JPH087829A - プラズマ質量分析装置 - Google Patents
プラズマ質量分析装置Info
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- JPH087829A JPH087829A JP6159373A JP15937394A JPH087829A JP H087829 A JPH087829 A JP H087829A JP 6159373 A JP6159373 A JP 6159373A JP 15937394 A JP15937394 A JP 15937394A JP H087829 A JPH087829 A JP H087829A
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- ion
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プラズマ質量分析装置のイオン偏向レンズの
構成を簡単にし、調整を容易にする。 【構成】 ノズルからのイオンの出射方向に対して略垂
直に設けた第１及び第２電極板１１、１２の間に、端面
を斜めに切断した円筒状の中間電極１３を設け、各電極
に直流電圧を印加する。 【効果】 両電場が傾斜し、イオン１８は両電場により
偏向される。一方、プラズマ光１９は直進するため、第
２電極板１２により遮蔽される。
構成を簡単にし、調整を容易にする。 【構成】 ノズルからのイオンの出射方向に対して略垂
直に設けた第１及び第２電極板１１、１２の間に、端面
を斜めに切断した円筒状の中間電極１３を設け、各電極
に直流電圧を印加する。 【効果】 両電場が傾斜し、イオン１８は両電場により
偏向される。一方、プラズマ光１９は直進するため、第
２電極板１２により遮蔽される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料をプラズマにより
励起し、生成されたイオンをノズルから質量分析器に導
いて検出することにより試料の分析を行なうプラズマ質
量分析装置に関する。
励起し、生成されたイオンをノズルから質量分析器に導
いて検出することにより試料の分析を行なうプラズマ質
量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４により、プラズマ質量分析装置の構
造及び作用を説明する。まず、プラズマ生成装置６２に
よりプラズマ６３を生成しておき、その中に試料６１を
霧化して導入することにより試料をプラズマ化する。プ
ラズマ中のイオン１８はノズル６４から第２真空室７２
に導入され、後述の偏向レンズ６５により偏向された
後、集束レンズ６６により第３真空室７３内の四重極６
８に送られる。四重極６８では、印加電圧の走査を行な
うことにより、複数のイオン種を含むイオン流１８の質
量分離を行なう。質量分離された試料のイオンはイオン
検出器７０により検出され、制御部３６において試料分
析のためのデータ解析が行なわれる。
造及び作用を説明する。まず、プラズマ生成装置６２に
よりプラズマ６３を生成しておき、その中に試料６１を
霧化して導入することにより試料をプラズマ化する。プ
ラズマ中のイオン１８はノズル６４から第２真空室７２
に導入され、後述の偏向レンズ６５により偏向された
後、集束レンズ６６により第３真空室７３内の四重極６
８に送られる。四重極６８では、印加電圧の走査を行な
うことにより、複数のイオン種を含むイオン流１８の質
量分離を行なう。質量分離された試料のイオンはイオン
検出器７０により検出され、制御部３６において試料分
析のためのデータ解析が行なわれる。
【０００３】プラズマ質量分析装置ではイオンはプラズ
マ６３により生成されるため、ノズル６４からはイオン
流１８の他に、プラズマ６３の光１９も導入される。従
って、ノズル６４から四重極６８までを同軸に配置する
と、強力なプラズマ光１９がイオン検出器７０まで到達
してしまう。イオン検出器７０は一般的に、イオンによ
り二次電子を生成し、それを増幅するという検出方法を
採用しているため、強い光によっても二次電子が生成さ
