JPH09120506A - 磁気記録／読取ヘッド - Google Patents
磁気記録／読取ヘッドInfo
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- JPH09120506A JPH09120506A JP8242149A JP24214996A JPH09120506A JP H09120506 A JPH09120506 A JP H09120506A JP 8242149 A JP8242149 A JP 8242149A JP 24214996 A JP24214996 A JP 24214996A JP H09120506 A JPH09120506 A JP H09120506A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- head
- layer
- pole
- poles
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/312—Details for reducing flux leakage between the electrical coil layers and the magnetic cores or poles or between the magnetic cores or poles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 効率の高い平坦型磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】 この磁気ヘッドは、実質上同一平面内に
含まれる層４および５内に二つの磁極が配置された磁性
層１を有する。この二つの磁極は、絶縁層によって層１
から分離される。この二つの磁極は、その端部において
層１に磁気的に結合される。磁極の反対側の端部４１お
よび５１は間隙６によって分離される。一つのコイル導
体２は少なくとも磁界を誘導するために磁極の一方の下
に配置される。磁束が磁極４の端部４１から磁極５の端
部５１まで通過することによって記録が行われる。磁性
層１の平面内の磁極の下、特に間隙６の下に磁性材料を
有しない領域７が設けられる。この領域は、導体２、磁
極４、５および間隙６の下にある領域を含むことが好ま
しい。
含まれる層４および５内に二つの磁極が配置された磁性
層１を有する。この二つの磁極は、絶縁層によって層１
から分離される。この二つの磁極は、その端部において
層１に磁気的に結合される。磁極の反対側の端部４１お
よび５１は間隙６によって分離される。一つのコイル導
体２は少なくとも磁界を誘導するために磁極の一方の下
に配置される。磁束が磁極４の端部４１から磁極５の端
部５１まで通過することによって記録が行われる。磁性
層１の平面内の磁極の下、特に間隙６の下に磁性材料を
有しない領域７が設けられる。この領域は、導体２、磁
極４、５および間隙６の下にある領域を含むことが好ま
しい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録／読取ヘ
ッドおよびそれを製造する方法に関し、さらに詳細に
は、平坦型薄層から作られる平坦磁気ヘッドに関する。
この方法では、技術ステップの数を増やすことなく、ヘ
ッドの効率の著しい増大が達成でき、またより薄い磁性
層および導電層が使用できる。
ッドおよびそれを製造する方法に関し、さらに詳細に
は、平坦型薄層から作られる平坦磁気ヘッドに関する。
この方法では、技術ステップの数を増やすことなく、ヘ
ッドの効率の著しい増大が達成でき、またより薄い磁性
層および導電層が使用できる。
【０００２】
【従来の技術】図１ａおよび図１ｂに従来型（非平坦
型）の磁気ヘッドの構造を示す。このヘッドは、ヘッド
の磁気回路を閉じる一端に磁気的に結合され、他端に間
隙Ｅを含む二つのスタック磁極Ｐ１、Ｐ２を有する。ヘ
ッド内に磁界を誘導する磁界誘導体Ｂ（コイル）が磁極
Ｐ１、Ｐ２の間にある。情報要素の読取りまたは書込み
を可能にする磁気ヘッドの活動領域は、間隙Ｅの端部に
ある（図１ａ、図１ｂの左方）。このヘッドは、磁極を
形成する層、導体および絶縁体を付着およびフォトリソ
グラフィ整合することによって形成する。次いで、キャ
リヤを間隙の近くに切削し、ヘッドをフォトリソグラフ
ィ面に垂直な平面に沿って研磨する。これらのヘッドで
は、研磨ステップを各ヘッド上で個々に実施する必要が
あり、したがって費用がかかる。
型）の磁気ヘッドの構造を示す。このヘッドは、ヘッド
の磁気回路を閉じる一端に磁気的に結合され、他端に間
隙Ｅを含む二つのスタック磁極Ｐ１、Ｐ２を有する。ヘ
ッド内に磁界を誘導する磁界誘導体Ｂ（コイル）が磁極
Ｐ１、Ｐ２の間にある。情報要素の読取りまたは書込み
を可能にする磁気ヘッドの活動領域は、間隙Ｅの端部に
ある（図１ａ、図１ｂの左方）。このヘッドは、磁極を
形成する層、導体および絶縁体を付着およびフォトリソ
グラフィ整合することによって形成する。次いで、キャ
リヤを間隙の近くに切削し、ヘッドをフォトリソグラフ
ィ面に垂直な平面に沿って研磨する。これらのヘッドで
は、研磨ステップを各ヘッド上で個々に実施する必要が
あり、したがって費用がかかる。
【０００３】図２ａ、図２ｂにいわゆる平坦構造ヘッド
を示す。このヘッドは、実質上同一平面内にある二つの
磁極４、５を有する。これらの磁極の最遠端は、ヘッド
の磁気回路を閉じる磁性下層１に磁気的に結合される。
