JPH09113927A - 光変調素子、その製造方法、及び、光学装置 - Google Patents

光変調素子、その製造方法、及び、光学装置

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JPH09113927A
JPH09113927A JP7269606A JP26960695A JPH09113927A JP H09113927 A JPH09113927 A JP H09113927A JP 7269606 A JP7269606 A JP 7269606A JP 26960695 A JP26960695 A JP 26960695A JP H09113927 A JPH09113927 A JP H09113927A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光変調素子、その製造方法、及び、光学装置
に関し、透明基板表面の傷に起因する表示欠陥のない高
品質の表示を実現する。 【解決手段】 ライトバルブ要素1を挟持する2枚の透
明基板2,3の、ライトバルブ要素1を挟持する側と反
対側の表面に粘着層6,7を介して透明フィルム8,9
を粘着する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光変調素子、その製
造方法、及び、光学装置に関するものであり、特に、透
明基板表面の傷に起因する表示欠陥を低減した空間変調
素子及びこの空間変調素子を用いてスクリーンに画像を
拡大投射する液晶プロジェクタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、液晶パネルを空間変調素子として
用いてスクリーンに画像を拡大投射するカラー液晶プロ
ジェクタが開発されており、このカラー液晶プロジェク
タとしては、ダイクロイックミラーで三原色に分離した
各々の光を3個の空間変調素子で変調したのち合成して
投射する三板式カラー液晶プロジェクタと、一枚のカラ
ー液晶パネルを用いる単板式カラー液晶プロジェクタと
が知られている。
【0003】この内、単板式カラー液晶プロジェクタ
は、カラーフィルタを設けた一枚の液晶パネルによって
空間変調された光を、投射レンズによってスクリーンに
拡大投射するものである。
【0004】図6参照 一方、三板式カラー液晶プロジェクタは図6に示すよう
に、光源41からの光を分離ダイクロイックミラー4
2,43,48によって三原色に分離し、分離した各原
色を三枚の液晶パネル44,49,50によって空間変
調し、空間変調された各原色を合成ダイクロイックミラ
ー45,46,51によって合成し、合成した白色光を
投射レンズ47を介してスクリーンに拡大投射する。
【0005】なお、この場合の各液晶パネル44,4
9,50は、TN型液晶や高分子分散型液晶などを二枚
の電極付きガラス基板に挟持した構成になっており、ま
た、例えば、液晶パネル44が赤色に対する空間変調器
を構成するものとすると、分離ダイクロイックミラー4
2,43は赤色のみ反射し、他の波長の光を透過する特
性を有するようにダイクロイックミラーを構成する多層
膜の膜厚を設定すれば良い。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、液晶パネルに
用いているガラス基板等の透明基板は、液晶パネル製造
時に電極形成などのために洗浄、成膜、パターニング等
の工程を通過し、真空チャックや支持などの機械的衝突
が生じる環境に晒される。
【0007】図7(a)参照 そのため、図7(a)に示すように、場合によっては液
晶層61を挟持するガラス基板62,63の表面に洗浄
等に伴う化学的な傷や真空チャックによる機械的な傷等
の傷64,65が付くことがあり、この傷64,65を
有するまま、液晶パネルを液晶プロジェクタに組み込ん
でスクリーンに投射すると表示欠陥となる。
【0008】図7(b)参照 この傷64,65は、光散乱や偏光の乱れの原因とな
り、この内、光散乱は光を減衰させる要因になり、一
方、偏光の乱れの場合には、本来透過すべき光は減衰さ
れ、本来遮断されるべき光は一部透過することになる。
【0009】この傷64,65は、三板式カラー液晶プ
ロジェクタの各液晶パネルの赤色、緑色、及び、青色の
