KR101283285B1 - 유체 누설 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 유체 누설 공급 장치는 유체가 수용되는 압력저장용기, 상기 압력저장용기 및 진공용기를 연결하는 유체 이송관로 내에 배치되며, 상기 유체의 누설율을 조절하는 격막 구조체, 상기 격막 구조체에 열원을 공급하는 히터, 및 상기 히터로부터 공급되는 열량을 조절하는 제어기를 포함한다.
본 발명은 상압에서 초진공 영역에 이르는 넓은 표준 누설의 공급 범위와 정확도를 갖는 일정한 누설의 공급을 제공한다. 또한, 종래의 누설 공급량이 고정된 헬륨 표준 누설 장치와 비교시 가변으로 표준 누설량을 정확히 제어할 수 있다.

Description

유체 누설 공급 장치{Apparatus for supplying fluid's leak}
본 발명은 유체 누설 공급 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 진공상태에서 공급되는 유체의 누설 범위를 넓히고 진공 영역의 정확도를 높이게 하는 유체 누설 공급 장치에 관한 것이다.
다양한 진공 영역을 갖는 진공케이스 내부의 진공도를 측정하기 위해서는 절대적으로 진공 계측장비에 의존하게 된다. 또한 이러한 진공 계측기가 정확히 작동하는가를 확인하는 작업은 매우 중요하다. 진공 계측기의 정확한 작동 여부는 표준 및 일반 진공 계측기를 비교 실험할 때 진공케이스 외부에서 진공 계측기가 설치된 진공케이스 내부로 정량의 유체를 공급함과 동시에 두 진공 계측기의 압력 변화율을 정량화하여 계산 후 보정하면 확인할 수 있다. 이러한 일련의 과정을 일반적으로 진공 계측기의 교정작업이라 한다. 또한 진공케이스 내부를 다양한 범위의 진공 영역으로 유지하기 위해서는 누설되는 유체를 일정한 유량으로 공급할 수 있고, 다양한 유량 공급범위를 갖는 유체 누설 공급 장치가 요구된다. 그러나 일반적으로 기존에 사용되는 유체 누설 공급 장치는 누설되는 유체의 공급 범위가 제한된다.
유체 누설 공급 장치 중 가장 일반적으로 사용되는 헬륨 표준 누설 장치를 예로 들 수 있는데, 상기 헬륨 표준 누설 장치는 교정된 누설값이 1.200 × 10-3 [sccm](standard cubic centimeter per minute)으로서 유효배기량 2.025 × 10-5 [mbar·L/sec]에 해당하는 입자의 공급을 의미하며, 이는 헬륨에 대한 실제 배기속도가 50.00[L/sec]인 터보분자펌프를 사용하여 배기하는 진공 시스템에서는 4.050 × 10-7 [mbar]의 진공도를 보이게 된다. 상기 계산값은 1.200 × 10-3 [sccm] 용량을 갖는 헬륨 표준 누설 장치의 최소 공급영역을 나타내며, 만약 더 낮은 진공영역을 갖는 진공시스템을 유지하고자 한다면 최소 공급영역이 더 작은 다른 표준 누설 장치를 추가로 구비하여야 하는 한계점이 존재한다.
표준 누설을 공급하는 또 하나의 방법으로는 MFC(mass flow controller)를 사용하는 경우가 있다. 시중에 공급되는 대부분의 MFC의 최소 공급영역은 1.000 [sccm] 이상으로 유효배기량으로 환산한다면 대략 1.688 × 10-2 [mbar·L/sec] 가 되며, 유효 배기속도가 50.00 [L/sec] 인 터보분자펌프를 사용하여 배기한다 하여도 3.376 × 10-4 [mbar] 정도의 중진공(middle vacuum) 영역을 갖게 되어 고진공(high vacuum)또는 초고진공(ultra high vacuum) 영역에서 실시되는 실험을 위해서는 적합하지 않다는 한계가 있다. 즉, 상기 초고진공 영역은 항공우주분야의 우주환경 영향 진공실험, 가속기 가속공동의 진공유지실험, 핵융합로 초전도 진공영역실험, 터보펌프 배기량 측정, 고진공게이지 교정, 및 잔류가스분석기 교정 등에서 사용되는 것으로서 일반적으로 1.000 × 10-8 [mbar] 이하 범위의 진공도를 유지해야 하므로 표준 누설 공급 장치로는 사용하기에는 어렵게 된다.