最近端は間隙６によって分離される。一つまたは複数の
磁界誘導体が、磁極（４、５）と磁性下層１の間にあ
る。このヘッドは、バッチ（batch）内で行われる付
着、フォトリソグラフィおよび研磨によって形成する。
最終切削操作を実施して各ヘッドを分離する。この方法
は、すべてのステップについてバッチ方法であり、した
がってあまり費用がかからない。この方法では、図３を
見れば分かるように、ヘッドのマトリックスアレイを製
造することができる。
を示す。このヘッドは、実質上同一平面内にある二つの
磁極４、５を有する。これらの磁極の最遠端は、ヘッド
の磁気回路を閉じる磁性下層１に磁気的に結合される。
最近端は間隙６によって分離される。一つまたは複数の
磁界誘導体が、磁極（４、５）と磁性下層１の間にあ
る。このヘッドは、バッチ（batch）内で行われる付
着、フォトリソグラフィおよび研磨によって形成する。
最終切削操作を実施して各ヘッドを分離する。この方法
は、すべてのステップについてバッチ方法であり、した
がってあまり費用がかからない。この方法では、図３を
見れば分かるように、ヘッドのマトリックスアレイを製
造することができる。
【０００４】平坦ヘッドは小さい間隙深さを有する。こ
れは、コイルのインダクタンスがそれによって小さくな
るので潜在的利点である。これにより、読取り前置増幅
器の入力における雑音の対応する低下が生じる。残念な
がら、磁束は、コイルの平面を一周する前に、磁極内の
長い経路に沿って進む必要がある。磁極の透磁率（perm
eability）があまり大きくない場合、この平面中に磁束
の漏れが生じ、そのためにヘッドの効率が著しく低下す
る。
れは、コイルのインダクタンスがそれによって小さくな
るので潜在的利点である。これにより、読取り前置増幅
器の入力における雑音の対応する低下が生じる。残念な
がら、磁束は、コイルの平面を一周する前に、磁極内の
長い経路に沿って進む必要がある。磁極の透磁率（perm
eability）があまり大きくない場合、この平面中に磁束
の漏れが生じ、そのためにヘッドの効率が著しく低下す
る。
【０００５】磁気回路の構成要素はそれらのパーミアン
ス（permeance）によって特徴づけられる。このパーミ
アンスは、単位誘導磁界の循環中にこの要素を通過する
磁束を特徴づける。この循環は電流に関して次元が均一
であり、パーミアンスは誘導係数：Φ＝Ｌiに関して均
一である。磁束線に沿って配向し、かつ均一な透磁率μ
を有する円筒の場合、パーミアンスは円筒のセクション
Ｉと長さＳとによって決まり、 Ｌ＝μＩ／Ｓ である。
ス（permeance）によって特徴づけられる。このパーミ
アンスは、単位誘導磁界の循環中にこの要素を通過する
磁束を特徴づける。この循環は電流に関して次元が均一
であり、パーミアンスは誘導係数：Φ＝Ｌiに関して均
一である。磁束線に沿って配向し、かつ均一な透磁率μ
を有する円筒の場合、パーミアンスは円筒のセクション
Ｉと長さＳとによって決まり、 Ｌ＝μＩ／Ｓ である。
【０００６】磁気回路の全パーミアンスは、それを通過
するコイルの巻数当たりのインダクタンスの二乗に等し
い。
するコイルの巻数当たりのインダクタンスの二乗に等し
い。
【０００７】磁気ヘッドに関する「効率」とは、一般
に、間隙内の磁界の循環と、アンペア巻数で表されるコ
イル中に注入される電流との比に適用される。ヘッド
は、その効率が１に近いほど、またそのパーミアンスが
低いほどよい。
に、間隙内の磁界の循環と、アンペア巻数で表されるコ
イル中に注入される電流との比に適用される。ヘッド
は、その効率が１に近いほど、またそのパーミアンスが
低いほどよい。
【０００８】図５ａに、図２のヘッドの磁気回路のパー
ミアンスの代表的な値を示す。上側磁極をセットアップ
した場合に流れる磁束は、下側磁極の近接によって短絡
しやすい。その結果、コイルのインピーダンスが増大す
るだけでなく、磁極の透磁率が有限であるために、ヘッ
ドの効率が低下する。
ミアンスの代表的な値を示す。上側磁極をセットアップ
した場合に流れる磁束は、下側磁極の近接によって短絡
しやすい。その結果、コイルのインピーダンスが増大す
るだけでなく、磁極の透磁率が有限であるために、ヘッ
ドの効率が低下する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を有しない磁気ヘッド構造を提供することを目的とす
る。
を有しない磁気ヘッド構造を提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】したがって、本発明は、
第一の磁性層と、この磁性層上に配置された少なくとも
一つの磁界誘導体と、導体を含んでおりかつ磁性層の一
部を覆う絶縁材料からなる第一の領域と、それぞれ磁性
層に磁気的に結合された第一の端部と絶縁材料から製造
した領域上にある間隙によって他方の磁極の第二の端部
から分離された第二の端部とを有しており、絶縁材料か
らなるした領域に重なる層からなる二つの磁極とを備え
る磁気ヘッドに関する。
第一の磁性層と、この磁性層上に配置された少なくとも
一つの磁界誘導体と、導体を含んでおりかつ磁性層の一
部を覆う絶縁材料からなる第一の領域と、それぞれ磁性
層に磁気的に結合された第一の端部と絶縁材料から製造
した領域上にある間隙によって他方の磁極の第二の端部
から分離された第二の端部とを有しており、絶縁材料か
らなるした領域に重なる層からなる二つの磁極とを備え
る磁気ヘッドに関する。
【００１１】第一の磁性層の平面は、第一の端部間の磁
