JPH0886281A - 空圧回路を備えた真空ポンプ - Google Patents
空圧回路を備えた真空ポンプInfo
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- JPH0886281A JPH0886281A JP24856894A JP24856894A JPH0886281A JP H0886281 A JPH0886281 A JP H0886281A JP 24856894 A JP24856894 A JP 24856894A JP 24856894 A JP24856894 A JP 24856894A JP H0886281 A JPH0886281 A JP H0886281A
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- JP
- Japan
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- vacuum pump
- piston rod
- vacuum
- cylinder
- piston
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ピストンロッドの往復運動を有効に利用する
空圧シリンダー型の真空ポンプを提供する。 【構成】 空圧シリンダー３の二つのポート４、５の各
々に二つのチェックバルブＣＶを並列、且つ空気の流れ
方向が逆になるように設け、それぞれを吸気側と排気側
の二つに分けるような空圧回路を組む。状態Ａではピス
トンロッド１が矢印Ｘ1方向に動くと、シリンダー３内
の空間Ｃ1が正圧、Ｃ2が負圧になり、チェックバルブＣ
Ｖ2とＣＶ3を介して空気流が吸気ポートＰ1に真空（負
圧）が発生する方向に形成される。また、状態Ｂではピ
ストンロッド１が矢印Ｘ2方向に動くと、シリンダー３
内の空間Ｃ1が負圧、Ｃ2が正圧になり、チェックバルブ
ＣＶ1とＣＶ4を通り、やはり吸気ポートＰ1に真空（負
圧）が発生する方向に空気流が生じる。ピストンロッド
１が往復運動する毎に吸気ポートＰ1に真空（負圧）を
発生させることができる。
空圧シリンダー型の真空ポンプを提供する。 【構成】 空圧シリンダー３の二つのポート４、５の各
々に二つのチェックバルブＣＶを並列、且つ空気の流れ
方向が逆になるように設け、それぞれを吸気側と排気側
の二つに分けるような空圧回路を組む。状態Ａではピス
トンロッド１が矢印Ｘ1方向に動くと、シリンダー３内
の空間Ｃ1が正圧、Ｃ2が負圧になり、チェックバルブＣ
Ｖ2とＣＶ3を介して空気流が吸気ポートＰ1に真空（負
圧）が発生する方向に形成される。また、状態Ｂではピ
ストンロッド１が矢印Ｘ2方向に動くと、シリンダー３
内の空間Ｃ1が負圧、Ｃ2が正圧になり、チェックバルブ
ＣＶ1とＣＶ4を通り、やはり吸気ポートＰ1に真空（負
圧）が発生する方向に空気流が生じる。ピストンロッド
１が往復運動する毎に吸気ポートＰ1に真空（負圧）を
発生させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は簡易真空ポンプに関し、
特に空圧シリンダーを応用した簡易真空ポンプに関す
る。
特に空圧シリンダーを応用した簡易真空ポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ロボット組立システムまたは加工機等に
おいて、真空による吸着ハンドリング装置が多用されて
いる。前記吸着ハンドリング装置は真空ポンプにより、
吸着力が発生する機構を備えたものであるが、従来の真
空ポンプにおいては、ごく少量のバキュームが必要なと
きでもバキューム源として、例えばソレノイドとスプリ
ング構造を有するような大掛かりな真空ポンプおよびコ
ンバムなどが一般的に多く使用されるが、いずれも騒音
・振動の問題があり、特にポンプに関しては、その設置
スペースの確保が必要であった。
おいて、真空による吸着ハンドリング装置が多用されて
いる。前記吸着ハンドリング装置は真空ポンプにより、
吸着力が発生する機構を備えたものであるが、従来の真
空ポンプにおいては、ごく少量のバキュームが必要なと
きでもバキューム源として、例えばソレノイドとスプリ
ング構造を有するような大掛かりな真空ポンプおよびコ