モノクロ表示においては、高輝度階調では黒傷、低輝度
階調では白傷として現れる輝度ムラになり、また、三板
式カラー液晶プロジェクタの全体的な表示としては色ム
ラ、即ち、着色傷として表示に現れることになり、高品
質の画像を得ることが出来なかった。
【0010】したがって、本発明は、液晶パネル等のラ
イトバルブを用いたプロジェクタにおいて、透明基板表
面の傷に起因する表示欠陥のない高品質の表示を実現す
ることを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】図1は、本発明の原理的
構成の説明図であり、この図1を参照して本発明におけ
る課題を解決するための手段を説明する。 図1参照 (1)本発明は、光変調素子において、ライトバルブ要
素1を挟持する2枚の透明基板2,3の、ライトバルブ
要素1を挟持する側と反対側の表面に粘着層6,7を介
して透明フィルム8,9を粘着したことを特徴とする。
【0012】この様に、2枚の透明基板2,3のライト
バルブ要素1を挟持する側と反対側の表面に透明基板
2,3と屈折率の略等しい粘着層6,7を介して透明フ
ィルム8,9を粘着することによって、透明基板2,3
の表面に傷4,5があっても、表示欠陥が発生すること
がなく、高品質の画像を得ることができる。
【0013】なお、本発明における「ライトバルブ」と
は間接的に光のon−off、或いは、変調を行う液
晶、光磁性体、或いは、強誘電体等からなる間接光変調
素子を表すものであり、その典型が液晶パネルである。
【0014】(2)本発明は、光変調素子において、透
明基板2,3の粘着層4,5を介して透明フィルム6,
7を粘着する表面に表示欠陥となる傷4,5を有するこ
とを特徴とする。
【0015】(3)また、本発明は、上記(1)または
(2)において、透明フィルム8,9の透明基板2,3
に対向する面と反対側の面に第2の粘着層を介して保護
用透明フィルムを粘着したことを特徴とする。
【0016】この様に、保護用透明フィルムを設けるこ
とによって、透明基板2,3の表面に存在する傷4,5
を消すための透明フィルム8,9を製造工程における傷
の発生から保護することができる。
【0017】(4)また、本発明は、上記(3)におい
て、透明フィルム8,9及び保護用透明フィルムの少な
くとも一方が、光学的等方性を有する透明フィルムであ
ることを特徴とする。
【0018】この様に、透明フィルム8,9が光学的等
方性を有する場合には、透明フィルム8,9が偏光を乱
さないため、偏光制御型のTN液晶パネルやSTN液晶
パネルをプロジェクタに組み込んでも表示欠陥のない高
品質の表示を得ることができる。
【0019】また、保護用透明フィルムが光学的等方性
を有する場合には、保護用透明フィルムが偏光を乱さな
いため、保護用透明フィルムを装着したままで液晶パネ
ルの検査を行うことができる。
【0020】(5)また、本発明は、上記(4)におい
て、光学的等方性を有する透明フィルムがトリアセチル
セルロース系の樹脂フィルムであることを特徴とする。
【0021】光学的等方性を有する透明フィルムとし
て、トリアセチルセルロース樹脂フィルムを用いること
によって、実効的に光学的等方性を有する透明フィルム
として扱うことができ、また、このトリアセチルセルロ
ース樹脂フィルムは、伸縮性が小さい、即ち、抗張性が
大きいため、熱履歴によっても表示欠陥となる皺が出来
にくくなる。
【0022】(6)また、本発明は、上記(3)におい
て、透明フィルム8,9及び保護用透明フィルムの少な
くとも一方が、複屈折率を有する透明フィルムであると
共に、ライトバルブ要素に垂直入射する光が直線偏光で
あり、複屈折率を有する透明フィルムの光学軸の透明フ
ィルム面への投射と、垂直入射する光の直線偏光面の透
明フィルム面へのなす角度のうち、小さい角度が0〜2
0°、または、70〜90°のいずれかであることを特
徴とする。
【0023】この様に、透明フィルム8,9、或いは、
保護用透明フィルムとして複屈折率を有する透明フィル
ムを用いた場合にも、複屈折率を有する透明フィルムの
光学軸の透明フィルム面への投射と、垂直入射する光の
直線偏光面の透明フィルム面へのなす角度を所定の範囲
内にすることによって、表示欠陥の発生を抑制すること
ができる。
【0024】(7)また、本発明は、上記(6)におい