極の下にある絶縁材料から作られた、磁性材料を有しな
い第二の領域を含む。
極の下にある絶縁材料から作られた、磁性材料を有しな
い第二の領域を含む。
【００１２】本発明の種々の目的および特徴は、以下の
説明および添付の図面においてより明らかになろう。
説明および添付の図面においてより明らかになろう。
【００１３】
【発明の実施の形態】図４ａおよび図４ｂを参照しなが
ら、本発明による磁気ヘッドの実施形態について説明す
る。
ら、本発明による磁気ヘッドの実施形態について説明す
る。
【００１４】このヘッドは、図２ａおよび図２ｂのヘッ
ドと同様に、実質上同一平面内に含まれる層４および５
内に二つの磁極が配置された磁性層１を有する。この二
つの磁極は、絶縁層によって層１から分離される。この
二つの磁極は、その端部４０および５０において層１に
磁気的に結合される。磁極の反対側の端部４１および５
１は間隙６によって分離される。一つのコイル導体２は
少なくとも磁界を誘導するために磁極の一方の下に配置
される。図４ａおよび図４ｂは、それぞれ磁極を囲む二
つのコイルの例示の図である。
ドと同様に、実質上同一平面内に含まれる層４および５
内に二つの磁極が配置された磁性層１を有する。この二
つの磁極は、絶縁層によって層１から分離される。この
二つの磁極は、その端部４０および５０において層１に
磁気的に結合される。磁極の反対側の端部４１および５
１は間隙６によって分離される。一つのコイル導体２は
少なくとも磁界を誘導するために磁極の一方の下に配置
される。図４ａおよび図４ｂは、それぞれ磁極を囲む二
つのコイルの例示の図である。
【００１５】ヘッドの動作は、図４ｂに点線によって示
されるものなど磁気情報キャリヤＢＭ上に情報要素が記
録できるようなものである。この記録は、磁束が磁極４
の端部４１から磁極５の端部５１まで通過することによ
って行われる。
されるものなど磁気情報キャリヤＢＭ上に情報要素が記
録できるようなものである。この記録は、磁束が磁極４
の端部４１から磁極５の端部５１まで通過することによ
って行われる。
【００１６】本発明によれば、磁性層１の平面内の磁極
の下、特に間隙６の下に磁性材料を有しない領域７が設
けられる。この領域は、導体２、磁極４、５および間隙
６の下にある領域を含むことが好ましい。磁極の下にあ
る領域全体が、もちろん端部４０および５０に磁気的に
結合された層１の一部を除いて非磁性である場合も考え
られる。
の下、特に間隙６の下に磁性材料を有しない領域７が設
けられる。この領域は、導体２、磁極４、５および間隙
６の下にある領域を含むことが好ましい。磁極の下にあ
る領域全体が、もちろん端部４０および５０に磁気的に
結合された層１の一部を除いて非磁性である場合も考え
られる。
【００１７】図５ｂは、磁気回路の別の部分のパーミア
ンスの値を示す、本発明の磁気ヘッドの例示の図であ
る。本発明による磁気ヘッド（図５ｂ）は、図５ａのも
のなど従来技術の磁気ヘッドよりも効率的な磁気ヘッド
の製造に寄与する特徴を具備する。
ンスの値を示す、本発明の磁気ヘッドの例示の図であ
る。本発明による磁気ヘッド（図５ｂ）は、図５ａのも
のなど従来技術の磁気ヘッドよりも効率的な磁気ヘッド
の製造に寄与する特徴を具備する。
【００１８】本発明は、磁界誘導行導体および磁界誘導
列導体によって活動化されるいくつかの磁気ヘッドを含
むマトリックス編成によるヘッドに適用できる。
列導体によって活動化されるいくつかの磁気ヘッドを含
むマトリックス編成によるヘッドに適用できる。
【００１９】そのようなヘッドを製造するために、磁性
基板中に穴を形成することが考えられる。行導体２およ
び列導体２’が設けられる。行導体および列導体はこの
穴の上で交差する。その場合、磁極４、５は、穴７の上
にある間隙６によって分離される。
基板中に穴を形成することが考えられる。行導体２およ
び列導体２’が設けられる。行導体および列導体はこの
穴の上で交差する。その場合、磁極４、５は、穴７の上
にある間隙６によって分離される。
【００２０】磁極は、フランス特許第２６０５７８３号
に記載されているように製造できる。
に記載されているように製造できる。
【図１ａ】従来技術の磁気記録／読取りヘッドを示す図
である。
である。
【図１ｂ】従来技術の磁気記録／読取りヘッドを示す図
である。
である。
【図２ａ】従来技術の磁気記録／読取りヘッドを示す図
である。
である。
【図２ｂ】従来技術の磁気記録／読取りヘッドを示す図
である。
である。
【図３】従来技術の磁気記録／読取りヘッドを示す図で
ある。
ある。
【図４ａ】本発明による磁気ヘッドの実施形態を示す図
である。
である。
【図４ｂ】本発明による磁気ヘッドの実施形態を示す図
である。
である。
【図５ａ】従来技術のヘッドの特徴と本発明によるヘッ
ドの特徴の比較を示す図である。
ドの特徴の比較を示す図である。
【図５ｂ】従来技術のヘッドの特徴と本発明によるヘッ
ドの特徴の比較を示す図である。
ドの特徴の比較を示す図である。
【図６ａ】本発明によるマトリックスヘッドを製造する
際のステップを示す図である。
際のステップを示す図である。
【図６ｂ】本発明によるマトリックスヘッドを製造する
際のステップを示す図である。
際のステップを示す図である。
【図６ｃ】本発明によるマトリックスヘッドを製造する
際のステップを示す図である。
際のステップを示す図である。
１ 磁性下層 ２ コイル導体 ４、５、Ｐ１、Ｐ２ 磁極 ６ 間隙 ７ 磁性材料を有しない領域 ４０、４１、５０、５１ 端部 Ｂ 磁界誘導体（コイル） Ｅ 間隙
