JPH09113856A - ガラス基板位置決め方法及びガラス基板位置決め装置並びにガラス基板位置決め搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ガラス基板に無理な力を加えずに正確な位置決
め保持を行うことができるガラス基板位置決め装置を提
供する。 【解決手段】支持プレート３上に固定されたガイドレー
ル14a,14b 上に、内側スライド部15a,15b 及び外側スラ
イド部16a,16b がスライド可能に支持されている。ガイ
ドレール14a,14b の一側にはモータ21により回転される
ボールねじ17a,17b が配設され、ボールねじ17a,17b に
螺合するボールナット26と、内側スライド部15a,15b 上
に固着された支持ブロック25a,25b とが連結部材27を介
して連結されている。外側スライド部16a,16b 上に固着
された支持ブラケット28a,28b と支持ブロック25a,25b
との間に引っ張りバネ３２が張設されている。支持ブラ
ケット28a,28b に固定された支持板36上にローラ37a,37
b が固定されている。外側スライド部16b は内側への移
動途中でストッパ33と当接して移動が規制される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板位置決め
装置及びガラス基板位置決め搬送装置に係り、詳しくは
開閉機構によりガラス基板を位置決め保持する機構を備
えたガラス基板位置決め装置において、がたの無い基板
保持を可能とし、且つ基板に必要以上に力を加えること
無く、確実な位置決め保持が可能でＬＣＤ（液晶ディス
プレイ）装置の製造装置におけるガラス基板の位置決め
に好適なガラス基板位置決め装置及びガラス基板位置決
め搬送装置に関する。

【０００２】近年、表示装置としてＬＣＤ装置が広く使
用されている。ＬＣＤ装置の製造装置及びそれに付随し
た搬送装置においては、四角形状のガラス基板の搬送、
位置決めが繰り返し行われる。ガラス基板の厚さは１ｍ
ｍ以下で、大きさは種々あり、大きいものでは１辺の長
さが６００ｍｍ以上となるものもある。そして、重く、
しかも薄い大きなガラス基板を高速で搬送するには、が
たの無い、確実な位置決め保持が必要となる。

【０００３】

【従来の技術】ＬＣＤ装置の製造装置ではガラス基板上
に配線用の皮膜を蒸着したり、カラーフィルタ用の皮膜
等を形成する工程がある。そして、生産性を向上させる
ため、１個のトレー上にガラス基板を複数枚位置決めし
た状態に配置して、トレーごと例えばＣＶＤ装置（化学
蒸着装置）内に送りこみ、皮膜形成を行うようになって
いる。ガラス基板はマガジン内に多数枚収容された状態
で保管されているため、ガラス基板をマガジンから取り
出して水平状態で所定の位置に位置決めしたり、位置決
め状態を保持したまま搬送することが必要となる。

【０００４】従来、ＬＣＤ装置のガラス基板位置決め装
置として図１１（ａ），（ｂ）に示す装置がある。この
位置決め装置８０は、ベースプレート８１（図１１
（ａ）にのみ図示）上に一対のガイドレール８２が同一
直線上に位置するように所定間隔をおいて配置されてい
る。各ガイドレール８２上にはそれぞれスライド部８３
ａ，８３ｂがガイドレール８２に沿って摺動可能に配設
されている。第１のスライド部８３ａと対応する側のガ
イドレール８２の近傍には、スライド部８３ａの移動を
阻止するストッパ８４が位置調整可能に固定されてい
る。各スライド部８３ａ，８３ｂ上には支持ブラケット
８５がそれぞれ固定され、支持ブラケット８５上にはそ
れぞれ一対のローラ８６ａ，８６ｂが回動可能に支持さ
れている。

【０００５】ベースプレート８１上には４本の支持ピン
８７（図１１（ａ）では２本のみ図示）がそれぞれ立設
され、各支持ピン８７によりガラス基板８８を水平に支
承するようになっている。ベースプレート８１の中央部
には駆動部８９（図１１（ａ）にのみ図示）が配設さ
れ、両支持ブラケット８５は駆動部８９と作動連結さ
れ、駆動部８９の作動により両スライド部８３ａ，８３
ｂが互いに同期してガイドレール８２上を摺動する。

【０００６】そして、両スライド部８３ａ，８３ｂが互
いに近づく方向への移動時（閉時）に、第１のスライド
部８３ａがストッパ８４と当接した状態で駆動部８９の
作動が停止され、両スライド部８３ａ，８３ｂが閉位置
に保持されるようになっている。この状態でガラス基板
８８の対角線上にある一対の角部が各一対のローラ８６
ａ，８６ｂに接触して位置決めされるようになってい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記従来装置ではガラ
ス基板８８の対角線上にある一対の角部を、各一対のロ
ーラ８６ａ，８６ｂで機械的に挟むことにより位置決め
が行われる。そして、各ローラ８６ａ，８６ｂがガラス
基板８８を挟む位置、即ちスライド部８３ａ，８３ｂの
閉位置は、ガラス基板８８に大きな力がかからないよう
に、ガラス基板８８の大きさに合わせた所定位置に決め
られていた。その所定位置はガラス基板の寸法公差を考
慮して、基準の大きさのガラス基板よりも最大公差分大
きめのガラス基板に適した位置に設定されていた。

【０００８】従って、多くのガラス基板８８に対して
は、図１２に示すように、ガラス基板８８の端面とロー
ラ８６ａ，８６ｂとの間に隙間δが生じる（ローラ８６
ｂ側のみ図示）。その結果、この位置決め装置８０を備
えた搬送装置では、搬送時にガラス基板８８とローラ８
６ａ，８６ｂとの間にガタが生じ、基板割れや欠けを招
くという問題がある。この問題は、高速搬送時により顕
著となる。

