、真空チャンバ４０内を減圧する。このとき、保持面１４１に吸引保持されたワーク２００とテープ２１０との間も減圧される。 In the sticking operation, as shown in FIG. The surface side of the workpiece 200 is held by suction, and the annular frame 211 is held by suction on the frame holding surface 111 . At this time, the tack layer 14 fixes the workpiece 200 to the holding surface 141 by tack force. In the sticking operation, the control unit 100 opens the on-off valve 46 , and the vacuum source 47 exhausts the air in the vacuum chamber 40 to the outside of the vacuum chamber 40 through the exhaust path 45 . Reduce pressure. At this time, the pressure between the workpiece 200 and the tape 210 sucked and held by the holding surface 141 is also reduced.

貼着動作では、貼着装置１は、真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧（絶対気圧）を下回る前に、図４に示すように、ローラ移動ユニット３０を制御して貼着ローラ２０をテープ２１０を挟んでワーク２００の上方に位置付け、昇降ユニット６０により吸引テーブル１０を上昇させて、貼着ローラ２０でテープ２１０をワーク２００に押し付けるとともに、テープ２１０を介してワーク２００を保持面１４１に押し付けて、ワーク２００の位置ずれを抑制する。なお、所定の気圧とは、保持面１４１のワーク２００を吸引保持する吸引力が低下して、何らかの力でワーク２００を保持面１４１に押さえ付けないと、ワーク２００が保持面１４１に対して位置ずれしてしまう真空チャンバ４０内の気圧である。 In the adhering operation, the adhering apparatus 1 controls the roller moving unit 30 to move the adhering roller 20, as shown in FIG. The work 200 is positioned above the work 200 with the tape 210 sandwiched therebetween. By pressing, displacement of the workpiece 200 is suppressed. It should be noted that the predetermined air pressure means that the workpiece 200 is positioned relative to the holding surface 141 unless the suction force of the holding surface 141 for sucking and holding the workpiece 200 is reduced and the workpiece 200 is pressed against the holding surface 141 by some force. It is the air pressure in the vacuum chamber 40 that deviates.

こうして、実施形態１では、貼着装置１のタック層１４と貼着ローラ２０とは、吸引テーブル１０でワーク２００を吸引保持した状態で真空チャンバ４０内を減圧した際に、ワーク２００のずれを防止するずれ防止手段７０を構成している。このように、貼着装置１の保持機構２は、ずれ防止手段７０を備える。また、実施形態１では、保持面１４１がタック層１４の表面であるために、吸引テーブル１０もずれ防止手段７０を構成する、即ち、吸引テーブル１０がずれ防止手段７０も兼用する。実施形態１では、貼着装置１は、押さえ付けた領域においてテープ２１０とワーク２００との間に気泡が形成されてしまうことを抑制するために、貼着ローラ２０でテープ２１０を押さえ付けるのが前述した所定の気圧に到達する直前の方が好ましい。また、本発明では、貼着装置１は、貼着ローラ２０でテープ２１０を押さえ付けるタイミングが所定の気圧に到達する直前の他、ワーク２００を保持面１４１で保持した後、減圧を開始する前でもよい。また、本発明では、貼着装置１は、貼着ローラ２０でテープ２１０を押さえ付けることなく、タック層１４のタック力のみでワーク２００の位置ずれを抑制してもよい。 Thus, in the first embodiment, the tack layer 14 and the bonding roller 20 of the bonding apparatus 1 prevent the work 200 from being displaced when the vacuum chamber 40 is decompressed while the work 200 is held by suction on the suction table 10 . It constitutes a deviation preventing means 70 for preventing. Thus, the holding mechanism 2 of the sticking device 1 is provided with the displacement prevention means 70 . Further, in Embodiment 1, since the holding surface 141 is the surface of the tack layer 14 , the suction table 10 also constitutes the anti-slip means 70 , that is, the suction table 10 also serves as the anti-slip means 70 . In the first embodiment, the sticking apparatus 1 presses the tape 210 with the sticking roller 20 in order to suppress the formation of air bubbles between the tape 210 and the workpiece 200 in the pressed region. It is preferable to do so immediately before reaching the above-described predetermined atmospheric pressure. In addition, in the present invention, the timing of pressing the tape 210 by the bonding roller 20 is immediately before the tape 210 is pressed by the bonding roller 20, and after the workpiece 200 is held by the holding surface 141, before pressure reduction is started. It's okay. Further, in the present invention, the sticking apparatus 1 may suppress the displacement of the work 200 only by the tack force of the tack layer 14 without pressing the tape 210 with the sticking roller 20 .

