JPH0878499A - ウェーハキャリア自動搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ウェーハを収納したウェーハキャリア等を自
動搬送するウェーハキャリア自動搬送装置に関し、ウェ
−ハキャリアと自動搬送装置の直接接触する部分に発生
する塵を除去する。 【構成】 ウェーハキャリア自動搬送装置のアーム６の
対向するフィンガー５に、キャリアガイド８が備えられ
ており、ウェーハキャリア２の対向して突設された突起
部３が、該キャリアガイド８に挿入支持されるウェーハ
キャリア自動搬送装置において、前記フィンガーに内設
された塵の吸引口９が、前記キャリアガイドを介して開
口している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエーハを収納したウ
ェーハキャリア（カセット）等を自動搬送する自動搬送
装置（ロボット）に関する。

【０００２】近年、工程の自動化、クリーンルームの無
人化にともない、各種ロボット等による自動搬送装置が
設けられているが、搬送機構や搬送中のより一層の防塵
化が要求されている。

【０００３】

【従来の技術】図４は従来例の説明図である。図におい
て、５はフィンガー、６はアーム、７はアタッチメン
ト、13は自動搬送装置である。

【０００４】工場のクリーン度アップに伴い、ウェーハ
キャリアの運搬もオペレータに替わり、ＡＧＶ（Automa
ted Guided Vihcle)等のロボットが行うようになってき
ている。

【０００５】これらのロボットは、低発塵を特徴とし、
図４に示す自動搬送装置13の複数の関節を有するアーム
６等の可動部から発生する塵を、外部に飛散させないよ
うにロボット本体内部にファン等を設け、可動部から発
生した塵を吸引し、更にＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフ
ィルタによって塵を取り除く構造となっている。

【０００６】また、ウェーハを自動搬送するローダー・
アンローダー機構においても、キャリアガイドとウェー
ハキャリアとの接触摩擦による発塵が無視出来ない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のような搬送装置
において、ロボット本体からの発塵はないものの、アー
ム先端のフィンガー、すなわち運搬するウェーハキャリ
アと直接接触する部分については発塵対策が施されてい
ないため、フィンガーとウェーハキャリアの接触により
発生する塵（ウェーハキャリアまたはフィンガーの削り
滓等）は除去されずに、フィンガーに残留することにな
る。

【０００８】そのため、フィンガーに残留している塵が
ウェーハキャリア内部のウェーハに付着し、歩留り低下
の原因になっていた。また、ローダー・アンローダーを
有する装置においても、微細な発塵が同様に歩留り低下
の一因となる。

【０００９】本発明は、ロボットのアーム先端のフィン
ガーとウェーハキャリアとの接触によって発生する塵を
吸引し、フィルタによって除去することにより、前述の
問題点を解決するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。図において、１はウェーハ、２はウェーハキ
ャリア、３は突起部、４はキャリアハンガー、５はフィ
ンガー、６はアーム、７はアタッチメント、８はキャリ
アガイド、９は吸引口である。

【００１１】図１（ａ）に平面図、図１（ｂ）に側面
図、図１（ｃ）に部分拡大図で示すように、ロボット式
自動搬送装置のアーム６の先端に位置するフィンガー５
にアタッチメント７を設け、ウェーハキャリア２の突起
部３との接触するキャリアガイド８の部分のできる限り
近くに塵の吸引口９を設け、発生した塵が残留、飛散し
ないようにロボット内部に吸引する。

【００１２】そして、ファンの送風側に設けたフィルタ
ーによって塵を除去するのである。吸引用のファン、及
びフィルタはロボット内部に発塵対策用のファン及びフ
ィルタが既にある場合には、フィンガー５の吸引口９を
それに接続すれば良いが、ファン及びフィルタがない場
合、或いはあっても吸引力が不足している場合には、新
たにフアン及びフィルタを設け、塵の吸引を行うように
する。