【０００９】また、把持したガラス基板を水平状態でほ
ぼ９０°旋回させてガラス基板の向きを変更させる操作
を行う場合も、ガラス基板とローラ８６ａ，８６ｂとの
間にガタがあると、前記の問題が生じる。また、ガラス
基板８８を対角線上にある一対の角部で把持する代わり
に、平行な２辺において把持する構成の場合は、旋回あ
るいは搬送時に基板割れや欠けの他に基板の落下を招く
虞もある。

【００１０】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その第１の目的は、ガラス基板に無
理な力を加えずに正確な位置決め保持を行うことができ
るガラス基板位置決め方法及びガラス基板位置決め装置
を提供することにある。

【００１１】また、第２の目的は、ガラス基板に無理な
力を加えずに確実に所定位置に保持でき、ガラス基板の
欠けや割れあるいは基板を落とすこと無く、高速搬送が
可能になるガラス基板位置決め搬送装置を提供すること
にある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の第１の目的を達成
するため、請求項１の発明は、ガラス基板を支承する支
承部上にガラス基板を載置し、そのガラス基板の端面に
ガラス基板を把持する複数の把持部を当接させて位置決
めを行うガラス基板位置決め方法であって、前記複数の
把持部の少なくとも１個をガラス基板の端面に当接する
把持位置と、ガラス基板から離間した待機位置とに移動
手段により移動可能に構成し、前記把持部の少なくとも
１個を把持位置に配置したときに、その把持部が当接す
るガラス基板に対して押圧力付与手段の作用により把持
部から所定の押圧力を付与して位置決めするようにし
た。

【００１３】請求項２に記載の発明は、ガラス基板を支
承する支承部上に載置されたガラス基板の端面と当接し
て、ガラス基板を把持する複数の把持部を備えたガラス
基板位置決め装置であって、前記複数の把持部の少なく
とも１個をガラス基板の端面に当接する把持位置と、ガ
ラス基板から離間した待機位置とに移動手段により移動
可能に構成し、前記把持部の少なくとも１個が把持位置
に配置されたときにその把持部が当接するガラス基板に
対して把持部から所定の押圧力を付与する押圧力付与手
段を設けた。

【００１４】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記把持部は四角形状のガラス基板の
隣接する２辺と同時に係合可能に構成され、ガラス基板
をその対角位置において把持可能に２個設けられてい
る。

【００１５】請求項４に記載の発明は、請求項２又は請
求項３に記載のガラス基板位置決め装置を旋回可能な支
持部材上に配設し、前記支持部材を所定角度旋回させる
駆動手段を設けた。

【００１６】第２の目的を達成するため、請求項５に記
載の発明は、請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載
のガラス基板位置決め装置を所定の経路に沿って移動可
能に設けられた移動体上に搭載した。

【００１７】（作用）請求項１及び請求項２の発明で
は、ガラス基板は支承部上に載置された状態で、ガラス
基板の端面と当接してガラス基板を把持する複数の把持
部により位置決めされる。ガラス基板は可動の把持部が
待機位置に配置された状態で、各把持部から離間した状
態で支承部上に載置される。その状態で移動手段が作動
されて可動の把持部が把持位置へ移動される。可動の把
持部の移動途中で該把持部がガラス基板と当接し、その
後、更に移動が継続されて、ガラス基板が支承部上をス
ライドして他の把持部と当接した後、前記把持部が停止
する。

【００１８】可動の把持部が所定の把持位置に配置され
た状態では、押圧力付与手段の作用により把持部からガ
ラス基板に対して所定の押圧力が付与され、把持部はガ
ラス基板に対してその破損を招くような必要以上の力を
加えること無く、所定の押圧力でガラス基板を把持す
る。そして、ガラス基板は所定の位置に位置決めされた
状態で把持部に把持される。

【００１９】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記把持部は四角形状のガラス基板を
その対角位置において把持する。把持状態において把持
部はガラス基板の隣接する２辺と同時に係合してその位
置決めを行うため、ガラス基板は４辺とも位置決めされ
て正確な位置決めが行われる。

【００２０】請求項４に記載の発明は、請求項２又は請
求項３に記載のガラス基板位置決め装置が支持部材上に
配設されているため、それぞれの発明に対応した前記作
用を発揮する。そして、駆動手段の作動により支持部材
が所定角度旋回されると、ガラス基板は位置決めされた
状態で支持部材と一体的に旋回してその向きが変更され
る。

【００２１】請求項５に記載の発明は、ガラス基板位置
決め装置が移動体上に搭載され、移動体とともに所定の
経路に沿って移動する。ガラス基板位置決め装置は請求
項２〜請求項４のいずれか１項に記載の発明のものであ
るため、それぞれの発明に対応した前記作用を発揮す
る。位置決め装置が移動体上に設けられているため、位
置決めされたガラス基板を搬送装置上に移載する作業が
不要となり、ガラス基板の位置決めを行って所定位置ま
で搬送するのに要する時間が短縮される。

【００２２】

【発明の実施の形態】

［第１の実施の形態］以下、本発明の第１の実施の形態
を図１〜図５に従って説明する。

【００２３】図２に示すように、ベースプレート１の中
央には支軸２が立設され、支軸２の上部には支持部材と
しての支持プレート３がスラストベアリング４及びラジ
アルベアリング５を介して回転可能に支持されている。
支持プレート３はその下面中央に突設されたボス部３ａ
において支軸２に支持され、ボス部３ａの端面には支軸
２にラジアルベアリング（図示せず）を介して回転可能
に支持された被動プーリ６が一体回転可能に固定されて
いる。

