JPH0897176A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搬送機構の構成を簡素にしかつコストを低減
する。 【構成】 基板処理装置は、キャリアＣに収納された基
板を処理し、搬入位置と異なる搬出位置にキャリア及び
基板を搬送して処理済の基板をキャリアに収納する装置
であって、ローダ部と複数の処理部とアンローダ部と搬
送ロボット１２とを備えている。ローダ部は、搬入位置
に搬入されたキャリアＣを載置し、キャリアＣから基板
Ｗを抜き取る。複数の処理部は並べて配置されており、
ローダ部３で抜き取られた基板Ｗを処理する。アンロー
ダ部は、処理部で処理された基板ＷをキャリアＣに収納
し、キャリアＣを搬出位置に載置する。搬送ロボット１
２は、ローダ部とアンローダ部との間で基板Ｗ及びキャ
リアＣを別々に搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板処理装置、特に、
搬入位置に搬入されたキャリア内の基板を処理し、搬入
位置と異なる搬出位置にキャリア及び基板を搬送して処
理済の基板をキャリアに収納する基板処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、半導体用の基板や液晶表示装
置用の基板を処理する基板処理装置として、装置の両端
にローダ部とアンローダ部とを配置し、ローダ部とアン
ローダ部との間に複数の基板処理部を配置したものが知
られている。この基板処理装置は、搬送されたキャリア
を載置し、キャリアから基板を抜き取るローダ部と、抜
き取られた基板を浸漬する処理槽を有する並べて配置さ
れた複数の基板処理部と、基板処理された基板を乾燥さ
せる基板乾燥部と、乾燥された基板をキャリア内に収納
し、搬出するためのアンローダ部と、ローダ部からアン
ローダ部にキャリアを搬送するキャリア回送ロボット
と、ローダ部からアンローダ部に基板を搬送する基板搬
送ロボットとを備えている。

【０００３】基板処理部は、たとえば、上流側から順に
第１薬液槽、第１純水槽、第２薬液槽、第２純水槽、第
３薬液槽、第３純水槽、最終水洗槽を並べて配置した構
造である。ここで、ローダ部とアンローダ部とを装置の
両端に設けたのは、基板を順送りで処理できるようにし
て処理能力を高めるためである。この結果、処理済の基
板を収納するために、ローダ部からアンローダ部にキャ
リアを搬送するキャリア回送ロボットが必要になる。

【０００４】このような基板処理装置では、ローダ部に
キャリアが載置されると、基板がキャリアから抜き取ら
れ、基板搬送ロボットによって第１薬液槽に搬送され
る。そして第１の薬液処理が施され、続いて第１純水槽
に搬送される。第１純水槽で純水洗浄が終了すると、基
板は、第２薬液槽、第２純水槽、第３薬液槽、第３純水
槽、最終水洗槽に基板搬送ロボットにより順次搬送され
る。最終水洗槽での水洗処理が終了すると、基板搬送ロ
ボットにより基板乾燥部に基板が搬送される。そして基
板乾燥部での処理が終了すると、基板搬送ロボットでア
ンローダ部に基板が搬送され、キャリア回送ロボットに
より回送されたキャリアに基板が収納される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記従来の基板処理装
置では、基板搬送ロボットに加えて、キャリアを回送す
るキャリア回送ロボットが必要であり、搬送機構が複雑
になり、装置をコンパクト化しにくくコストも高くな
る。本発明の目的は、搬送機構の構成が簡素な基板処理
装置を提供することにある。

【０００６】本発明の別の目的は、装置をコンパクト化
しかつコストを低減することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る基板処理
装置は、搬入位置に搬入されたキャリアに収納された基
板を処理し、搬入位置と異なる搬出位置にキャリア及び
基板を搬送して処理済の基板をキャリアに収納する装置
であって、ローダ部と複数の基板処理部とアンローダ部
と搬送部とを備えている。ローダ部は、搬入位置に搬入
されたキャリアを載置し、載置されたキャリアから基板
を抜き取る。基板処理部はローダ部で抜き取られた基板
を処理する。アンローダ部は、基板処理部で処理された
基板をキャリアに収納し、搬出位置に載置する。搬送部
は、ローダ部とアンローダ部との間で基板とキャリアと
を搬送する。

【０００８】請求項２に係る基板処理装置は、請求項１
に記載の装置において、搬送部は１対の保持アームを有
し、この保持アームには基板を保持する基板保持部と、
キャリアを保持するキャリア保持部とが設けられてい
る。請求項３に係る基板処理装置は、請求項２に記載の
装置において、基板保持部とキャリア保持部とは上下に
並べて配置されている。

【０００９】請求項４に記載の基板処理装置は、請求項
２に記載の装置において、保持アームが回転可能な平板
状の部材であり、第１面に基板保持部が、第２面にキャ
リア保持部がそれぞれ配置されている。