ンバムなどが一般的に多く使用されるが、いずれも騒音
・振動の問題があり、特にポンプに関しては、その設置
スペースの確保が必要であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ピストン型真空ポンプ
は比較的簡単な機構からなる真空ポンプである。従来の
ピストン型真空ポンプは図５に示すように、シリンダー
２２内にソレノイド２８とスプリング２９を配置して、
ソレノイド２８の電磁力を用いてピストンロッド２３を
シリンダー２２内の長手方向に摺動させ、ピストン２４
とシリンダー２２内壁で囲まれる空間の吸気と排気をそ
れぞれチェックバルブ３０、３１を備えた吸気ポートと
排気ポートで行うものである。そして、ピストン型真空
ポンプはピストンロッド２３のシリンダー２２内での往
復運動による吸気と排気作業により真空ポンプ（図示せ
ず）の吸気ポート側に真空を発生させるものであるが、
ピストンロッド２３の往側移動時に吸気作業を行い、復
側移動時に排気作業を行う機構であり、ピストンロッド
２３の一回の往復運動毎に真空発生が行われるため、そ
の真空発生効率は良くなかった。
は比較的簡単な機構からなる真空ポンプである。従来の
ピストン型真空ポンプは図５に示すように、シリンダー
２２内にソレノイド２８とスプリング２９を配置して、
ソレノイド２８の電磁力を用いてピストンロッド２３を
シリンダー２２内の長手方向に摺動させ、ピストン２４
とシリンダー２２内壁で囲まれる空間の吸気と排気をそ
れぞれチェックバルブ３０、３１を備えた吸気ポートと
排気ポートで行うものである。そして、ピストン型真空
ポンプはピストンロッド２３のシリンダー２２内での往
復運動による吸気と排気作業により真空ポンプ（図示せ
ず）の吸気ポート側に真空を発生させるものであるが、
ピストンロッド２３の往側移動時に吸気作業を行い、復
側移動時に排気作業を行う機構であり、ピストンロッド
２３の一回の往復運動毎に真空発生が行われるため、そ
の真空発生効率は良くなかった。
【０００４】本発明の目的は簡単な機構の真空ポンプ用
の空圧回路を提供することである。また、本発明の目的
は簡単な機構の真空ポンプを提供することである。さら
に、本発明の目的はピストンロッドの往復運動を有効に
利用する空圧シリンダー型の真空ポンプを提供すること
である。また、本発明の目的は前記真空ポンプを有する
吸着装置である。さらに、本発明の目的は前記真空ポン
プのピストンロッドを往復運動機構に接続した真空ポン
プユニットを提供することである。また、本発明の目的
は前記真空ポンプユニットを有する吸着装置を提供する
ことである。
の空圧回路を提供することである。また、本発明の目的
は簡単な機構の真空ポンプを提供することである。さら
に、本発明の目的はピストンロッドの往復運動を有効に
利用する空圧シリンダー型の真空ポンプを提供すること
である。また、本発明の目的は前記真空ポンプを有する
吸着装置である。さらに、本発明の目的は前記真空ポン
プのピストンロッドを往復運動機構に接続した真空ポン
プユニットを提供することである。また、本発明の目的
は前記真空ポンプユニットを有する吸着装置を提供する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は次の
構成により達成される。すなわち、シリンダー内の長手
方向に摺動可能に設けられたピストンと該ピストン摺動
用のピストンロッドと、該ピストンで二つに仕切られた
シリンダー内部空間の各々の空間に通じたシリンダー壁
面に設けられるポートと、各ポートにそれぞれ二つのチ
ェックバルブを並列で、かつ空気流の方向が互いに逆向
きになるように規制するように設けた二又状の空気配管
と、各空気配管の同一方向に空気流を規制するチェック
バルブ出口側を吸気ポートへ、各空気配管の前記方向と
は逆向きに空気流を規制するチェックバルブ出口側を排
気ポートへ接続した空圧回路、または、前記空圧回路を
備えた真空ポンプ、または、前記真空ポンプを有する吸
着装置である。また、本発明の上記目的は次の構成によ
り達成される。すなわち、前記真空ポンプのピストンロ
ッドを往復運動機構に接続した真空ポンプユニット、前
記真空ポンプユニットを有する吸着装置である。
構成により達成される。すなわち、シリンダー内の長手