【００２４】図１及び図２に示すように、ベースプレー
ト１の端部に固定されたブラケット７上に、モータ８が
固定されている。モータ８はその出力軸８ａが下方へ垂
直に延びるように配設され、出力軸８ａに駆動プーリ９
が一体回転可能に固定されている。駆動プーリ９及び被
動プーリ６間にベルト１０が巻き掛けられ、モータ８の
駆動によりベルト１０及び両プーリ６，９を介して支持
プレート３が支軸２を中心に旋回されるようになってい
る。

【００２５】支持プレート３の下面には被検知部１１
（図１にのみ図示）が設けられ、ベースプレート１上に
は被検知部１１を検出する２個のセンサＳ１，Ｓ２（図
１にのみ図示）が所定位置に固定されている。第１セン
サＳ１は支持プレート３が図１に示す基準位置に配置さ
れた状態で被検知部１１を検出可能な位置に、第２セン
サＳ２は支持プレート３が基準位置から図１の時計回り
方向に９０°旋回した状態で被検知部１１を検出可能な
位置にそれぞれ固定されている。

【００２６】モータ８は支持プレート３が基準位置に配
置された状態で正転駆動スイッチ（図示せず）がオン操
作されると、正転駆動されるとともに第２センサＳ２が
被検知部１１を検出したときに停止される。また、支持
プレート３が基準位置から図１の時計回り方向に９０°
旋回した状態、即ち第２センサＳ２が被検知部１１を検
出している状態で逆転駆動スイッチ（図示せず）がオン
操作されると、逆転駆動されるとともに第１センサＳ１
が被検知部１１を検出したときに停止されるようになっ
ている。モータ８、両プーリ６，９、ベルト１０及び両
センサＳ１，Ｓ２により支持プレート３を所定角度旋回
させる駆動手段が構成されている。

【００２７】支持プレート３は旋回時にブラケット７と
の干渉を避けるため、長方形の一部を切り欠いた形状に
形成され、支持プレート３上には支持プレート３の旋回
中心から等距離をおいた位置に、支承部を構成する４本
の支承ピン１２が立設されている。支承ピン１２は同じ
長さに形成されるとともに先端が半球状に形成され、ガ
ラス基板１３に対して小さな面積で接触して、ガラス基
板１３を水平に支承するようになっている。

【００２８】支持プレート３上にはリニアガイドとして
の一対のガイドレール１４ａ，１４ｂが一方の対角線上
に位置するように固定されている。各ガイドレール１４
ａ，１４ｂ上にはそれぞれ内側スライド部１５ａ，１５
ｂ及び外側スライド部１６ａ，１６ｂがスライド可能に
支持されている。ガイドレール１４ａ，１４ｂの一側に
は内側スライド部１５ａ，１５ｂと対応する位置に、そ
のねじ山の向きが互いに逆のボールねじ１７ａ，１７ｂ
が支持ブラケット１８を介してガイドレール１４ａ，１
４ｂと平行に配設されている。両ボールねじ１７ａ，１
７ｂはその一端から突出する軸部１９の先端同士がカッ
プリング２０を介して一体回転可能に連結されている。

【００２９】支持プレート３の中央部にはモータ２１
が、その出力軸が前記軸部１９と平行に延びるように固
定されている。出力軸に固定された駆動プーリ２２と、
ボールねじ１７ａの軸部１９に固定されたプーリ２３と
の間にベルト２４が巻き掛けられ、モータ２１の駆動に
より両ボールねじ１７ａ，１７ｂが一体的に回転される
ようになっている。

【００３０】各内側スライド部１５ａ，１５ｂ上には支
持ブロック２５ａ，２５ｂがそれぞれ固着され、各支持
ブロック２５ａ，２５ｂの前端（外側スライド部と反対
側）と、前記ボールねじ１７ａ，１７ｂに螺合するボー
ルナット２６とが連結部材２７を介して連結されてい
る。そして、モータ２１の正転時にボールナット２６と
ともに両内側スライド部１５ａ，１５ｂが互いに近づく
方向（内側）に移動され、逆転時に互いに離れる方向
（外側）に移動されるようになっている。両ボールねじ
１７ａ，１７ｂ、モータ２１、ボールナット２６、内側
スライド部１５ａ，１５ｂ、外側スライド部１６ａ，１
６ｂ等が後記する把持部の移動手段を構成する。

【００３１】なお、内側スライド部１５ａには被検知部
としてのドグ（図示せず）が装備され、支持プレート３
上には内側スライド部１５ａが待機位置（開位置）ある
いは把持位置（閉位置）に配置されたときにそのドグを
検出するセンサ（図示せず）が配設されている。そし
て、モータ２１は駆動開始後、前記センサからの検出信
号に基づいて停止されるようになっている。

【００３２】外側スライド部１６ａ，１６ｂ上には支持
ブラケット２８ａ，２８ｂが固着され、支持ブラケット
２８ａ，２８ｂの下端の片側には前側（内側スライド部
と対向する側）に延びる係止片２９が突設されている。
係止片２９の側面には掛止部３０が突設され、支持ブロ
ック２５ａ，２５ｂの後端に突設された掛止部３１と前
記掛止部３０との間に引っ張りバネ３２が掛止されてい
る。引っ張りバネ３２はその初張力を無視できるだけ引
っ張っられた状態で掛止されている。各係止片２９の長
さは、内側スライド部１５ａ，１５ｂが内側へ移動する
とき、引っ張りバネ３２の張力によりその先端が支持ブ
ロック２５ａ，２５ｂに当接した状態に保持される長さ
となっている。また、閉位置側への移動時、外側スライ
ド部１６ａ，１６ｂの移動が規制されない限り、内側ス
ライド部１５ａ，１５ｂと外側スライド部１６ａ，１６
ｂとが一体に移動するように引っ張りバネ３２のバネ定
数が設定されている。

