JPH09113742A - 側面発光型プラスチック光ファイバおよびその製造方法 - Google Patents
側面発光型プラスチック光ファイバおよびその製造方法Info
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- JPH09113742A JPH09113742A JP7291669A JP29166995A JPH09113742A JP H09113742 A JPH09113742 A JP H09113742A JP 7291669 A JP7291669 A JP 7291669A JP 29166995 A JP29166995 A JP 29166995A JP H09113742 A JPH09113742 A JP H09113742A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- diameter
- fiber
- plastic optical
- core
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
- G02B6/4203—Optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02033—Core or cladding made from organic material, e.g. polymeric material
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光源近辺の部分での光の過剰な漏洩を防止
し、それによって光ファイバの長短にかかわらず、全長
に渡って一定の光量の光を漏洩させて射出させる光ファ
イバを提供する。 【解決手段】 コア３およびクラッド２に透明なプラス
チック樹脂を用い、側面から光を漏曳させる光ファイバ
において、光を入射する部分がその光ファイバの構成中
最大クラッド径・コア径を持ち、そこから長手方向にテ
ーパ状にファイバ径が細くなるテーパ部４、途中より一
定のファイバ径を持つ一定外径部５より構成される側面
発光型プラスチック光ファイバである。
し、それによって光ファイバの長短にかかわらず、全長
に渡って一定の光量の光を漏洩させて射出させる光ファ
イバを提供する。 【解決手段】 コア３およびクラッド２に透明なプラス
チック樹脂を用い、側面から光を漏曳させる光ファイバ
において、光を入射する部分がその光ファイバの構成中
最大クラッド径・コア径を持ち、そこから長手方向にテ
ーパ状にファイバ径が細くなるテーパ部４、途中より一
定のファイバ径を持つ一定外径部５より構成される側面
発光型プラスチック光ファイバである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、装飾灯，誘導灯
等に適した側面発光型のプラスチック光ファイバに関す
るものである。
等に適した側面発光型のプラスチック光ファイバに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光ファイバは色々な用途に用いら
れるようになってきたが、その中でもプラスチック光フ
ァイバは大口径，柔軟性，熱を発生しない等の特徴を有
するため、その特徴を生かして装飾灯，誘導灯等の用途
にも用いられるようになってきている。また、クリーン
ルームや水中での微生物の繁殖用といった光源の設置が
難しい部分での照明用途にも使用することが検討されつ
つあり、将来応用分野の拡大とともに有望な製品となっ
ている。
れるようになってきたが、その中でもプラスチック光フ
ァイバは大口径，柔軟性，熱を発生しない等の特徴を有
するため、その特徴を生かして装飾灯，誘導灯等の用途
にも用いられるようになってきている。また、クリーン
ルームや水中での微生物の繁殖用といった光源の設置が
難しい部分での照明用途にも使用することが検討されつ
つあり、将来応用分野の拡大とともに有望な製品となっ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の側面
発光型のプラスチック光ファイバは、その殆どが全長に
渡り一定の外径を有するものであり、単純にそのクラッ
ドとコアとの界面から漏れた光を光ファイバの側面から
射出して照明するという形態で用いられているのが一般
的である。
発光型のプラスチック光ファイバは、その殆どが全長に
渡り一定の外径を有するものであり、単純にそのクラッ
