JP2000141663A

JP2000141663A - 液体吐出ヘッド、液体吐出方法及び液体吐出装置

Info

Publication number: JP2000141663A
Application number: JP24353299A
Authority: JP
Inventors: Masahiko Kubota; 雅彦久保田; Masaru Iketani; 優池谷
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1998-08-31
Filing date: 1999-08-30
Publication date: 2000-05-23

Abstract

(57)【要約】【課題】多値ヒータを用いること無く、高い階調性を
得ることができ、回路構成の簡素化、ヘッドの小型化を
図ることができ、さらに液体の流路で発生する気泡の体
積を制御することで、吐出する液滴の体積を変化させ、
被記録媒体上での濃度変化及びドット変化を実現する液
体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】吐出口から液体を吐出するために利用
される熱エネルギーを発生する発熱体と、該発熱体上に
設けられ前記発熱体を保護するための保護層と、を有
し、前記保護層はほぼ均一な所定の厚さをもつ第１の領
域と前記所定の厚さより薄いほぼ均一な厚さをもつ第２
の領域とを有し、前記発熱体に印加される電気エネルギ
ーを変化させることにより前記吐出口から吐出される液
体の滴の体積を変更することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，熱エネルギーを利
用して液体に気泡の発生を含む状態変化を生起させ、こ
の状態変化に伴って吐出口から液体を吐出させて記録を
行う液体吐出ヘッド用、液体吐出方法及び液体吐出装置
に関する。本発明は、一般的なプリント装置の他、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を
有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装
置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用する
ことができる。

【０００２】

【従来の技術】液体吐出装置、特にインクジェット記録
装置は、ノンインパクト記録装置として、静粛性の要求
される現代のビジネスオフィスやその他の事務処理部門
において理想的である。近年、一層の高密度化、高速の
記録性、更にはメンテナンスの一層の容易性の要求か
ら、更なる開発、改良が行われている。中でも、米国特
許第４７２３１２９号公報に開示の技術を利用したイン
クジェット記録装置は、その構造的な特徴から高密度、
高速の記録が十分に可能であるため、市場において高く
支持されている。又、記録ヘッドの高密度化、高速化を
達成し得る技術の一つとして、米国特許第４４２９３２
１号公報は、高度に集積化された構造をもつインクジェ
ット記録ヘッドを提案している。

【０００３】一方、一つの吐出口から一定の吐出量の滴
のみを吐出する記録ヘッドを用いて画質の高い記録を達
成するには、記録ヘッドの発熱素子の配設密度にかなり
依存することとなる。すなわち、同じ画素位置に複数回
インクを打ち込む方法を採ることとなるが、これは記録
ヘッドのスキャンの回数が必然的に多くなり、総体的な
プリント速度が遅くなる傾向にある、という課題をも
つ。

【０００４】一つの吐出口から異なる吐出量の滴を吐出
可能とするために、特公昭６２−４８５８５号は、一つ
のノズル内に複数の発熱素子を配置した多値出力のカラ
ーインクジェット記録ヘッドを提案している。これは、
いわゆる、「多値ヒーター」と称されるものである。例
えば、一つのノズル内にｎ個の発熱素子を設けてそれぞ
れ個別に駆動ドライバに接続し、独立して電圧を印加で
きるようにする。更には、一つのノズル内のそれぞれの
発熱素子毎で発熱量が異なるよう、発熱素子のサイズを
変更する。この場合、ｎ個の発熱素子による記録ドット
はそれぞれ異なり、同時に駆動される発熱素子の組み合
わせにより｛_nＣ_n-1＋_nＣ_n-2＋・・・＋ _nＣ₂＋_nＣ₁＋
１｝通りの記録ドットを形成することができる。つま
り、一つのノズルで｛_nＣ_n-1＋_nＣ_n-2＋・・・＋_nＣ₂＋
_nＣ₁＋１｝値の階調性を得ることができる。

【０００５】しかしながら、上記の構成では、発熱素子
に１：１に対応して駆動トランジスタ等の駆動素子を設
ける必要があるので、｛_nＣ_n-1＋_nＣ_n-2＋・・・＋_nＣ₂
＋_nＣ₁＋１｝値の階調性を得るためには、ノズル密度の
ｎ倍の密度が駆動素子に要求される。発熱素子の駆動素
子としては、バイポーラトランジスタ及びＮ−ＭＯＳト
ランジスタが使用されているが、ノズルに沿った方向で
の駆動素子の領域の長さの一例は約７０μｍである。例
えば、３６０ｄｐｉの記録ヘッドであれば、一つの駆動
素子の配設長さは（７０／ｎ）μｍであり、７２０ｄｐ
ｉの記録ヘッドであれば、（３５／ｎ）μｍの配設長さ
が要求される。この結果、駆動素子の密度を上げるため
に、トランジスタをｎ段構成にするなどの工夫が必要と
なる。この場合、制御回路配線が複雑になったり、記録
ヘッドの基体のサイズを大きくせざるを得ないこととな
ってしまう。この結果、コストアップにつながりやすく
なり、また、記録ヘッドの小型化の要求に対応するのが
困難となる。

【０００６】ところで、熱エネルギーを利用する液体吐
出技術が多方面に利用されるに従って、一層の高品位な
画質に対する要求の他、高粘度液体等の種々の液体を良
好に吐出する技術や、従来に比べて液体の吐出効率が高
い液体吐出技術が近年ますます望まれている。このよう
な観点からみた場合、特公昭６１−５９９１６号、特開
昭５５−８１１７２号、特開昭５９−２６２７０号等の
公報の様に、種々の液体吐出技術を開示したものがあ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】

【０００８】本発明の目的の一つは、一つのノズル内に
複数の発熱素子を配置した構造を用いなくとも、高い階
調性を簡易に得ることができ、回路構成の簡素化及び記
録ヘッドの小型化を達成することができる液体吐出ヘッ
ド、液体吐出方法及び液体吐出装置を提供することであ
る。