Claims (4)
- 【請求項１】 磁性層と、 この磁性層上に配置された少なくとも一つの磁界誘導体
と、 導体を含んでおりかつ磁性層の一部を覆う絶縁材料から
なる第一の領域と、 それぞれ磁性層に磁気的に結合された第一の端部と絶縁
材料からなる領域上にある間隙によって他方の磁極の第
二の端部から分離された第二の端部とを有しており、絶
縁材料からなる領域に重なる層からなる二つの磁極とを
備え、 磁性層の平面が、第一の端部間の磁極の下にある絶縁材
料からなり且つ、磁性材料を有しない第二の領域とを含
んでおり、磁極の第一の端部に結合された磁性層の一部
が磁性層の平面内に位置する磁性材料の少なくとも一つ
の要素によって互いに磁気的に結合されている磁気ヘッ
ド。 - 【請求項２】 磁極の第一の端部に結合された磁性層の
一部が、絶縁材料の第二の領域を囲む磁性層の二つの要
素によって互いに磁気的に結合される請求項１に記載の
磁気ヘッド。 - 【請求項３】 第二の領域が第一の領域に対応している
請求項１に記載の磁気ヘッド。 - 【請求項４】 第二の領域が導体の下にある請求項１に
記載の磁気ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9510658 | 1995-09-12 | ||
| FR9510658A FR2738657B1 (fr) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | Tete magnetique d'enregistrement/lecture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09120506A true JPH09120506A (ja) | 1997-05-06 |
Family
ID=9482460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8242149A Pending JPH09120506A (ja) | 1995-09-12 | 1996-09-12 | 磁気記録／読取ヘッド |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5745329A (ja) |
| EP (1) | EP0762388B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09120506A (ja) |
| DE (1) | DE69630745T2 (ja) |
| FR (1) | FR2738657B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007305185A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Seiko Instruments Inc | 近接場光ヘッド及び情報記録再生装置 |
| WO2011002071A1 (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | 国立大学法人北海道大学 | プローブおよびその製造方法ならびにプローブ顕微鏡ならびに磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
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|---|---|---|---|---|
| FR2723243B1 (fr) * | 1994-07-26 | 1996-09-06 | Thomson Csf | Dispositif d'enregistrement et/ou de lecture de tetes magnetiques et son procede de realisation |
| FR2786345B1 (fr) | 1998-11-24 | 2001-02-09 | Thomson Csf | Dispositif de cryptage quantique |
| US7149173B2 (en) * | 2000-10-17 | 2006-12-12 | Thales | Medium for recording optically readable data, method for making same and optical system reproducing said data |
| FR2824905B1 (fr) * | 2001-05-15 | 2003-08-29 | Thomson Csf | Gyrometre a fibre optique |
| US8014100B2 (en) * | 2007-05-04 | 2011-09-06 | International Business Machines Corporation | Planar servo write head |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924422A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-08 | Toshiba Corp | 磁気ヘツド |
