JPH089412B2 - 板状材料の流体による支持方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は板状材料（本明細書では
単に板材と略称する）を空中に支持する方法及びその装
置に関する。更に詳述すると、本発明は、噴出する流体
の動圧で例えば板ガラスや鉄板などの板材を浮遊させて
空中に支持する方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】固体面に接触させると傷付く虞のある材
料例えば加熱中の板ガラスや鉄板などの板材の移動時や
熱処理中の支持には流体の噴射圧力を利用した支持方法
が一般に採用されている。

【０００３】この板材の空中支持技術としては、従来、
例えば図１１に示すように、固体面１０１に多数の小孔
（流体噴出口）１０２，…，１０２を設け、固体面１０
１を構成するブロック１０３の内部に一定の圧力で供給
された流体を小孔１０２，…，１０２から噴出させて板
材に衝突させ、その衝突圧により板材を支持する方式が
ある。

【０００４】また、図１２に示すように、ブロック２０
３の固体面２０１の流体を噴出する多数の小孔（流体噴
出口）２０２，…，２０２の列の間に排気孔２０４をあ
けると共にこの排気孔２０４と連通する排気系（管）２
０５を設け、板材に衝突した直後の噴出流体の一部を排
気孔２０４から強制的に排気するようにしている。即
ち、流体噴出口２０２，…，２０２の近傍の板材２０６
と固体面２０１との間の空間２０７を外の空間（大気）
２０８と連通させるようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】これら従来の方法は、
板材が充分剛性を有しかつ板材の支持高さが充分高くし
かも衝突後の流体が排除される方向と直角の方向の複数
噴流間の間隔が充分広い場合、即ち板材に衝突した後の
流体の流れる方向（板材の表面と平行な方向）における
噴射口の間隔が十分広い場合には全く問題なかった。

【０００６】ところが、板材を安定に支持するためには
板材の広い範囲にわたって鉛直方向に上向きの一様な力
を形成することが必要である。また、板材を浮揚させる
圧力を分散させるために噴出する噴流の数をできるだけ
多くすることが従来から行われている。このため、板材
と噴流の噴き出し位置にあたる固体面との距離（隙間）
Ｓが小さくなると、固体面の中央部分の流体噴出口から
の流体噴出量が周辺の流体噴出口からの流体噴出量に比
べ減少してしまう。

【０００７】本発明者等による研究の結果、板材と固体
面のつくる隙間Ｓ（板材の支持高さ）が噴出口径と同程
度以下になると、流体が板材との間に形成する支持圧力
及び複数の噴出口からの噴出流量が急激に不均一にな
り、支持状態が不安定になることが判明した。このとき
の板材と固体面との間の隙間は実質的に密閉された空間
として機能するため、中央部分の流体噴出口付近の流体
圧力を急激に上昇させる。この圧力上昇は、中央部分の
流体噴出口からの流体の噴出量（流量）を低下させると
同時に板材浮揚高さを一旦増加させる。しかし、板材が
高く浮揚されると、隙間が広がり噴出流体が周辺に流出
するため再び圧力が低下し板材が降下する。そして、板
材が元の高さに戻ると再び圧力が上昇し上述の板材の浮
揚を繰返すという振動的不安定性が生じることが知見さ
れた。このことは、板材と固体面との間の隙間があまり
狭くなくとも、板材の剛性があまり強くない場合には、
噴射口と板材との間隔に変動が生ずるため起こる。ま
た、板材の空中支持と同時に熱移動（例えば加熱や冷却
など）も進行させる場合には、複数の噴出口から噴出す
る流体の噴出量が均等でなくなることは、加熱が不均一
となり好ましくない。

【０００８】また、図１２に示すように、流体噴出口２
０２の近くに排気孔２０４を設けて噴出流体の一部を直
ちに板材２０６と固体面２０１との間の外の空間２０８
に排出させようとする場合にも、固体面２０１の端部に
近づくに従って漸次その口径を縮小させるようにして排
気量を中央と周辺とで異ならせるようにしていたが、そ
れが十分でない場合には中央部の支持圧が高くなる。こ
のため、板ガラスのような軟かい材料の支持に適用する
と、中央部だけが部分的にドーム状に盛り上がる（ドー
ミング）現象がしばしば生じている。そこで、これを防
止しようとして中央部の排気孔２０４を周辺部の排気孔
２０４よりも過大にした場合には、流体が噴き出す部分
とその周りの部分とにおける圧力差がかなり大きくなる
ので、局部的にえくぼ状の変形（ディンプル現象）が発
生するなどの問題が伴う。斯様に、排気孔２０４の適切
な関係は板材２０６と固体面２０１との間の隙間の大き
さの変化によって変動するため、一定に定めることがで
きないことから改善が望まれていた。

