JP2000265951A

JP2000265951A - 空気動式真空ポンプ

Info

Publication number: JP2000265951A
Application number: JP11072204A
Authority: JP
Inventors: Toshio Iida; 飯田敏雄
Original assignee: Anest Iwata Corp
Current assignee: Anest Iwata Corp
Priority date: 1999-03-17
Filing date: 1999-03-17
Publication date: 2000-09-26

Abstract

(57)【要約】【課題】電動機を動力源としないドライ低真空分野の真
空ポンプを提供することを課題とし、具体的には圧縮空
気を駆動源とした空気動式往復動真空ポンプで簡単な構
造と種々の制御方法を提供することを課題としている。【解決手段】シリンダをピストンで仕切った左右のシリ
ンダ室を形成するポンプユニットを複数同心状に配列
し、隣接するピストン同士を軸で連結して一体で往復動
するように構成し、左右のシリンダ室に交互に圧縮空気
を供給した時に、他のシリンダ室に発生する真空を逆止
弁で外部に取り出すようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧縮空気を動力源
とするピストンとシリンダによって往復動するピストン
に連結した他のピストンと他のシリンダによって発生す
る真空を利用するピストン式真空ポンプで、特にドライ
低真空分野に適した真空ポンプである。

【０００２】

【従来の技術】ドライ低真空分野の真空ポンプにはダイ
アフラム式・揺動ピストン式・ロータリー式等の方式が
あって、真空圧力や排気速度あるいは使用用途によって
使い分けされている。しかし、これら従来の真空ポンプ
の動力源は電動機で、主として真空ポンプと電動機とが
直結された物が多いため下記のような改善点・問題点を
有していた。

【０００３】電動機使用のため質量・寸法が大であり、
軽量化・小型化を求められる装置に組み込むのに質量減
・寸法減が求められている。電動機使用のため使用環境
が爆発性・高温・多湿・多塵等のような場合には、その
環境に適した電動機を使用する必要があって、都度電動
機の機種変更等の対応が必要となる。電動機使用のため
イニシャルコストが高い。電動機の始動特性上の問題
（始動トルク不足）から、複数の真空ポンプを迅速にＯ
Ｎ／ＯＦＦ制御したり、到達真空圧力に応じた迅速なＯ
Ｎ／ＯＦＦ制御や排気速度の変更制御等を行うのが容易
でない。インバーター制御等の方法もあるが実施には多
大なコストが必要である。電動機使用のため防音上で箱
に収めるには発熱に対する通風口が必要で、密閉化がで
きず騒音対策が難しい。電動機や回転部分を有していて
ベアリングを用いているため、組み込みの姿勢に制限が
あって、姿勢が変化する装置には組み込み難い。