ドとコアとの界面から漏れた光を光ファイバの側面から
射出して照明するという形態で用いられているのが一般
的である。
【０００４】一定の外径に成形された従来の光ファイバ
に光源からの光を入射させた場合、図３のグラフにおい
て破線に示すように、光源近辺の部分においてかなりの
光が漏洩してしまい、その結果光ファイバの全長に渡り
均一に側面から光を射出させることは不可能であった。
また、光源近辺の部分で過剰な光が漏洩するため光ファ
イバに入射した光の光量の損失が大きく、このことは光
ファイバ長が長くなればなる程強い光を全長に渡って漏
洩させることが困難な構成となっている。さらに、従来
は光ファイバをテーパ状に成形すること、とりわけテー
パ部と一定外径部を有する複雑な形状を有する光ファイ
バを製造することは極めて困難であった。
に光源からの光を入射させた場合、図３のグラフにおい
て破線に示すように、光源近辺の部分においてかなりの
光が漏洩してしまい、その結果光ファイバの全長に渡り
均一に側面から光を射出させることは不可能であった。
また、光源近辺の部分で過剰な光が漏洩するため光ファ
イバに入射した光の光量の損失が大きく、このことは光
ファイバ長が長くなればなる程強い光を全長に渡って漏
洩させることが困難な構成となっている。さらに、従来
は光ファイバをテーパ状に成形すること、とりわけテー
パ部と一定外径部を有する複雑な形状を有する光ファイ
バを製造することは極めて困難であった。
【０００５】この発明の目的は、前述した側面発光型プ
ラスチック光ファイバにおいて、光源近辺の部分での光
の過剰な漏洩を防止し、それによって光ファイバの長短
にかかわらず、全長に渡って一定の光量の光を漏洩させ
て射出させる光ファイバを提供することにある。即ち、
光源近辺の部分での光の過剰な漏洩がトータルな光量の
ロスとなるため、このロスを少なくすることによってよ
り強い光量の光を光ファイバの長手方向に渡って均一に
漏洩させて射出することができるようになる。また、そ
の製造が極めて困難であった光ファイバを、簡単な成形
方法で容易に製造することができる光ファイバを提供す
ることにある。
ラスチック光ファイバにおいて、光源近辺の部分での光
の過剰な漏洩を防止し、それによって光ファイバの長短
にかかわらず、全長に渡って一定の光量の光を漏洩させ
て射出させる光ファイバを提供することにある。即ち、
光源近辺の部分での光の過剰な漏洩がトータルな光量の
ロスとなるため、このロスを少なくすることによってよ
り強い光量の光を光ファイバの長手方向に渡って均一に
漏洩させて射出することができるようになる。また、そ
の製造が極めて困難であった光ファイバを、簡単な成形
方法で容易に製造することができる光ファイバを提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明により提供され
る側面発光型のプラスチック光ファイバは、コア材およ
びクラッド材に透明なプラスチック樹脂を用い、それら
の界面から光を漏洩させる光ファイバにおいて、光を入
射する部分がその光ファイバの構成中最大のファイバ径
を持ち、そこから長手方向にテーパ状にファイバ径が細
くなり、途中よりファイバ径が一定となる形状であるこ
とを特徴としている。また、上記光ファイバにおいて、
テーパ状にファイバ径が変化する部分の長さを一定のフ
ァイバ径を持つ部分長さに対して短くすることにより容
易に作成できるようにした。さらに、チューブ状に成形
したクラッド材の中にコア材を注入することにより、テ
ーパ部を金型等にて成形することが容易となり、その他
のファイバ径が一定の部分も連続して容易に成形するこ
とが可能となる。
る側面発光型のプラスチック光ファイバは、コア材およ
びクラッド材に透明なプラスチック樹脂を用い、それら
の界面から光を漏洩させる光ファイバにおいて、光を入
射する部分がその光ファイバの構成中最大のファイバ径
を持ち、そこから長手方向にテーパ状にファイバ径が細
くなり、途中よりファイバ径が一定となる形状であるこ
とを特徴としている。また、上記光ファイバにおいて、
テーパ状にファイバ径が変化する部分の長さを一定のフ
ァイバ径を持つ部分長さに対して短くすることにより容
易に作成できるようにした。さらに、チューブ状に成形
したクラッド材の中にコア材を注入することにより、テ
ーパ部を金型等にて成形することが容易となり、その他
のファイバ径が一定の部分も連続して容易に成形するこ
とが可能となる。