方向に摺動可能に設けられたピストンと該ピストン摺動
用のピストンロッドと、該ピストンで二つに仕切られた
シリンダー内部空間の各々の空間に通じたシリンダー壁
面に設けられるポートと、各ポートにそれぞれ二つのチ
ェックバルブを並列で、かつ空気流の方向が互いに逆向
きになるように規制するように設けた二又状の空気配管
と、各空気配管の同一方向に空気流を規制するチェック
バルブ出口側を吸気ポートへ、各空気配管の前記方向と
は逆向きに空気流を規制するチェックバルブ出口側を排
気ポートへ接続した空圧回路、または、前記空圧回路を
備えた真空ポンプ、または、前記真空ポンプを有する吸
着装置である。また、本発明の上記目的は次の構成によ
り達成される。すなわち、前記真空ポンプのピストンロ
ッドを往復運動機構に接続した真空ポンプユニット、前
記真空ポンプユニットを有する吸着装置である。
【０００６】
【作用】本発明の空圧回路について説明する。まず、一
般的なシリンダーの一般的な動きを図６により説明す
る。吸排気ポート２５から矢印で示す方向に圧縮空気
を入れると、シリンダー２２内のピストンロッド２３の
ピストン２４部分が押され、ピストンロッド２３は矢印
の方向に移動する。この時、シリンダー２２内のピス
トン２４とピストンロッド２３間にある空気は吸排気ポ
ート２６より矢印の方向に排出される。ピストンロッ
ド２３を矢印の方向と逆に動かすには吸排気ポート２
６より圧縮空気を入れ吸排気ポート２５より排気する動
作を行う。以上のようなシリンダー２２の動きが一般的
であるが、本発明では圧縮空気によるピストン２４、ピ
ストンロッド２３を動かすような使い方をするのではな
く、図２に示すように、ピストンロッド１を動かすこと
で、空気の流れを作りシリンダー３に以下のような空圧
回路を組むことで吸気ポート４に真空を発生させるもの
である。
般的なシリンダーの一般的な動きを図６により説明す
る。吸排気ポート２５から矢印で示す方向に圧縮空気
を入れると、シリンダー２２内のピストンロッド２３の
ピストン２４部分が押され、ピストンロッド２３は矢印
の方向に移動する。この時、シリンダー２２内のピス
トン２４とピストンロッド２３間にある空気は吸排気ポ
ート２６より矢印の方向に排出される。ピストンロッ
ド２３を矢印の方向と逆に動かすには吸排気ポート２
６より圧縮空気を入れ吸排気ポート２５より排気する動
作を行う。以上のようなシリンダー２２の動きが一般的
であるが、本発明では圧縮空気によるピストン２４、ピ
ストンロッド２３を動かすような使い方をするのではな
く、図２に示すように、ピストンロッド１を動かすこと
で、空気の流れを作りシリンダー３に以下のような空圧
回路を組むことで吸気ポート４に真空を発生させるもの
である。
【０００７】図２（ａ）に示す状態Ａではピストンロッ
ド１が矢印Ｘ1方向に動くと、シリンダー３内の空間Ｃ1
が正圧、Ｃ2が負圧になり、チェックバルブＣＶ2とＣＶ
3を介して空気流が吸気ポートＰ1に真空（負圧）が発生
する方向に形成される。また、図２（ｂ）に示す状態Ｂ
ではピストンロッド１が矢印Ｘ2方向に動くと、シリン
ダー３内の空間Ｃ1が負圧、Ｃ2が正圧になり、チェック
バルブＣＶ1とＣＶ4を通り、やはり吸気ポートＰ1に真
空（負圧）が発生する方向に空気流が生じる。このよう
に、ピストンロッド１が往復運動する毎に、すなわち図
２（ａ）と図２（ｂ）のいずれの状態Ａ、Ｂでも吸気ポ
ートＰ1に真空（負圧）を発生させることができる。
ド１が矢印Ｘ1方向に動くと、シリンダー３内の空間Ｃ1
が正圧、Ｃ2が負圧になり、チェックバルブＣＶ2とＣＶ
3を介して空気流が吸気ポートＰ1に真空（負圧）が発生
する方向に形成される。また、図２（ｂ）に示す状態Ｂ
ではピストンロッド１が矢印Ｘ2方向に動くと、シリン
ダー３内の空間Ｃ1が負圧、Ｃ2が正圧になり、チェック
バルブＣＶ1とＣＶ4を通り、やはり吸気ポートＰ1に真
空（負圧）が発生する方向に空気流が生じる。このよう
に、ピストンロッド１が往復運動する毎に、すなわち図
２（ａ）と図２（ｂ）のいずれの状態Ａ、Ｂでも吸気ポ
ートＰ1に真空（負圧）を発生させることができる。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例を図面とともに説明する。
図１には、本実施例の空圧シリンダー型の真空ポンプの
