JPH09126397A - 圧力容器からガスを取り出すための調量装置 - Google Patents
圧力容器からガスを取り出すための調量装置Info
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- JPH09126397A JPH09126397A JP8222509A JP22250996A JPH09126397A JP H09126397 A JPH09126397 A JP H09126397A JP 8222509 A JP8222509 A JP 8222509A JP 22250996 A JP22250996 A JP 22250996A JP H09126397 A JPH09126397 A JP H09126397A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 容易な方法で調量を行なうことを可能にし、
しかも部品点数を少なくするとともに、材料から生じる
成分、またはガスと材料との反応によって生じる成分に
よるガスの汚染の問題を、特に回避し、この際、極めて
正確な調量を可能にする。 【解決手段】 調量装置が減圧のための毛細管３を有し
ている。
しかも部品点数を少なくするとともに、材料から生じる
成分、またはガスと材料との反応によって生じる成分に
よるガスの汚染の問題を、特に回避し、この際、極めて
正確な調量を可能にする。 【解決手段】 調量装置が減圧のための毛細管３を有し
ている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力容器からガス
を取り出すための調量装置に関する。
を取り出すための調量装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術によれば、不活性ガスも反応
性ガスも金属性の弁を介して圧力容器から取り出され
る。この金属性の弁は、より精密なニードル弁が後置さ
れている粗処理弁である。
性ガスも金属性の弁を介して圧力容器から取り出され
る。この金属性の弁は、より精密なニードル弁が後置さ
れている粗処理弁である。
【０００３】汚染のない状態でガスのためのサンプリン
グを行なうこと、若しくは校正用ガス混合物を調量する
ことは、特に反応性および腐食性のガスまたはガス混合
物の場合、全ての測定・検査技術の分野において、しば
しば決めて大きな問題となっている。半導体製造または
光ファイバの製造のようなその他の多くの分野において
も、使用されるガス供給システムは極めて大きな役割を
演じている。つまり、表面と腐食性の媒体との相互作用
によって、動的な金属ハロゲン化物が生じる。この金属
ハロゲン化物は例えば水の他に、高い蒸気圧とエーロゾ
ル特性とに基づいて、高性能のフィルタシステムをも克
服してしまう恐れがある。
グを行なうこと、若しくは校正用ガス混合物を調量する
ことは、特に反応性および腐食性のガスまたはガス混合
物の場合、全ての測定・検査技術の分野において、しば
しば決めて大きな問題となっている。半導体製造または
光ファイバの製造のようなその他の多くの分野において
も、使用されるガス供給システムは極めて大きな役割を
演じている。つまり、表面と腐食性の媒体との相互作用
によって、動的な金属ハロゲン化物が生じる。この金属
ハロゲン化物は例えば水の他に、高い蒸気圧とエーロゾ
ル特性とに基づいて、高性能のフィルタシステムをも克
服してしまう恐れがある。
【０００４】材料としては、ポリエーテルスルホンやポ
リイミドや種々のフッ素ポリマのようないわゆる新しい
エンジニアリングプラスチック、およびセラミックス、
または被覆された石英により、硬度と剛性と耐腐食性と
に関するほとんどの要件を満たした材料を利用すること
ができる。プロセス工学的かつ安全工学的な観点から、
圧力測定および圧力制御のための測定・制御機構、流量
測定装置、流量調節装置、調整・遮断弁ならびに安全弁
などが、ガスのための調量システムに一体化されていな
ければならない。特に呼び径が小さく、かつ呼び圧力が
大きい場合、非金属性で非腐食性の材料から成る、特に
攻撃性のガスのためのこのような従来の構成部分は、今
日に至るまで、要件に相応するような品質では提供され
ていない。
リイミドや種々のフッ素ポリマのようないわゆる新しい
エンジニアリングプラスチック、およびセラミックス、
または被覆された石英により、硬度と剛性と耐腐食性と
に関するほとんどの要件を満たした材料を利用すること
ができる。プロセス工学的かつ安全工学的な観点から、
圧力測定および圧力制御のための測定・制御機構、流量
測定装置、流量調節装置、調整・遮断弁ならびに安全弁
などが、ガスのための調量システムに一体化されていな
ければならない。特に呼び径が小さく、かつ呼び圧力が
大きい場合、非金属性で非腐食性の材料から成る、特に
攻撃性のガスのためのこのような従来の構成部分は、今
日に至るまで、要件に相応するような品質では提供され
ていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ゆえに本発明の課題
は、容易に調量を行なうことができ、かつ少ない部品点
数から成る調量装置を提供することである。特に、材料
から生じる成分、またはガスと材料との反応によって生
じる成分によるガスの汚染の問題が、特に回避されねば
ならない。この際、極めて正確な調量が可能とならねば
ならない。