れ、ノイズを構成する。もちろん、四重極６８を出たイ
オンはイオン偏向板６９によりイオン検出器７０のイオ
ン導入口に導くようにして、イオン検出器７０のイオン
導入口が四重極６８の出口に対して正面を向かないよう
に配置されているが、装置内部で乱反射した迷光がイオ
ン検出器７０に入るため、ある程度のノイズ生成は避け
られない。
マ６３により生成されるため、ノズル６４からはイオン
流１８の他に、プラズマ６３の光１９も導入される。従
って、ノズル６４から四重極６８までを同軸に配置する
と、強力なプラズマ光１９がイオン検出器７０まで到達
してしまう。イオン検出器７０は一般的に、イオンによ
り二次電子を生成し、それを増幅するという検出方法を
採用しているため、強い光によっても二次電子が生成さ
れ、ノイズを構成する。もちろん、四重極６８を出たイ
オンはイオン偏向板６９によりイオン検出器７０のイオ
ン導入口に導くようにして、イオン検出器７０のイオン
導入口が四重極６８の出口に対して正面を向かないよう
に配置されているが、装置内部で乱反射した迷光がイオ
ン検出器７０に入るため、ある程度のノイズ生成は避け
られない。
【０００４】そこで従来より、図４に示すように、ノズ
ル６４から導入されるイオン流１８の軸を、イオン偏向
レンズ６５により途中で偏移させ、四重極６８をそのよ
うに偏移された軸に配置するという構成が用いられてい
る。これによると、プラズマ光１９はノズル６４から直
進して電極板等により遮られ、迷光も大きく低減され
る。
ル６４から導入されるイオン流１８の軸を、イオン偏向
レンズ６５により途中で偏移させ、四重極６８をそのよ
うに偏移された軸に配置するという構成が用いられてい
る。これによると、プラズマ光１９はノズル６４から直
進して電極板等により遮られ、迷光も大きく低減され
る。
【０００５】従来のイオン偏向レンズ６５の具体的構成
を図５により説明する。図５（ａ）は、２対の電極板
（８３ａ・８３ｂ）、（８４ａ・８４ｂ）を用いてイオ
ンを偏移させるイオン偏向レンズ８０であり、上流側の
遮蔽板８１のイオン通過孔８１ａを通過したイオン１８
は、第１電極板対（８３ａ・８３ｂ）の間に印加された
直流電圧により偏向され、第２電極板対（８４ａ・８４
ｂ）の間に印加された逆方向電圧により再び元と同じ方
向になるように偏向されて、下流側の遮蔽板８２のイオ
ン通過孔８２ａを通過する。一方、プラズマ光１９は、
上流側の遮蔽板８１のイオン通過孔８１ａを通過した
後、直進して下流側遮蔽板８２により遮蔽される。従っ
て、下流側遮蔽板８２のイオン通過孔８２ａの箇所に四
重極６８を配置することにより、プラズマ光１９を排
し、イオン流１８のみを四重極６８及び検出器７０の方
に導くことができる。図５（ｂ）のイオン偏向レンズ８
５は前段四重極８８と後段四重極８９の２段の四重極を
用いてイオンを偏移させるものである。また、図５
（ｃ）（ｄ）のイオン偏向レンズ９０は、図５（ａ）の
イオン偏向レンズ８０と同様、２対の上下電極対９３、
９４を用いるものであるが、各電極対９３、９４がイオ
ン通路を囲うように形成されているところに特徴があ
る。
を図５により説明する。図５（ａ）は、２対の電極板
（８３ａ・８３ｂ）、（８４ａ・８４ｂ）を用いてイオ
ンを偏移させるイオン偏向レンズ８０であり、上流側の
遮蔽板８１のイオン通過孔８１ａを通過したイオン１８
は、第１電極板対（８３ａ・８３ｂ）の間に印加された
直流電圧により偏向され、第２電極板対（８４ａ・８４
ｂ）の間に印加された逆方向電圧により再び元と同じ方
向になるように偏向されて、下流側の遮蔽板８２のイオ
ン通過孔８２ａを通過する。一方、プラズマ光１９は、
上流側の遮蔽板８１のイオン通過孔８１ａを通過した
後、直進して下流側遮蔽板８２により遮蔽される。従っ
て、下流側遮蔽板８２のイオン通過孔８２ａの箇所に四
重極６８を配置することにより、プラズマ光１９を排
し、イオン流１８のみを四重極６８及び検出器７０の方
に導くことができる。図５（ｂ）のイオン偏向レンズ８
５は前段四重極８８と後段四重極８９の２段の四重極を
用いてイオンを偏移させるものである。また、図５