要部の概念図を示す。ピストンロッド１の先端に設けら
れるピストン２で仕切られる二つの空間Ｃ1、Ｃ2がシリ
ンダー３内に形成されるが、該二つの空間Ｃ1、Ｃ2には
それぞれポート４、５を設け、両ポート４、５は真空発
生部（図示せず）の吸気ポートＰ1と排気ポートＰ2にそ
れぞれ二又状の空気配管７、８で接続されている。この
二又状の空気配管７、８にはそれぞれ二つのチェックバ
ルブＣＶ1〜ＣＶ4が並列で、かつ空気流の方向が互いに
逆向きになるように規制するように設けられている。シ
リンダー３の各ポート４、５と真空発生部の吸気ポート
との間の空気配管７、８中のチェックバルブは真空発生
部の吸気ポートＰ1の吸気側にのみ空気の流通を許す一
方向性のチェックバルブＣＶ1、ＣＶ3であり、また、シ
リンダー３の各ポート４、５と真空発生部の排気ポート
Ｐ2との間の空気配管中のチェックバルブは真空発生部
の排気ポートＰ2の排気側の方向のみに空気の流通を許
す一方向性のチェックバルブＣＶ2、ＣＶ4である。
図１には、本実施例の空圧シリンダー型の真空ポンプの
要部の概念図を示す。ピストンロッド１の先端に設けら
れるピストン２で仕切られる二つの空間Ｃ1、Ｃ2がシリ
ンダー３内に形成されるが、該二つの空間Ｃ1、Ｃ2には
それぞれポート４、５を設け、両ポート４、５は真空発
生部（図示せず）の吸気ポートＰ1と排気ポートＰ2にそ
れぞれ二又状の空気配管７、８で接続されている。この
二又状の空気配管７、８にはそれぞれ二つのチェックバ
ルブＣＶ1〜ＣＶ4が並列で、かつ空気流の方向が互いに
逆向きになるように規制するように設けられている。シ
リンダー３の各ポート４、５と真空発生部の吸気ポート
との間の空気配管７、８中のチェックバルブは真空発生
部の吸気ポートＰ1の吸気側にのみ空気の流通を許す一
方向性のチェックバルブＣＶ1、ＣＶ3であり、また、シ
リンダー３の各ポート４、５と真空発生部の排気ポート
Ｐ2との間の空気配管中のチェックバルブは真空発生部
の排気ポートＰ2の排気側の方向のみに空気の流通を許
す一方向性のチェックバルブＣＶ2、ＣＶ4である。
【０００９】図２（ａ）と図２（ｂ）には、本実施例の
真空ポンプのシリンダー３内でのピストンロッド１の動
きにより形成されるそれぞれ状態Ａと状態Ｂについて説
明したもので、前記説明のとおりである。このように、
ピストンロッド（ＰＲ）１が往復運動する毎に、すなわ
ち図２（ａ）と図２（ｂ）のいずれの状態Ａ、Ｂでも吸
気ポートＰ1に真空（負圧）を発生させることができ
る。以上の図２（ａ）、図２（ｂ）の状態Ａ、Ｂをタイ
ミングチャートで示すと図３のようになる。
真空ポンプのシリンダー３内でのピストンロッド１の動
きにより形成されるそれぞれ状態Ａと状態Ｂについて説
明したもので、前記説明のとおりである。このように、
ピストンロッド（ＰＲ）１が往復運動する毎に、すなわ
ち図２（ａ）と図２（ｂ）のいずれの状態Ａ、Ｂでも吸
気ポートＰ1に真空（負圧）を発生させることができ
る。以上の図２（ａ）、図２（ｂ）の状態Ａ、Ｂをタイ
ミングチャートで示すと図３のようになる。
【００１０】図４には本実施例の簡易真空ポンプのピス
トンロッド（ＰＲ）１の往復運動を効率的に行う例を示
す。プッシュアーム１３は常時上下方向に往復可動して
いるユニットである。それと同期するように本実施例の
真空ポンプ用のシリンダー３内を摺動するピストンロッ
ド（図示せず）を接続する。シリンダー３からは、前記
図１で説明した通りの空圧回路（図示ぜす）が設けてあ
り、その吸気ポートから電磁弁を通ってスカラーロボッ
トの吸着ヘッドに配管されている。プッシュアーム１３
は常時上下動しているため、真空ポンプは常に真空が発
生している。つまり、電磁弁のＯＮ／ＯＦＦ動作で、い
つまでもスカラーロボット１４の吸着ヘッド１５には真
空が発生する。
トンロッド（ＰＲ）１の往復運動を効率的に行う例を示
す。プッシュアーム１３は常時上下方向に往復可動して
いるユニットである。それと同期するように本実施例の
真空ポンプ用のシリンダー３内を摺動するピストンロッ
ド（図示せず）を接続する。シリンダー３からは、前記
図１で説明した通りの空圧回路（図示ぜす）が設けてあ
り、その吸気ポートから電磁弁を通ってスカラーロボッ
トの吸着ヘッドに配管されている。プッシュアーム１３
は常時上下動しているため、真空ポンプは常に真空が発