【０００４】また、ドライ低真空分野における従来の真
空ポンプでは、高い到達真空圧力を得ようとすると、例
えばダイフラム式真空ポンプは多段にする必要があっ
て、コスト的にも多大になってしまう問題点を有してい
た。その原因として真空ポンプのヘッドクリヤランスの
問題があって、機械駆動式の真空ポンプでは機械加工公
差上を加味して、ピストンとシリンダ端部が接触しない
ようにヘッドクリヤランス（隙間）を必ず設ける必要が
あるため、高い到達真空圧力を得ることができなかっ
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来方式の真
空ポンプでは動力源を主として電動機を使用することに
よって、質量と寸法が大・使用環境によって電動機の機
種変更が必要・イニシャルコストが高い・真空ポンプの
運転制御が難しい・騒音が高い等と言った問題点を有す
るので、電動機を動力源とする必要がなく各種の運転制
御が容易に行える真空ポンプを提供することを課題とす
る。さらには、従来のダイヤフラム式真空ポンプではヘ
ッドクリヤランスの問題から達成できなかった高い到達
真空圧力を得ることを課題としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】第１の発明では密閉され
たシリンダ室をピストンで仕切って該ピストンの左右に
ポンプ室を形成したポンプユニットを複数同一軸線上に
配列し、前記シリンダ室の気密を保持しながら隣接する
前記ピストン同士をピストンロッドにて一体に連結し
て、前記ピストンの一方側の選択された前記ポンプ室と
前記ピストンの他方側の選択された前記ポンプ室に交互
に圧縮空気を吸排気して前記ピストン同士を一体に往復
動させ、他の非選択のポンプ室に発生する負圧を外部に
取り出すように吸排気用の逆止弁を配設した。第２の発
明では密閉されたシリンダ室をピストンで仕切って該ピ
ストンの左右にポンプ室を形成したポンプユニットを複
数同一軸線上に配列し、前記シリンダ室の気密を保持し
ながら隣接する前記ピストン同士をピストンロッドにて
一体に連結して、選択された前記ピストン室に圧縮空気
を給排気して移動可能とし、該圧縮空気の給気時の移動
方向と逆方向に弾性部材にて移動するように構成して前
記ピストン同士を一体に往復動させ、他の非選択の前記
ピストン室に発生する負圧を外部に取り出すように吸排
気用の逆止弁を配設した。第３の発明においては複数の
前記ポンプユニットのシリンダ室の径がお互いに異なる
ように構成した。第４の発明では前記圧縮空気の切り替
えるための手段が一体に往復動する前記ピストン同士に
連動して圧縮空気で作動する切替装置とした。第５の発
明では前記ピストンが前記ポンプ室の端部に密着時ある
いは密着直前に信号を出力する信号出力体を配設し、該
信号によってピストン駆動の圧縮空気の切替装置を制御
するようにした。第６の発明ではさらに前記信号出力体
を弾性感圧部材とした。第７の発明では弾性シート部材
を前記ポンプ室と前記ポンプ室の当接部に配設した。

【０００７】第８の発明では前記空気動式真空ポンプの
真空圧力が設定した真空圧力になると該空気動式真空ポ
ンプを駆動する圧縮空気の空気量あるいは空気圧力を押
さえるように制御するようにした。第９の発明では空気
動式真空ポンプの真空圧力が設定した真空圧力になると
該空気動式真空ポンプを駆動する圧縮空気の供給するタ
イミングを遅らせるように制御する。第１０の発明では
単体あるいは複数の空気動式真空ポンプの負圧を発生さ
せる各ポンプ室を集約部に直接配管接続して、集約部の
真空圧力が設定した真空圧力になると各ポンプ室を直列
配管接続して集約部に配管接続させるように、配管上に
切替手段を配設して制御する。第１１の発明では複数の
前記空気動式真空ポンプの負圧を発生させる各ポンプ室
を配管接続して集約させ、集約部の真空圧力が設定した
真空圧力になるのに応じて各々の前記空気動式真空ポン
プの運転停止および集約部への接続・非接続を個別に制
御する。第１２の発明では複数の前記空気動式真空ポン
プの負圧を発生させるポンプ室を配管接続して集約さ
せ、各々の前記空気動式真空ポンプからの吸気脈動の位
相がずれるように運転制御する。

【０００８】

【発明の実施形態】本発明の実施の形態を図面に基づい
て詳細に説明する。図１は構成配置図で、（Ａ）は２個
のポンプユニットのそれぞれ片側のポンプ室に圧縮空気
を給排気した形態例・（Ｂ）は２個の一方のポンプユニ
ットに圧縮空気を給排気した形態例・（Ｃ）３個中の１
個のポンプユニットに圧縮空気を給排気した形態例・
（Ｄ）２個のポンプユニットの１個のポンプ室にのみ圧
縮空気を給排気し、ピストンの戻りにバネを用いた形態
例・（Ｅ）２個のシリンダ径が異なって、小径のポンプ
ユニットに圧縮空気を給排気した形態例であって、同じ
形態の部品については同一記号で示している。尚、図は
実施形態の一例であって、特許請求の範囲を逸脱しない
範囲で、機構・配置等の設計変更要素をもつものであ
る。