【０００９】本発明は、板材の剛性があまりなくかつ板
材の支持高さが低くしかも衝突後の流体が排除される方
向と直角の方向の複数噴流間の間隔が狭い場合にも、極
めて安定な板材支持を可能とする方法及び装置を提供す
ることを目的とする。

【００１０】かかる目的を達成するため、本発明の板状
材料の流体による支持方法は、複数個の流体噴出口から
噴出する流体を板状材料の表面に衝突させて前記板材を
空中に支持する方法において、前記流体噴出口が設けら
れる固体面の前記流体噴出口とは異なる部位に前記固体
面と前記板状材料との間の空間の中にあって該空間とは
異なる前記板状材料の外の空間とは連通しない溝を設け
ることによって、噴出流体が前記板状材料との間に形成
する支持圧および複数の噴出口からの噴出流量を均一化
するようにしている。

【００１１】また、本発明は、固体面の複数の流体噴出
口から噴出される多数の噴出流体を衝突させることによ
って板状材料を支持する装置において、前記固体面の前
記流体噴出口とは異なる部位に、前記板状材料の鉛直方
向の投影面の内側に配置され前記投影面の外の空間とは
連通しない導通溝を設けるようにしている。

【００１２】また、本発明において、導通溝の長手方向
は前記噴出流体が主に排出される方向に一致するように
している。

【００１３】また、本発明において、導通溝は支持しよ
うとする板状材料の幅よりも短くかつ板状材料の幅に近
いことを特徴とする。

【００１４】また、本発明において、導通溝は長手方向
に複数本に分断されるようにしている。

【００１５】また、本発明において、流体噴出口は複数
列に整列して配置され、かつ導通溝が前記流体噴出口の
列の間に形成されるようにしている。

【００１６】

【作用】したがって、固体面に設けられた導通溝はその
長さ及び幅の範囲内で異なる圧力が存在しているとき導
通効果により圧力を均一化する。このため、板材と固体
面とで挾まれる空間内に生じる圧力偏差が導通によって
均一化され、適度な圧力流量分布状態、即ち適正支持状
態を実現できる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。

【００１８】図１に本発明の板材空中支持装置の一実施
例を示す。この板材空中支持装置は、複数の流体噴出口
１，…，１を設けた固体面２を形成するブロック３と、
これに一定圧力で圧力流体例えば空気を供給する噴出流
体供給系（図示省略）とから構成されている。

【００１９】ブロック３には、支持しようとする板材５
と向い合う面（固体面２）に流体噴出口１，…，１が多
数穿孔され噴出流体供給系が接続される。本実施例の場
合、ブロック３の内部に１つの空間４を形成し、該空間
４と各流体噴出口１，…，１とを連通させている。そし
て、ブロック３の空間４には、一定圧力の噴出流体例え
ば空気を大量に安定供給し、各噴出口１，…，１から等
しく噴出させるように設けられている。したがって、噴
出口の口径は全ての噴出口から噴出される流体が同一圧
力でかつ同一流量となるように全て同一径で構成されて
いる。また、流体噴出口１，…，１は、板材５を安定に
支持するために、板材５の広い範囲にわたって鉛直方向
に上向きの一様な力を形成することが必要であることか
ら、固体面２の全域にわたって均等に配置されている。
また、流体で板材５を浮揚させるために流体が板材５に
衝突することにより発生する圧力（動圧）を利用する
が、その圧力を分散させるため噴出する噴流の数をでき
るだけ多くすることが好ましい。このため、流体噴出口
１，…，１はできるだけ多数設けられている。また、噴
出口１，…，１から噴射される流体の板材５に対する衝
突角は特に限定されるものではなく、板材例えばガラス
板に対し垂直に衝突しても良いし、斜めに衝突しても良
い。また、垂直と斜めの衝突の組合せでも良い。