貼着動作では、貼着装置１は、真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧を下回って真空状態まで減圧された後、制御ユニット１００がローラ移動ユニット３０を制御して貼着ローラ２０を水平方向に沿って移動して、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着する。貼着動作では、貼着装置１は、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着した後、開閉弁４６を閉じて、開閉弁４９を開いてエアー供給源５０から供給路４８を通して真空チャンバ４０内に空気を供給して、真空チャンバ４０内の気圧を大気圧まで上昇させて、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に密着させる。こうして、貼着装置１は、貼着動作において、ワーク２００の裏面２０５にテープ２１０を貼着する。また、本発明では、貼着装置１は、吸引源１６に加えて開閉弁１７を介して保持面１４１に図示しないエアー供給源を接続して、開閉弁１７を介してエアー供給源と吸引源１６とを選択自在に保持面１４１に接続して、ワーク２００の保持面１４１からの剥離時にはエアー供給源からのエアーを保持面１４１からエアーブローして、タック力を有するタック層１４からのワーク２００の剥離を容易にしてもよい。 In the sticking operation, the pressure in the vacuum chamber 40 of the sticking apparatus 1 drops below a predetermined pressure to a vacuum state, and then the control unit 100 controls the roller moving unit 30 to move the sticking roller 20 horizontally. The tape 210 is adhered to the back surface 205 of the work 200 by moving along the direction. In the adhering operation, after adhering the tape 210 to the back surface 205 of the work 200 , the adhering apparatus 1 closes the on-off valve 46 and opens the on-off valve 49 to allow air to flow from the air supply source 50 through the supply path 48 to the vacuum chamber 40 . Air is supplied to the interior of the vacuum chamber 40 to raise the pressure in the vacuum chamber 40 to the atmospheric pressure, and the tape 210 is brought into close contact with the back surface 205 of the workpiece 200 . Thus, the sticking device 1 sticks the tape 210 to the back surface 205 of the work 200 in the sticking operation. Further, in the present invention, the sticking apparatus 1 connects an air supply source (not shown) to the holding surface 141 via the on-off valve 17 in addition to the suction source 16 , so that the air supply source and the suction source are connected via the on-off valve 17 . 16 is selectively connected to the holding surface 141, and when the work 200 is peeled off from the holding surface 141, air from an air supply source is blown from the holding surface 141 to remove the work from the tack layer 14 having tack force. The peeling of 200 may be facilitated.

以上説明した実施形態１に係る保持機構２及び貼着装置１は、保持面１４１を構成するタック層１４と、ワーク２００をタック層１４に押し付ける貼着ローラ２０とで構成されるずれ防止手段７０を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、保持面１４１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができる。 The holding mechanism 2 and the sticking device 1 according to the first embodiment described above include the tack layer 14 that forms the holding surface 141 and the sticking roller 20 that presses the workpiece 200 against the tack layer 14 . , the workpiece 200 can be held on the holding surface 141 without being displaced even if the vacuum chamber 40 is depressurized and the suction force of the suction table 10 is reduced.

その結果、実施形態１に係る保持機構２及び貼着装置１は、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。 As a result, the holding mechanism 2 and the sticking device 1 according to the first embodiment have the effect of being able to suppress the displacement of the workpiece 200 without using an electrostatic chuck.

〔変形例〕
本発明の実施形態１の変形例に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態１の変形例に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。なお、図５は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Modification]
A sticking device according to a modification of Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings. 5 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a sticking device according to a modification of Embodiment 1. FIG. In addition, FIG. 5 attaches|subjects the same code|symbol to the same part as Embodiment 1, and abbreviate|omits description.