は、容易に調量を行なうことができ、かつ少ない部品点
数から成る調量装置を提供することである。特に、材料
から生じる成分、またはガスと材料との反応によって生
じる成分によるガスの汚染の問題が、特に回避されねば
ならない。この際、極めて正確な調量が可能とならねば
ならない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、調量装置が減圧のための毛細管を
有しているようにした。
に本発明の構成では、調量装置が減圧のための毛細管を
有しているようにした。
【０００７】
【発明の効果】本発明による装置によって、低廉に特に
攻撃性のガスを、汚染のない状態で圧力容器から取り出
すことが可能である。ガスの取り出しは、極めて精確に
調量された状態で行なうことができる。
攻撃性のガスを、汚染のない状態で圧力容器から取り出
すことが可能である。ガスの取り出しは、極めて精確に
調量された状態で行なうことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１には、ボトルネック弁（Flas
chenhalsventil）２を有する圧力容器１が示されてい
る。このボトルネック弁２には、毛細管３が取り付けら
れている。この毛細管３は導管４に開口している。この
導管４には緩衝容器５とポンプ６とが接続されている。
この緩衝容器５には流出導管７が位置している。この流
出導管７には圧力測定装置８が設けられており、かつ安
全弁９が位置している。
chenhalsventil）２を有する圧力容器１が示されてい
る。このボトルネック弁２には、毛細管３が取り付けら
れている。この毛細管３は導管４に開口している。この
導管４には緩衝容器５とポンプ６とが接続されている。
この緩衝容器５には流出導管７が位置している。この流
出導管７には圧力測定装置８が設けられており、かつ安
全弁９が位置している。
【０００９】圧力容器１から腐食性のガスを取り出す際
には、非腐食性の材料（この場合、タンタル）から成る
ボトルネック弁２が開かれる。腐食性のガスは、非腐食
性の石英から成る毛細管３を通って流れる。この場合、
毛細管３の横断面と長さとに関連した減圧が行なわれ
る。この減圧は、ハーゲン・ポアズイユの法則に従って
行なわれる。この法則によれば体積流を次のように算出
することができる。
には、非腐食性の材料（この場合、タンタル）から成る
ボトルネック弁２が開かれる。腐食性のガスは、非腐食
性の石英から成る毛細管３を通って流れる。この場合、
毛細管３の横断面と長さとに関連した減圧が行なわれ
る。この減圧は、ハーゲン・ポアズイユの法則に従って
行なわれる。この法則によれば体積流を次のように算出
することができる。
【００１０】
【数１】
【００１１】ただし、 ｄＶ／ｄｔ＝体積流 ｒ＝毛細管の半径 Ｉ＝毛細管の長さ Δｐ＝圧力損失 η＝動粘度 毛細管３の長さおよび／または毛細管３の内径の横断面
を変化させることによって、極めて正確な調量、または
毛細管３の背圧の極めて精密な調整を行なうことができ
る。必要とされるガス量の自由な流出が不可能な場合に
は、一定の体積流の調整が、ポンプ６による減圧のあと
で達成される。このポンプ６は、排気鐘内において変化
する圧力に対しても、必要とされるガス量の極めて正確
な調量を可能にする。この場合、ガスは一時的に緩衝容
器５に達する。この緩衝容器５には蠕動ポンプならびに
圧力測定装置８が接続されている。規定の圧力を越える
と、安全弁９が開かれる。
を変化させることによって、極めて正確な調量、または
毛細管３の背圧の極めて精密な調整を行なうことができ
る。必要とされるガス量の自由な流出が不可能な場合に
は、一定の体積流の調整が、ポンプ６による減圧のあと
で達成される。このポンプ６は、排気鐘内において変化
する圧力に対しても、必要とされるガス量の極めて正確
な調量を可能にする。この場合、ガスは一時的に緩衝容
器５に達する。この緩衝容器５には蠕動ポンプならびに
圧力測定装置８が接続されている。規定の圧力を越える
と、安全弁９が開かれる。
【００１２】毛細管３に用いられる材料として、特に石
英と、セラミックスと、ポリエーテルスルホン、ポリイ
ミド、ポリエーテルケトン、および種々のフッ素ポリマ
のようなプラスチックとがその対象となる。これらのプ
ラスチックがガラス繊維によって補強されていると有利
である。もちろん、緊密性に関する要件に適合するその
他のどの非腐食性の材料も適している。装置の全ての構
成部分が非腐食性の材料から成っているか、または非腐
食性の材料によって被覆されていると有利である。本発
明による装置によって、窒素のような非腐食性のガスの
調量時の費用を節約したいだけならば、別の腐食性の材
料から成る毛細管３を使用することも可能である。付加
的には、このような手段が、さらに経済的かつ安全工学
的な一連の利点を提供する。つまり、一般的に必要とさ
れるような、ダイヤフラム圧力調節装置と流過質量調節
装置とによる支障をきたしやすい、ガス流の圧力・流量
調節を行わずに済む。金属性の系において必要とされる
大きな手間のかかる接続技術が不要になり、かつ小さな
死容積の排出されるべきガス量は極めてわずかである。
英と、セラミックスと、ポリエーテルスルホン、ポリイ
ミド、ポリエーテルケトン、および種々のフッ素ポリマ
のようなプラスチックとがその対象となる。これらのプ
ラスチックがガラス繊維によって補強されていると有利