【０００９】また、本発明の他の目的は、液体の流路で
発生する気泡の体積を制御することで、吐出する液滴の
体積を変化させ、被記録媒体上での濃度変化及びドット
変化を実現することのできる液体吐出ヘッド、液体吐出
方法及び液体吐出装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、吐出口から液
体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する
発熱体と、該発熱体上に設けられ前記発熱体を保護する
ための保護層と、を有し、前記保護層はほぼ均一な所定
の厚さをもつ第１の領域と前記所定の厚さより薄いほぼ
均一な厚さをもつ第２の領域とを有し、前記発熱体に印
加される電気エネルギーを変化させることにより前記吐
出口から吐出される液体の滴の体積を変更することを特
徴とする液体吐出ヘッドに関するものである。

【００１１】又、本発明は、吐出口から液体を吐出する
ために利用される熱エネルギーを発生する発熱体と、該
発熱体上に設けられ前記発熱体を保護するための保護層
と、前記発熱体に面して設けられ、前記熱エネルギーに
よる気泡の発生に基づいて変位する自由端を前記吐出口
側にもつ可動部材と、を有し、前記保護層はほぼ均一な
所定の厚さをもつ第１の領域と前記所定の厚さより薄い
ほぼ均一な厚さをもつ第２の領域とを有し、前記発熱体
に印加される電気エネルギーを変化させることにより前
記吐出口から吐出される液体の滴の体積を変更すること
を特徴とする液体吐出ヘッドに関するものである。

【００１２】又、本発明は、上記のいずれかの液体吐出
ヘッドと、該液体吐出ヘッドを載置するための部材と、
を具備する液体吐出装置に関するものである。

【００１３】更に本発明は、吐出口から液体を吐出する
ために利用される熱エネルギーを発生する発熱体と、該
発熱体上に設けられ前記発熱体を保護するための保護層
と、を有し、前記保護層はほぼ均一な所定の厚さをもつ
第１の領域と前記所定の厚さより薄いほぼ均一な厚さを
もつ第２の領域とを有する液体吐出ヘッドを用いる液体
吐出方法であって、前記発熱体に印加する電気エネルギ
ーを変更することにより、前記発熱体上に発生する気泡
の大きさを、発泡の起点領域は前記第２の領域としたま
ま変更し、これにより前記吐出口から吐出される液体の
滴の体積を変更することを特徴とする液体吐出方法に関
するものである。

【００１４】また本発明は、吐出口から液体を吐出する
ために利用される熱エネルギーを発生する発熱体と、該
発熱体上に設けられ前記発熱体を保護するための保護層
と、前記発熱体に面して設けられ、前記熱エネルギーに
よる気泡の発生に基づいて変位する自由端を前記吐出口
側にもつ可動部材と、を有し、前記保護層はほぼ均一な
所定の厚さをもつ第１の領域と前記所定の厚さより薄い
ほぼ均一な厚さをもつ第２の領域とを有する液体吐出ヘ
ッドを用いる液体吐出方法であって、前記発熱体に印加
する電気エネルギーを変更することにより、前記発熱体
上に発生する気泡の大きさを、発泡の起点領域は前記第
２の領域としたまま変更し、これにより前記吐出口から
吐出される液体の滴の体積を変更することを特徴とする
液体吐出方法に関するものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】本明細書において、「プリント」
（「記録」という場合もある）とは、文字、図形等有意
の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、
また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであ
るか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像、模様、
パターン等を形成する、または媒体の加工を行う場合も
言うものとする。ここで、「プリント媒体」とは、一般
的なプリント装置で用いられる紙のみならず、広く、
布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミ
ックス、木材、皮革等、インクを受容可能なものも言う
ものとする。さらに、「インク」（「液体」という場合
もある）とは、上記「プリント」の定義と同様広く解釈
されるべきもので、プリント媒体上に付与されることに
よって、画像、模様、パターン等の形成またはプリント
媒体の加工、或いはインクの処理（例えばプリント媒体
に付与されるインク中の色剤の凝固または不溶化）に供
され得る液体を言うものとする。

【００１６】以下、図面を参照して本発明の実施形態を
詳細に説明する。以下の各図においては、同一の部分に
同一の参照番号を付している。

【００１７】図１は、本発明の一実施形態に係る液体吐
出ヘッド用基体の発熱素子の近傍領域を示す模式的平面
図である。図２（ａ）、（ｂ）は、図１で示された基体
をＸ−Ｘ’，Ｙ−Ｙ’の一点鎖線に沿って基板面に垂直
に切断した時の模式的断面図である。

【００１８】ここで、発熱素子（「発熱体」、更には
「発熱抵抗体」とも言う）を形成するための基板１２０
としては、Ｓｉ基板、あるいはすでに駆動用ＩＣを作り
込まれたＳｉ基板を用いる。Ｓｉ基板の場合は、熱酸化
法、スパッタ法、またはＣＶＤ法などによって発熱抵抗
体の下にＳｉＯ₂からなる蓄熱層を形成し、ＩＣを作り
込んだ基板も同様にその製造プロセス中で、ＳｉＯ₂の
蓄熱層を形成しておく。図２中では１０６が蓄熱層に相
当する。

【００１９】次に反応性スパッタリングなどの手法によ
り、ＴａＮ、ＨｆＢ₂、ＴａＡｌ等からなる発熱抵抗体
層１０７を約５０〜１０００Å程度、Ａｌ等の配線電極
層１０３をスパッタリングにより約０．２〜１．０μｍ
程度の厚さに形成する。

【００２０】次に、フォトリソグラフィ法を用いて、図
１に示す配線パターンを形成するために、リアクティブ
イオンエッチング法で、配線電極層、発熱抵抗体層と続
けてエッチングを行う。

【００２１】再びフォトリソグラフィ法を用いて、図１
に示されるように発熱部１０２を露出させるために、ウ
ェットエッチングにより配線電極層１０３の一部を除去
する。尚、配線電極１０３の図示していない端部は、Ｓ
ｉ基板の場合はワイヤーボンディング用のパッドとな
り、ＩＣを作り込んだ基板の場合にはスルーホールを介
して、不図示の下部の電極と接続する。