【００３３】図１及び図５に示すように、一方のガイド
レール１４ａの近傍には外側スライド部１６ａの前端と
係合可能な位置に、ストッパ３３が固定位置調整可能に
配設されている。ストッパ３３には一対の長孔３４が形
成され、支持プレート３に形成されたねじ穴（図示せ
ず）に長孔３４を貫通して螺合するボルト３５により支
持プレート３上に固定されている。

【００３４】各外側スライド部１６ａ，１６ｂの上端に
は支持板３６が水平に固定され、支持板３６上に一対の
ローラ３７ａ，３７ｂが支持されている。図２に示すよ
うに、ローラ３７ａ，３７ｂはその周面中央位置が支承
ピン１２の上端とほぼ同じ高さとなるように配設されて
いる。支持板３６及びローラ３７ａ，３７ｂにより把持
部が構成され、前記引っ張りバネ３２がガラス基板に対
して把持部から所定の押圧力を付与する押圧力付与手段
を構成する。なお、各外側スライド部１６ａ，１６ｂに
は軽量化のための孔３８が形成されている。

【００３５】次に上記のように構成されたガラス基板位
置決め装置の作用を説明する。支持プレート３が図１に
示す基準位置に配置され、両支持板３６上のローラ３７
ａ，３７ｂが図３（ａ），（ｂ）に示すように、開位置
（待機位置）に配置された状態で支承ピン１２上にガラ
ス基板１３がその対角線がガイドレール１４ａ，１４ｂ
と対向する状態で載置される。開位置においてはガラス
基板１３とローラ３７ａ，３７ｂとの間に所定の隙間
（例えば５〜１０ｍｍ）が生じるように設定されてい
る。また、各係止片２９は支持ブロック２５ａ，２５ｂ
とそれぞれ当接した状態にある。

【００３６】この状態からモータ２１が正転駆動される
と、ボールねじ１７ａ，１７ｂが回転されてボールナッ
ト２６とともに内側スライド部１５ａ，１５ｂが互いに
近づく方向に移動し、外側スライド部１６ａ，１６ｂも
引っ張りばね３２を介して内側スライド部１５ａ，１５
ｂと一体的に移動する。第１の外側スライド部１６ａが
ストッパ３３と当接した後は、第１の外側スライド部１
６ａは移動が阻止され、内側スライド部１５ａ，１５ｂ
及び第２の外側スライド部１６ｂが移動を継続する。そ
して、第２の外側スライド部１６ｂがガラス基板１３と
当接する所定の閉位置（把持位置）に達した後、内側ス
ライド部１５ａ，１５ｂはさらに移動した後に停止す
る。

【００３７】図４（ａ），（ｂ）に示すように、閉位置
においてガラス基板１３は対角線上の一方の角部が第１
の外側スライド部１６ａ側のローラ３７ａと当接し、他
方が第２の外側スライド部１６ｂ側のローラ３７ｂと当
接する。第１の外側スライド部１６ａはストッパ３３に
より内側への移動が阻止されるため、ローラ３７ａとの
当接位置がガラス基板１３の位置決め基準位置となる。
そして、ガラス基板１３は移動が阻止された状態の外側
スライド部１６ａのローラ３７ａと角部が当接した状態
で、第２の外側スライド部１６ｂ側のローラ３７ｂと当
接する。

【００３８】閉位置における内側スライド部１５ａ，１
５ｂの停止位置は、第２の外側スライド部１６ｂを両ロ
ーラ３７ａ，３７ｂによるガラス基板１３の把持位置が
ガラス基板１３の寸法よりも内側となるまで移動させ得
る位置になる。従って、第２の内側スライド部１５ｂは
ローラ３７ｂがガラス基板１３と当接してその移動が阻
止された後、図４（ａ）に示す距離ｘだけ移動した後停
止する。即ち、ガラス基板１３には引っ張りバネ３２が
距離ｘに対応して伸びたバネ力による押圧力が付与され
た状態で両ローラ３７ａ，３７ｂにより把持される。

【００３９】ガラス基板１３の大きさが寸法公差の範囲
で変動するため、距離ｘの値もそれに対応して変動し、
ガラス基板１３の寸法が最大のときｘが最大となる。引
っ張りバネ３２のバネ定数はｘの最大値におけるバネ力
がガラス基板１３に対して無理な押圧力が作用しない値
に設定されている。

【００４０】ガラス基板１３の把持を解除する場合は、
モータ２１の逆転スイッチをオン操作して、モータ２１
を逆転駆動させる。ガラス基板１３の把持状態からモー
タ２１が逆転駆動されると、ボールねじ１７ａ，１７ｂ
が回転されてボールナット２６とともに内側スライド部
１５ａ，１５ｂが互いに離れる方向に移動する。係止片
２９が内側スライド部１５ａ，１５ｂと係合するまでは
外側スライド部１６ａ，１６ｂは停止しており、係止片
２９が内側スライド部１５ａ，１５ｂと係合した後、外
側スライド部１６ａ，１６ｂは内側スライド部１５ａ，
１５ｂに押されて一体的に外側へ移動する。そして、両
ローラ３７ａ，３７ｂによるガラス基板１３の把持が解
除される。内側スライド部１５ａ，１５ｂ及び第２の外
側スライド部１６ｂが所定の開位置（待機位置）まで移
動したときにモータ２１が停止する。

【００４１】基準位置にあるガラス基板１３の向きを変
更する場合は、ガラス基板１３が両ローラ３７ａ，３７
ｂに把持された状態で、正転駆動スイッチをオン操作す
る。正転駆動スイッチのオン操作によりモータ８が正転
駆動され、支持プレート３が図１に示す基準位置から支
軸２を旋回中心として時計回り方向に旋回される。支持
プレート３が９０°旋回したときに第２センサＳ２が被
検知部１１を検出し、その検出信号に基づいてモータ８
が停止される。そして、ガラス基板１３の向きが９０°
変更される。