【０００７】この発明で、光ファイバのファイバ径を光
入射部の最大外径において２〜１５ｍｍ、外径が一定に
なる部分において１〜１３ｍｍの範囲とした理由は、こ
のファイバ径より太いと光ファイバの柔軟性が損なわ
れ、また、光ファイバの製造に必要な材料の増加により
価格が上がってしまい実用的でなくなるためである。た
だし、実際に用いられる光ファイバの寸法は、必要照度
や設置場所等の条件に応じて決定する必要がある。
入射部の最大外径において２〜１５ｍｍ、外径が一定に
なる部分において１〜１３ｍｍの範囲とした理由は、こ
のファイバ径より太いと光ファイバの柔軟性が損なわ
れ、また、光ファイバの製造に必要な材料の増加により
価格が上がってしまい実用的でなくなるためである。た
だし、実際に用いられる光ファイバの寸法は、必要照度
や設置場所等の条件に応じて決定する必要がある。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいてこの発明の
実施例を説明する。図１は、一実施例の側面発光型プラ
スチック光ファイバの構成を示す側面図、図２は使用状
態を示す側面図である。即ち、光ファイバ１は周縁のク
ラッド２と中央のコア３から形成されている。そして、
光源６からの光を図示しないレンズで集光させて入射さ
せる。光源側のテーパ部４の端部は最大のファイバ径を
持ち、そこからテーパ状に次第にファイバ径が細くな
り、途中からファイバ径が一定となる一定外径部５が形
成されている。この光ファイバ１の使用例として、図２
に示すように光源２からの光を端部のテーパ部４に入射
させると、入射した光は光ファイバ１の長手方向の側面
よりほぼ均一に漏れて射出され、光ファイバ１が発光し
た状態になる。
実施例を説明する。図１は、一実施例の側面発光型プラ
スチック光ファイバの構成を示す側面図、図２は使用状
態を示す側面図である。即ち、光ファイバ１は周縁のク
ラッド２と中央のコア３から形成されている。そして、
光源６からの光を図示しないレンズで集光させて入射さ
せる。光源側のテーパ部４の端部は最大のファイバ径を
持ち、そこからテーパ状に次第にファイバ径が細くな
り、途中からファイバ径が一定となる一定外径部５が形
成されている。この光ファイバ１の使用例として、図２
に示すように光源２からの光を端部のテーパ部４に入射
させると、入射した光は光ファイバ１の長手方向の側面
よりほぼ均一に漏れて射出され、光ファイバ１が発光し
た状態になる。
【０００９】上記側面発光型プラスチック光ファイバ１
のクラッド２を構成する材質としては、テトラフルオロ
エチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
体（ＰＦＡ）もしくはテトラフルオロエチレン・ヘキサ
フルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）を用いるとよ
い。これらの材料は透明性に優れ、かつ、押出によりチ
ューブ状に成形することが容易であるからである。ま
た、耐熱性，伸びにも優れているため、熱硬化性樹脂を
中に注入してコア３を成形するのに適している。
のクラッド２を構成する材質としては、テトラフルオロ
エチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
体（ＰＦＡ）もしくはテトラフルオロエチレン・ヘキサ
フルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）を用いるとよ
い。これらの材料は透明性に優れ、かつ、押出によりチ
ューブ状に成形することが容易であるからである。ま
た、耐熱性，伸びにも優れているため、熱硬化性樹脂を
中に注入してコア３を成形するのに適している。
【００１０】コア３を構成する材質としては、屈折率が
クラッド２の屈折率に対して０．０１〜０．２大きい樹
脂がよい。屈折率がこれより小さいとクラッド２とコア
３との界面で光の反射が十分ではなくなり、側面発光型
の光ファイバとしての機能が弱くなる。また、屈折率が
これより大きいとテーパ部４の界面での反射が大きくな
り過ぎ、光ファイバ１の先端まで十分な光量の光が伝搬
しなくなる。ここで適正な屈折率とは、光ファイバ１か
ら漏洩させる光量と光ファイバの必要条長によって、光
ファイバの有するテーパ部４の角度と屈折率を合わせて
計算されるべきものであり、この発明では特にこれを限
定しない。
クラッド２の屈折率に対して０．０１〜０．２大きい樹