【００２２】次に、プラズマＣＶＤ法などにより第１の
保護層１０８を形成する。次に、図１に示すように、発
熱部１０２の液体吐出方向に関して下流側に保護層を薄
くした領域（「第２の領域」）１０５を形成するため
に、例えば、フォトリソグラフィ法を用いてマスクに窓
あけパターンを形成し、発熱抵抗体層１０７をエッチン
グストップ層として、第１の保護層１０８をウェットエ
ッチングする。その後、プラズマＣＶＤ法等を用いて、
第２の保護層１０９を形成する。本実施の形態では、発
熱抵抗体上における第２の領域以外の領域が、ほぼ「第
１の領域」に相当する。

【００２３】本発明において、上記のように第１の保護
層１０８を成膜し、発熱抵抗体層１０７をエッチングス
トップ層として第１の保護層１０８の一部をエッチング
した後に、第２の保護層１０９を形成する場合、第１の
保護層１０８と第２の保護層１０９とは、同一の材料か
らなるものであっても異なる材料からなるものであって
も良い。また、本発明では、材質、特にエッチング特性
の異なる２種類の保護層を積層し、両保護層の間での選
択エッチングにより、いずれかの保護層、特に上層の保
護層を除去して保護層を薄くした領域１０５を形成して
も良い。その場合の保護層の組み合わせとしては、例え
ば、第１の保護層１０８（下層）としてＳｉＮ膜を形成
し、第２の保護層１０９（上層）としてＰＳＧ（フォス
フォシリケートガラス）膜を形成し、バッファードフッ
酸の選択エッチングにより上層のＰＳＧ膜の一部を所望
の面積分除去することにより、保護層を薄くした領域１
０５を形成することができる。あるいは下層をＳｉＯ₂
膜とし、上層をＳｉＮ膜として、熱リン酸を用いて同様
に上層を選択エッチングすることにより、保護層を薄く
した領域１０５を形成することができる。第１の保護
層、第２の保護層の各厚みは、使用する材料の熱伝導
性、保護層を薄くした領域１０５の面積、制御する吐出
量等を勘案して適宜最適になる様形成すれば良い。ただ
し、少なくとも保護層を薄くした領域１０５では、保護
層としての機能を達成し得るような膜厚に形成されてい
ることが必要であり、また、十分な階調性を確保するた
めには、薄くした領域１０５と通常の領域との膜厚は、
３０００〜９０００Å程度の差を設けるのが望ましい。
本発明において、保護層を薄くした領域１０５の面積
は、所望の吐出量が得られる様に、各材料或いは膜厚を
勘案して適宜設定すれば良い。

【００２４】次に耐キャビテーション用の層としてのＴ
ａなどの不働態を形成する金属膜を図２の１１０のよう
にスパッタリング法によって、約１０００〜５０００Å
形成する。最後にフォトリソグラフィ法を用いて、配線
層１０３、１０４の所望の位置にパッドの窓あけを行っ
て、インクジェット記録ヘッドの基体１０１を形成す
る。

【００２５】記録ヘッド用基体の完成後は、図３に示す
ように、インクの吐出のための吐出口１１１等が形成さ
れ、インクジェット記録ヘッドが完成する。ここで液流
路１１３は、各吐出口に記録液を供給するための共通液
室１１２に連通しており、それぞれ天板１１９に設けら
れた分離壁１２１により分離されている。この共通液室
１１２には、必要に応じて、不図示の液供給口を通じて
記録ヘッド外部から記録液が導入される。また、天板１
１９を接合するに際しては、発熱部１０２が、液流路１
１３のそれぞれに対応するように十分に位置合わせをす
ることが望ましい。かくして、天板１１９と基体１０１
とを接合し、液流路１１３を形成する。また、電極１０
３には、記録ヘッドの外部から所望のパルス信号を印加
するための電極リードを有する不図示のリード基体が付
設する。この様にして、図３に示すようなインクジェッ
ト記録ヘッドが完成する。

【００２６】なお、液体吐出口や液流路等の形成は、図
３に例示するような溝付き天板を設ける方法である必要
は必ずしも無く、感光性樹脂のパターニング等により液
流路の側壁を形成する方法であっても良い。また、本発
明は、上述したような複数の吐出口を有するマルチアレ
イタイプのインクジェット記録ヘッドのみに限定される
ものではなく、液体吐出口が１つのシングルアレイタイ
プのインクジェット記録ヘッドにも適用できるものであ
る。

【００２７】次に、図５を用いて、本発明の他の実施形
態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。図５に示す
ように、基体１０１上に、感光性樹脂（ドライフィル
ム）をスピンナーで塗布した後、フォトリソグラフィ法
を用いて露光、現像して、各発熱部１０２毎に、発泡液
を供給するための第２の液流路１１４の形成を行う。そ
して、可動部材を構成する分離壁１１５は、ニッケル等
の金属等で形成する。

【００２８】図５は、本発明の他の実施形態に係る液体
吐出ヘッドを流路方向に沿って示す模式的断面図であ
る。図６は、この液体吐出ヘッドの要部を示す模式的部
分破断斜視図である。発熱部１０２が設けられた基体１
０１上に、発泡液用の第２の液流路１１４があり、その
上に吐出口１１１に直接連通した吐出液用の第１の液流
路１１３が配されている。そして、第１と第２の流路の
間に、金属等の弾性を有する材料で構成された分離壁１
１５が配されており、第１の液流路１１３内の吐出液と
第２の液流路１１４内の発泡液とを区分している。な
お、後述するように、発泡液と吐出液を同じ液体とする
場合には、共通液室を一つにして共通化させても良い。

【００２９】第２の液流路１１４の高さは、発熱部１０
２で発生する気泡の最大高さよりも低くなるように形成
することが好ましく、特に保護層を薄くした領域１０５
で発生する気泡の最小高さよりも低くして、該領域１０
５で発生した気泡が第１の液流路へ延在するように形成
することはより好ましい。このように第２の液流路１１
４の高さは、所望の吐出圧が得られる様適宜最適の範囲
に形成すれば良い。