（ｃ）（ｄ）のイオン偏向レンズ９０は、図５（ａ）の
イオン偏向レンズ８０と同様、２対の上下電極対９３、
９４を用いるものであるが、各電極対９３、９４がイオ
ン通路を囲うように形成されているところに特徴があ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のイオン偏向
レンズではいずれも電極の数が多く、イオンが正しく両
イオン通過孔を通るように電位を正しく調整することが
難しいという問題がある。本発明はこのような課題を解
決するために成されたものであり、その目的とするとこ
ろは、構造が簡単であり、調整も容易なイオン偏向レン
ズを備えたプラズマ質量分析装置を提供することにあ
る。
レンズではいずれも電極の数が多く、イオンが正しく両
イオン通過孔を通るように電位を正しく調整することが
難しいという問題がある。本発明はこのような課題を解
決するために成されたものであり、その目的とするとこ
ろは、構造が簡単であり、調整も容易なイオン偏向レン
ズを備えたプラズマ質量分析装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明では、試料をプラズマにより励起し、
生成されたイオンをノズルから質量分析器に導いて検出
することにより試料の分析を行なうプラズマ質量分析装
置において、ノズルと質量分析器との間に、 a)ノズルからのイオンの出射方向に対して略垂直に設け
られ、ノズルの正面に第１イオン通過孔を有する第１電
極板と b)イオンの移動方向に関して第１電極板の後方に第１電
極板に略平行に設けられ、ノズルと第１イオン通過孔と
を接続する立体角範囲の外部に第２イオン通過孔を有す
る第２電極板と、 c)第１電極板と第２電極板との間に設けられ、筒状部材
の両端を第１電極板及び第２電極板に対して傾斜した平
面で切断した形状を有する中間電極と、 d)第１電極板と第２電極板及び中間電極に直流電圧を印
加する直流電圧印加手段と、 を備えたイオン偏向レンズを有することを特徴としてい
る。
に成された本発明では、試料をプラズマにより励起し、
生成されたイオンをノズルから質量分析器に導いて検出
することにより試料の分析を行なうプラズマ質量分析装
置において、ノズルと質量分析器との間に、 a)ノズルからのイオンの出射方向に対して略垂直に設け
られ、ノズルの正面に第１イオン通過孔を有する第１電
極板と b)イオンの移動方向に関して第１電極板の後方に第１電
極板に略平行に設けられ、ノズルと第１イオン通過孔と
を接続する立体角範囲の外部に第２イオン通過孔を有す
る第２電極板と、 c)第１電極板と第２電極板との間に設けられ、筒状部材
の両端を第１電極板及び第２電極板に対して傾斜した平
面で切断した形状を有する中間電極と、 d)第１電極板と第２電極板及び中間電極に直流電圧を印
加する直流電圧印加手段と、 を備えたイオン偏向レンズを有することを特徴としてい
る。
【０００８】
【作用】中間電極の両端の端縁は第１電極板及び第２電
極板に対して傾斜しているため、直流電圧印加手段によ
り第１電極板と中間電極との間、及び中間電極と第２電
極板との間に異なった直流電圧が印加されると、各電極
間の電場はイオンの出射方向に対して傾斜する。このた
め、ノズルから出射され、第１電極板の第１イオン通過
孔を通過したイオンは、第１電極板と中間電極との間で
偏向され、また、中間電極と第２電極板との間で偏向さ
れる。従って、第１電極板と中間電極の間の電場と、中
間電極と第２電極板の間の電場とが丁度逆方向となるよ
うに中間電極の端縁形状及び印加電圧を設定しておくこ
とにより、第２イオン通過孔を通過するイオンが、ノズ
ルから出射されるイオン流の軸から偏移した軸を飛行す
るようにさせることができる。一方、プラズマの光は、
第１イオン通過孔を通過した後、上記立体各範囲内のみ
を照射するため、第２イオン通過孔を通過することはで
きず、第２電極板により遮蔽される。
極板に対して傾斜しているため、直流電圧印加手段によ
り第１電極板と中間電極との間、及び中間電極と第２電
極板との間に異なった直流電圧が印加されると、各電極