한편, 초고진공 영역의 측정을 가능하게 할 수 있는 미세유량계 장치로 오리피스를 사용하는 방법이 있다. 상기 오리피스법은 수동식으로 가변 미세누설밸브(Variable leak valve)를 사용하여 기체를 유출하면서 컨덕턴스가 정확하게 정의된 오리피스 양단의 압력(P1, P2)을 측정하고 그 차이에 오리피스 컨덕턴스(C)를 곱해서 유량을 계산한다(q = C (P1-P2)). 상기 오리피스법은 1.00 × 10-10 [mbar L/s] 정도의 진공 대역을 교정 및 검정하는데에 매우 효과적인 방법이나 사용상의 취급 및 해석이 쉽지 않아 일반 연구자가 쉽게 사용하기에는 부적합하다는 문제점이 있다.
상기에서 설명된 헬륨 표준 누설 장치, 오리피스, 및 MFC와 같은 종래의 표준 누설 공급 장치는 각각의 유량 공급 범위가 결정되어 있으므로 넓은 범위의 진공 영역을 갖는 진공용기의 교정 및 검정시에는 특정한 진공 영역에 적합하지 않다는 제한점이 있으므로, 이를 극복하기 위해서는 특정 진공 영역에 맞게 조정된 유량 범위를 갖는 누설 공급 장치로 교체하여 사용해야 한다. 그러나 누설 공급 장치를 교체하는 과정에서 필연적으로 진공용기와 누설 공급장치는 대기 중에 존재하는 습기나 먼지에 노출되어 오염될 수 있고, 잦은 장착과 탈착으로 인해 대기 중에 노출되는 시간이 길어짐에 따라 표준 누설 공급 장치의 공급 오차가 발생하여 정확도에 문제가 발생하게 된다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해서, 온도, 두께, 및 압력 등에 의해 누설율이 조정되는 격막 구조체를 이용하여 표준 누설의 공급 범위를 넓히고 상압부터 초고진공 영역까지의 다양한 진공도를 유지하는 동시에 일정한 유체 누설량을 유지할 수 있도록 정확도를 높인 유체 누설 공급 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 격막 구조체를 구비한 단수의 누설 공급 장치를 이용하여 다양한 진공도를 유지할 수 있는 구조를 서술하고자 한다.
이하 상세히 기술하면, 제공되는 본 발명의 일 관점에 따른 유체 누설 공급 장치는 유체가 수용되는 압력저장용기, 상기 압력저장용기 및 진공용기를 연결하는 유체 이송관로 내에 배치되며, 상기 유체의 누설율을 조절하는 격막 구조체, 상기 격막 구조체에 열원을 공급하는 히터, 및 상기 히터로부터 공급되는 열량을 조절하는 제어기를 포함한다.
상기 격막 구조체의 두께를 d, 상기 격막 구조체의 면적을 A, 상기 압력저장용기의 압력을 Ph, 및 상기 격막 구조체의 두께와 면적에 따라 결정되는 투과율을 n으로 정의할 때, 상기 유체의 투과도 K는 하기의 수식과 같이 나타내는 것이 바람직할 수 있다.
Figure 112011052249211-pat00001
상기 .유체 누설 공급 장치는 상기 유체 이송관로와 상기 진공용기를 결합하는 연결부;를 더 포함하고, 상기 연결부는 상기 진공용기와 밀폐 구조로 이루어져 상기 격막 구조체를 통한 유체가 누설되는 것을 방지하는 것이 바람직할 수 있다.
상기 격막 구조체는 스테인레스 계열, 기타 금속 및 세라믹 재질로 이루어진 그룹 중 어느 하나인 것이 바람직할 수 있다.
상기 유체는 수소, 중수소, 및 삼중수소로 이루어진 그룹 중 어느 하나인 것이 바람직할 수 있다.
