JPH0911469A - インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置、インクジェット記録方法 - Google Patents

インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置、インクジェット記録方法

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JPH0911469A
JPH0911469A JP16591795A JP16591795A JPH0911469A JP H0911469 A JPH0911469 A JP H0911469A JP 16591795 A JP16591795 A JP 16591795A JP 16591795 A JP16591795 A JP 16591795A JP H0911469 A JPH0911469 A JP H0911469A
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JP
Japan
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ink
rotor
jet recording
liquid
liquid chamber
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Application number
JP16591795A
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English (en)
Inventor
Masaaki Izumida
昌明 泉田
Kiyomitsu Kudo
清光 工藤
Tsutomu Abe
力 阿部
Toshio Kashino
俊雄 樫野
Masahiko Ogawa
正彦 小川
Toshihiro Mori
利浩 森
Masami Ikeda
雅実 池田
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Original Assignee
Canon Inc
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419Manifold

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インクジェットヘッドに対する回復処理の軽
減、インク吐出量を変化させることが可能なインクジェ
ットヘッドを提供する。 【構成】 インクジェットヘッドの共通液室内に、回転
子を設け、これを回転させることによって上述の目的を
達成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、吐出口からインクを吐
出することで記録を行うインクジェット記録ヘッド、イ
ンクジェット記録装置、インクジェット記録方法に関す
るものであり、特に共通液室内に熱による気泡発生時の
圧力によって回転する回転子を有するインクジェット記
録ヘッド、インクジェット記録装置、インクジェット記
録方法に関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェット記録法(液体噴射記録
法)は、記録時における騒音の発生が無視し得る程度に
極めて小さいという点、高速記録が可能でありしかも所
謂普通紙に定着という特別な処理を必要とせずに記録を
行なえる点において最近関心を集めている。
【0003】その中で、例えば特開昭54−51837
号公報、ドイツ公開(DOLS)第2843064号公
報に記載されている液体噴射記録法は、熱エネルギーを
液体に作用させて、液滴吐出の為の原動力を得るという
点において、他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有
している。
【0004】即ち、上記の公報に開示されている記録法
は、熱エネルギーの作用を受けた液体が急峻な体積の増
大を伴う状態変化を起こし、該状態変化に基づく作用力
によって、記録ヘッド部先端のオリフィスより液体が吐
出されて、飛翔的液滴が形成され、該液滴が被記録部材
に付着し記録が行なわれるという特徴がある。
【0005】殊に、DOLS 2843064号公報に
開示されている液体噴射記録法は、所謂drop−on
demand 記録法に極めて有効に適用されるばか
りではなく、記録ヘッド部をfull lineタイプ
で高密度マルチオリフィス化された記録ヘッドが容易に
具現化出来るので、高解像度、高品質の画像を高速で得
られるという特徴を有している。
【0006】上記の記録法に適用される装置の記録ヘッ
ド部は、液体を吐出するために設けられたオリフィス
と、該オリフィスに連通し、液滴を吐出するための熱エ
ネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の
一部とする液流路とを有する液吐出部と、熱エネルギー
を発生する手段としての電気熱変換体とを具備してい
る。
【0007】
【発明が解決しようとしている課題】インクを吐出する
インクジェット技術においては、定期的もしくは、印字
開始前等に、吐出口からインクを排出する等の回復操作