【００２０】また、固体面２には流体噴出口１，…，１
の他に導通溝６が設けられている。この導通溝６は固体
面２と板材５との間に形成される空間７における噴出流
体の圧力分布を相互に導通させるためのもので、固体面
２上に載置される支持しようとする板材５の垂直方向の
投影面の内側に設けられている。即ち、この導通溝６は
固体面２と板材５との間の空間７と、該空間７とは異な
るその外の空間（外気）８とを連通させることがない。
この導通溝６はその長さの範囲内で異なる圧力が存在し
ているときには導通効果により圧力を均一化できる。し
たがって、導通溝６は、板材５の幅内で可能な限り長く
すること、即ち板材５の幅に限りなく近い長さを採るこ
とが好ましい。更に、この溝は好ましくは流体が主に排
除される方向に長手方向が配置される。しかし、この導
通溝６の深さ及び幅については特に限定を受けるもので
はなく、実用上板材５の水平面内における移動・振動等
および支持材料板幅の変化を考慮すると、安全上は支持
しようとする板材５の幅よりもかなり短いものとするこ
とが好ましい。本実施例の場合、流体噴出口１，…，１
の列と列との間に導通溝６を設けている。そして、この
導通溝６は列に沿って形成されている。

【００２１】図２に他の実施例を示す。この実施例は比
較的短い長さの導通溝６を用いたもので、図１に示す導
通溝に比べてはるかに短い溝を噴出流体が主に排出され
る方向に複数本設けるようにしている。本実施例の場
合、噴出口１，…，１の列と列との間に比較的短めの溝
６，…，６を千鳥状に複数本ずつ配置して成る。この導
通溝６の場合、互いに独立した短い長さの溝の群から成
るので、周辺部分の一部の導通溝６が固体面２と板材５
との間の外の空間８に導通したとしても、他の導通溝６
の働きには変りないので、支持しようとする板材５の静
止時の鉛直方向投影面の限界の近くまで導通溝６を設置
できる。

【００２２】また、短い導通溝６と長い導通溝６とを組
合せて１つの固体面２に形成することも可能である。例
えば図３に示すように、支持しようとする板材５の最小
幅よりも僅かに短いが比較的長い導通溝６とそれよりも
はるかに短い導通溝６とを、支持しようとする板材５の
最大幅の範囲内で長い導通溝６の両端に短い導通溝６を
それぞれ１本以上配置するように組合せても良い。

【００２３】以上のように構成された板材空中支持装置
によると、ガラス板材に適用した例によると、板材５が
流体噴出口１を設けた固体面２からわずかに浮上してい
る状態では噴出流体の量のアンバランス及び支持の不安
定性・振動の点について次のように改善が認められた。
尚、本実験では、支持しようとする板材並びに噴出口の
数や配置、寸法などを同一条件とし、かつ固体面と板材
との間の隙間Ｓを０．５ｍｍ、ブロック３内の空間４の
全圧を３０．０ｍｍＡｑとして行なわれた。

【００２４】まず、図４に示すように、従来の板材空中
支持装置では、支持しようとする板材（固体面と等価）
の中央部と周辺部分とでは噴出口から噴出される流体の
量に相当なばらつきが生ずる。例えば、排気孔を有さな
い従来の支持装置の場合、周辺部の流量が０．２７ｍ³
／ｈなのに対し中央部が０．０８ｍ³ ／ｈであり、かな
りの流量差が生じてしまう。しかも、この場合における
圧力分布は、図５に示すように、中央部分が高く周辺に
向かうにしたがって低下するような全体に凸形の分布を
なしている。これに対し排気孔を設けた従来の支持装置
の場合、周辺部での噴出量はほとんど変らないが、中央
部では０．１ｍ³ ／ｈとなり、噴出流量の差が幾分改善
される。また、圧力分布も中央部並びに周辺部での圧力
ピーク値がほぼ変わらないが、圧力差の幅が周辺に向か
うにしたがって増大し許容範囲を越えてしまう問題があ
った。依って、噴出流体の流量バランス及び圧力分布の
点において未だ不十分なものである。