実施形態１の変形例に係る貼着装置１－１は、図５に示すように、ワーク保持部１２の外縁部に全周に亘って上方に凸の凸部１２２を設け、凸部１２２上にタック層１４を積層して、吸引孔１４２が貫通したタック層１４の表面である保持面１４１を環状に形成していること以外、実施形態１と同じである。なお、変形例に係る貼着装置１－１の環状の保持面１４１は、ワーク２００のデバイス２０４が形成されていない外周余剰領域に対応し、デバイス２０４が形成されたデバイス領域を支持することなく、外周余剰領域を支持する大きさに設定されている。変形例に係る貼着装置１－１は、デバイス２０４が形成されたデバイス領域に対応した領域にタック層１４が形成されないことで、デバイス２０４がタック層１４に当接せず、デバイス２０４を汚染させてしまうリスクを低減する他、ワーク２００の保持面１４１からの剥離が容易となる。 As shown in FIG. 5, the sticking device 1-1 according to the modification of the first embodiment is provided with a convex portion 122 that protrudes upward along the entire circumference of the outer edge of the work holding portion 12. It is the same as Embodiment 1 except that the tack layer 14 is laminated on the tack layer 14, and the holding surface 141, which is the surface of the tack layer 14 through which the suction holes 142 penetrate, is formed in an annular shape. Note that the annular holding surface 141 of the sticking apparatus 1-1 according to the modified example corresponds to the peripheral surplus area of the work 200 where the device 204 is not formed, and does not support the device area where the device 204 is formed. , is sized to support the peripheral surplus area. In the sticking apparatus 1-1 according to the modification, the tack layer 14 is not formed in the region corresponding to the device region where the device 204 is formed, so that the device 204 does not come into contact with the tack layer 14 and the device 204 is contaminated. In addition to reducing the risk of causing the work 200 to be peeled off from the holding surface 141, it becomes easier.

変形例に係る保持機構２－１及び貼着装置１－１は、実施形態１と同様に、保持面１４１を構成するタック層１４とワーク２００をタック層１４に押し付ける貼着ローラ２０とで構成されるずれ防止手段７０を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、保持面１４１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができ、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。 The holding mechanism 2-1 and the sticking device 1-1 according to the modification are configured by the tack layer 14 forming the holding surface 141 and the sticking roller 20 for pressing the workpiece 200 against the tack layer 14, as in the first embodiment. Therefore, even if the vacuum chamber 40 is decompressed and the suction force of the suction table 10 is reduced, the work 200 can be held on the holding surface 141 without being displaced. It is possible to suppress the displacement of the workpiece 200 without using an electric chuck.

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。図７は、実施形態２に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークをワーク固定部材で固定した状態を模式的に示す断面図である。なお、図６及び図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
A sticking device according to Embodiment 2 of the present invention will be described based on the drawings. FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a sticking device according to Embodiment 2. FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a workpiece suction-held on the suction table of the sticking device according to Embodiment 2 is fixed by a workpiece fixing member. In addition, FIG.6 and FIG.7 attach|subjects the same code|symbol to the same part as Embodiment 1, and abbreviate|omits description.

実施形態２に係る貼着装置１－２の保持機構２－２は、図６に示すように、ずれ防止手段７０－２が、タック層１４の代わりに複数のワーク固定部材７１を有し、ワーク保持部１２の上面１２１の中央にポーラスセラミックスなどの円板状の多孔質材１３が取り付けられて、多孔質材１３の表面がワーク２００を吸引保持する保持面１３１であること以外、実施形態１と同じである。ワーク固定部材７１は、吸引テーブル１０で保持されたワーク２００の外周縁の外側から保持面１３１の中心に向かって移動自在に構成されたものである。 In the holding mechanism 2-2 of the sticking device 1-2 according to Embodiment 2, as shown in FIG. A disk-shaped porous material 13 such as porous ceramics is attached to the center of the upper surface 121 of the work holding part 12, and the surface of the porous material 13 is a holding surface 131 for holding the work 200 by suction. Same as 1. The work fixing member 71 is configured to be movable toward the center of the holding surface 131 from the outside of the outer peripheral edge of the work 200 held by the suction table 10 .