間の電場はイオンの出射方向に対して傾斜する。このた
め、ノズルから出射され、第１電極板の第１イオン通過
孔を通過したイオンは、第１電極板と中間電極との間で
偏向され、また、中間電極と第２電極板との間で偏向さ
れる。従って、第１電極板と中間電極の間の電場と、中
間電極と第２電極板の間の電場とが丁度逆方向となるよ
うに中間電極の端縁形状及び印加電圧を設定しておくこ
とにより、第２イオン通過孔を通過するイオンが、ノズ
ルから出射されるイオン流の軸から偏移した軸を飛行す
るようにさせることができる。一方、プラズマの光は、
第１イオン通過孔を通過した後、上記立体各範囲内のみ
を照射するため、第２イオン通過孔を通過することはで
きず、第２電極板により遮蔽される。
【０００９】なお、イオンの飛行方向は第１電極板の前
と第２電極板の後とで必ずしも平行である必要はなく、
両イオン飛行方向に角度がついていてもよい。従って、
中間電極の両端の端縁の角度及び電圧印加手段による印
加電圧は、第１イオン通過孔及び第２イオン通過孔をイ
オンのみが通過しプラズマ光が通過しなければ、どのよ
うな設定であっても構わない。この場合、第２電極と第
１電極の電圧印加手段を別にし、第２、第１電極を別々
の電位にすることも考えられる。
と第２電極板の後とで必ずしも平行である必要はなく、
両イオン飛行方向に角度がついていてもよい。従って、
中間電極の両端の端縁の角度及び電圧印加手段による印
加電圧は、第１イオン通過孔及び第２イオン通過孔をイ
オンのみが通過しプラズマ光が通過しなければ、どのよ
うな設定であっても構わない。この場合、第２電極と第
１電極の電圧印加手段を別にし、第２、第１電極を別々
の電位にすることも考えられる。
【００１０】
【実施例】図２により、本発明を実施した高周波誘導結
合プラズマ質量分析装置２０の構造及び作用を説明す
る。まず、高周波誘導結合プラズマ生成装置２２により
プラズマ２３を生成しておく。そして、試料２１を霧化
してプラズマ２３中に導入することにより、試料をプラ
ズマ化する。プラズマ２３中のイオン１８は、サンプリ
ングコーン及びスキマーコーンから成る二重コーンの先
端に設けられたノズル２４から、エキストラクタ電極２
５により第２真空室３２内に導入される。第２真空室３
２内では、図１に示すようなイオン偏向レンズ１０によ
りイオン１８の飛行経路が偏移される。
合プラズマ質量分析装置２０の構造及び作用を説明す
る。まず、高周波誘導結合プラズマ生成装置２２により
プラズマ２３を生成しておく。そして、試料２１を霧化
してプラズマ２３中に導入することにより、試料をプラ
ズマ化する。プラズマ２３中のイオン１８は、サンプリ
ングコーン及びスキマーコーンから成る二重コーンの先
端に設けられたノズル２４から、エキストラクタ電極２
５により第２真空室３２内に導入される。第２真空室３
２内では、図１に示すようなイオン偏向レンズ１０によ
りイオン１８の飛行経路が偏移される。
【００１１】本実施例のイオン偏向レンズ１０は、イオ
ン飛行方向の上流側にノズル２４からのイオン出射方向
に対して略垂直に設けられた第１電極板１１と、その下
流側に第１電極板１１に平行に設けられた第２電極板１
２と、両電極板１１、１２の間に設けられた中間電極１
３とで構成される。第１電極板１１には第１イオン通過
孔１１ａが、第２電極板１２には第２イオン通過孔１２
ａが設けられ、第１イオン通過孔１１ａの中心軸はノズ
ル２４の中心軸と一致するように、そして、第２イオン
通過孔１２ａの中心は後述の四重極２８の中心と一致す
るように、それぞれ設置されている。
ン飛行方向の上流側にノズル２４からのイオン出射方向
に対して略垂直に設けられた第１電極板１１と、その下
流側に第１電極板１１に平行に設けられた第２電極板１
２と、両電極板１１、１２の間に設けられた中間電極１
３とで構成される。第１電極板１１には第１イオン通過
孔１１ａが、第２電極板１２には第２イオン通過孔１２
ａが設けられ、第１イオン通過孔１１ａの中心軸はノズ
ル２４の中心軸と一致するように、そして、第２イオン
通過孔１２ａの中心は後述の四重極２８の中心と一致す