【００２５】また、排気孔を設けた従来の支持装置に対
し外気（固定面と板材との外の空間８）と導通する溝を
固体面に設けた場合を比較すると、図６に示すように、
流量のバランスの点においてかなりの改善性が認められ
た。即ち、外気導通溝を設けた場合、中央部分において
０．１８ｍ³ ／ｈまで流量が増加し、中央部と周辺部で
の流量差がかなり少なくなっている。しかし、圧力分布
を観察すると、図７に示すように、外気導通溝を設けた
場合には、排気孔を設けた従来の支持装置の場合よりも
圧力差が増大し、はるかに許容値を越えてしまう問題が
ある。即ち、外気導通溝を設けると、流体の噴出流量の
アンバランスを改善することはできるが、圧力分布の点
において却って悪化してしまう問題がある。このことか
ら、固体面に単に溝を設けるだけでは流体の噴出流量の
アンバランスと圧力分布の不均一を改善することはでき
ないことが理解できる。

【００２６】これに対し、固体面２と支持しようとする
板材５との間の空間７にのみ連通し外の空間８とは連通
しない内部導通溝６を設けた本発明の場合、図８に示す
ように噴出流量のバランスに関しては外気導通溝を設け
た場合よりもわずかに改善の点においては劣るものの、
その圧力バランスの点については外気導通溝を設けた場
合に比べてはるかに改善されている。即ち、中央部と周
辺部での噴出口部分における圧力がほぼ同一の値を示し
て全体に平坦となる一方、各噴出口の周辺における圧力
が僅かにしか低下せず圧力差が小さく抑えられている。
波状の圧力分布を評価する場合、平均圧力に対して±５
％以上、±１５％以下の範囲内であることが目安であ
り、また流量分布も同様に平均流量に対して±２０％以
下であることが一つの目安である。これを満たしていれ
ば板材の流体による支持状態は適正条件にあると判断し
て良い。更に、ディンプル現象に影響する圧力分布にお
いても、平均圧力に対して±５％以上、±１５％以下の
範囲であれば評価ができる。このいずれの点において
も、本発明の支持装置は上述の範囲内に収まることか
ら、適正支持圧並びに流量を確保しているものと評価で
きる。特に、板材に与えられる流体の噴出圧の差が小さ
くなるので板材としてガラス板等を用いた場合には局部
的な凹部や窪みが発生することがない。

【００２７】以上のように構成された本発明は、例えば
ガラスのような板状材料に効率的に熱を移動する際に流
体を供給しかつその変形を防止しながらそれが軟化変形
する温度以上で板状材料を支えるための装置に好適に応
用可能である。特にガラス板材を変形することなく変形
温度において支えるという目的において、板材は非常に
広い範囲にわたって一様な力で支えられることが必要で
ある。更に支えられるガラス板材下部の複数個の噴孔か
ら供給される流体例えば空気噴流は柔らかいガラスに凹
凸を発生させるので極力平坦な分布を持つ圧力を形成し
なければならない。しかも、この場合は熱移動も同時に
進行しているので複数噴流孔から噴出する噴出量は均等
であらねばならないので、本発明は品質改善等に有効な
手段を提供するであろう。

【００２８】図１０に、本発明の板材の空中支持装置
を、板ガラスを加熱し所望の形状に変形させた後急速に
冷却するための空中支持装置として実施した例を示す。
この装置は、断熱構造の加熱炉１０の天井部分に板ガラ
ス（板材）５の上面をふく射加熱するための複数のルー
フバーナ１１，…，１１を備えると共に、側壁に板ガラ
ス５を空中支持させるための噴出流体を循環供給させる
ためのファン１２とダクト１３とを備えている。また、
図示していない冷却ゾーンの空中支持装置を除いて、加
熱ゾーンの空中支持装置の底部にはバーナ１４を備え
る。このバーナ１４の燃焼ガスと循環ファン１２からの
風とは混合されて所定温度の熱風とされてから熱風吹出
し箱１５に供給される。この熱風吹出し箱１５は、熱風
を導入する内部空間１６を形成するダクト１７部分の上
方に固体面２を構成するブロック例えばセラミック等の
耐熱材料から成るブロック１８を載置し、このブロック
１８に流体噴出口１を多数設けて成る。ここで、セラミ
ックブロック１８は、例えば図１に示すように、噴出口
１，…，１の列の間に固体面２と支持しようとする板材
５との間の空間７の外の空間８と連通しない導通溝６を
設けている。この導通溝６は、支持しようとする板材が
固体面に対して垂直方向に投影する面の内側に配置する
ことが必要であることから、例えば支持しようとする板
材の幅よりも短い長さに形成し、板材の幅方向（この場
合、幅方向が噴出流体の主な排出方向となる）に配置さ
れている。また、この導通溝６は連続した１本の溝で形
成する必要はなく、例えば図２に示すように、流体の排
出方向に適宜に分断された比較的短い導通溝６を流体の
主に排除される方向に沿って複数配置しても良いし、図
３に示すように、長さの異なる複数種の導通溝６を組合
せて配置しても良い。導通溝６の幅及び深さは固体面と
板材との間の空間内の圧力偏差を導通するように、即ち
噴出口から噴出される流体の圧力とその周辺の圧力とが
連通するような関係に設定されている。また、噴出口
１，…，１の口径はすべての噴出口から噴出される流体
が同一圧力でかつ同一流量となるようにすべて同一径で
構成されている。