脂がよい。屈折率がこれより小さいとクラッド２とコア
３との界面で光の反射が十分ではなくなり、側面発光型
の光ファイバとしての機能が弱くなる。また、屈折率が
これより大きいとテーパ部４の界面での反射が大きくな
り過ぎ、光ファイバ１の先端まで十分な光量の光が伝搬
しなくなる。ここで適正な屈折率とは、光ファイバ１か
ら漏洩させる光量と光ファイバの必要条長によって、光
ファイバの有するテーパ部４の角度と屈折率を合わせて
計算されるべきものであり、この発明では特にこれを限
定しない。
【００１１】この側面発光型プラスチック光ファイバ１
の製造方法としては、クラッド材の中にコア材を注入
し、熱および圧力をかけてテーパ部４を成形すると同時
に、注入したコア材を熱硬化させ、光ファイバを成形す
る方法が適している。よりよい方法としては、コア３に
熱硬化性樹脂を用いると、光ファイバ１の成形がより容
易となる。これは熱硬化性樹脂の方がテーパ部４を成形
した後、さらに一定外径部５を成形しようとした場合、
寸法精度，形状安定性に優れているからである。熱可塑
性樹脂を用いると、テーパ部４を成形した後、さらに一
定外径部５を成形しようとした場合等に形状が変化する
恐れがある。また、熱可塑性樹脂に比べ、熱硬化性樹脂
の方が成形温度を低くすることができるため、クラッド
２をテーパ状に成形する際、クラッド材を軟化温度以上
・溶融温度以下に保つことが容易となる。
の製造方法としては、クラッド材の中にコア材を注入
し、熱および圧力をかけてテーパ部４を成形すると同時
に、注入したコア材を熱硬化させ、光ファイバを成形す
る方法が適している。よりよい方法としては、コア３に
熱硬化性樹脂を用いると、光ファイバ１の成形がより容
易となる。これは熱硬化性樹脂の方がテーパ部４を成形
した後、さらに一定外径部５を成形しようとした場合、
寸法精度，形状安定性に優れているからである。熱可塑
性樹脂を用いると、テーパ部４を成形した後、さらに一
定外径部５を成形しようとした場合等に形状が変化する
恐れがある。また、熱可塑性樹脂に比べ、熱硬化性樹脂
の方が成形温度を低くすることができるため、クラッド
２をテーパ状に成形する際、クラッド材を軟化温度以上
・溶融温度以下に保つことが容易となる。
【００１２】ここで、コア３の材質としては熱硬化性シ
リコン樹脂を用いるのが良い。熱硬化性シリコン樹脂は
光ファイバの材料として要求される透明性を確保できる
と共に、耐熱性をも有するからである。最近の傾向とし
て、光源６にハロゲンランプ，キセノンランプ等の照度
の高いランプが用いられることが多くなってきている
が、こういった高輝度の光源を用いてレンズで光ファイ
バに集光させた場合、かなりの熱が発生するからであ
る。他の樹脂では変形，焦げ等が発生して実用的ではな
くなる。
リコン樹脂を用いるのが良い。熱硬化性シリコン樹脂は
光ファイバの材料として要求される透明性を確保できる
と共に、耐熱性をも有するからである。最近の傾向とし
て、光源６にハロゲンランプ，キセノンランプ等の照度
の高いランプが用いられることが多くなってきている
が、こういった高輝度の光源を用いてレンズで光ファイ
バに集光させた場合、かなりの熱が発生するからであ
る。他の樹脂では変形，焦げ等が発生して実用的ではな
くなる。
【００１３】
【実施例】図４に基づいて、具体的な製造方法の実施例
を説明する。クラッドとして外径６ｍｍ、内径５ｍｍの
テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共
重合体（ＦＥＰ）のチューブ７の片端を金型８に挿入
し、もう一方の片端より圧力１０ｋｇｆ／ｃｍ2 にて熱
硬化性シリコン樹脂９を注入してコアを形成する。そし
て、テーパ部の先端を封止した後、圧力を保ったまま金
型８に１２０℃の熱をかけてシリコン樹脂９を硬化させ
る。その後、圧力を１ｋｇｆ／ｃｍ2 に落とし、金型部
以外のチューブ７に熱をかけて全長のシリコン樹脂９を
硬化させた。こうして得られたテーパ部の端面のクラッ
ドの外径が１０ｍｍ，コアの外径が９．４ｍｍ，一定外
径部のクラッドの外径が６ｍｍ，コアの外径が５ｍｍ，
テーパ部の長さが０．６ｍ，光ファイバの全長が４ｍの
側面発光型プラスチック光ファイバ１が製作された。
を説明する。クラッドとして外径６ｍｍ、内径５ｍｍの
テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共
重合体（ＦＥＰ）のチューブ７の片端を金型８に挿入