るように、それぞれ設置されている。
【００１２】中間電極１３は、金属製の円筒の両端を、
第１、第２電極板１１、１２に対して傾斜した平面で切
断した形状を有している。従って、ドライバ３７によ
り、例えば図１（ａ）に示すように、第１電極板１１に
直流電圧Ｖ1を、中間電極１３にそれとは異なる直流電
圧Ｖ3（イオンの電荷が正の場合、Ｖ1＞Ｖ3が望まし
い）を印加することにより、両者１１、１３間に傾斜し
た電場を形成することができる。この傾斜電場により、
第１イオン通過孔１１ａを通過したイオン１８は図１
（ａ）で上方に偏向される。図１（ａ）では第１電極板
１１と第２電極板１２には同電位が印加されているた
め、中間電極１３と第２電極板１２との間では上記電場
に対して軸対称の電場が形成される。このため、イオン
１８は中間電極１３と第２電極板１２の間で今度は下方
に偏移され、元の経路に対して偏移した平行な経路を飛
行するようになって第２イオン通過孔１２ａを通過す
る。一方、プラズマ２３の光１９はノズル２４から第２
真空室に入り、イオン１８と共に第１イオン通過孔１１
ａを通過するが、これらの電場に無関係に直進するた
め、第２電極板１２に遮られ、第２イオン通過孔１２ａ
を通過することはない。
第１、第２電極板１１、１２に対して傾斜した平面で切
断した形状を有している。従って、ドライバ３７によ
り、例えば図１（ａ）に示すように、第１電極板１１に
直流電圧Ｖ1を、中間電極１３にそれとは異なる直流電
圧Ｖ3（イオンの電荷が正の場合、Ｖ1＞Ｖ3が望まし
い）を印加することにより、両者１１、１３間に傾斜し
た電場を形成することができる。この傾斜電場により、
第１イオン通過孔１１ａを通過したイオン１８は図１
（ａ）で上方に偏向される。図１（ａ）では第１電極板
１１と第２電極板１２には同電位が印加されているた
め、中間電極１３と第２電極板１２との間では上記電場
に対して軸対称の電場が形成される。このため、イオン
１８は中間電極１３と第２電極板１２の間で今度は下方
に偏移され、元の経路に対して偏移した平行な経路を飛
行するようになって第２イオン通過孔１２ａを通過す
る。一方、プラズマ２３の光１９はノズル２４から第２
真空室に入り、イオン１８と共に第１イオン通過孔１１
ａを通過するが、これらの電場に無関係に直進するた
め、第２電極板１２に遮られ、第２イオン通過孔１２ａ
を通過することはない。
【００１３】以上説明した通り、本実施例のイオン偏向
レンズ１０では、３個の構成部品に２種の電位を印加す
るのみでよいため、構造及び制御が非常に簡単となる。
レンズ１０では、３個の構成部品に２種の電位を印加す
るのみでよいため、構造及び制御が非常に簡単となる。
【００１４】図２に戻り、イオン偏向レンズ１０の第２
イオン通過孔１２ａを通過したイオン１８は第３真空室
３３に入り、集束レンズ２６により集束されて四重極２
８の中心軸に導入される。ドライバ３８により、四重極
２８に所定の直流電圧と交流電圧との重畳電圧を印加す
ることにより、所定の質量を有するイオンのみが四重極
２８を通過することができる。四重極２８を通過した目
的イオンは偏向板２９により偏向され、イオン検出器３
０により検出される。検出器３０の検出信号はアンプ３
５を介して制御部３６に送られ、制御部３６において所
定の手法により試料の分析が行なわれる。
イオン通過孔１２ａを通過したイオン１８は第３真空室
３３に入り、集束レンズ２６により集束されて四重極２
８の中心軸に導入される。ドライバ３８により、四重極
２８に所定の直流電圧と交流電圧との重畳電圧を印加す
ることにより、所定の質量を有するイオンのみが四重極
２８を通過することができる。四重極２８を通過した目
的イオンは偏向板２９により偏向され、イオン検出器３
０により検出される。検出器３０の検出信号はアンプ３
５を介して制御部３６に送られ、制御部３６において所
定の手法により試料の分析が行なわれる。
【００１５】イオン偏向レンズの他の構成例を図３に示
す。図３（ａ）のイオン偏向レンズ４０は、両電極板４
１、４２の周囲に、中間電極４３の方に向かって延びる
スリーブ４１ｂ、４２ｂを設け、中間電極４３の入口及