である。もちろん、緊密性に関する要件に適合するその
他のどの非腐食性の材料も適している。装置の全ての構
成部分が非腐食性の材料から成っているか、または非腐
食性の材料によって被覆されていると有利である。本発
明による装置によって、窒素のような非腐食性のガスの
調量時の費用を節約したいだけならば、別の腐食性の材
料から成る毛細管３を使用することも可能である。付加
的には、このような手段が、さらに経済的かつ安全工学
的な一連の利点を提供する。つまり、一般的に必要とさ
れるような、ダイヤフラム圧力調節装置と流過質量調節
装置とによる支障をきたしやすい、ガス流の圧力・流量
調節を行わずに済む。金属性の系において必要とされる
大きな手間のかかる接続技術が不要になり、かつ小さな
死容積の排出されるべきガス量は極めてわずかである。
【図１】本発明による装置を概略的に示す図である。
１ 圧力容器、 ２ ボトルネック弁、 ３ 毛細管、
４ 導管、 ５ 緩衝容器、 ６ ポンプ、 ７ 流
出導管、 ８ 圧力測定装置、 ９ 安全弁
４ 導管、 ５ 緩衝容器、 ６ ポンプ、 ７ 流
出導管、 ８ 圧力測定装置、 ９ 安全弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マンフレート エシュヴァイ ドイツ連邦共和国 デュッセルドルフ ア ルテ カルクマーシュトラーセ 47 (72)発明者 エリカ プルファーマッハー ドイツ連邦共和国 ベルクカーメン ツム シャハトクックク 12
Claims (6)
- 【請求項１】 圧力容器（１）からガスを取り出すため
の調量装置において、 調量装置が減圧のための毛細管（３）を有していること
を特徴とする、圧力容器からガスを取り出すための調量
装置。 - 【請求項２】 構成部分が非腐食性の材料から成ってい
る、請求項１記載の調量装置。 - 【請求項３】 構成部分が、プラスチックとセラミック
スと石英との材料群のうちの少なくとも１種の材料から
成っている、請求項１または２記載の調量装置。 - 【請求項４】 プラスチックが、ポリエーテルスルホン
とポリエーテルケトンとポリイミドとフッ素ポリマとの
群のうちの少なくとも１つの構成成分である、請求項３
記載の調量装置。 - 【請求項５】 毛細管（３）に、圧力測定装置（８）を
備えた緩衝容器（５）、ならびにポンプ（６）が接続さ
れている、請求項１から４までのいずれか１項記載の調
量装置。 - 【請求項６】 ポンプ（６）が蠕動ポンプである、請求
項５記載の調量装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19531505A DE19531505B4 (de) | 1995-08-26 | 1995-08-26 | Dosiervorrichtung zur Entnahme von Gasen aus einem Druckbehälter |
| DE19531505.7 | 1995-08-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09126397A true JPH09126397A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=7770512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8222509A Pending JPH09126397A (ja) | 1995-08-26 | 1996-08-23 | 圧力容器からガスを取り出すための調量装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0762105B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09126397A (ja) |
| DE (2) | DE19531505B4 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012046533A1 (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-12 | セントラル硝子株式会社 | ハロゲン含有ガス供給装置及びハロゲン含有ガス供給方法 |
| JP2012097892A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-05-24 | Central Glass Co Ltd | ハロゲン含有ガス供給装置及びハロゲン含有ガス供給方法 |
| JP2012097893A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-05-24 | Central Glass Co Ltd | ハロゲン含有ガス供給装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3760831A (en) * | 1971-11-01 | 1973-09-25 | Ford Motor Co | Gas flow control system for an analytical instrument |
| US4040936A (en) * | 1976-08-02 | 1977-08-09 | General Electric Company | Wet chlorine gas generator for instrument applications |