生している。つまり、電磁弁のＯＮ／ＯＦＦ動作で、い
つまでもスカラーロボット１４の吸着ヘッド１５には真
空が発生する。
【００１１】また、上記のような常時往復可動する機械
のすべての部分に本実施例の真空ポンプを図４に示すよ
うに設置し、真空タンクを設け、すべての吸気ポートを
それに接続し、真空を貯めて使用することもできる。も
ちろん、上記のように往復運動を常時しているユニット
に接続して使うのではなく、シリンダー（ピストン）部
分を大型化し、カムなどを使用してピストンロッドを高
速に往復可動する機構を設け、ポンプユニットとして作
製すれば通常の真空ポンプとしても応用可能である。本
実施例によれば、市販の空圧回路及びチェックバルブで
簡単に真空源が得られ、また、市販の真空ポンプ程の大
掛かりでは無く小型であり、しかも低騒音の真空ポンプ
が得られる。また、シリンダー内でのピストンロッドの
往復運動の際、吸・排気を同時に行っているので、つま
り往側でも復側でも真空が発生する。
のすべての部分に本実施例の真空ポンプを図４に示すよ
うに設置し、真空タンクを設け、すべての吸気ポートを
それに接続し、真空を貯めて使用することもできる。も
ちろん、上記のように往復運動を常時しているユニット
に接続して使うのではなく、シリンダー（ピストン）部
分を大型化し、カムなどを使用してピストンロッドを高
速に往復可動する機構を設け、ポンプユニットとして作
製すれば通常の真空ポンプとしても応用可能である。本
実施例によれば、市販の空圧回路及びチェックバルブで
簡単に真空源が得られ、また、市販の真空ポンプ程の大
掛かりでは無く小型であり、しかも低騒音の真空ポンプ
が得られる。また、シリンダー内でのピストンロッドの
往復運動の際、吸・排気を同時に行っているので、つま
り往側でも復側でも真空が発生する。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、簡単で小型の低騒音の
真空ポンプが得られる。また、シリンダー内でのピスト
ンロッドの往復運動の際、吸・排気を同時に行っている
ので、往側でも復側でも真空が発生するメリットがあ
る。また、本発明の真空ポンプは工場真空源、別置ポン
プなど大掛かりな設備を必要としない簡易真空発生手段
であり、付帯設備の投資削減効果が大きい。
真空ポンプが得られる。また、シリンダー内でのピスト
ンロッドの往復運動の際、吸・排気を同時に行っている
ので、往側でも復側でも真空が発生するメリットがあ
る。また、本発明の真空ポンプは工場真空源、別置ポン
プなど大掛かりな設備を必要としない簡易真空発生手段
であり、付帯設備の投資削減効果が大きい。
【図１】本発明の一実施例の空圧シリンダー型の真空ポ
ンプの要部の概念図である。
ンプの要部の概念図である。
【図２】図１の空圧シリンダー型の真空ポンプの動作説
明図である。
明図である。
【図３】図２の状態Ａ、Ｂをタイミングチャートで示す
図である。
図である。
【図４】本発明の一実施例の常時往復可動する機械に真
空ポンプを設置しした真空ユニットを示す図である。
空ポンプを設置しした真空ユニットを示す図である。
【図５】従来のピストン型真空ポンプの概念図である。
【図６】従来のピストン型真空ポンプの動作説明図であ
る。
る。
１ ピストンロッド、 ２ ピストン、 ３ シリンダー、 ４ ポート、 ５ ポート、 ７ 空気配管、 ８ 空気配管、 １３ プッシュアーム、 １４ スカラーロボット、 １５ 吸着ヘッド、 Ｃ1 空間、 Ｃ2 空間、 Ｐ1 吸気ポート、 Ｐ2 排気ポート、 ＣＶ1 チェックバルブ、 ＣＶ2 チェックバルブ、 ＣＶ3 チェックバルブ、 ＣＶ4 チェックバルブ
Claims (5)
- 【請求項１】 シリンダー内の長手方向に摺動可能に設
けられたピストンと該ピストン摺動用のピストンロッド
と、該ピストンで二つに仕切られたシリンダー内部空間
の各々の空間に通じたシリンダー壁面に設けられるポー
トと、各ポートにそれぞれ二つのチェックバルブを並列
で、かつ空気流の方向が互いに逆向きになるように規制
するように設けた二又状の空気配管と、各空気配管の同
一方向に空気流を規制するチェックバルブ出口側を吸気
ポートへ、各空気配管の前記方向とは逆向きに空気流を
規制するチェックバルブ出口側を排気ポートへ接続した