【０００９】図１（Ａ）（Ｂ）は本発明の基本的な実施
形態を示す図で、密閉されたシリンダ１・６を気密で摺
動可能に配設されたピストン３・８が分割して、ポンプ
室２と４・ポンプ室７と９を構成したポンプユニット５
・１０を形成している。そして、ピストン３とピストン
８はピストンロッド５４で一体に連結されている。図１
（Ａ）の場合は圧縮空気が空気源５０から切替装置５１
によって切り替えられて、ポンプ室４と７へ交互に給排
気されるので、ピストン３・８とピストンロッド５４は
左右に往復動する。この結果、ポンプ室２と９は交互に
容積の縮小拡大を繰り返し、縮小時にはポンプ室内部の
空気を逆止弁５３から排出し、拡大時には負圧を発生し
て逆止弁５２から配管接続されている真空タンクＴから
空気を吸引し、真空タンクＴ内部に真空を発生する。

【００１０】図１（Ｂ）の場合は圧縮空気が空気源５０
から切替装置５１によってポンプ室２と４へ交互に給排
気されるので、ポンプ室７と９に負圧を発生して逆止弁
５２から配管接続されている真空タンクＴから空気を吸
引し、真空タンクＴ内部に真空を発生する。尚、本形態
では逆止弁５２に真空タンクＴを接続しているが、用途
によっては必要箇所へ直接配管をする場合もあり、必ず
しも真空タンクＴは必要ないものである。

【００１１】図１（Ｃ）は３個のポンプユニット５・１
０・１５を同一軸線上に配設して、ピストン３・８・１
３をピストンロッド５４で一体に連結して左右に往復動
するように構成した形態例である。圧縮空気はポンプ室
２と４へ交互に給排気され、他のポンプユニット１０・
１５のポンプ室７・９・１２・１４に発生する負圧を真
空タンクＴに接続している。

【００１２】図１（Ｄ）はポンプユニット５・２０を同
一軸線上に配設して、圧縮空気は切替装置５６によって
ポンプ室４のみへ給排気され、ポンプ室１７にはバネを
配設して、ピストン３・１８をピストンロッド５４で一
体に連結して左右に往復動するように構成した形態例で
ある。この場合、ポンプ室４へ圧縮空気が供給されると
バネ５５を圧縮しながらピストン３・１８が左側へ移動
しポンプ室１９に負圧が発生し、ポンプ室４から圧縮空
気が排気されるとバネ５５が伸長してピストン３・１８
を右側へ移動しポンプ室２に負圧が発生する。

【００１３】図１（Ｅ）は径の異なるポンプユニット１
０と２５を同一軸線上に配設して、圧縮空気を小径側ポ
ンプユニット２５に給排気し、大径側ポンプユニット１
０で負圧を発生するように構成した形態例である。前記
の図１（Ａ）・（Ｂ）・（Ｃ）・（Ｄ）の場合には、圧
縮空気が給排気されるポンプ室と負圧の発生するポンプ
室は同径であるため、真空圧力３×１０^２Ｐａを発生す
るにはピストンやピストンロッドの摺動抵抗等を考慮し
て約０．１５ＭＰａの圧縮空気圧が必要である。しか
し、一般的にコンプレッサーで発生する圧縮空気の圧力
は０．５〜０．７ＭＰａ程度で、本発明の真空ポンプに
使用するためには減圧弁によって約１／４に低下させる
必要があって効率的でない。このため、圧縮空気が給排
気されるポンプユニット２５を小径にすることによっ
て、コンプレッサーで発生する圧縮空気の圧力を極端に
減圧する必要がなくなるメリットを有する。