が行われている。これは、ヘッドを駆動しない状態で放
置しておくと、ヘッド内のインク流路や液室中に気泡が
発生し、印字中のインク供給を防げてしまうことがある
が、この気泡を除去するためである。このような場合、
印字以外にインクを消費してしまうため、ランニングコ
ストを高くしてしまう事になる。さらに、この回復に使
われたインクの処理のために、プリンター本体に廃イン
ク処理を必要とし、プリンター本体のコストアップにな
ってしまうという解決すべき課題があった。
【0008】又、最近のインクジェットヘッドは、高速
印字のために、多ノズル化の傾向があるが、多ノズル化
すると、これに伴いヘッドの共通液室が大きくなり、液
室内のインクの量が増す。
【0009】このようにインクの量が増すと、インク自
体の熱伝導と熱容量や、印字中の使用ノズルの吐出量の
片寄りのために、液室内の温度の片寄りや、インクの粘
度のばらつきが発生する。それが各ノズルから1回に吐
出されるインク量に影響を与えるため、濃度ムラなどの
印字品位劣下を生じる虞れがあるという解決すべき課題
があった。
【0010】又、従来のインクジェット記録ヘッドは、
発熱体への1回あたりの印加エネルギーを調整しても吐
出量を十分に調整する事が困難であり、階調性を持たせ
ることが困難であった。それは、インクジェット記録ヘ
ッドが、インクの沸騰を使っており、沸騰気泡の大きさ
が、発熱体の面積と発熱体周辺のノズルの断面積に大き
く起因するため、印加エネルギーを変化させても泡の大
きさを変化させるには限界があるためである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出
する吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、該イ
ンク流路に対応して設けられ前記吐出口から液体を吐出
するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素
子と、前記インク流路にインクを供給するための共通液
室と、該液室内の液体に対して熱エネルギーを与えるた
めの発熱体と、該液室内に配され該発熱体の発熱に伴う
気泡の発生によって回転する回転子とを有し、前記発熱
体を駆動し回転子を回転させることで、インクを液室内
に導くことを特徴とするヘッドであり、もしくは、イン
クを吐出する吐出口と、該吐出口に連通するインク流路
と、該インク流路に対応して設けられ前記吐出口から液
体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギ
ー発生素子と、前記インク流路にインクを供給するため
の共通液室と、該液室内の液体に対して熱エネルギーを
与えるための発熱体と、該液室内に配され該発熱体の発
熱に伴う気泡の発生によって回転する回転子とを有し、
回転子を回転によって前記吐出口から吐出されるインク
の吐出量を変化させることを特徴とするヘッドである。
【0012】又、本発明のインクジェット記録装置は、
上述のいずれかのヘッドと、前記発熱体を駆動するため
の駆動信号供給手段とを有するインクジェット記録装置
である。
【0013】又、本発明のインクジェット記録方法は、
上述のインクジェット記録ヘッドを用い、前記発熱体を
駆動することでインクに気泡を発生させ、前記回転子を
回転させることで、インクを共通液室内に強制的に導く
ことを特徴とするインクジェット記録方法もしくは上述
のインクジェットヘッドを用い、前記発熱体を駆動する
ことでインクに気泡を発生させ、前記回転子を回転させ
ることで、前記吐出口から吐出されるインクの吐出量を
変化させることを特徴とするインクジェット記録方法で
ある。
【0014】このような構成により前述の課題を解決す
るものである。
【0015】
【実施例】以下、図を用いて、実施例を詳述する。
【0016】図1は、本発明に係るポンプを説明する断
面斜視図、図2は、ポンプの動作順序を説明する説明図
である。
【0017】図1において、103はポンプのエネルギ
ー発生源である発熱部、101は発生したエネルギーを
液流に変換する回転子、102は回転子101の受け
と、液体の供給、排出口を有する覆いである。基体10
9には、回転子101の羽根部104に相対する位置に
発熱部103が複数個配設されている。
【0018】まず、発熱部103を備える基体109の
構成を図3及び図4を用いて説明する。
【0019】まず、シリコン基板109上に蓄熱層30
1を熱酸化法により、SiO2 を1.2μm形成させ、
さらに層間絶縁膜をかねる302を、PE−CVD法に
より、SiO2 を1.2μm堆積させる。その後、発熱
抵抗体303を反応スパッタリング法で窒化タンタル膜
を1000Å堆積させ、さらに304配線層Al(アル
ミ)を5500Åスパッタ法により堆積させ、保護膜3
05(窒化シリコン)Si34 をPE−CVD法で1
μm堆積させ、さらに、耐キャビテーション層306と
してTa(タンタル)を2300Å堆積させる。発熱部
103は図のように抵抗体上のAl配線を抜いた所であ
る。
【0020】回転子101との位置関係は、図4の10
8の軸中心部と回転子の中心が軸受されており、回転子
翼104の圧力を受ける部分の下に発熱体103を設け
る。
【0021】発熱体103は、幅60μm、長さ300