상기 유체는 헬륨인 것이 바람직할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따른 압력 조절 장치는 상기 유체 누설 공급 장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 관점에 따른 압력 조절 장치는 상기 유체 누설 공급 장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 관점에 따른 초진공 생성 장치는 상기 유체 누설 공급 장치를 포함할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 유체 누설 공급 장치는 격막 구조체의 가열온도, 두께, 유체의 공급 압력 등을 변화시킴으로써 상압에서 1.000 × 10-9 [mbar]의 초진공 영역까지의 넓은 표준 누설의 공급 범위와 정확도를 갖는 일정한 누설의 공급을 제공한다.
또한, 현재 양산되고 있는 MFC의 최소 공급가능 유량인 1[sccm]과 비교하여 10,000배 이상 작은 수소 누설량을 공급할 수 있으며, 오리피스 및 헬륨 표준리크 공급 장치가 갖는 사용상의 단점을 해결할 수 있다. 즉, 누설 공급량이 고정된 헬륨 표준 누설 장치와 비교시 가변으로 표준 누설량을 정확히 제어할 수 있다.
본 발명에 따른 유체 누설 공급 장치는 하나의 장치로 다양한 측정영역에서 표준누설을 공급함을 의미하고, 고진공 또는 초고진공 영역에서 실시되는 실험에서 사용하는 표준 누설 공급 장치로 사용할 수 있고, 경제성 있는 장치 구축이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 유체 누설 공급 장치의 전체적인 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 유체 누설 공급 장치의 구성요소인 격막 구조체를 나타낸 도면,
도 3은 스테인레스 스틸 316L 격막 구조체의 온도 변화에 따른 수소 기체의 투과도를 선형적으로 나타낸 그래프 선도,
도 4는 복수의 격막 구조체의 온도 변화에 따른 수소 기체의 투과도를 선형적으로 나타낸 그래프 선도, 및
도 5는 스테인레스 스틸 316L 격막 구조체의 두께 및 온도 변화에 따른 수소의 표준 누설량의 변화를 나타내는 그래프 선도이다.
본 발명의 상기와 같은 목적, 특징 및 다른 장점들은 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명함으로써 더욱 명백해질 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 유체 누설 공급 장치를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명인 유체 누설 공급 장치는 필요에 따라 일체형으로 제조되거나 각각 분리되어 제조될 수 있다. 또한, 사용 형태에 따라 일부 구성요소를 생략하여 사용이 가능하다.
이하, 본 발명의 실시 예에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하면 본 발명에 따른 유체 누설 공급 장치(100)는 내부에 유체가 저장된 상태에서 유체의 저장 압력을 견딜 수 있는 유체저장용기(110), 유체저장용기(110)에 결합되는 유체 배출구(114)에 그 일측이 결합되는 유체이송관로(104), 유체이송관로(104)에 결합되어 상기 유체이송관로(104) 내부를 유동하는 유체를 단속하는 공급조절밸브(120), 유체이송관로(104)의 타측에 결합되는 진공 용기(150), 유체이송관로(104)에 배치되는 격막 구조체(130), 격막 구조체(130)를 내부에 수용하는 본체(101), 및 격막 구조체(130)에 열을 공급하는 가열 수단(140)을 포함한다.
유체저장용기(110)는 유체의 다양한 저장압력을 정확히 지시할 수 있는 압력계(112)가 설치된다.
본체(101)는 투시창(102)을 구비한 중공 형상의 구조체로서 격막 구조체(130)를 외부와 격리시키는 동시에 투시창(102)을 통해 격막 구조체(130)의 작동 상태를 한눈에 볼 수 있게 한다.
격막 구조체(130)는 유체이송관로(104) 내부에 배치되는데, 격막 구조체(130)의 일 실시 태양으로서 원형 타입을 이룬다고 가정한다면 상기 격막 구조체(130)의 직경이 유체이송관로(104) 내부 직경과 동일하게 이루어짐으로써 격막 구조체(130)과 유체이송관로(104) 내면과의 간격이 존재하지 않게 한다. 상기 격막 구조체(130)는 일반적인 금속 또는 세라믹 재질이면 모두 적용 가능할 수 있으나, 바람직하게는 스테인레스 계열인 것이 바람작할 수 있다.
가열 수단(140)은 연결 선로(141)를 통해 제어기(145)에 전기적으로 접속된다. 즉, 제어기(145)는 가열 수단(140)으로부터 방출되는 열을 조절함으로써 격막 구조체(130)가 공급받는 열량을 조절하게 된다.