【００３０】なお、以上の説明では、可動部材を構成す
る分離壁１１５としてニッケルを例示したが、これに限
定されること無く、可動部材、分離壁を構成する材料と
しては、発泡液と吐出液に対して十分な耐液性があり、
発泡によるエネルギーを吐出液に良好に伝達するための
弾性を有し、微細なスリットを形成できるものであれば
良い。

【００３１】可動部材の材料としては、耐久性の高い材
料としては、前記したニッケルのほか、銀、金、鉄、チ
タン、アルミニウム、白金、タンタル等の金属、ステン
レス、リン青銅等を含む前記金属或いはその他の金属の
合金、或いは、ポリアクリロニトリル等のニトリル基を
有する樹脂、ブタジエン樹脂、スチレン樹脂、ポリアミ
ド等のアミド基を有する樹脂、ポリカーボネート等のカ
ルボキシル基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデ
ヒド基を有する樹脂、ポリサルフォン等のスルホン基を
有する樹脂、その他、液晶ポリマー等の樹脂及びその化
合物等が挙げられる。また、耐インク性の高い材料とし
ては、金、タングステン、タンタル、ニッケル、チタン
等の金属、ステンレス等の合金、これらを表面にコーテ
ィングしたもの、或いは、ポリアミド等のアミド基を有
する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を有する樹
脂、ポリエーテルエーテルケトン等のケトンを有する樹
脂、ポリイミド等のイミド基を有する樹脂、フェノール
樹脂等の水酸基を有する樹脂、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン等のポリアルキレン樹脂、エポキシ樹脂等のエポ
キシ基を有する樹脂、メラミン樹脂等のアミノ基を有す
る樹脂、キシレン樹脂等のメチレン基を有する樹脂及び
これらの化合物、更に、二酸化珪素等のセラミックなど
が望ましい。

【００３２】分離壁の材料としては、上記可動部材と同
様のものが使用でき、可動部材と一体に形成しても別部
材で形成しても良い。又、分離壁の厚さは、分離壁とし
ての強度を達成でき、可動部材として良好に動作すると
いう観点からその材質と形状等を考慮して決定すれば良
いが、０．５〜１０μｍ程度が望ましい。

【００３３】なお、可動部材と分離壁との間の隙間（ス
リット）の幅は、例えば発泡液と吐出液とが異なる液体
であり、両液体の混液を防止したい場合は、両液体の間
でメニスカスを形成する程度の間隔とし、それぞれの液
体の流通を抑制すれば良い。例えば、発泡液として２ｃ
Ｐ程度の液体を用い、吐出液として１００ｃＰ以上の液
体を用いた場合には５μｍ程度でも混液を防止すること
ができるが、３μｍ以下とするのが望ましい。

【００３４】発熱部１０２の面方向上方への投影空間
（以下、「吐出圧発生領域」という。図５中のＡの領域
とＢの気泡発生領域）に位置する部分の分離壁１１５
は、スリット１１８によって吐出口側（液体流れの下流
側）が自由端で、共通液室（１１２、１１７）側に支点
が位置する片持梁形状の可動部材１１６となっており、
気泡発生領域Ｂに面して可動部材１１６が配されている
ような構成になっている。このため、後述するように発
泡液の発泡によって第１液流路１１３側に開口するよう
に動作する（図中矢印方向）。図６においても、上記発
熱部１０２と、この発熱部に電気信号を印加するための
配線電極１０３、１０４とが配された基体１０１上に、
第２の液流路１１４を構成する空間を介して分離壁１１
５が配置されている。

【００３５】記録ヘッド用基体の完成後は、図７に示す
ように、インクを吐出する吐出口１１１等が形成され、
液体吐出ヘッドが完成する。ここで、液流路１１３は、
各吐出口に記録液を供給するための共通液室１１２に連
通しており、それぞれ天板１１９に設けられた分離壁１
２１により分離されている。この共通液室１１２には、
必要に応じて、不図示の液供給口を通じてヘッド外部か
ら吐出液が導入される。又、天板１１９を接合するに際
しては、発熱部１０２及び可動部材１１６のそれぞれ
が、第１の液流路１１３のそれぞれに対応するように十
分に位置合わせをすることが望ましい。かくして、天板
１１９と基体１０１とを接合し、吐出圧発生領域Ａに連
通する液体吐出口１１１を設ける。又、電極１０３、１
０４には、ヘッドの外部から所望のパルス信号を印加す
るための電極リードを有する不図示のリード基体が付設
する。このようにして、図７に示すような液体吐出ヘッ
ドが完成する。

【００３６】発泡液と吐出液とは、同じ液体を用いて
も、また異なる液体を用いてもよい。同じ液体を用いる
場合は、発熱体から加えられる熱によって劣化せずに、
また加熱によって発熱体上に堆積物を生じにくく、熱に
よって気化、凝縮の可逆的状態変化を行うことが可能で
あり、更に液流路や可動部材や分離壁等を劣化させない
液体であれば、種々の液体を用いることができる。

【００３７】このような液体のうち、記録のために用い
られる第１の液体（吐出液）としては、従来の記録装置
で採用されていた組成のインクを用いることができる。

【００３８】一方、発泡液と吐出液とを別の液体とする
場合には、発泡液としては前述のような性質を有する液
体であればよく、具体的には、メタノール、エタノー
ル、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ヘキサ
ン、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、トルエン、キシレ
ン、二塩化メチレン、トリクロロエチレン、「フレオン
ＴＦ」、「フレオンＢＦ」（共にデュポン社の商品
名）、エチルエーテル、ジオキサン、シクロヘキサン、
酢酸メチル、酢酸エチル、アセトン、メチルエチルケト
ン、水等及びこれらの混合物が挙げられる。又、この場
合の吐出液としては、発泡性の有無、熱的性質に関わり
なく様々な液体を用いることができる。特に、従来吐出
が困難であった発泡性の低い液体、熱によって変質、劣
化しやすい液体あるいは高粘度液体等であってもよい。

【００３９】なお、以上の説明では、液体吐出方向に関
して下流側に保護層を薄くした領域１０５を設けた形態
を説明したが、該領域１０５は発熱部１０２上であれば
どの部分に形成しても良い。ただし、気泡のパワーを確
実に液体に伝えるためには、上述した様に液体吐出方向
前部に形成することが好ましい。また、各発熱部１０２
上に各一つの領域１０５を形成しているが、複数の領域
に分けて形成しても良い。