μmのヒーターで、抵抗体303のシート抵抗21Ω/
口、抵抗値105Ωとすると、図5の発熱体駆動回路図
において、501印加電圧VH30V502、発熱体オ
ン時間20μsecで503トランジスタを駆動させる
と、回転に充分な膜沸騰が発熱部103に発生する。
【0022】この発熱体の膜構成は、インクジェット記
録ヘッド用基体と同じである事から、ヘッド基体内に作
り込む事ができた。
【0023】次に、前記発熱体103から発生したエネ
ルギーを受ける回転子101は、中心軸の周辺に複数の
羽根104を有した構造となっている。
【0024】図1では、羽根の枚数を3枚としたが、回
転子の大きさ、流す液体の量や粘度に応じて適宜選すれ
ば良い。前記回転子101の材質は発熱体104から発
生したエネルギーすなわち液体の発泡の圧力で浮上回転
し易くするため、比重の小さいプラスチック、例えば、
ポリプロピレンやポリエチレン等の汎用性のプラスチッ
クや、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォンなどの
エンプラでもよい。以上のプラスチックを用いれば、回
転子101の作製は射出成形で容易に生産することが可
能である。
【0025】本実施例の場合、回転子101の大きさ
は、最外径φ2mm、厚さ0.7mmとしたが、液の流
量によって大きさは任意に選定する。回転子101は、
覆い102のローターハウジング107内に落とし込ん
だ後、基体109と位置決め接合する。覆い102と基
体109との接合には、インクの漏洩を防ぐため、気密
性が要求され、インクの組成分に犯されない材質である
ことが必要である。本例においては、シリコーン系封止
剤TSE399(東芝シリコーン製)を用いたが、エポ
キシ系接着剤HP2R・HP2H(キヤノンケミカル
製)や、ウレタン系接着剤などでも上記要求項目を満た
すことが可能であった。覆い102は、回転子101と
同様のプラスチックによる射出成形やガラスのエッチン
グ加工などで作る。
【0026】覆い102には、前述したローターハウジ
ング107の他、回転子101の中心軸108上方に配
設された孔105と、基体109と接合されて流路を形
成する溝106とが備えられ、回転子の回転方向によっ
て、各開口部が液体の供給口あるいは排出口となる。
【0027】本実施例の回転子駆動条件においては、回
転子101は反時計方向に回転し、液体は基体109と
覆いの溝106とから形成された流路から液体が供給さ
れ、回転子101の回転軸上方向の開口部105から液
体が排出される。110,111は、発熱部103に電
気を通すための端子であり配線基板(不図示)とワイヤ
ーボンディングやTABボンディングによって接続され
る。
【0028】次に図2を用いて本実施例のポンプの動作
原理を説明する。
【0029】発熱部103に電圧を印加すると、液体が
発泡116を始め、羽根104が発泡の圧力から回転方
向の力を受けて回転子101が動き始める。最大発泡ま
で翼104は力を受け続け回転を続ける。泡が消泡に転
じた時点で羽根104が流路に出ると液体は消泡吸引力
で発熱部103に流れこむため、さらに羽根104に回
転方向に回る力が働き、次の羽根も消泡の吸引力で回転
方向へ力を受ける。完全に泡が消えた時、次の羽根は最
初の羽根のスタート位置にあり、これを繰り返す事で回
転翼は回転を続け吸引できる。
【0030】以上の原理でポンプが作動すると、本例の
構成の場合、水系のインクで粘度が4〜5cp程度であ
れば、約0.1cc/min〜5cc/minのインク
を流すことが可能である。また、回転の立上り、立下り
が速いので一定のインターバルをおいてポンプを作動さ
せても流量にムラがなく安定して供給することが可能で
ある。
【0031】図7は本発明に係るインクジェット記録カ
ートリッジ2000を示す。該インクジェット記録ヘッ
ドは、インクタンク部と2001ヘッド部1000から
概略構成されている。図8は上記インクジェット記録カ
ートリッジ2000の全体構成を示す説明図、図9はヘ
ッド部1000のインク吐出部周辺を説明する説明図で
ある。図10は、マイクロポンプ用回転子101の形状
を示す説明図である。図9に示す様にヘッド部1000
ベース板1007と、該ベース板上に位置決めされ、イ
ンク吐出エネルギー発生のための発熱部103が形成さ
れた基体109と、該基体上に位置決めされ、複数のイ
ンク流路を夫々区分するための隔壁1004や各インク
流路へインクを分配するための共通液室1005及びこ
の共通液室にインクを供給するための円筒状のインク受
け口1008を備えた天板1003と該天板の前面に一
体化され、各インク流路に夫々対応した吐出口1001
を複数有する吐出口形成部材1009とから構成されて
いる。
【0032】尚、本実施例において、これらの吐出口は
長さ約4.5mmに渡り等間隔に配設されており、基体
109上には、図9に示した様に吐出口1001と等間
隔で発熱部103が形成されている。この間隔の配設に
より本ヘッドの記録密度は約360dpi(dotts
per inch)という高精度になっている。
【0033】前記基体109の吐出口1001とは反対
側の共通液室1005内にインクをインクタンクより強
制的に吸引排出するマイクロポンプを駆動する発熱部1
03が形成されている。該発熱部と、前記吐出エネルギ