【００２９】斯様に構成されているので、次のようにし
て板ガラスが空中支持され加熱される。まず、循環用フ
ァン１２によって循環する加熱炉１０内の空気をバーナ
１４で所定温度に加熱した後、ダクト１７に供給してか
らセラミックブロック１８の各噴出口１，…，１から噴
出させるように設けられている。セラミックブロック１
８から噴出される熱風はその上に載置されるガラス板５
を浮上させ空中に支持する。このガラス板５は上面をル
ーフバーナ１１，…，１１からのふく射熱によって、下
面を吹きつける熱風からの対流熱によって加熱される。
ここで、板ガラスの加熱処理設備は、複数種のセラミッ
クブロックを連結して成る。セラミックブロック１８
は、平坦な面のブロックから最終製品形状の曲面のブロ
ックまで、次第に曲率を小さくした曲面のブロックを組
合せて成り、平坦な板ガラスを空中支持している間に加
熱し、かつ移動の最中にその形状をブロック面に合せて
変形させ、曲面にしてから最終製品形状に変形させるよ
うにしている。そして、最終の形状に変形させた後、冷
却空気を噴出するブロック上に移って急速に常温まで冷
却される。

【００３０】尚、上述の実施例は本発明の好適な実施の
一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。例えば、本実施例では固体面２即ちブロックの表面
は平坦な面に限定されず、例えば曲面や球面などで構成
されていても良い。また、本実施例では自動車用ガラス
のようにガラス板を加熱処理しかつ変形させる場合につ
いて主に説明したが、これに特に限定されるものではな
く鋼板などの熱処理などに用いても良い。この場合、板
ガラスの場合に起こるディンプル現象などは問題となら
ないが、隙間を小さくしても安定支持できるので、板材
の浮上に要する動力を低減でき、省エネルギーを可能と
する。また、本実施例では、気体雰囲気中において気体
噴流で板材を支持する場合について主に説明したが、こ
れに特に限定されるものではなく液体中において液体噴
流で浮遊させて支持することも可能である。更に、窒素
などの不活性ガスの使用も可能である。更に、本明細書
でいう板材とは平坦な板は勿論のこと、曲面から成る板
材をも含む。

【００３１】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
は、複数個の流体噴出口から噴出する流体を板材の表面
に衝突させてこの流体の動圧で板材を空中に支持するに
際して、流体噴出口が設けられる固体面と板材との間の
空間における噴出流体の圧力分布を固体面に形成された
空間の外の空間とは連通しない導通溝によって相互に連
通させるようにしたので、導通溝の長さ及び幅の範囲内
で異なる圧力が発生しても、それが導通効果により均一
化されて圧力差を小さくし、均一な圧力分布で板材を安
定支持できる。しかも、噴出流体を利用して板材を空中
支持しながら加熱する場合には、中央部と周辺部におけ
る噴出流体の噴出流量の差が少ないので、加熱がほぼ均
一に行ない得る。

【００３２】また、本発明において、噴出流体が主に排
出される方向に長手方向を配置するように、あるいは支
持しようとする板状材料の幅よりも短くかつ板状材料の
幅に近い長さの導通溝を固体面に形成すれば、圧力偏差
の存在し易い領域において広範囲に圧力の導通が行わ
れ、圧力差の小さな圧力分布となり、より支持が安定す
ると共に噴出流量をより均一化できる。

【００３３】特に、本発明において、流体噴出口を複数
列に整列して配置し、かつ導通溝を流体噴出口の列の間
に形成した場合、導通溝による導通効果が効果的に得ら
れるので、流体噴出口を狭い間隔で多数設けるときにも
板材の安定支持と流体の噴出流量の均一化を実現でき
る。