ワーク固定部材７１は、吸引テーブル１０のフレーム保持部１１の円盤部１１２上でかつワーク保持部１２即ち保持面１３１の外周側に配置されている。ワーク固定部材７１は、ワーク保持部１２即ち保持面１３１の径方向に沿って移動手段７２により移動自在に設けられている。ワーク固定部材７１は、フレーム保持部１１の円盤部１１２から立設した柱部７３と、柱部７３の上端に設けられかつワーク保持部１２の保持面１３１に吸引保持されたワーク２００の面取り部２０６に対向する固定部７４とを備える。実施形態１では、固定部７４は、厚み方向の中央が最も保持面１３１の外周側に位置するように、保持面１３１に吸引保持されたワーク２００の面取り部２０６に沿って断面円弧状に形成されている。実施形態１では、固定部７４の上端は、ワーク保持部１２の保持面１４１に吸引保持されたワーク２００の裏面２０５よりも下方に配置されている。 The work fixing member 71 is arranged on the disk portion 112 of the frame holding portion 11 of the suction table 10 and on the outer peripheral side of the work holding portion 12 , that is, the holding surface 131 . The work fixing member 71 is provided so as to be movable by a moving means 72 along the radial direction of the work holding portion 12 , that is, the holding surface 131 . The work fixing member 71 includes a column portion 73 erected from the disk portion 112 of the frame holding portion 11 and a chamfered portion of the work 200 provided at the upper end of the column portion 73 and held by suction on the holding surface 131 of the work holding portion 12. 206 and a fixing portion 74 facing the same. In the first embodiment, the fixing portion 74 is formed in an arcuate cross-section along the chamfered portion 206 of the work 200 held by the holding surface 131 by suction so that the center in the thickness direction is located closest to the outer periphery of the holding surface 131 . It is In the first embodiment, the upper end of the fixing portion 74 is arranged below the back surface 205 of the work 200 sucked and held by the holding surface 141 of the work holding portion 12 .

実施形態２に係る貼着装置１－２は、保持面１３１にワーク２００が載置され、フレーム保持面１１１に環状フレーム２１１が載置された後、制御ユニット１００が移動手段７２を制御して、ワーク固定部材７１を保持面１４１の径方向に沿ってワーク２００に向かって移動させる。実施形態２に係る貼着装置１－２は、複数のワーク固定部材７１の固定部７４で保持面１４１上のワーク２００の面取り部２０６を挟んで、保持面１４１上にワーク２００を固定する。 In the sticking apparatus 1-2 according to the second embodiment, after the workpiece 200 is placed on the holding surface 131 and the annular frame 211 is placed on the frame holding surface 111, the control unit 100 controls the moving means 72. , the workpiece fixing member 71 is moved toward the workpiece 200 along the radial direction of the holding surface 141 . The sticking apparatus 1-2 according to the second embodiment fixes the work 200 on the holding surface 141 by sandwiching the chamfered portion 206 of the work 200 on the holding surface 141 with the fixing portions 74 of the plurality of work fixing members 71 .

その後、実施形態２に係る貼着装置１－２は、制御ユニット１００が昇降ユニットを制御して、真空チャンバ４０の内部を密閉した後、図７に示すように、開閉弁１７を開いて、保持面１４１にワーク２００の表面側を吸引保持するとともに、フレーム保持面１１１に環状フレーム２１１を吸引保持して、実施形態１と同様に、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着する。 Thereafter, in the sticking apparatus 1-2 according to the second embodiment, after the control unit 100 controls the lifting unit to seal the inside of the vacuum chamber 40, the on-off valve 17 is opened as shown in FIG. The front side of the workpiece 200 is held by suction on the holding surface 141 , the annular frame 211 is held by suction on the frame holding surface 111 , and the tape 210 is adhered to the back surface 205 of the workpiece 200 in the same manner as in the first embodiment.