て、複屈折率を有する透明フィルムがポリエチレンテレ
フタレート樹脂フィルムであることを特徴とする。
【0025】この様に、透明フィルムとしてポリエチレ
ンテレフタレート樹脂フィルムを用いることにより、透
明フィルムの抗張性を非常に大きくすることができ、そ
れに伴って、透明フィルムの厚さを薄くしても粘着に伴
う複屈折率の変化が少ないので色ムラが発生することが
なく、例えば、透明フィルムの厚さを38μm程度にす
ることができ、薄くすることによって、液晶層で発生し
た光熱及び電気熱の外部への放熱効率が向上する。
【0026】(8)また、本発明は、上記(1)乃至
(7)のいずれかにおいて、保護用透明フィルムの透明
基板2,3に対向する面と反対側の面に誘電体膜を設け
たことを特徴とする。
【0027】この様に設けた誘電体膜を反射防止膜とし
て用いた場合には、透過率の高い明るいライトバルブを
実現することができ、また、特定波長の光を透過或いは
反射させるような多層構造にすることによって色フィル
タ付きライトバルブ或いは紫外線防止ライトバルブを実
現することができる。
【0028】(9)また、本発明は、上記(3)乃至
(7)のいずれかに記載の光変調素子の製造方法におい
て、ライトバルブ要素が液晶であると共に、二枚のガラ
ス基板を貼り合わせて液晶を挟持する工程、ガラス基板
表面に粘着層6,7によって透明フィルム8,9を粘着
する工程、透明フィルム8,9表面に第2の粘着層を介
して保護用透明フィルムを粘着する工程、及び、TAB
電極を装着する工程をこの順で行うことを特徴とする。
【0029】透明フィルムの粘着は、ガラス基板表面が
平坦な内の方が行いやすいため、TAB(Tape A
utomated Bonding)実装の前に透明フ
ィルムを粘着することによって、傷や皺のないTAB実
装表示パネルを製造することができる。
【0030】(10)また、本発明は、上記(3)乃至
(7)のいずれかに記載の光変調素子の製造方法におい
て、ライトバルブ要素が液晶であると共に、二枚のガラ
ス基板を貼り合わせて液晶を挟持する工程、ガラス基板
表面に粘着層6,7によって透明フィルム8,9を粘着
する工程、透明フィルム8,9表面に第2の粘着層を介
して保護用透明フィルムを粘着する工程、及び、ガラス
基板上にドライバ回路装置を実装する工程を順次行うこ
とを特徴とする。
【0031】また、ガラス基板上にドライバ回路装置を
実装するCOG(Chip onGlass)実装にお
いても、COG実装の前に透明フィルムを粘着すること
によって、傷や皺のないCOG実装表示パネルを製造す
ることができる。
【0032】(11)また、本発明は、上記(9)また
は(10)において、少なくともガラス基板に透明フィ
ルム8,9を粘着する工程の前に、ガラス基板の表面の
表示欠陥となる傷4,5の有無の検査工程を有すること
を特徴とする。
【0033】この様に、透明フィルムを粘着する工程の
前に、ガラス基板の表面の表示欠陥となる傷4,5の有
無の検査を行うことによって、傷4,5のあるガラス基
板のみを選別して透明フィルムを粘着することができ、
透明フィルムの粘着工程に無駄がなくなる。即ち、ガラ
ス基板の表面に傷4,5がない場合には、透明フィルム
8,9を設けることなく、必要に応じて粘着層を介して
保護用透明フィムルのみを設ければ良い。
【0034】(12)また、本発明は、光学装置におい
て、上記(1)乃至(8)のいずれかの光変調素子を用
いてプロジェクタを構成したことを特徴とする。
【0035】この様に、本発明の光変調素子を用いてプ
ロジェクタを構成することによって、表示欠陥のない高
品質のプロジェクタを実現することができる。
【0036】(13)また、本発明は、上記(12)に
おいて、光変調素子が液晶パネルからなる液晶プロジェ
クタであることを特徴とする。
【0037】この様に、光変調素子として、液晶パネル
を用いて液晶プロジェクタを構成することによって、表
示欠陥のない高品質の液晶プロジェクタを実現すること
ができる。
【0038】
【発明の実施の形態】図2は本発明の第1の実施の形態
の説明図であり、この図2を参照して本発明の第1の実
施の形態を説明する。なお、図2(a)は本発明の第1
の実施の形態の断面図であり、また、図2(b)は、第
1の実施の形態の変形例である。