【００４２】基準位置から９０°旋回された支持プレー
ト３を基準位置に戻す場合は、逆転駆動スイッチをオン
操作する。逆転駆動スイッチのオン操作によりモータ８
が逆転駆動され、支持プレート３が支軸２を旋回中心と
して図１の反時計回り方向に旋回される。支持プレート
３が９０°旋回したときに第１センサＳ１が被検知部１
１を検出し、その検出信号に基づいてモータ８が停止さ
れて支持プレート３が基準位置に復帰する。

【００４３】さて、本実施の形態は、下記の（イ）〜
（ト）の効果がある。 （イ） ガラス基板１３が把持部を構成するローラ３７
ｂから、ガラス基板１３に無理な力を加えない範囲の所
定の押圧力を付与された状態で把持されるため、ガラス
基板１３の欠けや割れを発生せずに、がたの無い正確な
位置決めが行われる。

【００４４】（ロ） ガラス基板１３を把持する機構全
体が旋回可能な支持プレート３上に配設され、支持プレ
ート３がモータ８等により構成される駆動手段により所
定角度（９０°）旋回されるため、ガラス基板１３の向
きを位置決め保持した状態のまま変更できる。そして、
ガラス基板１３が所定の押圧力を付与されて、がたの無
い状態で把持されて旋回（移動）されるため、旋回時に
ガラス基板１３の欠けや割れが発生しない。

【００４５】（ハ） 位置決めされたガラス基板１３の
中心と、支持プレート３の旋回中心とが同軸上にあるた
め、ガラス基板１３中心位置を変更せずにその向きを変
えることができる。

【００４６】（ニ） 四角形状のガラス基板１３をその
対角位置において２個の把持部（ローラ３７ａ，３７
ｂ）で把持し、把持状態においてローラ３７ａ，３７ｂ
はガラス基板１３の隣接する２辺と同時に係合してその
位置決めを行うため、ガラス基板１３は簡単な構造で４
辺とも位置決めされて正確な位置決めが行われる。

【００４７】（ホ） 押圧力付与手段として引っ張りバ
ネ３２を使用しているため、ガラス基板１３を位置決め
保持する際に、ガラス基板１３に対して付与する押圧力
の大きさを、バネ定数と引っ張りバネ３２の伸び量によ
り容易に調整できる。そして、引っ張りバネ３２は初張
力を無視できるだけ引っ張った状態で両掛止部３０，３
０間に掛止されているため、閉位置においてガラス基板
１３に作用する押圧力が、ガラス基板１３の移動が阻止
された後の引っ張りバネ３２の伸び量に比例する。従っ
て、押圧力の調整がより容易となる。

【００４８】（ヘ） 押圧力付与手段として引っ張りバ
ネ３２を使用するため、把持部（ローラ３７ａ，３７
ｂ）がガラス基板１３と当接した後、引っ張りバネ３２
に伸びを与える手段及び引っ張りバネ３２をローラ３７
ａ，３７ｂより内側に配置できるため、装置全体の小型
化が容易となる。

【００４９】（ト） 全ての把持部（ローラ３７ａ，３
７ｂ）を待機位置と把持位置との間で移動可能としたた
め、ガラス基板１３の把持を解除したときに全ての把持
部がガラス基板１３の端面から離間した位置に配置され
る。従って、ガラス基板１３を位置決め装置から取り出
すときに、ガラス基板１３に無理な力が加わる虞がな
い。

【００５０】［第２の実施の形態］以下、本発明の第２
の実施の形態を図６〜図８に従って説明する。この実施
の形態では押圧力付与手段として圧縮バネを使用してい
る点と、ガラス基板１３を対向する２辺において把持す
る点と、支持プレート３を旋回させる旋回手段がない点
とが、第１の実施の形態と大きく異なっている。

【００５１】なお、説明の便宜上、第１の実施の形態と
同様の構成については同一の符号を付してその説明を一
部省略する。図６に示すように、長方形状の支持プレー
ト３上には、その中央より図１の左側寄りの領域に４本
の支承ピン１２がガラス基板１３より小さな長方形の各
頂点に位置するように立設され、支承ピン１２より外側
に固定の把持部を構成する一対のローラ３９が配設され
ている。

【００５２】支持プレート３には支承ピン１２を挟んで
前記ローラ３９と反対側に支持ブラケット４０が固定さ
れ、支持ブラケット４０の外側にはブラケット４１を介
してエアシリンダ４２が支持プレート３の長手方向に沿
って延びるように固定されている。支持ブラケット４０
の起立部４０ａには支持プレート３の長手方向に沿って
延びる一対の孔が形成され、孔に嵌着されたリニアブッ
シュ４３を介して一対のガイド軸４４が水平状態でスラ
イド可能に支持されている。両ガイド軸４４は、エアシ
リンダ４２のピストンロッド４２ａに固定された連結部
材４５に、その基端がそれぞれ固定されて一体的に移動
可能となっている。エアシリンダ４２は複動式で、図示
しない制御弁の作用によりピストンロッド４２の突出量
を任意に調整可能となっている。

【００５３】図６及び図７に示すように、ガイド軸４４
には起立部４０ａより先端側にスライド部４６がリニア
ブッシュ４７を介してスライド可能に支持されている。
スライド部４６の下面には２本の支持プレート４８の基
端側が固定され、支持プレート４８の先端に固着された
支持バー４８ａの両端に一対のローラ４９が固定されて
いる。支持プレート４８及びローラ４９が可動の把持部
を構成している。エアシリンダ４２、ガイド軸４２及び
スライド部４６が把持部の移動手段を構成している。