ー発生のための発熱部とは実施例1に示した発熱部を有
する基体と同様の構成からなり、発熱部の面積を吐出エ
ネルギー発生に合わせ105μm×40μmの寸法に変
更するだけで、同じ工程で作製することが可能である。
【0034】本実施例の場合前記吐出口形成部材100
9と天板1003の一体化は、プラスチックモールド化
することによって達成され、インク流路の溝1002を
具備していることから溝付天板1010と呼称する。
【0035】該溝付天板1010の共通液室部1005
には、マイクロポンプの回転子101が入るローターハ
ウジング107も具備しており、該ローターハウジング
107の上方には回転子101の回転中心軸108方向
にインクを供給排出するための円筒状インク受け口10
08を備えている。該溝付天板1010の材質は成形性
が良く、発熱抵抗素子103の熱による温度変化の少な
い低膨張率の材質が用いられる(例えばポリサルフォ
ン、ポリエーテルサルフォン)。成形後前記溝付天板1
010の吐出口面に撥水性被膜(サイトップCTX 旭
ガラス製)不図示を塗布し、形成する。基材の材質に応
じて、密着向上剤(シランカップリング剤A1110
日本ユニカ製)を塗布した後に前記撥水性被膜を形成す
るとより強固な密着強度が得られる。
【0036】該溝付天板1010の各溝部に相対したオ
リフィスプレート部にエキシマレーザーを用いて、吐出
口1001の穿孔を行う。
【0037】しかる後、該溝付天板のローターハウジン
グ107に、インク供給用回転子101aとインク排出
用回転子101bを組み込む。該2つの回転子は実施例
1と同様射出成形で作製したが、大きさ、形状によって
は実施例2に示した射出成形レーザー等による2次加工
で作製したものであっても良い。
【0038】一方、ベース板(Al板など)1007上
に基体109を位置決め接合すると共に、基体109と
記録装置本体との電気的接続をするための配線基板10
11を接合し、基体109と配線基板1011との間を
ワイヤーボンディングやTABなど(いずれも不図示)
によって接続する。しかる後前記回転子を組み込んだ溝
付天板1010の各インク流路と、基体109の各発熱
部103が相対するように位置決め接合され、さらに、
溝付天板1010の固定を強固にするために、溝付天板
押圧部材1012を溝付天板1010に押し当て、基体
109裏面と前記押圧部材1012の係合部1013と
を係合することによって固定する。次に前記溝付天板1
010へのインク供給排出を行うインク供給部材101
4を組み付ける。該インク供給部材1014の一端は、
溝付天板1010の2ケ所の円筒状インク受け口100
8と接続し、他の一端はインクタンク部2001とO−
リング1018を介して接続される。該インク供給部材
1014のインクタンク2001との接続口には異物な
どの侵入を防ぐためのフィルター1016が固定され、
ベース板1007との固定は、加締めやビス締め固定あ
るいは接着などによって行われる。該インク供給部材1
014は、インク供給路を成形で得るため、型のスライ
ドピンの抜け穴をふさぐ栓1019を組み込むことがあ
る。最後に前記インク供給部材1014の上部開口部1
015より各所の隙間をふさぎ気密性を確保すること
と、基体109と配線基板1011との接続部の保護を
目的として、封止剤(不図示)を充填する。封止剤とし
ては、流動性が良く、かつ乾燥硬化の時間の管理をしや
すいものであれば良い。本発明の記録ヘッドの場合、シ
リコーンシーラントTSE−399(東芝シリコーン
製)を用いたが他にウレタン系、エポキシ系などを用い
ても良い。
【0039】以上の工程を経て、インクジェット記録ヘ
ッド1000は完成される。
【0040】
【発明の効果】以上説明したインクジェットプリントヘ
ッドは、プリンター本体からの電気信号を受け発熱部を
加熱し、インクを発泡させる事によって回転する回転子
共通液室内に配置している。
【0041】この結果、以下の効果が得られる。
【0042】(1)共通液室やノズルに溜まる気泡を排
出できるので、各インク流路内に安定的にインクが供給
でき、印字品位が向上する。また、放置泡もサイズによ
っては、排出可能なので、インクの回復操作は日常コン
スタントに使っている場合は、不必要となり、半年から
1年放置し、使用していなかった場合のみ、行えばよく
なった。結果、インクの回復操作による無駄な消費がな
くなり、インクジェットヘッドのランニングコストを下
げる事ができた。また、プリンター本体の廃インク溜が
小さくできるため、プリンター本体の小型化、低コスト
化ができた。
【0043】(2)印字開始前に回転子を回す事で、イ
ンクを攪拌すると液室内のインクの温度と粘度を均一に
出来、結果、インクの液室内ムラによる濃度ムラを防止
し、印字品位を向上させる事ができた。
【0044】(3)吐出口のインクのメニスカス状態が
定常な時に、発熱部のインクを沸騰させた時の吐出量を
1とすると、回転子を回転させメニスカスがオリフィス
より出た所で、インクを吐出すると約1.5回転子を回
転させ、メニスカスが後退した所で、インクを吐出させ
ると約0.5のように吐出量を調整できた。
【0045】これにより、従来インクジェットプリント
ヘッドでは、不可能であった多値ノズルが可能となっ
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマイクロポンプを説明する部分断面斜