【００１４】以上、基本的な実施形態例を説明したが本
発明の空気駆動式真空ポンプにおいては、従来の機械式
駆動方式の往復式真空ポンプでは得られない大きな性能
上の特徴を有している。すなわち、従来の機械式駆動方
式の往復式真空ポンプではピストン端部とシリンダ端部
とが接触しないようにいわゆるヘッドクリヤランス（ピ
ストンの最大移動位置におけるピストン端部とシリンダ
端部との隙間距離）が必ず必要であるため、一段での到
達真空圧力は１３．３×１０^３Ｐａ程度が限界であっ
た。一方、本発明の空気駆動式真空ポンプにおいては、
動力である圧縮空気が圧縮性であるためヘッドクリヤラ
ンスが無視でき、運転時には常にピストンがシリンダの
端部に押し当てられヘッドクリヤランスは無しで運転さ
せることができる。この結果、一段での到達真空圧力が
３×１０^３Ｐａにも達する性能が得られるものである。

【００１５】また、図２（Ａ）では負圧を発生するポン
プ室３９・３２・２７を直列配管し、図２（Ｂ）では負
圧を発生するポンプ室９・２２を直列配管して、多段の
真空ポンプとして真空圧力を高めようと構成した例であ
る。

【００１６】本発明の真空ポンプにおいては切替装置５
１は従来技術の各種の方法が使用できるものであるが、
特に本発明では動力源に圧縮空気を使用していることか
ら、空気式の切替弁が好ましく、当出願人が実願昭６１
−１３５１８６においてダイヤフラムポンプ用に出願し
た切替装置のようにピストンロッドに連動して空気圧を
切り替える方式が代表的なものである。さらに、エアレ
ス塗装用の空気動式のポンプに使用されている実願昭５
４−１１２６０７・実願昭５９−４１６７６・実願昭５
８−８９４７に見られるような、プランジャーポンプ用
の空気弁でも良いものである。

【００１７】また、切替装置５１は空気式の切替弁以外
にピストンロッドやピストンの動きを電気的に捉えて電
磁弁を切り替える方法もある。空気式の切替方式の場合
には、ピストンロッドやピストンの動きに対して自動的
に連動して切り替わってしまうため、ピストンの動きを
制御することは難しかったが、ピストンロッドやピスト
ンの動きを電気的に捉える方式の場合には、ピストンロ
ッドやピストンの動きを電気的に捉えた電気信号を、遅
延回路・真空圧力検知回路・真空圧力比較回路等を組み
込んだ制御装置を経由させてから電磁弁を切り替えるこ
とによって各種の制御が実施できる。

【００１８】図３（Ａ）で説明すると、ポンプユニット
１０のポンプ室７・９の端部７ａ・９ａの近くに信号出
力体５８ａ・５８ｂを配設しているため、ピストン８が
端部７ａ・９ａに接近あるいは密着すると信号出力体５
８ａ・５８ｂから信号５７ａ・５７ｂが制御装置５７に
出力される。この信号５７ａ・５７ｂにもとづいて信号
５７ｃが電磁弁５９ａ・５９ｂを交互に作動させること
によって、ピストン３・８を往復動させることができ
る。この場合の信号出力体５８ａ・５８ｂの例として
は、機械式のリミットスイッチや近接スイッチ等であっ
て、端部７ａ・９ａ間際や端部７ａ・９ａ側に配設す
る。また、図示はしていないが信号出力体はピストンロ
ッド５４の動きを検知するように配設しても良い。図３
（Ｂ）では信号出力体６０ａ・６０ｂとしてポンプ室７
・９の端部７ａ・９ａに弾性感圧部材を配設した例で、
ピストン８が信号出力体６０ａ・６０ｂ（弾性感圧部
材）を端部７ａ・９ａに押しつけると信号５７ａ・５７
・信号５７ｃを出力するようにしている。この弾性感圧
部材は押し付け力に応じて電気抵抗値が低下する特性を
有するものであり、弾性感圧部材を取り付けた場合には
ピストン端部とシリンダ端部との接触音を減少させる効
果も得られる。また、単純にピストン端部とシリンダ端
部との接触音を減少させるには、ウレタンゴムのシート
材のような弾性シート部材をピストンとシリンダの当接
部であるピストン端部あるいはシリンダ端部に配設する
ことによっても可能である。