実施形態２に係る保持機構２及び貼着装置１－２は、複数のワーク固定部材７１を有するずれ防止手段７０－２を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、実施形態１と同様に、保持面１３１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができ、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。 Since the holding mechanism 2 and the sticking device 1-2 according to the second embodiment are provided with the displacement preventing means 70-2 having a plurality of workpiece fixing members 71, the pressure inside the vacuum chamber 40 is reduced and the suction force of the suction table 10 is reduced. is lowered, the workpiece 200 can be held without displacement on the holding surface 131, and displacement of the workpiece 200 can be suppressed without using an electrostatic chuck, as in the first embodiment. It has the effect of

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態３に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークにテ－プを押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。図９は、図８に示された貼着装置の貼着ローラがテープをワークの裏面に貼着する状態を模式的に示す断面図である。なお、図８及び図９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 3]
A sticking device according to Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a tape is pressed against a work sucked and held by a suction table of a sticking apparatus according to Embodiment 3. FIG. FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the sticking roller of the sticking device shown in FIG. 8 sticks the tape to the back surface of the work. In addition, FIG.8 and FIG.9 attach|subjects the same code|symbol to the same part as Embodiment 1, and abbreviate|omits description.

実施形態３に係る貼着装置１－３の保持機構２－３は、図８に示すように、ずれ防止手段７０－３が、タック層１４の代わりにテープ押圧部材７５を有し、ワーク保持部１２の上面１２１の中央にポーラスセラミックスなどの円板状の多孔質材１３が取り付けられて、多孔質材１３の表面がワーク２００を吸引保持する保持面１３１であること以外、実施形態１と同じである。テープ押圧部材７５は、真空チャンバ４０の上部筐体４１の円板部４３の保持面１３１の中央と対面する位置に配置されている。テープ押圧部材７５は、昇降ユニット７６により昇降自在に配置されている。 In the holding mechanism 2-3 of the sticking device 1-3 according to the third embodiment, as shown in FIG. A disk-shaped porous material 13 such as porous ceramics is attached to the center of the upper surface 121 of the portion 12, and the surface of the porous material 13 is a holding surface 131 for holding the workpiece 200 by suction. are the same. The tape pressing member 75 is arranged at a position facing the center of the holding surface 131 of the disk portion 43 of the upper housing 41 of the vacuum chamber 40 . The tape pressing member 75 is arranged so as to be vertically movable by a lifting unit 76 .

実施形態３に係る貼着装置１－３は、制御ユニット１００が昇降ユニットを制御して、真空チャンバ４０の内部を密閉した後、開閉弁１７を開いて、保持面１３１，１１１にワーク２００及び環状フレーム２１１を吸引保持し、開閉弁４６を開いて真空チャンバ４０の内部を減圧する。実施形態３に係る貼着装置１－３は、制御ユニット１００が真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧（絶対気圧）を下回る前に、図８に示すように、昇降ユニット７６を制御してテープ押圧部材７５を下降させて、テープ押圧部材７５でテープ２１０をワーク２００に押し付けるとともに、テープ２１０を介してワーク２００を保持面１３１に押し付けて、ワーク２００の位置ずれを抑制する。なお、本発明では、貼着装置１－３は、真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧を下回る直前に、テープ押圧部材７５を下降させるのが望ましい。また、本発明では、貼着装置１－３は、ワーク２００を吸引保持した後、減圧を開始する前に下降させてテープ押圧部材７５でテープ２１０を介してワーク２００を保持面１４１に押し付けてもよい。 In the sticking apparatus 1-3 according to the third embodiment, after the control unit 100 controls the lifting unit to seal the inside of the vacuum chamber 40, the on-off valve 17 is opened, and the work 200 and the work 200 are placed on the holding surfaces 131 and 111. The annular frame 211 is held by suction, the on-off valve 46 is opened, and the pressure inside the vacuum chamber 40 is reduced. The sticking apparatus 1-3 according to the third embodiment controls the lifting unit 76 as shown in FIG. The tape pressing member 75 is lowered to press the tape 210 against the work 200 by the tape pressing member 75, and the work 200 is pressed against the holding surface 131 via the tape 210, thereby suppressing displacement of the work 200. FIG. In the present invention, it is desirable that the sticking device 1-3 lowers the tape pressing member 75 immediately before the atmospheric pressure in the vacuum chamber 40 falls below a predetermined atmospheric pressure. In the present invention, the sticking device 1-3 sucks and holds the work 200, and then lowers the work 200 before starting decompression, and presses the work 200 against the holding surface 141 via the tape 210 with the tape pressing member 75. good too.