【００４０】また、本発明は、図３に示す形態を有する
流路群と、図７に示す形態を有する流路群と、を近接し
て配し、両者を使い分ける形態をも含むものである。さ
らに、図３及び図７における符号Ｉは、複数の発熱体を
それぞれ独立に駆動するために設けられた機能素子を有
する駆動回路が、複数の発熱体が設けられた基体１０１
の内部に設けられた領域を示すものである。

【００４１】図９は、本発明に係る液体吐出ヘッドが装
着される液体吐出装置の一例を示す模式的斜視図であ
る。図９において、６０１は上記の方法で作製した液体
吐出ヘッドである。このヘッド６０１は、駆動モータ６
０２の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア６０３及び６
０４を介して回転するリードスクリュ６０６の螺旋溝６
０５に対して係合するキャリッジ６０７上に搭載されて
おり、上記駆動モータ６０２の動力によってキャリッジ
６０７とともにガイド６０８に沿って矢印ａ及びｂ方向
に往復移動される。図示しない記録媒体供給装置によっ
てプラテン６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐの紙押
さえ板６１０は、キャリッジ移動方向にわたってプリン
ト用紙Ｐをプラテン６０９に対して押圧する。

【００４２】上記リードスクリュ６０６の一端の近傍に
は、フォトカプラ６１１及び６１２が配設されている。
これらはキャリッジ６０７のレバー６０７ａのこの域で
の存在を確認して駆動モータ６０２の回転方向切り換え
等を行うためのホームポジション検知手段である。

【００４３】図において６１３は、上述の液体吐出ヘッ
ド６０１の吐出口のある前面を覆うキャップ部材６１４
を支持する支持部材である。又、６１５はキャップ部材
６１４の内部にヘッド６０１から空吐出等されて溜まっ
たインクを吸引するインク吸引手段である。この吸引手
段６１５によりキャップ内開口部６１６を介してヘッド
６０１の吸引回復が行われる。６１７はクリーニングブ
レードであり、６１８はブレード６１７を前後方向（上
記キャリッジ６０７の移動方向に直交する方向）に移動
可能にする移動部材であり、ブレード６１７及び移動部
材６１８は本体支持体６１９に支持されている。上記ブ
レード６１７はこの形態に限らず、他の周知のクリーニ
ングブレードであってもよい。６２０は吸引回復操作に
あたって、吸引を開始するためのレバーであり、キャリ
ッジ６０７と係合するカム６２１の移動に伴って移動
し、駆動モータ６０２からの駆動力がクラッチ切り換え
等の公知の伝達手段で移動制御される。ヘッド６０１に
設けられた発熱部１０２に信号を付与したり、前述した
各機構の駆動制御を司ったりする液体吐出制御部は装置
本体側に設けられており、ここには図示しない。

【００４４】以上の構成を有する液体吐出装置６００
は、図示しない被記録材給送装置によりプラテン６０９
上を搬送されるプリント用紙Ｐに対し、ヘッド６０１は
用紙Ｐの全幅にわたって往復移動しながら記録を行う。

【００４５】記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に
対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドに
対しても、本発明は有効に適用できる。そのような記録
ヘッドとしては、複数の記録ヘッドの組み合わせによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれかでもよい。

【００４６】又、搭載される記録ヘッドの種類ないし個
数についても、例えば単色のインクに対応して１個のみ
が設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数の
インクに対応して複数個数設けられるものであってもよ
い。即ち、例えば記録ヘッドを一体的に構成するか複数
個の組み合わせによるかのいずれでもよいが、異なる色
の複色カラー、または混色によるフルカラーの各記録モ
ードの少なくとも一つを備えた装置にも、本発明は極め
て有効である。

【００４７】

【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるもの
ではない。

【００４８】実施例１図１、図２に示すように、Ｓｉ基板１２０上に、反応性
スパッタリングにより、発熱抵抗体としてＴａＮ層１０
７を約５００Å、電極配線としてのＡｌ層１０３、１０
４をスパッタリングにより約５５００Åの厚さに形成す
る。次に、フォトリソグラフィ法を用いて、図１の１０
２で示される発熱部を露出させるためにウェットエッチ
ングによりＡｌを除去する。このようにして形成される
発熱部の面積は、４０×１５０μｍ²であった。

【００４９】次に、保護層としてＰＳＧ膜をプラズマＣ
ＶＤ法により、図２に示すように約７０００Åの厚さに
形成する。次に、図１に示すように保護層を薄くした領
域１０５にフォトリソグラフィ法により窓空けパターン
を形成するために、発熱抵抗体のＴａＮ層１０７をエッ
チングストップ層として、バッファードフッ酸を用いて
ＰＳＧ膜をウェットエッチングする。このようにして形
成された保護膜除去領域の面積は、４２×５０μｍ²で
あった。

【００５０】この上に、プラズマＣＶＤ法により第２の
保護層としてＳｉＮ膜を４０００Å成膜した。更にＴａ
膜をスパッタリング法により約２５００Å形成し、所望
のパッドの窓空けを行って、本実施例のインクジェット
記録ヘッド用基体を作製した。

【００５１】この基体に対して、径が３０μｍの吐出口
が設けられた吐出口プレートが一体化された溝付き天板
を接合することにより、インクジェット記録ヘッドを製
造した。

【００５２】図４（ａ）に示すように、発熱部１０２全
体に膜沸騰による気泡Ａが発生する温度まで加熱する電
圧パルス（幅：５μｓ、高さ：２５Ｖ）を印加すること
により、吐出量が８０ｎｇの滴を得た。また、ドライバ
の制御により、発熱部全体から気泡Ａを発生させるのに
必要な電圧の２／３程度の電圧を同程度のパルス幅で印
加することにより、図４（ｂ）に示すように、保護層を
薄くした領域１０５のみで膜沸騰による気泡Ｂを発生さ
せ、吐出量が２０ｎｇの滴を得た。