【0039】図2(a)参照 まず、従来の液晶パネルと同様に、電極(図示せず)を
形成した二枚の非アルカリガラス基板、例えば、屈折率
nが1.542のOA2(日本電気ガラス株式会社製商
品名)等のガラス基板12,13の間に液晶層11を挟
持するようにガラス基板12,13を貼り合わせる。
【0040】次いで、ガラス基板12,13の液晶層1
1と対向する側と反対側の表面に表示欠陥となる傷1
4,15が有るか否かを検査する。なお、表示欠陥とな
る傷14,15とは、表示の明るさ、解像度により異な
るが、一般的には大きさが20μm以上で深さが10μ
m以上の点状の傷、或いは、同じく深さ10がμm以上
の溝状の傷である。
【0041】次いで、ガラス基板12,13の表面に傷
14,15が有った場合には、傷の深さ以上の厚さで、
屈折率が1.4〜1.5の粘着層16,17を介して、
厚さが200μm以下、好適には、80μmのトリアセ
チルセルロース樹脂フィルム18,19を粘着させる。
なお、粘着層16,17には、アクリル酸とアクリル酸
エステルの共重合体を硬化剤で架橋した粘着材を用い
る。
【0042】この様にして得られた液晶パネルからなる
光変調素子においては、ガラス基板12,13の表面の
傷14,15をガラス基板12,13と屈折率の略等し
い透明な粘着層16,17で埋め込むため、空気との界
面は平滑性の良い透明フィルム面となり、光を散乱する
ことがないので、傷14,15が表示欠陥として現れる
ことがない。
【0043】また、透明フィルムとして用いるトリアセ
チルセルロース樹脂フィルム18,19は、厳密には多
少の複屈折率を有するものの実効的には光学的等方性を
示し、偏光を乱すことがなく、また、その抗張率は10
kg/mm2 以上と大きく、製造過程或いは使用時にお
ける熱履歴によっても皺が発生することがないので、高
品質な表示を実現することが可能になる。
【0044】なお、この場合の粘着層16,17の屈折
率は、ガラス基板12,13の屈折率をnとした場合、
n±0.2の範囲であれば良く、また、透明フィルムも
トリアセチルセルロース樹脂フィルム18,19に限ら
れるものではなく、実効的に光学的等方性を有し、且
つ、抗張率の大きな透明フィルムであれば良い。
【0045】次に、図2(b)を参照して、本発明の第
1の実施の形態の変形例を説明する。 図2(b)参照 この第1の実施の形態の変形例は、第1の実施の形態
に、さらに、保護用透明フィルムを設けたものである。
即ち、第1の実施の形態と同様に、ガラス基板の12,
13の表面に粘着層16,17を介してトリアセチルセ
ルロース樹脂フィルム18,19を粘着させたのち、厚
さ38μmのポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム
からなる保護用透明フィルム22,23を粘着層20,
21を介して粘着させる。
【0046】この場合、保護用透明フィルム22,23
の存在により、トリアセチルセルロース樹脂フィルム1
8,19が製造過程或いは輸送過程において損傷を受け
ることがなく、また、保護用透明フィルム22,23を
設けたまま表示検査が可能になる。
【0047】この場合、最終的には保護用透明フィルム
22,23を剥離するものであるため、粘着層20,2
1は粘着層16,17より粘着性を弱くする必要がある
が、その組成は任意のもので良い。
【0048】なお、この様に、製造過程或いは輸送過程
における損傷の発生を防止するために、保護対象となる
層或いは基板表面に保護膜を設けることは既に知られて
いる事項である(例えば、特開昭59−212821号
公報、特開平4−45422号公報、及び、特開平6−
167686号公報参照)。
【0049】次いで、図3及び図4を参照して本発明の
第2の実施の形態を説明する。なお、図3(a)は本発
明の第2の実施の形態の断面図であり、図3(b)は、
第2の実施の形態の変形例であり、図4は第2の実施の
形態における光学軸に関する説明図である。
【0050】図3(a)参照 まず、第1の実施の形態と同様に、電極(図示せず)を
形成した二枚の非アルカリガラス基板、例えば、屈折率
nが1.542のOA2(日本電気ガラス株式会社製商
品名)等のガラス基板12,13の間に液晶層11を挟
持するようにガラス基板12,13を貼り合わせる。
【0051】次いで、ガラス基板12,13の液晶層1