진공 용기(150)는 상압부터 초진공 영역까지의 진공 상태를 다양하게 유지할 수 있으며, 격막 구조체(130)로부터 표준 누설 공급되는 유체를 이용하여 일정한 진공도를 유지하게 한다. 한편, 진공 용기(150)는 연결부(152)를 통하여 유체이송관로(104)와 결합된다. 연결부(152)는 유체이송관로(104)를 통해 이송되는 유체가 공급되는 과정에서 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있도록 밀폐력이 강한 구조로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명은 궁극적으로 우주 항공 분야에서의 진공 실험 등에 사용하는 것을 특징으로 하므로 우주의 진공 상태인 10-9 내지 10-12 범위에서 사용되는 수소, 중수소, 삼중수소 등의 분위기 하에서 사용되는 것이 바람직할 수 있다. 또한, 종래에 주로 이용되는 헬륨 가스도 적용이 가능하다.
다음으로, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명인 유체 누설 공급 장치(100)의 구성요소인 격막 구조체(130)를 이용한 유체의 누설 과정을 살핀다.
상기 격막 구조체(130)는 두께(d) 및 면적(A)에 의해 그 크기가 결정되는 구조체로서 유체이송관로(104)의 단면의 형태에 따라 그 형상이 결정될 수 있다. 즉, 유체이송관로(104)의 단면이 원형 또는 사각형이라면 그에 따라 각각 원형 또는 사각형의 형태를 띠게 됨으로써, 격막 구조체(130)를 유체이송관로(104) 내에 설치하는 경우에 틈이 생기지 않게 한다. 부가적으로, 격막 구조체(130)의 양단에 멈추개를 설치하여 격막 구조체(130)의 움직임을 방지할 수 있다.
도 2에서 도면부호 105는 유체저장용기(110)로부터 배출되는 유체의 이동을 도시하는 것이고, 도면부호 106은 격막 구조체(130)를 통과한 유체의 이동을 도시한다. 결과적으로, 격막 구조체(130)는 유체이송관로(104) 내에 배치되어 유체의 투과되는 유량을 조절하게 된다.
하기의 수식은 본 발명의 격막 구조체(130)를 관통하는 유체의 투과성을 결정하는 식으로서 주로 온도에 따라 변동되는 것을 보인다. 하기 수식에서, K는 투과도(permeability)로서 그 단위는 [mol·sec-1·m-1·Pa-1/2] 이고, n은 투과율(permeation flow rate)로서 그 단위는 [mol/sec] 이며, Ph 는 유체 저장 용기의 내부 압력[Pa]을 가리키는 것으로 정의한다.
Figure 112011052249211-pat00002
상기 수학식 1을 참조하여 본 발명의 특징을 설명하면 다음과 같다.
유체 누설 공급 장치(100)의 구성품 중 유체의 누설율을 결정하는 핵심인 격막 구조체(130)의 설계는 두께(d) 및 면적(A)으로부터 절대적으로 영향을 받는다. 결국, 격막 구조체(130)의 두께(d) 및 면적(A)의 변화에 따라 유체의 투과율(n)이 변동되어 표준 누설 공급량의 최소치와 최대치가 결정될 수 있다.
더불어, 압력지시계(112)가 설치되어 유체의 저장압력을 견딜 수 있는 유체저장용기(110)의 설계는 Ph 항을 결정한다. 이 또한 결과적으로 유체의 투과율(n)의 결정에 Ph 의 제곱근에 반비례하여 영향을 준다.
본 발명은 유체저장용기(110)와 격막 구조체(130)의 형태가 정해지는 경우에는 두께(d), 면적(A), 및 Ph 가 결정되므로 이러한 경우에는 상기 수학식 1에 의거하여 투과율(n)에 따라 투과도(K)가 결정되는 구조이다.
다음으로는 도 3을 참조하여 스테인레스 스틸 316L 재질로 형성되는 격막 구조체(130)의 온도 변화에 따라 선형적으로 나타내어진 수소 기체의 투과도 그래프를 이용하여 설명한다.