【００１９】図４はピストンロッドやピストンの動きを
電気的に捉えた電気信号を、遅延回路・真空圧力検知回
路・真空圧力比較回路等を組み込んだ制御装置６１・６
２を経由させてから切替装置や電磁弁を切り替えること
によって各種の制御が実施できることを示す図である。
図４（Ａ）に示すように、真空ポンプが発生した真空圧
力を検知する検知装置６３を配管上に組み込み、検知装
置６３からの信号６３ａを制御装置６１に送り、制御装
置６１からの信号６１ａによって制御弁６４を制御しよ
うとするものである。制御弁６４の例としては電空バル
ブがあって、真空ポンプが発生した真空圧力があらかじ
め設定した真空圧力に達した場合には、制御装置６１か
らの信号６１ａによって制御弁６４を制御して、空気量
を制限して圧縮空気の無駄な消費を回避することができ
る。そして制御弁６４は電空バルブに限らずその他の空
気量・空気圧力の可変装置によっても同様な操作ができ
る。

【００２０】また、図４（Ｂ）に示すように、真空ポン
プが発生した真空圧力を検知する検知装置６３を配管上
に組み込み、検知装置６３からの信号６３ａを制御装置
６２に送ると共に、制御装置６２からの信号６２ａによ
って電磁弁５９ａ・５９ｂを作動させようとするもので
ある。この結果、真空ポンプが発生した真空圧力が設定
した真空圧力に達した場合には、信号出力体５８ａ・５
８ｂから信号５７ａ・５７ｂが制御装置６２に出力さ
れ、制御装置６２からの信号６２ａが電磁弁５９ａ・５
９ｂの作動タイミングを遅延させて、圧縮空気の無駄な
消費を回避したり、後述するように真空経路の配管経路
を切り替えて排気速度にウエイトを置いた配管経路か
ら、真空圧力にウエイトを置いた配管経路に切り替える
等の制御が可能となる。

【００２１】図５（Ａ）は２台の真空ポンプが発生した
真空圧力が設定した真空圧力に達した場合には、配管接
続を並列配管から直列配管に切り替えて真空圧力を高め
ようとする場合の形態例である。ポンプ室９の真空側配
管は逆止弁５４ｂ・検知装置６３を経由して真空タンク
Ｔへ接続され、一方のポンプ室９’からは逆止弁５４ａ
・切替手段６５・検知装置６３を経由して真空タンクＴ
へ接続されている。この場合ポンプ室９の排気は逆止弁
５３ａから切替手段６５の排気流路６５ａから６５ｂへ
排気される。図５（Ｂ）は検知装置６３が検知した真空
圧力を信号６６ａで制御装置６６へ送り、制御装置６６
が設定した真空圧力に達したと判断した場合の状態を示
している。制御装置６６が信号６６ｂを切替手段６５へ
送り流路を切り替えた状態で、ポンプ室９の排気側の逆
止弁５３ａが切替手段６５によってポンプ室９’の真空
側の逆止弁５４ａへ接続されている。この結果、低真空
圧力の時には並列配管で多量の空気排気を行い、設定し
た真空圧力に達した時には配管を直列に切り替えて真空
圧力を高めるように構成している。

【００２２】図１・図２に示す１台の真空ポンプで複数
の負圧を発生するポンプ室を持っている場合にも、同じ
ように低真空圧力の時には並列配管で多量の空気排気を
行い、設定した真空圧力に達した時には配管を直列に切
り替えて真空圧力を高めるように構成できる。