1と対向する側と反対側の表面に表示欠陥となる傷1
4,15が有るか否かを検査し、ガラス基板12,13
の表面に傷14,15が有った場合には、傷の深さ以上
の厚さで、屈折率が1.4〜1.5のアクリル酸とアク
リル酸エステルの共重合体を硬化剤で架橋した粘着材か
らなる粘着層16,17を介して、厚さが38μmの二
軸延伸性のポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム2
4,25を粘着させる。
【0052】この様にして得られた液晶パネルからなる
光変調素子においても、ガラス基板12,13の表面の
傷14,15をガラス基板12,13と屈折率の略等し
い透明な粘着層16,17で埋め込むため、空気との界
面は平滑性の良い透明フィルム面となり、光を散乱する
ことがないので、傷14,15が表示欠陥として現れる
ことがない。
【0053】この透明フィルムとして用いるポリエチレ
ンテレフタレート樹脂フィルム24,25は複屈折率を
有するため、一般的な構成ではTN型液晶やSTN型液
晶等の偏光制御型液晶の偏光性を乱して、コントラスト
の劣化や色ムラを発生させる原因となる。
【0054】図4(a)及び(b)参照 しかし、透明フィルムが複屈折率を有する場合にも、透
明フィルムの光学軸面30に存在する透明フィルムの光
学軸29の透明フィルム面28に対する射影、即ち、光
学軸の透明フィルムへの射影31と、透明フィルム面2
8に垂直入射する直線偏光している入射光32の直線偏
光面の射影33とのなす角度の小さな方の角度が0〜2
0°、または、70〜90°の範囲にあれば偏光の乱れ
が実用上無視し得ることが確認されたので、光学軸の透
明フィルムへの射影31と入射光32の直線偏光面の射
影33とのなす角度の小さな方の角度を0〜20°、ま
たは、70〜90°の範囲にする必要がある。
【0055】なお、20°、又は、70°は臨界的な上
限、或いは、下限を示すものではなく、要求される表示
精度に応じて、0°、又は、90°に近くなるように設
定すれば良いが、0°、又は、90°が必ずしも最適値
ではない。
【0056】また、このポリエチレンテレフタレート樹
脂フィルム24,25は、その抗張率が第1の実施の形
態におけるトリアセチルセルロース樹脂フィルムの抗張
率より大きいため、製造過程或いは使用時における熱履
歴によっても皺が発生することがないので、より高品質
な表示を実現することが可能になる。なお、この場合の
粘着層16,17の屈折率も、ガラス基板12,13の
屈折率をnとした場合、n±0.2の範囲であれば良
い。
【0057】次に、図3(b)を参照して、本発明の第
2の実施の形態の変形例を説明する。 図3(b)参照 この第2の実施の形態の変形例は、第2の実施の形態
に、さらに、保護用透明フィルムを設けたものである。
即ち、第2の実施の形態と同様に、ガラス基板の12,
13の表面に粘着層16,17を介してポリエチレンテ
レフタレート樹脂フィルム24,25を粘着させたの
ち、厚さ38μmのポリエチレンテレフタレート樹脂フ
ィルムからなるを保護用透明フィルム26,27を粘着
層20,21を介して粘着させる。
【0058】この場合も、保護用透明フィルム26,2
7の存在により、ポリエチレンテレフタレート樹脂フィ
ルム24,25が製造過程或いは輸送過程において損傷
を受けることがなく、また、保護用透明フィルム26,
27を設けたまま表示検査が可能になる。
【0059】また、この場合も、最終的には保護用透明
フィルム26,27は剥離するものであるため、粘着層
20,21は粘着層16,17より粘着性を弱くする必
要がある。
【0060】この第2の実施の形態或いはその変形例に
おいては、透明フィルムとして抗張性の非常に大きなポ
リエチレンテレフタレート樹脂フィルムを用いているた
め、トリアセチルセルロース樹脂フィルムを用いた第1
の実施の形態に比べて、膜厚を薄くしても粘着工程に伴
う光学的性質の局所的変化を少なくすることができるの
で、膜厚を薄くすることによって液晶層11における入
射光の吸収に起因する発熱、及び、液晶の駆動に伴うジ
ュール熱等の電気的熱をパネル外に効率的に放出させる
場合にも、色ムラの発生を低減できる。
【0061】次に、図5を参照して、本発明の第3の実