視図。
【図2】本発明のマイクロポンプのメカニズムの説明
図。
【図3】発熱部の構成を示す部分断面図。
【図4】発熱部の構成を示す平面図。
【図5】発熱体の駆動回路図。
【図6】本発明のインクジェット記録ヘッドの外観を示
す斜視図。
【図7】インクジェット記録ヘッドの構成を示す斜視
図。
【図8】インクジェット記録ヘッドの吐出口周辺部を説
明する部分断面図。
【図9】マイクロポンプ用の回転子の説明図。
【図10】従来のインクジェット記録の吐出口周辺の構
成を示す説明図。
【符号の説明】
101 回転子 102 覆い 103 発熱部 104 回転子羽根 105 液体流路穴 106 液体流路溝 107 ローターハウジング 108 回転子回転中心 109 基体 110 共通端子 111 個別端子 112 覆い 113 スピンドル軸 114 液体注入口 115 グリース 116 発泡 301 蓄熱層 302 層間絶縁膜 303 発熱抵抗体 304 配線層 305 保護膜 306 耐キャビテーション層 501 印加電圧VH 502 発熱体ON時間 503 トランジスタ 1000 ヘッド部 1001 吐出口 1002 インク流路 1003 天板 1004 流路壁部材 1005 共通液室 1006 インク供給系 1007 ベース板 1008 インク供給口 1009 吐出口形成部材 1010 溝付天板 1011 配線基板 1012 溝付天板押圧部材 1013 押圧部材係合部 1014 インク供給部材 1015 開口部 1016 フィルター 1017 栓 1018 O−リング 2000 インクジェット記録カートリッジ 2001 インクタンク部 2002 インクタンク容器 2003 インク保持部材 2004 タンクフタ 2005 キャップ 2006 カバー
フロントページの続き (72)発明者 樫野 俊雄 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 小川 正彦 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 森 利浩 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 池田 雅実 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インクを吐出する吐出口と、該吐出口に
    連通するインク流路と、該インク流路に対応して設けら
    れ前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発
    生する吐出エネルギー発生素子と、前記インク流路にイ
    ンクを供給するための共通液室と、該液室内の液体に対
    して熱エネルギーを与えるための発熱体と、該液室内に
    配され該発熱体の発熱に伴う気泡の発生によって回転す
    る回転子とを有し、前記発熱体を駆動し回転子を回転さ
    せることで、インクを液室内に導くことを特徴とするイ
    ンクジェット記録ヘッド。
  2. 【請求項2】 インクを吐出する吐出口と、該吐出口に
    連通するインク流路と、該インク流路に対応して設けら
    れ前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発
    生する吐出エネルギー発生素子と、前記インク流路にイ
    ンクを供給するための共通液室と、該液室内の液体に対
    して熱エネルギーを与えるための発熱体と、該液室内に
    配され該発熱体の発熱に伴う気泡の発生によって回転す
    る回転子とを有し、回転子を回転によって前記吐出口か
    ら吐出されるインクの吐出量を変化させることを特徴と
    するインクジェット記録ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記吐出エネルギー発生素子は、熱を発
    生することでインクに気泡を生じさせる電気熱変換体で
    ある請求項1若しくは2のいずれかに記載のインクジェ
    ット記録ヘッド。
  4. 【請求項4】 請求項1若しくは2のいずれかに記載の
    インクジェット記録ヘッドと、前記発熱体を駆動するた
    めの駆動信号供給手段とを有するインクジェット記録装
    置。
  5. 【請求項5】 前記吐出エネルギー発生素子は、熱を発
    生することでインクに気泡を生じさせる電気熱変換体で
    ある請求項4に記載のインクジェット記録装置。
  6. 【請求項6】 請求項1のインクジェット記録ヘッドを
    用い、前記発熱体を駆動することでインクに気泡を発生
    させ、前記回転子を回転させることで、インクを共通液
    室内に強制的に導くことを特徴とするインクジェット記
    録方法。
  7. 【請求項7】 請求項1のインクジェット記録ヘッドを
    用い、前記発熱体を駆動することでインクに気泡を発生
    させ、前記回転子を回転させることで、前記吐出口から
    吐出されるインクの吐出量を変化させることを特徴とす
    るインクジェット記録方法。
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