【００２３】図６は２台の真空ポンプが発生する負圧の
脈動を最小限にするために、電磁弁５９ａ・５９ｂと電
磁弁５９’ａ・５９’ｂによる切替のタイミングを制御
装置６７にてコントロールする構成とした形態例であ
る。ポンプユニット５・５’に圧縮空気を供給するタイ
ミングを制御装置６７がずらすことによって、ポンプユ
ニット１０・１０’から真空タンクへ負圧の脈動を最小
限にすることが可能であり、さらに真空ポンプの台数を
増やすことによって脈動を小さくすることが可能であ
る。さらに検知装置６３が真空圧力を検知して制御装置
６７が設定した真空圧力に達したと判断した場合には、
電磁弁５９’ａ・５９’ｂによる切替を停止するように
制御することやさらには電磁弁５９ａ・５９ｂも停止さ
せることも可能で、圧縮空気の無駄な消費を回避したり
することも可能である。また、図５と図６を組み合わせ
ることによって、真空圧力の変化に応じて並列から直列
の配管接続へ切替て高真空圧力に達した時には、真空ポ
ンプの運転台数を減少させたり完全に停止させたりする
ことができて、効率的な運転が可能である。

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。１．電動機不要のため真空ポンプの質量減・寸法減が可
能。２．電動機不要のため使用環境の制限が少なくなる。３．電動機不要のため密閉化が可能で騒音対策し易い。４．回転部分（ベアリング）が無いため組み込みの姿勢
に制限がない。５．電動機不要で構造も簡単で従来の電動機を使用した
真空ポンプに比較してイニシャルコストが大幅に安くで
きる。６．真空ポンプを駆動する圧縮空気の制御で圧縮空気の
空気量や圧力を迅速に制御可能で、種々の真空圧力制御
・排気速度制御が行える。７．ヘッドクリヤランスを無視できるため容積効率が向
上し、ドライ低真空分野においては高い真空圧力を達成
できる。８．真空圧力に応じた制御が可能で、圧縮空気の無駄な
消費を回避したり、効率的な運転が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が係る真空ポンプの構成配置図で、
（Ａ）は２個のポンプユニットのそれぞれ片側のポンプ
室に圧縮空気を給排気した形態例・（Ｂ）は２個の一方
のポンプユニットに圧縮空気を給排気した形態例・
（Ｃ）３個中の１個のポンプユニットに圧縮空気を給排
気した形態例・（Ｄ）２個のポンプユニットの１個のポ
ンプ室にのみ圧縮空気を給排気し、ピストンの戻りにバ
ネを用いた形態例・（Ｅ）２個のシリンダ径が異なっ
て、小径のポンプユニットに圧縮空気を給排気した形態
例。

【図２】本発明が係る真空ポンプの構成配置図で、多段
の真空ポンプとして真空圧力を高めようと構成した形態
例。（Ａ）は３個のポンプ室を直列配管した形態例で、
（Ｂ）は２個のポンプ室を直列配管した形態例である。