ことを特徴とする空圧回路。 - 【請求項２】 請求項１記載の空圧回路を備えたことを
特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項３】 請求項２記載の真空ポンプを有すること
を特徴とする吸着装置。 - 【請求項４】 請求項２記載の真空ポンプのピストンロ
ッドを往復運動機構に接続したことを特徴とする真空ポ
ンプユニット。 - 【請求項５】 請求項４記載の真空ポンプユニットを有
することを特徴とする吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24856894A JPH0886281A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 空圧回路を備えた真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24856894A JPH0886281A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 空圧回路を備えた真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0886281A true JPH0886281A (ja) | 1996-04-02 |
Family
ID=17180082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24856894A Pending JPH0886281A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 空圧回路を備えた真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0886281A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003029653A1 (fr) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Koganei Corporation | Generateur de pression |
| CN106256732A (zh) * | 2015-06-22 | 2016-12-28 | 平野公司 | 负压装置 |
| JP2018204543A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | Smc株式会社 | シリンダ装置及び吸着装置付きシリンダ装置 |
| CN116715028A (zh) * | 2023-08-09 | 2023-09-08 | 绵阳沃思测控技术有限公司 | 一种气力输送的吸料斗 |
-
1994
- 1994-09-16 JP JP24856894A patent/JPH0886281A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003029653A1 (fr) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Koganei Corporation | Generateur de pression |
| CN106256732A (zh) * | 2015-06-22 | 2016-12-28 | 平野公司 | 负压装置 |
| CN106256732B (zh) * | 2015-06-22 | 2019-10-01 | 平野公司 | 负压装置 |
| JP2018204543A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | Smc株式会社 | シリンダ装置及び吸着装置付きシリンダ装置 |
| CN116715028A (zh) * | 2023-08-09 | 2023-09-08 | 绵阳沃思测控技术有限公司 | 一种气力输送的吸料斗 |
| CN116715028B (zh) * | 2023-08-09 | 2023-10-27 | 绵阳沃思测控技术有限公司 | 一种气力输送的吸料斗 |
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