【００３４】更に、本発明において、長手方向に複数本
に分断されている導通溝を形成した場合、何等からの原
因により板材が水平方向に振動ないし移動を行っても、
端に近い一方の導通溝のみが外気と導通し残りの多くが
外気と導通するのを防ぐことができるので、導通溝を設
けることの効果を大きく損なうことがない。しかも、支
持しようとする板状材料の幅内変化に対応すること、即
ち一定の範囲内で板材の幅が変化しても支持状態に大き
な変化を与えることは支持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の流体支持方法を実施するブロックの一
例を示す図で、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はIB-IB 断面図
である。

【図２】本発明の流体支持方法を実施するブロックの他
の実施例を示す図で、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はIIB-II
B 断面図、（Ｃ）はIIC-IIC 断面図である。

【図３】本発明の流体支持方法を実施するブロックの更
に他の実施例を示す平面図である。

【図４】従来の板材空中支持装置において、排気孔があ
る場合とない場合の噴出位置と噴出流体の流量変化との
関係を示すグラフである。

【図５】従来の板材空中支持装置において、排気孔があ
る場合とない場合の噴出位置と噴出流体圧力変化との関
係を示すグラフである。

【図６】排気孔を有する従来の板材空中支持装置と外気
に導通する溝を固体面に設けた板材空中支持装置とにつ
いて、噴出位置と噴出流体の流量変化との関係を示すグ
ラフである。

【図７】排気孔を有する従来の板材空中支持装置と外気
に導通する溝を固体面に設けた板材空中支持装置とにつ
いて、噴出位置と噴出流体圧力変化との関係を示すグラ
フである。

【図８】通気導通溝を設けた板材空中支持装置と内部導
通溝を設けた本発明の板材空中支持装置とについて、噴
出位置と噴出流体の流量変化との関係を示すグラフであ
る。

【図９】通気導通溝を設けた板材空中支持装置と内部導
通溝を設けた本発明の板材空中支持装置とについて、噴
出位置と噴出流体圧力変化との関係を示すグラフであ
る。

【図１０】本発明の流体支持方法を適用したガラス板の
加熱冷却装置の一例を示す説明図である。

【図１１】従来の板材空中支持装置の一例を示す図で、
（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はXIB-XIB 断面図である。

【図１２】従来の板材空中支持装置の他の例を示す図
で、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はXIIB-XIIB 断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 流体噴出口 ２ 固体面 ３ ブロック ５ 支持しようとする板状材料（板材） ６ 導通溝 ７ 固体面と板材との間の空間 ８ 固体面と板材との間の外の空間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０３Ｂ 23/035 35/24

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数個の流体噴出口から噴出する流体を
   板状材料の表面に衝突させて前記板材を空中に支持する
   方法において、前記流体噴出口が設けられる固体面の前
   記流体噴出口とは異なる部位に前記固体面と前記板状材
   料との間の空間の中にあって該空間とは異なる前記板状
   材料の外の空間とは連通しない溝を設けることによっ
   て、噴出流体が前記板状材料との間に形成する支持圧お
   よび複数の噴出口からの噴出流量を均一化することを特
   徴とする板状材料の流体による支持方法。
2. 【請求項２】 固体面の複数の流体噴出口から噴出され
   る多数の噴出流体を衝突させることによって板状材料を
   支持する装置において、前記固体面の前記流体噴出口と
   は異なる部位に、前記板状材料の鉛直方向の投影面の内
   側に配置され前記投影面の外の空間とは連通しない導通
   溝を設けたことを特徴とする板状材料の流体による支持
   装置。
3. 【請求項３】 前記導通溝の長手方向は前記噴出流体が
   主に排出される方向に一致することを特徴とする請求項
   ２記載の板状材料の流体による支持装置。
4. 【請求項４】 前記導通溝は支持しようとする板状材料
   の幅よりも短くかつ板状材料の幅に近いことを特徴とす
   る請求項３記載の板状材料の流体による支持装置。
5. 【請求項５】 前記導通溝は長手方向に複数本に分断さ
   れていることを特徴とする請求項３記載の板状材料の流
   体による支持装置。
6. 【請求項６】 前記流体噴出口が複数列に整列して配置
   され、かつ前記導通溝が前記流体噴出口の列の間に形成
   されていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれ
   かに記載の板状材料の流体による支持装置。