【００５４】起立部４０ａの上部中央にはアジャストボ
ルト５０が螺着されている。アジャストボルト５０の先
端には係合プレート５１が相対回動可能かつアジャスト
ボルト５０の軸方向へ一体移動可能に支持されている。
両ガイド軸４４は係合プレート５１の下部に形成された
孔を貫通した状態に配置されている。スライド部４６と
係合プレート５０との間には両ガイド軸４４の周囲に巻
かれた状態で２個の圧縮バネ５２が介装されている。圧
縮バネ５２はスライド部４６をガイド軸４４のフランジ
４４ａと当接する状態に付勢している。

【００５５】前記のように構成された位置決め装置で
は、図６に示すように、エアシリンダ４２のピストンロ
ッド４２ａが没入位置に配置されて可動の把持部（ロー
ラ４９）が待機位置（開位置）に配置された状態でガラ
ス基板１３が支承ピン１２上に載置される。この状態で
はガラス基板１３とローラ３９，４９との間に所定の隙
間（例えば５〜１０ｍｍ）が生じる。

【００５６】この状態からエアシリンダ４２が作動され
てピストンロッド４２ａが突出作動されると、両ガイド
軸４４がピストンロッド４２ａと一体的にガラス基板１
３側に移動する。そして、ガイド軸４４に支持されたス
ライド部４６もガイド軸４４と一体的に移動する。移動
途中でローラ４９がガラス基板１３と当接し、その後も
移動が継続されてガラス基板１３がローラ４９とともに
移動する。ガラス基板１３と支承ピン１２との摩擦抵抗
は非常に小さく、ローラ４９はピストンロッド４２ａの
移動量と同じ量移動する。

【００５７】移動が継続されて、図８に示すように、ガ
ラス基板１３が固定の把持部であるローラ３９と当接す
ると、ガラス基板１３の移動が阻止されるとともにロー
ラ４９の移動も阻止される。ガラス基板１３がローラ３
９と当接した後、ピストンロッド４２はさらに所定位置
まで移動する。このとき、ローラ４９は移動が阻止され
た状態にあるため、ガイド軸４４はスライド部４６に対
して相対移動し、それまでフランジ４４ａで支持されて
いた圧縮バネ５２の押圧力がローラ４９を介してガラス
基板１３に作用する状態となる。そして、ガラス基板１
３はローラ４９から所定の押圧力を付与された状態で両
ローラ３９，４９により把持され、がたの無い状態で位
置決め保持される。

【００５８】ローラ３９，４９によるガラス基板１３の
把持を解除する場合は、エアシリンダ４２をピストンロ
ッド４２ａを没入させるように作動させる。ピストンロ
ッド４２ａの没入とともにガイド軸４４が一体的にガラ
ス基板１３から離れる方向に移動し、移動途中でフラン
ジ４４ａがスライド部４６と係合し、その後はスライド
部４６が圧縮バネ５２を圧縮しながらガイド軸４４と一
体的に待機位置まで移動する。

【００５９】前記所定の押圧力はスライド部４６と係合
プレート５１間の距離Ｌと、圧縮バネ５２のバネ定数と
で決まる。従って、アジャストボルト５０を操作して係
合プレート５１の位置を変更して前記距離Ｌを調整する
ことにより、圧縮バネ５２の圧縮量が変更されてローラ
４９を介してガラス基板１３に付与される押圧力が調整
される。

【００６０】この実施の形態では第１の実施の形態と異
なる次の効果を有する。 （イ） 一方の把持部（ローラ３９）が固定のため、把
持部を待機位置と把持位置に移動させる移動手段の構成
が簡単となる。

【００６１】（ロ） ガイド軸４４のフランジ４４ａと
スライド部４６との係合が解除された状態で、ガラス基
板１３に対して付与される押圧力がピストンロッド４２
ａの突出量と無関係に決まる。従って、把持部の移動手
段を構成するエアシリンダ４２を作動させる際、その突
出量を正確に制御する必要がない。

【００６２】（ハ） 押圧力付与手段が圧縮バネ５２を
使用しているため、ガラス基板１３を位置決め保持する
際に、ガラス基板１３に対して付与する押圧力の大きさ
を、バネ定数と圧縮バネ５２の圧縮量により容易に調整
できる。そして、押圧力の調整はガラス基板１３の把持
状態において、アジャストボルト５０の螺入量の調整だ
けで簡単にできる。

【００６３】〔第３の実施の形態〕次に本発明の第３の
実施の形態を図９及び図１０に従って説明する。この実
施の形態は第２の実施の形態のガラス基板位置決め装置
を移動可能として、位置決め搬送装置とした点が前記実
施の形態と異なっている。

【００６４】なお、説明の便宜上、前記実施の形態と同
様の構成については同一の符号を付してその説明を一部
省略する。また、アジャストボルト５０及び係合プレー
ト５１は図示を省略した。

【００６５】所定の経路としてのレール５３に沿って移
動可能に、レール５３を跨ぐように移動体５４が配置さ
れている。移動体５４はその左右両側にレール５３の側
面と当接する転輪５５，５６を備え、一方の転輪５５は
モータ５７の出力軸に固定され、モータ５７の駆動のよ
り移動体５４がレール５３に沿って走行可能となってい
る。

【００６６】移動体５４の上面前端（図９及び図１０の
左側）には支持プレート５８が固定され、その後方には
支持ブラケット４０が固定されている。支持プレート５
８は基端側が肉厚に形成され、肉厚部の先端下側にガイ
ド部５８ａが突設さている。支持プレート５８は肉薄の
部分が二股に形成され、その先端に固定の把持部として
の２本のピン５９が固定され、中間部に４本の支承ピン
１２が固定されている。