【００１３】すなわち、本発明の目的は、図１に示すよ
うに、ウェーハキャリア２の突起部３が直接挿入して取
りつけられるウェーハキャリア自動搬送装置（ロボッ
ト）のアーム６の先端のフィンガー５に取りつけられた
アタッチメント７のウェーハキャリア保持用キャリアガ
イド８と、該ウェーハキャリア２の突起部３との直接接
触により発生する塵の吸引口９が、該キャリアガイド８
に接して該フィンガー５内に設けられていることにより
或いは、後述の図３に示すように、ウェーハキャリアの
突起部が直接挿入して取りつけられるローダー・アンロ
ーダー装置の自動搬送部10のウェーハキャリア保持用キ
ャリアガイド８と、該ウェーハキャリア２の突起部３と
の直接接触により発生する塵の吸引口９が、該キャリア
ガイド８に接して該自動搬送部10に設けられていること
により達成される。

【００１４】

【作用】本発明のように、ウェーハキャリア自動搬送装
置やローダー・アンローダー等のウェーハキャリア搬送
機構に対する装置のウェーハキャリアと直接接触するキ
ャリアガイドに塵やゴミが発生しないように、局所的な
吸引口を設けるため、ウェーハキャリアやウェーハの保
管場所に摩擦による塵やゴミの持ち込みがなくなる。

【００１５】

【実施例】図２、図３は本発明の第１、第２の実施例の
説明図である。図において２はウェーハキャリア、３は
突起部、５はフィンガー、７はアタッチメント、８はキ
ャリアガイド、９は吸引口、10は自動搬送部、11はファ
ン、12はフィルタである。

【００１６】図２によりロボット（自動搬送装置）によ
りウェーハキャリア２をクリーンルーム内で搬送する本
発明の第１の実施例について説明する。図２（ａ）〜
（ｃ）にＸ、Ｙ、Ｚ方向から見た断面図で示すように、
ウェーハキャリア２のフィンガー５に保持する突起部３
をロボットのアーム先端にあるフィンガー５に接続した
アタッチメント７のキャリアガイド８に挿入する。

【００１７】キャリアガイド８は突起部３よりやや大き
く開口され、隙間から奥のフィンガー５の吸引口９で摩
擦で生じた塵等が速やかに吸引される。図３により、ウ
ェーハキャリアを用いたローダー・アンローダー搬送機
構に本発明を適用した第２の実施例について説明する。

【００１８】図３（ａ）に示すように、ローダー・アン
ローダーの自動搬送部のウェーハキャリア保持用のキャ
リアガイド８に近接して吸引口９を設け、図３（ｃ）に
示すように、搬送工程中のウェーハキャリアとキャリア
ガイド８の接触により発生する塵を、図３（ｂ）に示す
ように、吸引口９よりファン11を用いて速やかにフィル
タ12で濾過して塵を捕捉する。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ウェーハキャリアを保持、或いはガイドする自動搬送装
置のウェーハキャリア接触部に発生する塵を速やかに吸
引してウェーハプロセスの作業領域に塵が発生しないよ
うにするため、ウェーハの歩留りや品質の向上に寄与す
るところが大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の原理説明図

【図２】 本発明の第１の実施例の説明図

【図３】 本発明の第２の実施例の説明図

【図４】 従来例の説明図

【符号の説明】

図において １ ウェーハ ２ ウェーハキャリア ３ 突起部 ４ キャリアハンガー ５ フィンガー ６ アーム ７ アタッチメント ８ キャリアガイド ９ 吸引口 10 自動搬送部 11 ファン 12 フィルタ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハキャリア自動搬送装置のアーム
   の対向するフィンガーに、キャリアガイドが備えられて
   おり、ウェーハキャリアの対向して突設された突起部
   が、該キャリアガイドに挿入支持されるウェーハキャリ
   ア自動搬送装置において、 前記フィンガーに内設された塵の吸引口が、前記キャリ
   アガイドを介して開口していることを特徴とするウェー
   ハキャリア自動搬送装置。
2. 【請求項２】 ウェーハキャリアの自動搬送部にキャリ
   アガイドが備えられており、ウェーハキャリアの対向し
   て突設された突起部が、該キャリアガイドに挿入支持さ
   れるローダー・アンローダーを有する装置において、 前記自動搬送部に内設された塵の吸引口が、前記キャリ
   アガイドを介して開口していることを特徴とするウェー
   ハキャリア自動搬送装置。