그래프에서는 이미 기술된 두께(d), 면적(A), 및 Ph의 제곱근에 변화와 무관하게 온도 변화에 비례하여서만 수소 기체의 투과도가 변동하는 것을 알 수 있다. 이는 격막 구조체(130)의 재질이 결정되면 유체의 종류에 따라 고유한 투과 특성이 확정됨을 의미하며, 격막 구조체(130)의 온도 제어를 통하면 표준 누설량이 결정됨을 의미한다.
본 발명에서는 격막 구조체(130)의 종류, 단면적, 두께, 유체 공급 압력을 변화시키며 수소 기체에 대한 스테인레스 스틸 316L 금속격막의 투과특성을 실험한 결과 상술한 바와 같은 결과를 확인하였으며, 격막 구조체(130)의 적절한 온도 변화를 통하면 일정한 비율의 표준 누설량의 제어가 가능하다는 결과를 도출하였다.
도 4는 다양한 종류의 스테인레스 스틸의 온도변화에 따른 수소 투과도 변화 특성을 나타내고 있다. 이는 격막 구조체(130)의 재질에 관계없이 온도에 의존하여 투과 특성이 확정됨을 의미하는 것이다.
따라서, 유체가 일정한 비율로 공급될 수 있도록 격막 구조체(130)에서의 표준 누설량을 온도로 제어할 수 있는 가열수단(140) 및 제어기(145)의 설계는 유체의 투과율(n) 결정에 직접적으로 영향을 준다.
도 5의 그래프는 격막 구조체(130)의 두께와 온도에 따른 수소의 표준 누설량 변화를 나타낸다. 그래프 결과에서 보듯이, 각 선도에서는 시간이 경과함에 따라 진공 측정부의 압력이 점진적으로 상승함과 동시에 일정 시점에서는 균일하게 유지되는 것을 확인할 수 있다. 이는 격막 구조체(130)의 종류, 두께, 및 가열온도가 정해진 상태에서 소정 시간이 경과한 후에는 일정한 누설률을 나타낸다는 수학식 1의 결과와 일치함을 의미한다.
또한, 격막 구조체(130)의 두께에 따라 압력상승 유지부분이 달라짐을 확인할 수 있는데, 이는 격막 구조체(130)의 두께 변화를 통하여 유체의 표준 누설공급량을 변화시킬 수 있음을 의미한다.
이하, 본 발명의 유체 누설 공급 장치(100)를 이용한 구체적인 실험예를 설명한다. 본 실험에서는 온도 보정을 실시하지 않은 상태에서 유효배기속도가 51.82[L/sec]인 터보분자펌프를 사용하고, 표준 누설 수소 주입 후 1.028 × 10-5 [mbar] 정도의 진공영역을 유지하며, 격막 구조체(130)는 1[mm]의 두께, 1.766 × 10-4[m2]의 단면적, 1[bar]의 수소공급압력 및, 800 [℃]의 가열온도조건 하에서 실험을 진행한다.
상기 데이터를 기반으로 하여 환산된 유효 배기량은 1.028 × 10-5 [mbar] × 51.82 [L/sec] = 5.327 × 10-4 [mbar·L/sec] 이라는 결과를 얻게 된다. 여기에서, 1 sccm = 1.688 × 10-2 [mbar·L/sec] 이므로 본 발명의 유체 누설 공급 장치(100)의 수소 누설 공급량인 5.327 × 10-4[mbar·L/sec] 는 0.031[sccm]에 해당되는 누설량이 된다.
다른 조건을 동일하게 유지한 상태에서 온도 변화에 따른 수소 누설량 측정 결과는 하기의 표 1과 같다.
온도[℃] △P[mbar] 누설량[Pa·L/sec] 유량 환산[sccm]
800 1.028×10-5 5.327×10-4 0.031
700 4.039×10-6 2.093×10-4 0.012
600 1.373×10-6 7.114×10-5 0.004
500 3.613×10-7 1.872×10-5 0.001
상기 표 1의 결과에서는, 온도 및 진공도를 조정하는 과정에서 수소 누설량이 500℃ 의 온도에서 유량 환산으로 0.001[sccm] 까지 조절되는 것을 알 수 있는데, 여기에서 격막 구조체(130)의 두께 및 면적의 변화를 통하여 현재 양산되고 있는 MFC의 최소 공급가능 유량인 1[sccm]과 비교하여 1,000배 내지 10,000배 이상 작은 수소 누설량을 공급할 수 있다. 상기 결과는 일 예에 불과하며, 격막 구조체(130)의 두께 증가, 단면적 감소, 가열 온도 등을 하향시키는 과정을 통해 상압에서 1.0×10-9 [mbar] 정도 영역까지 사용 가능한 다양한 수소 누설 공급량을 결정할 수 있다.