【図３】本発明が係る真空ポンプの切替を電気的検知に
よって行う制御方法の構成配置図。

【図４】本発明が係る真空ポンプを真空圧力よって制御
する方法の構成配置図。

【図５】本発明が係る真空ポンプを真空圧力よって並列
配管／直列配管を制御する方法の構成配置図。

【図６】本発明が係る真空ポンプが発生する負圧の脈動
を小さくする方法の構成配置図。

【符号の説明】

１・６・１１・１６・２１シリンダ室２・４・７・９・１２・１４・１７・１９・２２・２４
ポンプ室３・８・１３・１８・２３ピストン５１切替装置５２・５３逆止弁５４ピストンロッド５５弾性部材５８ａ・５８ｂ信号出力体６０ａ・６０ｂ弾性感圧部材６５切替手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】密閉されたシリンダ室をピストンで仕切っ
て該ピストンの左右にポンプ室を形成したポンプユニッ
トを複数同一軸線上に配列し、前記シリンダ室の気密を
保持しながら隣接する前記ピストン同士をピストンロッ
ドにて一体に連結して、前記ピストンの一方側の選択さ
れた前記ポンプ室と前記ピストンの他方側の選択された
前記ポンプ室に交互に圧縮空気を吸排気して前記ピスト
ン同士を一体に往復動させ、他の非選択のポンプ室に発
生する負圧を外部に取り出すように吸排気用の逆止弁を
配設したことを特徴とした空気動式真空ポンプ。
【請求項２】密閉されたシリンダ室をピストンで仕切っ
て該ピストンの左右にポンプ室を形成したポンプユニッ
トを複数同一軸線上に配列し、前記シリンダ室の気密を
保持しながら隣接する前記ピストン同士をピストンロッ
ドにて一体に連結して、選択された前記ピストン室に圧
縮空気を給排気して移動可能とし、該圧縮空気の排気時
には該圧縮空気の給気時の移動方向と逆方向に弾性部材
にて移動するように構成して前記ピストン同士を一体に
往復動させ、他の非選択の前記ピストン室に発生する負
圧を外部に取り出すように吸排気用の逆止弁を配設した
ことを特徴とした空気動式真空ポンプ。
【請求項３】複数の前記ポンプユニットのシリンダ室の
径がお互いに異なるように構成したことを特徴とする請
求項１・請求項２の空気動式真空ポンプ。
【請求項４】前記圧縮空気の切り替えるための手段が一
体に往復動する前記ピストン同士に連動して圧縮空気で
作動する切替装置であることを特徴とする請求項１・請
求項２の空気動式真空ポンプ。
【請求項５】前記ピストンが前記ポンプ室の端部に密着
時あるいは密着直前に信号を出力する信号出力体を配設
し、該信号によって圧縮空気の切替装置を制御すること
を特徴とする請求項１・請求項２の空気動式真空ポン
プ。
【請求項６】前記信号出力体を弾性感圧部材として前記
ポンプ室の端部に配設したことを特徴とする請求項５の
空気動式真空ポンプ。
【請求項７】弾性シート部材を前記ポンプ室と前記ポン
プ室の当接部に配設したことを特徴とする請求項１・請
求項２の空気動式真空ポンプ。
【請求項８】空気動式真空ポンプの真空圧力が設定した
真空圧力に達すると該空気動式真空ポンプを駆動する圧
縮空気の空気量あるいは空気圧力を低下させるように制
御することを特徴とする請求項１・請求項２の空気動式
真空ポンプの制御方法。
【請求項９】空気動式真空ポンプの真空圧力が設定した
真空圧力に達すると該空気動式真空ポンプを駆動する圧
縮空気の切替装置の切替タイミングを遅らせるように制
御することを特徴とする請求項１・請求項２の空気動式
真空ポンプの制御方法。
【請求項１０】単体あるいは複数の空気動式真空ポンプ
の負圧を発生させる各ポンプ室を集約部に並列に配管接
続して、集約部の真空圧力が設定した真空圧力になると
各ポンプ室を直列に配管接続を切替て集約部に配管接続
させるように、配管上に切替手段を配設して制御するこ
とを特徴とする請求項１・請求項２の空気動式真空ポン
プの制御方法。
【請求項１１】複数の空気動式真空ポンプの負圧を発生
させる各ポンプ室を配管接続して集約させ、集約部の真
空圧力が設定した真空圧力になるのに応じて各々の該空
気動式真空ポンプの運転停止および集約部への接続・非
接続を個別に制御することを特徴とする請求項１・請求
項２の空気動式真空ポンプの制御方法。
【請求項１２】複数の空気動式真空ポンプの負圧を発生
させるポンプ室を配管接続して集約させ、各々の該空気
動式真空ポンプからの吸気脈動の位相がずれるように運
転制御することを特徴とする請求項１・請求項２の空気
動式真空ポンプの制御方法。