【００５３】なお、本実施例では、３値の階調性（図４
（ｃ）の無吐出を含む）を示しているが、発熱部上の保
護層の厚さを３段以上の階段状にすることにより、更な
る多値化も可能である。また、本実施例では、気泡のパ
ワーを発熱抵抗体への印加電圧で制御しているが、これ
に限られるものではなく、パルス長や、パルス形状等に
よっても制御できるものである。

【００５４】実施例２実施例１と同様にして発熱抵抗体及び配線材料を成膜し
た後、発熱部を露出させた基板上に、第１の保護層とし
てＳｉＮ膜を７０００Å、第２の保護層としてＰＳＧ膜
を４０００Å成膜した。しかる後、発熱部の保護層を薄
くした領域１０５を形成するために、フォトレジストを
塗布してパターニングし、このフォトレジストをマスク
にバッファードフッ酸を用いてＰＳＧ膜をウェットエッ
チングした。その後、実施例１と同様に耐キャビテーシ
ョン層及び耐インク層としてのＴａ膜をスパッタリング
により約２５００Å形成し、窓あけを行って本実施例の
インクジェット記録ヘッド用基体を作製した。

【００５５】この基体を用いて実施例１と同様にしてイ
ンクジェット記録ヘッドを作製した。実施例１と同様に
印加電圧を調整してインク吐出を行ったところ、実施例
１と同様に３階調の吐出が可能であった。

【００５６】実施例３実施例１と同様にして発熱抵抗体及び配線材料を成膜し
た後、発熱部を露出させた基板上に、第１の保護層とし
てＳｉＯ₂膜を７０００Å、第２の保護層としてＳｉＮ
膜を４０００Å成膜した。しかる後、発熱部の保護層を
薄くした領域１０５を形成するために、フォトレジスト
を塗布してパターニングし、このフォトレジストをマス
クに熱リン酸を用いてＳｉＮ膜をウェットエッチングし
た。その後、実施例１と同様に耐キャビテーション層及
び耐インク層としてのＴａ膜をスパッタリングにより約
２５００Å形成し、窓あけを行って本実施例のインクジ
ェット記録ヘッド用基体を作製した。

【００５７】この基体を用いてインクジェット記録ヘッ
ドを作製した。実施例１と同様に印加電圧を調整してイ
ンク吐出を行ったところ、実施例１と同様に３階調の吐
出が可能であった。

【００５８】実施例４図１、図２に示すように、Ｓｉ基板１２０上に、反応性
スパッタリングにより、発熱抵抗体としてＴａＮ層１０
７を約５００Å、電極配線としてのＡｌ層１０３、１０
４をスパッタリングにより約５５００Åの厚さに形成す
る。次にフォトリソグラフィ法を用いて、図１の１０２
で示される発熱部を露出させるために、ウェットエッチ
ングによりＡｌを除去する。このようにして形成される
発熱部の面積は４０×１００μｍ²であった。

【００５９】次に、保護層としてＰＳＧ膜をプラズマＣ
ＶＤ法により、図２に示すように約７０００Åの厚さに
形成する。次に、図１に示すように保護層を薄くした領
域１０５にフォトリソグラフィ法により窓空けパターン
を形成するために、発熱抵抗体のＴａＮ層１０７をエッ
チングストップ層としてバッファードフッ酸を用いてＰ
ＳＧ膜をウェットエッチングする。このようにして形成
された保護膜除去領域の面積は４２×４０μｍ²であっ
た。

【００６０】この上に、プラズマＣＶＤ法により第２の
保護層としてＳｉＮ膜を４０００Å成膜した。更にＴａ
膜をスパッタリング法により約２５００Å形成し、所望
のパッドの窓空けを行って、本実施例のインクジェット
記録ヘッド用基体を作製した。

【００６１】次に、図５、図７に示すように、各発熱部
間に第２の液流路１１４を構成する流路壁を形成するた
め、厚さ１５μｍのドライフィルムをスピンナーで塗布
した後、フォトリソグラフィー法を用いて各流路を形成
した。そして、厚さ５μｍのニッケルで分離壁１１５を
設けた。分離壁１１５には各流路毎に可動部材１１６が
形成されており、その寸法は４０×２５０μｍであっ
た。

【００６２】さらにその上に、径が３０μｍの吐出口が
設けられた吐出口プレートが一体化された溝付き天板を
接合することにより、図５〜７に示すインクジェット記
録ヘッドを製造した。次に、発泡液及び吐出液としてそ
れぞれ下記組成のものを使用し、液体吐出動作について
確認した。

【００６３】発泡液エタノール４０重量％水６０重量％吐出液（染料インク：粘度２ｃP）染料（C.I.フードブラック２）３重量％ジエチレングリコール１０重量％チオジグリコール５重量％エタノール３重量％水残部

【００６４】図８（ａ）に示すように発熱部１０２全体
に気泡Ａが発生する温度まで加熱する電圧パルス（幅：
５μｓ、高さ：２５Ｖ）を発熱部に印加することによ
り、吐出量が８０ｎｇの滴を得た。また、ドライバの制
御により、発熱部全体から気泡Ａを発泡させるのに必要
な電圧の２／３程度の電圧を同程度のパルス幅で印加す
ることにより、図８（ｂ）に示すように保護層を薄くし
た領域１０５のみで気泡Ｂを発生させ、吐出量が２０ｎ
ｇの滴を得た。

【００６５】なお、本実施例では、３値の階調性（図８
（ｃ）の無吐出を含む）を示しているが、発熱部上の保
護層の厚さを３段以上の階段状にすることによって、更
なる多値化も可能である。また、本実施例では、気泡の
パワーを発熱抵抗体への印加電圧で制御しているが、こ
れに限られるものではなく、パルス長や、パルス形状等
によっても制御できるものである。

【００６６】実施例５実施例４と同様にして発熱抵抗体、配線材料を成膜した
後、発熱部を露出させた基板上に、第１の保護層として
ＳｉＮ膜を７０００Å、第２の保護層としてＰＳＧ膜を
４０００Å成膜した。しかる後、発熱部の保護層を薄く
した領域１０５を形成するためにフォトレジストを塗布
してパターニングし、このフォトレジストをマスクにバ
ッファードフッ酸を用いてＰＳＧ膜をウェットエッチン
グした。その後、実施例４と同様に耐キャビテーション
膜としてのＴａ膜をスパッタリングにより約２５００Å
形成し、窓あけを行ってインクジェット記録ヘッド用基
体を作製した。