施の形態を説明する。 図5参照 この第3の実施の形態は、第1の実施の形態に誘電体反
射防止膜34,35を設けたものである。
【0062】即ち、第1の実施の形態と同様に、電極
(図示せず)を形成した二枚の非アルカリガラス基板、
例えば、屈折率nが1.542のOA2(日本電気ガラ
ス株式会社製商品名)等のガラス基板12,13の間に
液晶層11を挟持するようにガラス基板12,13を貼
り合わせる。
【0063】次いで、ガラス基板12,13の液晶層1
1と対向する側と反対側の表面に表示欠陥となる傷1
4,15が有るか否かを検査し、ガラス基板12,13
の表面に傷14,15が有った場合には、傷の深さ以上
の厚さで、屈折率が1.4〜1.5のアクリル酸とアク
リル酸エステルの共重合体を硬化剤で架橋した粘着材か
らなる粘着層16,17を介して、厚さが200μm以
下、好適には、80μmのトリアセチルセルロース樹脂
フィルム18,19を粘着させる。
【0064】次いで、トリアセチルセルロース樹脂フィ
ルム18,19の表面に、スパッタリング法を用いて低
温で酸化チタンと酸化シリコンを交互に3乃至5層積層
させた誘電体反射防止膜34,35を設ける。
【0065】この第3の実施の形態においては、誘電体
反射防止膜34,35を設けることにより表面反射率を
従来の4%から0.5%以下に低減することができ、透
過率の高い明るい液晶パネルを実現することができるの
で、第2の実施の形態よりもより高品質の表示を得るこ
とができる。
【0066】なお、この第3の実施の形態の説明におい
ては、誘電体反射防止膜34,35を設ける例を説明し
てるが、透明フィルム上に設ける誘電体膜は反射防止膜
に限られるものではなく、多層膜の層数を多くしたり膜
厚を調整することにより、色フィルタ作用を有する誘電
体膜、或いは、紫外線反射膜としても良く、色フィルタ
作用を有する誘電体膜として用いた場合には、各原色の
純度を高めることができ、また、紫外線反射膜として用
いた場合には、紫外線による液晶層11及び透明フィル
ムの劣化を防止することができる。
【0067】また、上記第3の実施の形態の説明におい
ては、第1の実施の形態に誘電体反射防止膜34,35
を設ける例を説明しているが、この様な形態に限られる
ものではなく、第2の実施の形態にも同様に適用される
ものであり、得られる効果も同等である。
【0068】また、上記の第1の実施の形態の変形例に
おいては、傷消し用透明フィルム18,19と保護用透
明フィルム22,23とを異なった材料で構成している
が、第2の実施の形態の変形例と同様に同じ材料で構成
しても良いものである。但し、少なくとも一方の透明フ
ィルムが複屈折率を有する場合には、光学軸の透明フィ
ルムへの射影31と入射光32の直線偏光面の射影33
とのなす角度の小さな方の角度を0〜20°、または、
70〜90°の範囲にする必要がある。
【0069】また、上記の各実施の形態及びその変形例
の説明においては、ガラス基板12,13に用いる非ア
ルカリガラスの一例として、屈折率が1.542のOA
2(日本電気株式会社製商品名)を用いているが、OA
2(日本電気株式会社製商品名)に限られるものでな
く、屈折率が1.537のANFL(旭ガラス株式会社
製商品名)、或いは、屈折率が1.533のNA45
(株式会社ホーヤ製商品名)等を用いても良いものであ
る。
【0070】また、上記の各実施の形態及びその変形例
の説明においては、傷消し用透明フィルム18,19,
24,25を粘着する前に、ガラス基板12,13の表
面の傷14,15の有無を検査しているが、必ずしも、
検査をする必要はなく、検査工程を経ないで傷14,1
5の有無に拘わらず、全てのガラス基板12,13の表
面に傷消し用透明フィルム18,19,24,25を粘
着する様にしても良い。
【0071】この場合には、製造工程は簡素化される利
点はあるが、傷消し用透明フィルム18,19,24,
25を粘着する必要のないガラス基板12,13にも傷
消し用透明フィルムを粘着することになるので、粘着工
程自体は時間がかかることになり、無駄が生ずる。
【0072】また、本発明の光変調素子を実装する場合
には、TAB実装、或いは、COG実装されることにな
るが、透明フィルムの粘着は表面が平坦な方が容易に行
うことができるので、TAB実装、或いは、COG実装
の前に透明フィルムの粘着を行うことが望ましい。