【００６７】スライド部４６の下面にはＬ字状の支持板
６０が、その先端が支持プレート５８の基端に形成され
た長孔６１を貫通する状態で固定されている。ガイド部
５８ａを貫通する状態で摺動可能に支持された２本のロ
ッド６２は、その基端が連結板６３を介して支持板６０
の先端に連結されている。ロッド６２の先端はロッド６
２と直交する方向に延びる支持バー６４に固定され、支
持バー６４の両端に可動の把持部としてのピン６５が固
定されている。

【００６８】この実施の形態の基板位置決め搬送装置で
は、ピストンロッド４２ａが没入状態となる待機位置で
支持プレート５８上にガラス基板１３が載置される。次
にエアシリンダ４２が突出作動されると、ガラス基板１
３が両ピン５９，６５に当接してその移動が規制される
まで、ピストンロッド４２ａの移動に伴って、スライド
部４６、支持板６０、ロッド６２及び支持バー６４等を
介してピン６５が把持位置（閉位置）まで移動される。
そして、ガラス基板１３の移動が規制されてピン６５の
移動も阻止された後、さらにガイド軸４４が移動を続け
てフランジ４４ａとスライド部４６との係合が解除され
る。その結果、ガラス基板１３は圧縮バネ５２の圧縮量
に対応する所定の押圧力がピン６５から付与された状態
で両ピン５９，６５により把持される。

【００６９】この状態でモータ５７が駆動されて移動体
５４がレール５３に沿って図９の左方向に走行し、ガラ
ス基板１３はがたの無い位置決め保持状態を維持したま
ま所定位置まで搬送される。この実施の形態では位置決
めされたガラス基板１３を搬送装置上に移載する作業が
不要となり、ガラス基板１３の位置決め保持後、直ちに
ガラス基板１３の搬送が開始されるため、ガラス基板の
位置決めを行って所定位置まで搬送するのに要する時間
が短縮される。また、ガラス基板１３が所定の押圧力で
位置決め保持されているため、搬送時にガラス基板１３
が落下することがない。

【００７０】なお、本発明は次のように任意に変更して
具体化することも可能である。 （１） 第１の実施の形態において、各内側スライド部
１５ａ，１５ｂを往復移動させる移動手段を構成するボ
ールねじ１７ａ，１７ｂを連結せずに、それぞれ別のモ
ータで独立して駆動する構成とする。また、各内側スラ
イド部１５ａ，１５ｂをそれぞれエアシリンダのピスト
ンロッドと連結し、エアシリンダの作動により各内側ス
ライド部１５ａ，１５ｂを往復移動させる構成としても
よい。各内側スライド部１５ａ，１５ｂを独立して移動
可能な構成では、把持動作の際、まず、第１の内側スラ
イド部１５ａを移動させて第１の外側スライド部１６ａ
をストッパ３３と当接する位置まで移動させた後、第２
の内側スライド部１５ｂの移動を開始する。その結果、
ローラ３７ａがガラス基板１３と当接してガラス基板１
３の移動を規制した状態で、ローラ３７ｂがガラス基板
１３と当接する状態となり、押圧力の調整が容易とな
る。

【００７１】（２） 第１の実施の形態において、スト
ッパ３３を省略してもよい。この場合は両ローラ３７
ａ，３７ｂがガラス基板１３と当接した後の両内側スラ
イド部１５ａ，１５ｂの移動量に対応した強さの押圧力
が、両ローラ３７ａ，３７ｂからガラス基板１３に付与
される。

【００７２】（３） 引っ張りバネ３２を使用した第１
の実施の形態において、いずれか一方のローラを所定位
置に移動不能に配設し、他方のローラのみを往復移動可
能とする。この場合は、可動の把持部となるローラが閉
位置へ移動する途中でガラス基板１３と当接し、更に移
動を続けてガラス基板１３が固定の把持部となるローラ
に当接した後、内側スライド部がさらに移動することに
より、所定の押圧力でガラス基板１３が把持される。こ
の場合、構成が簡単となる。

【００７３】（４） 第２あるいは第３の実施の形態に
おいて、第１の実施の形態と同様にガラス基板１３をそ
の対角位置において把持する構成とする。この場合、位
置決め保持がより正確となる。また、第１の実施の形態
において、ガラス基板１３を対向する２辺で把持する構
成としてもよい。

【００７４】（５） 第１の実施の形態において、支持
プレート３を旋回させる駆動手段としてベルト伝動装置
に代えて、エアシリンダあるいは油圧シリンダを使用
し、ボス部をレバーを介してピストンロッドと連結して
もよい。また、支持プレート３を回転可能に支持する構
成として、支軸２にベアリングで支持する構成に代え
て、ボス部３ａの外側に設けた支持ブラケットとボス部
３の外周との間にベアリングを設けて支持する構成とし
てもよい。

【００７５】（６） 第２あるいは第３の実施の形態の
位置決め装置に第１の実施の形態あるいは（５）の旋回
手段を付加してもよい。第３の実施の形態に付加した場
合は、位置決め保持した状態で搬送可能な他にガラス基
板１３の向きの変更も可能となり、ガラス基板１３の向
きを変更して搬送する場合に対応できる。

【００７６】（７） 第１の実施の形態において、支持
プレート３の旋回中心を位置決めされたガラス基板１３
の中心と偏心した位置となるように構成してもよい。 （８） 第３の実施の形態において、移動体５４を移動
させる手段としてレール５３に沿って走行可能なベルト
をモータにより駆動される駆動プーリと被動プーリ間に
巻き掛けた状態で設け、ベルトと移動体５４を連結す
る。

【００７７】（９） ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）装置
の製造装置以外で使用されるガラス基板位置決め装置、
搬送装置に適用してもよい。 上記の各実施の形態及び変更例から把握できる請求項以
外の技術的思想について、以下にその効果とともに記載
する。