【００６７】この基体を用いて、実施例４と同様にして
インクジェット記録ヘッドを作製した。実施例４と同様
に印加電圧を調整してインク吐出を行ったところ、実施
例４と同様に３階調の吐出が可能であった。

【００６８】実施例６実施例４と同様にして発熱抵抗体、配線材料を成膜した
後、発熱部を露出させた基板上に、第１の保護層として
ＳｉＯ₂膜を７０００Å、第２の保護層としてＳｉＮ膜
を４０００Å成膜した。しかる後、発熱部の保護層を薄
くした領域１０５を形成するためにフォトレジストを塗
布してパターニングし、このフォトレジストをマスクに
熱リン酸を用いてＳｉＮ膜をウェットエッチングした。
その後、実施例４と同様に耐キャビテーション膜として
のＴａ膜をスパッタリングにより約２５００Å形成し、
窓あけを行って本実施例のインクジェット記録ヘッド用
基体を作製した。

【００６９】この基体を用いて、実施例４と同様にして
インクジェット記録ヘッドを作製した。実施例４と同様
に印加電圧を調整してインク吐出を行ったところ、実施
例４と同様に３階調の吐出が可能であった。

【００７０】実施例７発熱抵抗体の層を次のように形成した点を除いて、実施
例１と同様のインクジェット記録ヘッドを製造した。

【００７１】本実施例では、発熱抵抗体の層として、プ
ラズマＣＶＤ法を用いてポリシリコン膜を形成した。そ
して、イオン・インプランテーション法を用いて、Ｂ、
Ｐ、Ａｓなどの不純物原子をポリシリコン膜に打ち込ん
だ。その後、この不純物を発熱抵抗体層内に均一に拡散
させるために、５００〜６００℃で３０分〜１時間のア
ニールを行った。次に、フォトリソグラフィ・プロセス
を用いて、発熱抵抗体層をパターニングした。

【００７２】本実施例では、ポリシリコンからなる発熱
抵抗体層に上記不純物をドープすることにより、正の温
度係数をもつ発熱抵抗体を形成することができる。これ
により、環境温度の上昇に伴い、発熱抵抗体の抵抗値が
大きくなる。一方、記録ヘッドの温度上昇に伴い、シキ
ソトロピー性を通常もつインクは、粘度が下がって動き
やすくなる。このため、発熱体への投入エネルギーに対
する温度上昇による影響は相殺される方向にある。この
結果、温度上昇による影響をさほど考慮しなくとも、発
熱体への投入エネルギーに基づいて吐出される液滴量を
適切に制御することができる。

【００７３】本実施例においても実施例１と同様に印加
電圧を調整してインク吐出を行ったところ、３階調の吐
出が可能であった。

【００７４】実施例８発熱抵抗体の層として実施例７と同じ材料を用いた点を
除いて、実施例４と同様のインクジェット記録ヘッドを
製造した。

【００７５】本実施例においても、実施例４と同様に印
加電圧を調整してインク吐出を行ったところ、３階調の
吐出が可能であった。

【００７６】

【発明の効果】本発明によれば、一つの吐出口から吐出
される液滴の体積を、簡易に複数段階に変化させること
ができる。また、一つのノズルに複数の発熱素子を配置
する必要はなく、一つの発熱素子に入力させる信号を選
択的に変えることによって達成することができる。さら
に、発熱素子を必要以上に高密度に配列する必要がない
ので、回路構成の簡素化及び記録ヘッドの小型化を図る
ことができる。

【００７７】加えて、本発明は、部分的に保護層の薄い
領域を有するので、通常の液体吐出量を得るために必要
な消費電力を従来より低減できる、という効果も奏す
る。

【００７８】本発明では、発熱体上の保護層については
ほぼ均一な所定の厚さをもつ第１の領域と前記所定の厚
さより薄いほぼ均一な厚さをもつ第２の領域とを段状に
設ける。これにより、所定の印加エネルギーに対する各
領域における到達温度が異なるので、いわばデジタル的
な簡易な階調記録を高い実現性をもって達成することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド用基
体を示す模式的平面図である。

【図２】（ａ）は、図１をＸ−Ｘ’の一点鎖線で垂直に
切断したときのヘッド用基体を示す模式的断面図、
（ｂ）はＹ−Ｙ’の一点鎖線で垂直に切断したときのヘ
ッド用基体を示す模式的断面図である。

【図３】本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの要
部を示す模式的部分破断斜視図である。

【図４】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施形態に係る
液体吐出ヘッドにおける吐出量制御を説明するための模
式図である。

【図５】本発明の他の実施形態に係る液体吐出ヘッドを
示す模式的断面図である。

【図６】図５の液体吐出ヘッドの要部を示す模式的部分
破断斜視図である。

【図７】図５の液体吐出ヘッドを示す模式的部分破断斜
視図である。

【図８】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の他の実施形態に係
る液体吐出ヘッドにおける吐出量制御を説明するための
模式図である。