し、もう一方の片端より圧力１０ｋｇｆ／ｃｍ2 にて熱
硬化性シリコン樹脂９を注入してコアを形成する。そし
て、テーパ部の先端を封止した後、圧力を保ったまま金
型８に１２０℃の熱をかけてシリコン樹脂９を硬化させ
る。その後、圧力を１ｋｇｆ／ｃｍ2 に落とし、金型部
以外のチューブ７に熱をかけて全長のシリコン樹脂９を
硬化させた。こうして得られたテーパ部の端面のクラッ
ドの外径が１０ｍｍ，コアの外径が９．４ｍｍ，一定外
径部のクラッドの外径が６ｍｍ，コアの外径が５ｍｍ，
テーパ部の長さが０．６ｍ，光ファイバの全長が４ｍの
側面発光型プラスチック光ファイバ１が製作された。
【００１４】この側面発光型プラスチック光ファイバ１
のテーパ部４の端面に光源６から光を入射させたとこ
ろ、図３のグラフに実線で示すような全長に渡って良好
に光が射出されることが確認された。
のテーパ部４の端面に光源６から光を入射させたとこ
ろ、図３のグラフに実線で示すような全長に渡って良好
に光が射出されることが確認された。
【００１５】比較例として、クラッド材として外径６ｍ
ｍ、内径５ｍｍのＦＥＰチューブを用い、この中に熱硬
化性シリコン樹脂を注入し、常圧にて全長の樹脂を熱硬
化させて得られたクラッド径６ｍｍ，コア径５ｍｍ，光
ファイバ全長４ｍの一定外径部を有するプラスチック光
ファイバを作成し、上記と同様に光ファイバ端面に光源
から光を入射させたところ、図３のグラフで点線で示す
ような結果が得られた。即ち、入射部近辺でかなりの光
が漏れてしまい、光ファイバ全長において均一な発光が
得られなかった。
ｍ、内径５ｍｍのＦＥＰチューブを用い、この中に熱硬
化性シリコン樹脂を注入し、常圧にて全長の樹脂を熱硬
化させて得られたクラッド径６ｍｍ，コア径５ｍｍ，光
ファイバ全長４ｍの一定外径部を有するプラスチック光
ファイバを作成し、上記と同様に光ファイバ端面に光源
から光を入射させたところ、図３のグラフで点線で示す
ような結果が得られた。即ち、入射部近辺でかなりの光
が漏れてしまい、光ファイバ全長において均一な発光が
得られなかった。
【発明の効果】以上説明したとおり、この発明の側面発
光型プラスチック光ファイバによれば、光ファイバの全
長に渡り均一な射出光の得られる優れた側面発光の光フ
ァイバとなる。その製造においても、チューブ状あるい
は押出方式によりチューブ状に成形したクラッド材に熱
および圧力をかけてコア材を注入することにより容易に
製造することが可能である。
光型プラスチック光ファイバによれば、光ファイバの全
長に渡り均一な射出光の得られる優れた側面発光の光フ
ァイバとなる。その製造においても、チューブ状あるい
は押出方式によりチューブ状に成形したクラッド材に熱
および圧力をかけてコア材を注入することにより容易に
製造することが可能である。
【図１】この発明の側面発光型プラスチック光ファイバ
の構成を示す側面図、
の構成を示す側面図、
【図２】図１の側面発光型プラスチック光ファイバの使
用状態を示す側面図、
用状態を示す側面図、
【図３】この発明の側面発光型プラスチック光ファイバ
と従来のプラスチック光ファイバとの実験例を比較した
グラフ、
と従来のプラスチック光ファイバとの実験例を比較した
グラフ、
【図４】この発明の側面発光型プラスチック光ファイバ
の製造方法の一例を示す斜視図である。
の製造方法の一例を示す斜視図である。
１ 側面発光型プラスチック光ファイバ ２ クラッド ３ コア ４ テーパ部 ５ 一定外径部 ６ 光源 ７ チューブ状のクラッド ８ 金型 ９ コア材
Claims (6)
- 【請求項１】 コアおよびクラッド材に透明なプラスチ
ック樹脂を用い、側面から光を漏曳させる光ファイバに
おいて、光を入射する部分がその光ファイバの構成中最
大クラッド径・コア径（以下ファイバ径と呼ぶ）を持
ち、そこから長手方向にテーパ状にファイバ径が細くな
り、途中より一定のファイバ径を持つ部分より構成され
ることを特徴とする側面発光型プラスチック光ファイ
バ。 - 【請求項２】 請求項１記載の側面発光型プラスチック
光ファイバにおいて、ファイバ径が変化するテーパ部分
の長さが一定のファイバ径を持つ部分の長さより短いこ
とを特徴とする側面発光型プラスチック光ファイバ。 - 【請求項３】 ファイバ径が、光入射部の最大外径にお
いて２〜１５ｍｍ、外径が一定になる部分において１〜
１３ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項１または
請求項２に記載された側面発光型プラスチック光ファイ