| DE2815170A1 (de) * | 1978-04-07 | 1979-10-11 | Wilhelm Endlich | Vorrichtung zur lagerung und anwendung von fluessigen klebstoffen |
| IT1144417B (it) * | 1981-07-22 | 1986-10-29 | Fiat Auto Spa | Apparecchiatura per la miscelazione controllata di due sostanze aeriformi in particolare per la preparazione di miscele per la taratura di a nalizzatori di gas di scarico di motori a combustione interna |
| DE3242214C2 (de) * | 1982-11-15 | 1986-09-25 | Panayotis Dipl.-Ing. Dr.-Ing. 6100 Darmstadt Roumeliotis | Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren eines in einer Hochdruckextraktionsvorrichtung gewonnenen Extraktes |
| DE4036991A1 (de) * | 1990-11-20 | 1992-05-21 | Linde Ag | Verfahren zur verwendung inerter treibmittel bei der herstellung aufgeschaeumter kunststoffe |
| DE4127697A1 (de) * | 1991-08-21 | 1993-02-25 | Linde Ag | Verfahren zur gasentnahme aus druckbehaeltern mit einem fuelldruck von ueber 200 bar |
| DE4308191C2 (de) * | 1992-03-21 | 1995-09-28 | Horiba Ltd | Gasanalysegerät |
| FR2709808B1 (fr) * | 1993-09-09 | 1995-10-13 | Air Liquide | Réservoir de stockage de gaz sous haute pression et installation de stockage et de fourniture de gaz sous haute pression. |
| US5419177A (en) * | 1994-03-25 | 1995-05-30 | Pastorello; John | Refrigerant gas contamination detector kit |
-
1995
- 1995-08-26 DE DE19531505A patent/DE19531505B4/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-08-10 DE DE59610813T patent/DE59610813D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-08-10 EP EP96112909A patent/EP0762105B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-08-23 JP JP8222509A patent/JPH09126397A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012046533A1 (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-12 | セントラル硝子株式会社 | ハロゲン含有ガス供給装置及びハロゲン含有ガス供給方法 |
| JP2012097892A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-05-24 | Central Glass Co Ltd | ハロゲン含有ガス供給装置及びハロゲン含有ガス供給方法 |
| JP2012097893A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-05-24 | Central Glass Co Ltd | ハロゲン含有ガス供給装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0762105A1 (de) | 1997-03-12 |
| EP0762105B1 (de) | 2003-11-12 |
| DE59610813D1 (de) | 2003-12-18 |
| DE19531505B4 (de) | 2006-07-06 |
| DE19531505A1 (de) | 1997-02-27 |
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