【図９】本発明の一実施形態に係る液体吐出装置の一例
を示す模式的斜視図である。

【符号の説明】

１０１液体吐出ヘッド用基体１０２発熱部１０３、１０４配線電極１０５保護層を薄くした領域１０８第１の保護層１０９第２の保護層１１０耐キャビテーション層１１１液体吐出口１１２共通液室１１３液流路（第１の液流路）１１４第２の液流路１１５分離壁１１６可動部材１１７共通液室１１８スリット１１９天板１２０基板１２１分離壁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吐出口から液体を吐出するために利用さ
れる熱エネルギーを発生する発熱体と、該発熱体上に設
けられ前記発熱体を保護するための保護層と、を有し、前記保護層はほぼ均一な所定の厚さをもつ第１の領域と
前記所定の厚さより薄いほぼ均一な厚さをもつ第２の領
域とを有し、前記発熱体に印加される電気エネルギーを
変化させることにより前記吐出口から吐出される液体の
滴の体積を変更することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】前記第２の領域が前記第１の領域より前
記吐出口に近い側に配設されていることを特徴とする請
求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】前記保護層が複数層の保護層からなり、
前記第１の領域は前記複数層の保護層からなり、前記第
２の領域は前記複数層の保護層のうちのいずれかの保護
層が除去されてなることを特徴とする請求項１に記載の
液体吐出ヘッド。
【請求項４】前記第２の領域は、下層の保護層をエッ
チングした後、上層の保護層を成膜することにより形成
されてなることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出
ヘッド。
【請求項５】前記下層の保護層がフォスフォシリケー
トガラス膜からなり、前記上層の保護層がＳｉＮ膜から
なり、前記エッチングがバッファードフッ酸によって行
われたものであることを特徴とする請求項４に記載の液
体吐出ヘッド。
【請求項６】前記複数層の保護層が互いにエッチング
特性の異なる材料からなり、前記第２の領域は、前記複
数層の保護層を形成した後、上層の保護層のみを選択エ
ッチングすることによって形成されてなることを特徴と
する請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】前記下層の保護層がＳｉＮ膜からなり、
前記上層の保護層がフォスフォシリケートガラス膜から
なり、前記選択エッチングがバッファードフッ酸によっ
て行われたものであることを特徴とする請求項６に記載
の液体吐出ヘッド。
【請求項８】前記下層の保護層がＳｉＯ₂膜からな
り、前記上層の保護層がＳｉＮ膜からなり、前記選択エ
ッチングが熱リン酸によって行われたものであることを
特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】前記発熱体が正の温度係数をもつ材料か
らなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッ
ド。
【請求項１０】前記発熱体が複数設けられ、該複数の
発熱体が設けられた基板の内部に、前記複数の発熱体を
それぞれ独立に駆動するために設けられた複数の機能素
子を有する駆動回路が配されていることを特徴とする請
求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】吐出口から液体を吐出するために利用
される熱エネルギーを発生する発熱体と、該発熱体上に
設けられ前記発熱体を保護するための保護層と、前記発
熱体に面して設けられ、前記熱エネルギーによる気泡の
発生に基づいて変位する自由端を前記吐出口側にもつ可
動部材と、を有し、前記保護層はほぼ均一な所定の厚さをもつ第１の領域と
前記所定の厚さより薄いほぼ均一な厚さをもつ第２の領
域とを有し、前記発熱体に印加される電気エネルギーを
変化させることにより前記吐出口から吐出される液体の
滴の体積を変更することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１２】前記第２の領域が前記第１の領域より
前記吐出口に近い側に配設されていることを特徴とする
請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】前記保護層が複数層の保護層からな
り、前記第１の領域は前記複数層の保護層からなり、前
記第２の領域は前記複数層の保護層のうちのいずれかの
保護層が除去されてなることを特徴とする請求項１１に
記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】前記第２の領域は、下層の保護層をエ
ッチングした後、上層の保護層を成膜することにより形
成されてなることを特徴とする請求項１３に記載の液体
吐出ヘッド。
【請求項１５】前記下層の保護層がフォスフォシリケ
ートガラス膜からなり、前記上層の保護層がＳｉＮ膜か
らなり、前記エッチングがバッファードフッ酸によって
行われたものであることを特徴とする請求項１４に記載
の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】前記複数層の保護層が互いにエッチン
グ特性の異なる材料からなり、前記第２の領域は、前記
複数層の保護層を形成した後、上層の保護層のみを選択
エッチングすることによって形成されてなることを特徴
とする請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】前記下層の保護層がＳｉＮ膜からな
り、前記上層の保護層がフォスフォシリケートガラス膜
からなり、前記選択エッチングがバッファードフッ酸に
よって行われたものであることを特徴とする請求項１６
に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】前記下層の保護層がＳｉＯ₂膜からな
り、前記上層の保護層がＳｉＮ膜からなり、前記選択エ
ッチングが熱リン酸によって行われたものであることを
特徴とする請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１９】前記発熱体が正の温度係数をもつ材料
からなることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出
ヘッド。
【請求項２０】前記発熱体が複数設けられ、該複数の
発熱体が設けられた基板の内部に、前記複数の発熱体を
それぞれ独立に駆動するために設けられた複数の機能素
子を有する駆動回路が配されていることを特徴とする請
求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２１】請求項１又は１１に記載の液体吐出ヘ
ッドと、該液体吐出ヘッドを載置するための部材と、を
具備する液体吐出装置。
【請求項２２】吐出口から液体を吐出するために利用
される熱エネルギーを発生する発熱体と、該発熱体上に
設けられ前記発熱体を保護するための保護層と、を有
し、前記保護層はほぼ均一な所定の厚さをもつ第１の領
域と前記所定の厚さより薄いほぼ均一な厚さをもつ第２
の領域とを有する液体吐出ヘッドを用いる液体吐出方法
であって、前記発熱体に印加する電気エネルギーを変更することに
より、前記発熱体上に発生する気泡の大きさを、発泡の
起点領域は前記第２の領域としたまま変更し、これによ
り前記吐出口から吐出される液体の滴の体積を変更する
ことを特徴とする液体吐出方法。
【請求項２３】吐出口から液体を吐出するために利用
される熱エネルギーを発生する発熱体と、該発熱体上に
設けられ前記発熱体を保護するための保護層と、前記発
熱体に面して設けられ、前記熱エネルギーによる気泡の
発生に基づいて変位する自由端を前記吐出口側にもつ可
動部材と、を有し、前記保護層はほぼ均一な所定の厚さ
をもつ第１の領域と前記所定の厚さより薄いほぼ均一な
厚さをもつ第２の領域とを有する液体吐出ヘッドを用い
る液体吐出方法であって、前記発熱体に印加する電気エネルギーを変更することに
より、前記発熱体上に発生する気泡の大きさを、発泡の
起点領域は前記第２の領域としたまま変更し、これによ
り前記吐出口から吐出される液体の滴の体積を変更する
ことを特徴とする液体吐出方法。