| JPS61120313A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPS62114112A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| FR2605783B1 (fr) * | 1986-10-28 | 1992-05-15 | Thomson Csf | T ete magnetique d'enregistrement/lecture en couches minces et son procede de realisation |
| JPH01182908A (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-20 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| FR2630244B1 (fr) * | 1988-04-15 | 1990-07-13 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'ecriture et de lecture sur un support magnetique et son procede de fabrication |
| JPH01264619A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Seiko Epson Corp | 薄膜磁気ヘッド |
| FR2630853B1 (fr) * | 1988-04-27 | 1995-06-02 | Thomson Csf | Dispositif matriciel a tetes magnetiques notamment en couches minces |
| JPH01275059A (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-02 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘッドの製造方法 |
| FR2646000B1 (fr) * | 1989-04-14 | 1995-07-21 | Thomson Csf | Tete magnetique statique de lecture |
| FR2649526B1 (fr) * | 1989-07-04 | 1991-09-20 | Thomson Csf | Procede de fabrication de tetes magnetiques planaires par alveolage d'une plaquette non magnetique, et tetes magnetiques obtenues par un tel procede |
| JPH0440613A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜磁気ヘッド素子 |
| JP3200060B2 (ja) * | 1990-09-12 | 2001-08-20 | ソニー株式会社 | 薄膜磁気ヘッド |
-
1995
- 1995-09-12 FR FR9510658A patent/FR2738657B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-09-10 DE DE69630745T patent/DE69630745T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-09-10 EP EP96401926A patent/EP0762388B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1996-09-11 US US08/712,491 patent/US5745329A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-09-12 JP JP8242149A patent/JPH09120506A/ja active Pending
Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| JP2007305185A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Seiko Instruments Inc | 近接場光ヘッド及び情報記録再生装置 |
| JP4674817B2 (ja) * | 2006-05-09 | 2011-04-20 | セイコーインスツル株式会社 | 近接場光ヘッド及び情報記録再生装置 |
| WO2011002071A1 (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | 国立大学法人北海道大学 | プローブおよびその製造方法ならびにプローブ顕微鏡ならびに磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
| JP5578527B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2014-08-27 | 国立大学法人北海道大学 | プローブおよびその製造方法ならびにプローブ顕微鏡ならびに磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
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