【００７８】（イ） 請求項２に記載の発明において、
全ての把持部を把持位置と待機位置とに移動可能とす
る。この場合、ガラス基板の把持を解除したときに全て
の把持部がガラス基板の端面から離間した位置に配置さ
れ、ガラス基板を位置決め装置から取り出すときに、ガ
ラス基板に無理な力が加わる虞がない。

【００７９】（ロ） 請求項２に記載の押圧力付与手段
は引っ張りバネの作用により前記把持部にガラス基板に
対する押圧力を付与する。この場合、ガラス基板を位置
決め保持する際に、ガラス基板に対して付与する押圧力
の大きさを、バネ定数と引っ張りバネの伸び量により容
易に調整できる。

【００８０】（ハ） （ロ）に記載の押圧力付与手段
は、リニアガイドに沿って移動する２個のスライド部
と、両スライド部を連結するように設けられた引っ張り
バネを備え、外側に配置されたスライド部側に把持部が
設けられている。この場合、押圧力付与手段は把持部よ
り内側に配置されるため、装置全体の小型化が可能とな
る。 （ニ） 請求項２に記載の押圧力付与手段は圧縮バネの
作用により前記把持部にガラス基板に対する押圧力を付
与する。この場合、ガラス基板を位置決め保持する際
に、ガラス基板に対して付与する押圧力の大きさを、バ
ネ定数と圧縮バネの圧縮量により容易に調整できる。

【００８１】（ホ） 請求項４に記載の発明において、
前記支持部材の旋回中心は位置決めされたガラス基板の
中心と同軸上に設定されている。この場合、位置決め保
持したガラス基板の向きを、その中心を旋回中心として
旋回させて変更できる。

【００８２】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜請求項
５の発明は、ガラス基板に無理な力を加えずに正確な位
置決め保持を行うことができる。

【００８３】請求項３の発明は、ガラス基板の角部を把
持する把持部がガラス基板の隣接する２辺と同時に係合
してその位置決めを行うため、ガラス基板は４辺とも位
置決めされて正確な位置決めが行われる。

【００８４】請求項４の発明は、位置決め保持したガラ
ス基板の向きを変更することができる。請求項５の発明
は、位置決め装置が移動体上に設けられているため、位
置決めされたガラス基板を搬送装置上に移載する作業が
不要となり、ガラス基板の位置決めを行って所定位置ま
で搬送するのに要する時間を短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態の平面図。

【図２】同じく正面図。

【図３】把持部の開状態を示す説明図で、（ａ）は概略
平面図、（ｂ）は概略正面図。

【図４】把持部の閉状態を示す説明図で、（ａ）は概略
平面図、（ｂ）は概略正面図。

【図５】把持部の閉状態を示す部分平面図。

【図６】第２の実施の形態の平面図。

【図７】把持部の開状態を示す一部破断概略正面図。

【図８】把持部の閉状態を示す一部破断概略正面図。

【図９】第３の実施の形態の概略平面図。

【図１０】同じく概略正面図。

【図１１】従来装置の閉状態を示す説明図で、（ａ）は
概略平面図、（ｂ）は概略正面図。

【図１２】 閉状態のガラス基板とローラの関係を示す
部分平面図。

【符号の説明】

３…支持部材としての支持プレート、８…駆動手段を構
成するモータ、１２…支承部としての支承ピン、１３…
ガラス基板、１５ａ，１５ｂ…移動手段を構成する内側
スライド部、１６ａ，１６ｂ…同じく外側スライド部、
１７…同じくボールねじ、２１…同じくモータ、２６…
同じくボールナット、３２…押圧力付与手段を構成する
引っ張りバネ、３７ａ，３７ｂ，３９，４９…把持部を
構成するローラ、４２…移動手段を構成するエアシリン
ダ、４４…同じくガイド軸、４６…同じくスライド部、
５２…押圧力付与手段を構成する圧縮バネ、５３…所定
の経路を構成するレール、５４…移動体、５７…モー
タ、５９，６５…把持部を構成するピン。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板を支承する支承部上にガラス
   基板を載置し、そのガラス基板の端面にガラス基板を把
   持する複数の把持部を当接させて位置決めを行うガラス
   基板位置決め方法であって、 前記複数の把持部の少なくとも１個をガラス基板の端面
   に当接する把持位置と、ガラス基板から離間した待機位
   置とに移動手段により移動可能に構成し、前記把持部の
   少なくとも１個を把持位置に配置したときに、その把持
   部が当接するガラス基板に対して押圧力付与手段の作用
   により把持部から所定の押圧力を付与して位置決めする
   ようにしたガラス基板位置決め方法。
2. 【請求項２】 ガラス基板を支承する支承部上に載置さ
   れたガラス基板の端面と当接して、ガラス基板を把持す
   る複数の把持部を備えたガラス基板位置決め装置であっ
   て、 前記複数の把持部の少なくとも１個をガラス基板の端面
   に当接する把持位置と、ガラス基板から離間した待機位
   置とに移動手段により移動可能に構成し、前記把持部の
   少なくとも１個が把持位置に配置されたときにその把持
   部が当接するガラス基板に対して把持部から所定の押圧
   力を付与する押圧力付与手段を設けたガラス基板位置決
   め装置。
3. 【請求項３】 前記把持部は四角形状のガラス基板の隣
   接する２辺と同時に係合可能に構成され、ガラス基板を
   その対角位置において把持可能に２個設けられている請
   求項２に記載のガラス基板位置決め装置。
4. 【請求項４】 請求項２又は請求項３に記載のガラス基
   板位置決め装置を旋回可能な支持部材上に配設し、前記
   支持部材を所定角度旋回させる駆動手段を設けたガラス
   基板位置決め装置。
5. 【請求項５】 請求項２〜請求項４のいずれか１項に記
   載のガラス基板位置決め装置を所定の経路に沿って移動
   可能に設けられた移動体上に搭載したガラス基板位置決
   め搬送装置。