実施形態３に係る貼着装置１－３は、制御ユニット１００が昇降ユニット６０を制御して吸引テーブル１０を上昇させ、ローラ移動ユニット３０を制御して貼着ローラ２０を水平方向に沿って移動して、実施形態１と同様に、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着するとともに、開閉弁４６を閉じて、開閉弁４６を開いてエアー供給源５０から供給路４８を通して真空チャンバ４０内に空気を供給する。なお、実施形態３に係る貼着装置１－３は、貼着ローラ２０が図９に示すようにテープ２１０をワーク２００の裏面２０５の外縁部に貼着し始めると、制御ユニット１００が昇降ユニット７６を制御して、テープ押圧部材７５を上昇させて、テープ２１０などから退避させる。 In the sticking apparatus 1-3 according to the third embodiment, the control unit 100 controls the lifting unit 60 to raise the suction table 10, and controls the roller moving unit 30 to move the sticking roller 20 along the horizontal direction. Then, as in the first embodiment, the tape 210 is attached to the back surface 205 of the workpiece 200 , the on-off valve 46 is closed, the on-off valve 46 is opened, and the air is supplied from the air supply source 50 through the supply path 48 into the vacuum chamber 40 . supply air to Note that in the sticking apparatus 1-3 according to the third embodiment, when the sticking roller 20 starts sticking the tape 210 to the outer edge of the back surface 205 of the work 200 as shown in FIG. 76 is controlled to raise the tape pressing member 75 and retract it from the tape 210 or the like.

実施形態３に係る保持機構２－３及び貼着装置１－３は、テープ押圧部材７５を有するずれ防止手段７０－３を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、実施形態１と同様に、保持面１３１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができ、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。 Since the holding mechanism 2-3 and the sticking device 1-3 according to the third embodiment are provided with the deviation prevention means 70-3 having the tape pressing member 75, the vacuum chamber 40 is decompressed and the suction force of the suction table 10 is reduced. is lowered, the workpiece 200 can be held without displacement on the holding surface 131, and displacement of the workpiece 200 can be suppressed without using an electrostatic chuck, as in the first embodiment. It has the effect of

〔実施形態４〕
本発明の実施形態４に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態４に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークを保持面に押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。なお、図１０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 4]
A sticking device according to Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a workpiece sucked and held by the suction table of the sticking device according to Embodiment 4 is pressed against the holding surface. In addition, FIG. 10 attaches|subjects the same code|symbol to the same part as Embodiment 1, and abbreviate|omits description.

実施形態４に係る貼着装置１－４の保持機構２－４は、図１０に示すように、ずれ防止手段７０－４が、タック層１４の代わりに押圧部材７７を有し、ワーク保持部１２の上面１２１の中央にポーラスセラミックスなどの円板状の多孔質材１３が取り付けられて、多孔質材１３の表面がワーク２００を吸引保持する保持面１３１であること以外、実施形態１と同じである。押圧部材７７は、吸引テーブル１０の保持面１４１上のワーク２００の上面である裏面２０５を押圧する部材である。 In the holding mechanism 2-4 of the sticking device 1-4 according to the fourth embodiment, as shown in FIG. 12 is the same as the first embodiment except that a disk-shaped porous material 13 such as porous ceramics is attached to the center of the upper surface 121 of 12, and the surface of the porous material 13 is a holding surface 131 that holds the work 200 by suction. is. The pressing member 77 is a member that presses the back surface 205 of the work 200 on the holding surface 141 of the suction table 10 .

実施形態４に係る貼着装置１－４の押圧部材７７は、テープ２１０が貼着される前の保持面１４１上のワーク２００の裏面２０５とテープ２１０との間に侵入可能な板状に形成され、移動手段７８により水平方向に移動自在に配置されている。実施形態４において、押圧部材７７の移動方向は、貼着ローラ２０の移動方向に対して交差（直交）している。押圧部材７７は、保持面１３１上に位置すると少なくとも一部が保持面１３１の中心上に位置するのが好ましい。しかし、本発明では、押圧部材７７の位置はこれに限定されず、ワーク２００上のどの位置を押圧してもよい。 The pressing member 77 of the sticking device 1-4 according to the fourth embodiment is formed in a plate shape that can enter between the tape 210 and the back surface 205 of the workpiece 200 on the holding surface 141 before the tape 210 is stuck. and arranged to be horizontally movable by a moving means 78 . In the fourth embodiment, the moving direction of the pressing member 77 crosses (perpendicularly) the moving direction of the bonding roller 20 . When the pressing member 77 is positioned on the holding surface 131 , it is preferable that at least a portion of the pressing member 77 is positioned on the center of the holding surface 131 . However, in the present invention, the position of the pressing member 77 is not limited to this, and any position on the workpiece 200 may be pressed.