【００１０】

【作用】請求項１に記載の基板処理装置では、ローダ部
において搬入位置にキャリアが搬入されると、キャリア
から基板が抜き取られる。抜き取られた基板は搬送部に
よって基板処理部に搬送される。この基板処理中に、搬
送部が、基板が抜き取られた空のキャリアをローダ部か
らアンローダ部に搬送する。複数の基板処理部での処理
が終了すると、基板は搬送部によりアンローダ部に搬送
され、予めローダ部から搬送されてきたキャリアに収納
される。

【００１１】請求項２に係る基板処理装置では、基板搬
送時には、１対の保持アームの基板保持部で基板を保持
し、キャリア搬送時には、１対の保持アームのキャリア
保持部でキャリアを搬送する。請求項３に係る基板処理
装置では、基板搬送時には、上に配置された基板保持部
で基板を保持し、キャリア搬送時には、下に配置された
キャリア保持部でキャリアを保持する。

【００１２】請求項４に記載の基板処理装置では、基板
搬送時には、第１面で基板を保持し、キャリア搬送時に
は、第２面でキャリアを保持する。

【００１３】

【実施例】図１及び図２において、本発明の一実施例に
よる基板処理装置１は、搬入されたキャリアＣを載置す
るローダ部２と、１列に配置された７つの処理部３〜９
と、処理済の基板Ｗを乾燥させる基板乾燥部１０と、乾
燥された基板を搬出するためのアンローダ部１１とを有
している。また、基板処理装置１は、ローダ部２からア
ンローダ部１１までの間で基板Ｗを整列保持しかつキャ
リアＣを保持して搬送する搬送ロボット１２を有してい
る。

【００１４】処理部３，５，７はそれぞれ薬液槽を有す
る薬液処理部であり、処理部４，６，８は、それぞれ純
水槽を有する純水処理部である。また処理部９は、最終
水洗槽を有する水洗処理部である。ローダ部２及びアン
ローダ部１１はほぼ同様の構造であるのでローダ部２に
ついて説明する。ローダ部２は、キャリアＣを載置する
ためのキャリア載置部１５と、キャリアＣから基板Ｗを
抜き取るための基板移載部１６とを有している。

【００１５】基板移載部１６は、図３に示すように、昇
降可能な基板受渡し部１７と、基板受渡し部１７の外側
において昇降可能なキャリア受渡し部１８とを有してい
る。基板受渡し部１７は、上端に基板Ｗを保持する保持
溝（図示せず）を有する基板保持部１９を有しており、
図示しない駆動手段により基板保持部１９が昇降駆動さ
れる。キャリア受渡し部１８は、キャリアＣを位置決め
して載置するためのキャリア載置部２０を有している。
キャリア受渡し部１８は、キャリア載置部２０を図示し
ない駆動手段により昇降駆動する。なお、キャリア載置
部１５にもキャリア受渡し部１８が設けられている。搬
送ロボット１２は、図１に示すようにロボット本体２１
と、ロボット本体２１を案内する案内レール２８と、ロ
ボット本体２１の下端に取り付けられた開閉する１対の
保持アーム２２とを有している。保持アーム２２は、図
４に示すように、断面が偏平八角形状の部材であり、そ
の１つの傾斜面２５に、基板保持溝２３とキャリア保持
溝２４とが形成されている。またそれと点対称の傾斜面
２６にも同様に基板保持溝２３とキャリア保持溝２４と
が形成されている。基板保持溝２３は傾斜面２５におい
て、傾斜方向に沿って基板Ｗの保持枚数分形成されてい
る。キャリア保持溝２４は、保持アーム２２の中心軸２
７の軸方向に沿って形成されている。このキャリア保持
溝２４は、キャリアＣの上部に形成された保持用の突起
部を保持し得る。

【００１６】次に、上述の実施例の動作について説明す
る。キャリア載置部１５にキャリアＣが載置されると、
キャリア受渡し部１８が上昇する。そして搬送ロボット
１２がキャリア載置部１５からキャリアＣを受け取る。
この受け取り時には、保持アーム２２のキャリア保持溝
２４がキャリアＣを保持する。受け取られたキャリアＣ
は、基板移載部１６のキャリア受渡し部１８に渡され、
基板移載部１６に移載される。基板移載部１６では、キ
ャリアＣが移載されると、基板受渡し部１７が上昇して
キャリアＣから基板Ｗを抜き取る（図３（Ａ））。

【００１７】抜き取られた基板Ｗは、搬送ロボット１２
によって各処理部３〜９に順に搬送される。この基板搬
送時には、保持アーム２２の基板保持溝２３に基板Ｗを
保持する。処理部９での最終水洗処理が終了した基板Ｗ
は、基板乾燥部１０に送られ、乾燥させられる。またこ
の基板処理中において、空いた時間で搬送ロボット１２
は、基板移載部１６に載置された空のキャリアＣをアン
ローダ部１１の基板移載部１６に搬送する。このキャリ
ア搬送時には、図３（Ｂ）に示すように、キャリア受渡
し部１８によりキャリアＣを上昇させて保持アーム２２
のキャリア保持溝２４でキャリアＣを保持する。