【0073】さらに、本発明においては、液晶パネルと
してアモルファスシリコンTFTをスイッチング素子と
して用いたアクティブマトリクス型液晶パネルを前提と
しているが、多結晶シリコンTFTを用いたドライバ回
路一体型のアクティブマトリクス型液晶パネルの場合に
も、TAB電極(フレキシブルケーブル)をガラス基板
に設けたTAB端子に接続する前に透明フィルムの粘着
を行うことが望ましい。
【0074】さらに、本発明は、アクティブマトリクス
型液晶パネルに限られるものでなく、TFT等のスイッ
チング素子を用いない型の液晶パネルも対象とするもの
である。
【0075】また、本発明におけるライトバルブは液晶
パネルに限られるものではなく、間接変調により光のo
n−off、或いは、変調を行う光学素子であれば何で
も良く、例えば、光磁性体或いは強誘電体を用いた間接
光変調素子も対象とするものである。
【0076】また、これらのライトバルブ、特に、液晶
パネルからなる光変調素子を用いてプロジェクタを構成
することにより、高品質の表示特性のプロジェクタを実
現することができるが、この場合、実際には、光変調素
子を挟むように、且つ、光変調素子と接しないように一
対の偏光板を配置するものであり、また、一対の偏光板
の対向面には誘電体反射防止膜が必要に応じて設けれら
れる。
【0077】これは、偏光板において光の吸収が生じ、
それに伴って温度も上昇するので、温度上昇に伴う熱膨
張の影響を少なくするために、偏光板とライトバルブと
を接触しないようにする必要があるからである。
【0078】
【発明の効果】本発明によれば、液晶パネル等のガラス
基板を支持体とするライトバルブのガラス基板表面に、
透明フィルムを粘着することによって、ガラス基板に傷
があった場合にも表示欠陥とならない光変調素子を実現
し、また、透明フィルム上に誘電体膜を堆積させること
によって、表示欠陥の発生防止と高輝度化を同時に可能
にし、さらに、本発明の光変調素子を用いてプロジェク
タを構成することによって、表示欠陥のない高品質のプ
ロジェクタを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理的構成の説明図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態の断面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態の断面図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態における光学軸に関
する説明図である。
【図5】本発明の第3の実施の形態の断面図である。
【図6】従来の三板式カラー液晶プロジュクタの概略的
構成の説明図である。
【図7】従来の液晶パネルの説明図である。
【符号の説明】
1 ライトバルブ要素 2 透明基板 3 透明基板 4 傷 5 傷 6 粘着層 7 粘着層 8 透明フィルム 9 透明フィルム 11 液晶層 12 ガラス基板 13 ガラス基板 14 傷 15 傷 16 粘着層 17 粘着層 18 トリアセチルセルロース樹脂フィルム 19 トリアセチルセルロース樹脂フィルム 20 粘着層 21 粘着層 22 保護用透明フィルム 23 保護用透明フィルム 24 ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム 25 ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム 26 保護用透明フィルム 27 保護用透明フィルム 28 透明フィルム面 29 透明フィルムの光学軸 30 透明フィルムの光学軸面 31 光学軸の透明フィルムへの射影 32 入射光 33 直線偏光面の射影 34 誘電体反射防止膜 35 誘電体反射防止膜 41 光源 42 分離ダイクロイックミラー 43 分離ダイクロイックミラー 44 液晶パネル 45 合成ダイクロイックミラー 46 合成ダイクロイックミラー 47 投射レンズ 48 分離ダイクロイックミラー 49 液晶パネル 50 液晶パネル 51 合成ダイクロイックミラー 61 液晶層 62 ガラス基板 63 ガラス基板 64 傷 65 傷