実施形態４に係る貼着装置１－４は、制御ユニット１００が昇降ユニットを制御して、真空チャンバ４０の内部を密閉した後、開閉弁１７を開いて、保持面１３１，１１１にワーク２００及び環状フレーム２１１を吸引保持し、開閉弁４６を開いて真空チャンバ４０の内部を減圧する。実施形態４に係る貼着装置１－４は、制御ユニット１００が、真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧（絶対気圧）を下回る前に、図１０に示すように、移動手段７８を制御して押圧部材７７を保持面１４１上のワーク２００の裏面２０５とテープ２１０との間に侵入させて、押圧部材７７でワーク２００を保持面１４１に押し付けて、ワーク２００の位置ずれを抑制する。また、本発明では、貼着装置１－４は、吸引テーブル１０でワーク２００を吸引保持した後、真空チャンバ４０の減圧を開始する前に押圧部材７７でワーク２００を保持面１４１に押し付けても良い。 In the sticking apparatus 1-4 according to the fourth embodiment, after the control unit 100 controls the lifting unit to seal the inside of the vacuum chamber 40, the on-off valve 17 is opened, and the work 200 and the workpiece 200 are placed on the holding surfaces 131 and 111. The annular frame 211 is held by suction, the on-off valve 46 is opened, and the pressure inside the vacuum chamber 40 is reduced. In the sticking device 1-4 according to the fourth embodiment, the control unit 100 controls the moving means 78 as shown in FIG. 10 before the pressure inside the vacuum chamber 40 falls below a predetermined pressure (absolute pressure). The pressing member 77 is inserted between the back surface 205 of the workpiece 200 on the holding surface 141 and the tape 210, and the pressing member 77 presses the workpiece 200 against the holding surface 141, thereby suppressing displacement of the workpiece 200. In addition, in the present invention, the sticking apparatus 1-4 may press the work 200 against the holding surface 141 with the pressing member 77 after the work 200 is sucked and held by the suction table 10 and before the pressure reduction in the vacuum chamber 40 is started. good.

実施形態４に係る貼着装置１－４は、制御ユニット１００が昇降ユニット６０を制御して吸引テーブル１０を上昇させ、ローラ移動ユニット３０を制御して貼着ローラ２０を水平方向に沿って移動して、実施形態１と同様に、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着する。貼着装置１－４は、実施形態１と同様に、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着した後、開閉弁４６を閉じて、開閉弁４９を開いてエアー供給源５０から供給路４８を通して真空チャンバ４０内に空気を供給する。なお、実施形態４に係る貼着装置１－４は、貼着ローラ２０がテープ２１０をワーク２００の裏面２０５の外縁部に貼着し始めると、制御ユニット１００が移動手段７８を制御して、押圧部材７７を水平方向に移動させて、ワーク２００の裏面２０５とテープ２１０との間から退避させる。 In the sticking apparatus 1-4 according to the fourth embodiment, the control unit 100 controls the lifting unit 60 to raise the suction table 10, and controls the roller moving unit 30 to move the sticking roller 20 along the horizontal direction. Then, the tape 210 is adhered to the back surface 205 of the workpiece 200 in the same manner as in the first embodiment. As in the first embodiment, the sticking device 1-4 sticks the tape 210 to the back surface 205 of the workpiece 200, then closes the on-off valve 46 and opens the on-off valve 49 to allow the air supply source 50 to flow through the supply path 48. Air is supplied into the vacuum chamber 40 through the . In the sticking device 1-4 according to the fourth embodiment, when the sticking roller 20 starts sticking the tape 210 to the outer edge of the back surface 205 of the work 200, the control unit 100 controls the moving means 78 to The pressing member 77 is horizontally moved to retreat from between the back surface 205 of the workpiece 200 and the tape 210 .