【００１８】基板乾燥部１０による基板乾燥処理が終了
すると、保持アーム２２を１８０°反転させて濡れてい
ない基板保持溝２３で基板Ｗを保持し、アンローダ部１
１の基板移載部１６に搬送する。そしてローダ部２と逆
の手順で処理済の基板ＷをキャリアＣ内に収納する。基
板を収納したキャリアＣは、搬送ロボット１２によりア
ンローダ部１１のキャリア載置部１５に搬送される。

【００１９】ここでは、キャリアＣと基板Ｗとを同一の
搬送ロボット１２で搬送しているので、搬送機構の構成
が簡素になる。 〔他の実施例〕 （ａ） 図５に示すように、傾斜面２５にキャリア保持
溝２４だけを形成し、それと点対称の傾斜面２６に基板
保持溝２３だけを形成してもよい。この場合にはキャリ
アＣと基板Ｗとを別の面で保持するので、制約がないた
め保持アームの構造がさらに簡素になる。 （ｂ） 図６に示すように、保持アーム２２を昇降可能
に配置し、基板Ｗの受渡し時には基板受渡し部１７の昇
降駆動により基板Ｗを受渡し、キャリアＣの受渡し時に
は、保持アーム２２を下降させてキャリアＣを受け渡し
てもよい。 （ｃ） 図７に示すように、搬送ロボット１２として、
ロボット本体３０と、ロボット本体３０の下部に開閉可
能に支持された保持アーム３１，３２を有する構造のも
のでもよい。この保持アーム３１，３２の下端にはキャ
リアＣを保持するためのキャリア保持部材３３，３４が
設けられている。またその上方には、基板Ｗを保持する
ための上下１対の基板保持部材３５，３６が配置されて
いる。この基板保持部材３５，３６には、保持溝（図示
せず）が形成されている。このような構成でも基板Ｗと
キャリアＣとをともに搬送できる。

【００２０】

【発明の効果】請求項１に記載の基板処理装置では、搬
送部が基板とキャリアとをともに搬送できるので、キャ
リア回送ロボットが不要になり、搬送機構の構成が簡素
になる。また装置がコンパクトになりかつコストが低減
する。請求項２に係る基板処理装置では、保持アームが
基板保持部とキャリア保持部とを有しているので、１対
の保持アームで基板とキャリアとを保持できる。このた
め搬送機構の構成がより簡素になる。

【００２１】請求項３に係る基板処理装置では、基板保
持部とキャリア保持部とが上下に並べて配置されている
ので、保持アームの構成が簡素になる。請求項４に記載
の基板処理装置では、平面部材の両面でキャリア及び基
板を保持するようにしているので、さらに保持アームの
構造が簡素になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による基板処理装置の斜視
図。

【図２】その平面図。

【図３】ローダ部の断面部分図。

【図４】保持アームの斜視図。

【図５】他の実施例の図４に相当する図。

【図６】他の実施例の図３に相当する図。

【図７】他の実施例の図３に相当する図。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 ２ ローダ部 ３〜９ 処理部 １１ アンローダ部 １２ 搬送ロボット ２２ 保持アーム ２３ 基板保持溝 ２４ キャリア保持溝 Ｃ キャリア Ｗ 基板

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】搬入位置に搬入されたキャリアに収納され
   た基板を処理し、前記搬入位置と異なる搬出位置に前記
   キャリア及び前記基板を搬送して処理済の基板を前記キ
   ャリアに収納する基板処理装置であって、 前記搬入位置に搬入されたキャリアを載置し、載置され
   たキャリアから基板を抜き取るローダ部と、 前記ローダ部で抜き取られた基板を処理する基板処理部
   と、 前記基板処理部で処理された基板をキャリアに収納し、
   前記キャリアを前記搬出位置に載置するアンローダ部
   と、 前記ローダ部と前記アンローダ部との間で前記基板と前
   記キャリアとを搬送する搬送部と、を備えた基板処理装
   置。
2. 【請求項２】前記搬送部は、前記基板を保持する基板保
   持部と、前記キャリアを保持するキャリア保持部とが設
   けられている１対の保持アームを有している、請求項１
   に記載の基板処理装置。
3. 【請求項３】前記基板保持部と前記キャリア保持部とは
   上下に並べて配置されている、請求項２に記載の基板処
   理装置。
4. 【請求項４】前記保持アームは、回転可能な平板状の部
   材であり、第１面に前記基板保持部が、第２面に前記キ
   ャリア保持部がそれぞれ配置されている、請求項２に記
   載の基板処理装置。