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡元 謙次 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 鈴木 敏弘 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ライトバルブ要素を挟持する2枚の透明
    基板の、前記ライトバルブ要素を挟持する側とは反対側
    の表面に粘着層を介して透明フィルムを粘着したことを
    特徴とする光変調素子。
  2. 【請求項2】 上記透明基板の、上記透明フィルムを粘
    着する面に表示欠陥となる傷を有することを特徴とする
    請求項1記載の光変調素子。
  3. 【請求項3】 上記透明フィルムの、上記透明基板に対
    向する面と反対側の面に第2の粘着層を介して保護用透
    明フィルムを粘着したことを特徴とする請求項1または
    2記載の光変調素子。
  4. 【請求項4】 上記透明フィルム及び保護用透明フィル
    ムの少なくとも一方が、光学的等方性を有する透明フィ
    ルムであることを特徴とする請求項3記載の光変調素
    子。
  5. 【請求項5】 上記光学的等方性を有する透明フィルム
    が、トリアセチルセルロース系の樹脂フィルムであるこ
    とを特徴とする請求項4記載の光変調素子。
  6. 【請求項6】 上記透明フィルム及び保護用透明フィル
    ムの少なくとも一方が、複屈折率を有する透明フィルム
    であると共に、上記ライトバルブ要素に垂直入射する光
    が直線偏光であり、前記複屈折率を有する透明フィルム
    の光学軸の前記透明フィルム面への投射と、前記垂直入
    射する光の直線偏光面の前記透明フィルム面への射影の
    なす角度のうち、小さい角度が0〜20°、または、7
    0〜90°のいずれかであることを特徴とする請求項3
    記載の光変調素子。
  7. 【請求項7】 上記複屈折率を有する透明フィルムが、
    ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムであることを
    特徴とする請求項6記載の光変調素子。
  8. 【請求項8】 上記保護用透明フィルムの、上記透明基
    板に対向する面と反対側の面に誘電体膜を設けたことを
    特徴とする請求項3乃至請求項7のいずれか1項に記載
    の光変調素子。
  9. 【請求項9】 請求項3乃至8のいずれか1項に記載の
    光変調素子の製造方法において、上記ライトバルブ要素
    が液晶であると共に、二枚のガラス基板を貼り合わせて
    前記液晶を挟持する工程、前記ガラス基板表面に粘着層
    によって透明フィルムを粘着する工程、前記透明フィル
    ム表面に第2の粘着層を介して保護用透明フィルムを粘
    着する工程、及び、TAB電極を装着する工程をこの順
    で行うことを特徴とする光変調素子の製造方法。
  10. 【請求項10】 請求項3乃至8のいずれか1項に記載
    の光変調素子の製造方法において、上記ライトバルブ要
    素が液晶であると共に、二枚のガラス基板を貼り合わせ
    て前記液晶を挟持する工程、前記ガラス基板表面に粘着
    層によって透明フィルムを粘着する工程、前記透明フィ
    ルム表面に第2の粘着層を介して保護用透明フィルムを
    粘着する工程、及び、前記ガラス基板上にドライバ回路
    装置を実装する工程を順次行うことを特徴とする光変調
    素子の製造方法。
  11. 【請求項11】 上記ガラス基板表面に粘着層によって
    透明フィルムを粘着する工程の前に、前記ガラス基板の
    表面の表示欠陥となる傷の有無を検査する検査工程を有
    することを特徴とする請求項9または10記載の光変調
    素子の製造方法。
  12. 【請求項12】 請求項1乃至8のいずれか1項に記載
    の光変調素子を用いてプロジェクタを構成したことを特
    徴とする光学装置。
  13. 【請求項13】 上記光変調素子が、液晶パネルからな
    る液晶プロジェクタであることを特徴とする請求項12
    記載の光学装置。
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