実施形態４に係る保持機構２－４及び貼着装置１－４は、押圧部材７７を有するずれ防止手段７０－４を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、実施形態１と同様に、保持面１３１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができ、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。 Since the holding mechanism 2-4 and the sticking device 1-4 according to the fourth embodiment are provided with the anti-slip means 70-4 having the pressing member 77, the vacuum chamber 40 is decompressed and the suction force of the suction table 10 is reduced. It is said that, even if it is lowered, the workpiece 200 can be held without being displaced on the holding surface 131 as in the first embodiment, and displacement of the workpiece 200 can be suppressed without using an electrostatic chuck. Effective.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

１，１－１，１－２，１－３，１－４ 貼着装置
２，２－１，２－２，２－３，２－４ 保持機構
１０ 吸引テーブル
１１ フレーム保持部（テープ保持ユニット）
１４ タック層（タック力を有する部材）
２０ 貼着ローラ
４０ 真空チャンバ
７０，７０－２，７０－３，７０－４ ずれ防止手段
７１ ワーク固定部材
７７ 押圧部材
１３１，１４１ 保持面
２００ ワーク
２０５ 裏面（上面）
２１０ テープ 1, 1-1, 1-2, 1-3, 1-4 Sticking device 2, 2-1, 2-2, 2-3, 2-4 Holding mechanism 10 Suction table 11 Frame holding part (tape holding unit )
14 tack layer (member having tack force)
20 sticking roller 40 vacuum chamber 70, 70-2, 70-3, 70-4 deviation prevention means 71 workpiece fixing member 77 pressing member 131, 141 holding surface 200 workpiece 205 rear surface (upper surface)
210 tape

Claims (5)

ワークを保持する保持機構であって、
ワークを吸引保持する保持面を有した吸引テーブルと、
該吸引テーブルを収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバと、
該吸引テーブルでワークを吸引保持した状態で該真空チャンバ内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段と、を備えた保持機構。 A holding mechanism for holding a workpiece,
a suction table having a holding surface for holding the workpiece by suction;
a vacuum chamber that houses the suction table and whose interior can be evacuated;
and a holding mechanism for preventing displacement of the workpiece when the vacuum chamber is decompressed while the workpiece is sucked and held by the suction table. 該吸引テーブルの該保持面の少なくとも一部はタック力を有する部材から構成され、該吸引テーブルが該ずれ防止手段を兼用する、請求項１に記載の保持機構。 2. The holding mechanism according to claim 1, wherein at least a part of said holding surface of said suction table is made of a member having a tack force, and said suction table also serves as said deviation preventing means. 該ずれ防止手段は、該吸引テーブルで保持されたワークの外周縁の外側から該保持面の中心に向かって移動自在に構成された複数のワーク固定部材を有する、請求項１に記載の保持機構。 2. The holding mechanism according to claim 1, wherein said displacement preventing means has a plurality of work fixing members movable from the outside of the outer periphery of the work held by said suction table toward the center of said holding surface. . 該ずれ防止手段は、該吸引テーブル上のワークの上面側を押圧する押圧部材を有する、請求項１に記載の保持機構。 2. The holding mechanism according to claim 1, wherein said deviation prevention means has a pressing member for pressing the upper surface side of the workpiece on said suction table. ワークにテープを貼着する貼着装置であって、
ワークを吸引保持する保持面を有した吸引テーブルと、
該吸引テーブル上のワークにテープを対面させた状態で該テープを保持するテープ保持ユニットと、
該テープ保持ユニットで保持されたテープを該吸引テーブル上のワークに貼着する貼着ローラと、
該吸引テーブルと該貼着ローラとを収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバと、
該吸引テーブルでワークを吸引保持した状態で該真空チャンバ内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段と、を備えた貼着装置。 A sticking device for sticking a tape to a work,
a suction table having a holding surface for holding the workpiece by suction;
a tape holding unit that holds the tape while facing the workpiece on the suction table;
a sticking roller for sticking the tape held by the tape holding unit to the workpiece on the suction table;
a vacuum chamber that accommodates the suction table and the sticking roller and whose interior can be evacuated;
and a displacement prevention means for preventing displacement of the workpiece when the vacuum chamber is decompressed while the workpiece is suction-held by the suction table.
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