이는 누설 공급량이 정확히 고정된 종래의 헬륨 표준 누설 장치와 비교시 격막 가열 온도의 변화만으로도 표준 누설량을 정확히 제어할 수 있고, 단일 장치로 다양한 측정 영역에서 표준 누설을 공급할 수 있음을 의미하며, 경제성 있는 장치 구축을 가능하게 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 유체 누설 공급 장치는 상압에서 초진공 영역에 이르는 넓은 표준 누설의 공급 범위와 정확도를 갖는 일정한 누설의 공급을 제공한다. 또한, 종래의 누설 공급량이 고정된 헬륨 표준 누설 장치와 비교시 가변으로 표준 누설량을 정확히 제어할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 유체 누설 공급 장치는 하나의 장치로 다양한 측정영역에서 표준누설을 공급함을 의미하고, 고진공 또는 초고진공 영역에서 실시되는 실험에서 사용되는 표준 누설 공급 장치로 사용할 수 있으며, 경제성 있는 장치 구축이 가능하다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니한다. 즉, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자라면 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능하며, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정의 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
100 : 유체 누설 공급 장치
101 : 본체
102 : 투시창
104 : 유체이송관로
110 : 유체저장용기
112 : 압력계
114 : 유체 배출구
120 : 공급조절밸브
130 : 격막 구조체
140 : 가열 수단
141 : 연결 관로
145 : 제어기
150 : 진공용기
152 : 연결부
d : 격막 구조체의 두께
A : 격막 구조체의 면적

Claims (9)

  1. 유체가 수용되는 압력저장용기;
    상기 압력저장용기 및 진공용기를 연결하는 유체 이송관로 내에 배치되며, 상기 유체의 누설율을 조절하는 격막 구조체;
    상기 격막 구조체에 열원을 공급하는 히터; 및
    상기 히터로부터 공급되는 열량을 조절하는 제어기;
    를 포함하는,
    유체 누설 공급 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 격막 구조체의 두께를 d, 상기 격막 구조체의 면적을 A, 상기 압력저장용기의 압력을 Ph, 및 상기 격막 구조체의 두께와 면적에 따라 결정되는 투과율을 n으로 정의할 때, 상기 유체의 투과도 K는 하기의 수식과 같이 나타낼 수 있는 것을 특징으로 하는,
    유체 누설 공급 장치.
    Figure 112011052249211-pat00003

  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 유체 누설 공급 장치는,
    상기 유체 이송관로와 상기 진공용기를 결합하는 연결부;를 더 포함하고,
    상기 연결부는 상기 진공용기와 밀폐 구조로 이루어져 상기 격막 구조체를 통한 유체가 누설되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는,
    유체 누설 공급 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 격막 구조체는 스테인레스 계열 및 세라믹 재질로 이루어진 그룹 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,
    유체 누설 공급 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체는 수소, 중수소, 및 삼중수소로 이루어진 그룹 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,
    유체 누설 공급 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체는 헬륨인 것을 특징으로 하는,
    유체 누설 공급 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 따른 유체 누설 공급 장치를 포함하며, 상기 유체 누설 공급 장치의 유체 누설율 조절에 의해 압력 조절이 가능한 것을 특징으로 하는,
    압력 조절 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 따른 유체 누설 공급 장치를 포함하며, 상기 유체 누설 공급 장치의 유체 누설율 조절에 의해 초진공 측정이 가능한 것을 특징으로 하는,
    초진공 측정 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 따른 유체 누설 공급 장치를 포함하며, 상기 유체 누설 공급 장치의 유체 누설율 조절에 의해 초진공 생성이 가능한 것을 특징으로 하는,
    초진공 생성 장치.
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