バ。 - 【請求項４】 クラッド材にテトラフルオロエチレン・
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦ
Ａ）もしくはテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロ
プロピレン共重合体（ＦＥＰ）を用い、コア材として屈
折率がクラッド材の屈折率に対して０．０１〜０．２大
きい樹脂を用いたことを特徴とする請求項１から請求項
３までの何れかに記載された側面発光型プラスチック光
ファイバ。 - 【請求項５】 請求項１および請求項２記載の側面発光
型プラスチック光ファイバにおいて、あらかじめクラッ
ド材としてチューブ状に成型した樹脂の中にコア材を圧
力をかけて注入し、その圧力によってテーパ部分を成型
すると同時にコアとクラッドを成形してファイバ化する
側面発光型プラスチック光ファイバの製造方法。 - 【請求項６】 押出方式によりチューブ状に成形したク
ラッド材，熱硬化性シリコン樹脂をコア材として、クラ
ッド材の中にコア材を注入し、熱および圧力をかけてテ
ーパ部を成形すると同時にコア材を熱硬化させ、ファイ
バを成形する側面発光型プラスチック光ファイバの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7291669A JPH09113742A (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | 側面発光型プラスチック光ファイバおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7291669A JPH09113742A (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | 側面発光型プラスチック光ファイバおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09113742A true JPH09113742A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=17771908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7291669A Pending JPH09113742A (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | 側面発光型プラスチック光ファイバおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09113742A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7345739B2 (en) | 2003-03-07 | 2008-03-18 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic alignment system and device manufacturing method |
| JPWO2010001589A1 (ja) * | 2008-07-02 | 2011-12-15 | パナソニック株式会社 | ガイド装置 |
-
1995
- 1995-10-16 JP JP7291669A patent/JPH09113742A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7345739B2 (en) | 2003-03-07 | 2008-03-18 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic alignment system and device manufacturing method |
| JPWO2010001589A1 (ja) * | 2008-07-02 | 2011-12-15 | パナソニック株式会社 | ガイド装置 |
| JP5291101B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2013-09-18 | パナソニック株式会社 | ガイド装置 |
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