び出口の側面周囲をスリーブ４１ｂ、４２ｂで覆うよう
にしたものである。また、図３（ｂ）のイオン偏向レン
ズ５０は、中間電極５３を前後２個５３ａ、５３ｂに分
割したものである。図３（ｂ）の構成のものでは、図１
の構成のものと比較すると、各中間電極の大きさ（径及
び／又は長さ）を比較的自由に設定することができ、印
加電圧の設定を含め、電場形状の設計の自由度が向上す
るという利点がある。
す。図３（ａ）のイオン偏向レンズ４０は、両電極板４
１、４２の周囲に、中間電極４３の方に向かって延びる
スリーブ４１ｂ、４２ｂを設け、中間電極４３の入口及
び出口の側面周囲をスリーブ４１ｂ、４２ｂで覆うよう
にしたものである。また、図３（ｂ）のイオン偏向レン
ズ５０は、中間電極５３を前後２個５３ａ、５３ｂに分
割したものである。図３（ｂ）の構成のものでは、図１
の構成のものと比較すると、各中間電極の大きさ（径及
び／又は長さ）を比較的自由に設定することができ、印
加電圧の設定を含め、電場形状の設計の自由度が向上す
るという利点がある。
【００１６】
【発明の効果】本発明に係るプラズマ質量分析装置のイ
オン偏向レンズは、直流電圧を印加すべき電極の数が少
ないため、プラズマ光を遮蔽しつつイオンのみを正しく
偏移させ、両イオン通過孔を通過させるようにするため
の電位の調整が容易となる。また、構成部品点数も少な
いため、組立が容易である。
オン偏向レンズは、直流電圧を印加すべき電極の数が少
ないため、プラズマ光を遮蔽しつつイオンのみを正しく
偏移させ、両イオン通過孔を通過させるようにするため
の電位の調整が容易となる。また、構成部品点数も少な
いため、組立が容易である。
【図１】 本発明の実施例である高周波誘導結合プラズ
マ質量分析装置で用いるイオン偏向レンズの断面図
（ａ）及び正面図（ｂ）。
マ質量分析装置で用いるイオン偏向レンズの断面図
（ａ）及び正面図（ｂ）。
【図２】 実施例の高周波誘導結合プラズマ質量分析装
置の概略構成図。
置の概略構成図。
【図３】 本発明による他の２種のイオン偏向レンズの
概略構成図。
概略構成図。
【図４】 従来のプラズマ質量分析装置の概略構成図。
【図５】 従来の３種のイオン偏向レンズの概略構成
図。
図。
１０、４０、５０、８０、８５、９０…イオン偏向レン
ズ １１、４１、５１、８１、８６、９１…第１電極板 １２、４２、５２、８２、８７、９２…第２電極板 １１ａ、４１ａ、８１ａ…第１イオン通過孔 １２ａ、４２ａ、８２ａ…第２イオン通過孔 １３、４３、５３ａ、５３ｂ…中間電極 １８…イオン流 １９…プラズマ光 ２０…高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 ２１…試料 ２２…高周波誘導結合プラズマ生成装置 ２３…プラズマ ２４…ノズル ２５…エキストラクタ電極 ２６…集束レンズ ２８…四重極 ３０…イオン検出器 ３７…イオン偏向レンズ用ドライバ ３８…四重極用ドライバ
ズ １１、４１、５１、８１、８６、９１…第１電極板 １２、４２、５２、８２、８７、９２…第２電極板 １１ａ、４１ａ、８１ａ…第１イオン通過孔 １２ａ、４２ａ、８２ａ…第２イオン通過孔 １３、４３、５３ａ、５３ｂ…中間電極 １８…イオン流 １９…プラズマ光 ２０…高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 ２１…試料 ２２…高周波誘導結合プラズマ生成装置 ２３…プラズマ ２４…ノズル ２５…エキストラクタ電極 ２６…集束レンズ ２８…四重極 ３０…イオン検出器 ３７…イオン偏向レンズ用ドライバ ３８…四重極用ドライバ
Claims (1)
- 【請求項１】 試料をプラズマにより励起し、生成され
たイオンをノズルから質量分析器に導いて検出すること
により試料の分析を行なうプラズマ質量分析装置におい
て、ノズルと質量分析器との間に、 a)ノズルからのイオンの出射方向に対して略垂直に設け
られ、ノズルの正面に第１イオン通過孔を有する第１電
極板と b)イオンの移動方向に関して第１電極板の後方に第１電
極板に略平行に設けられ、ノズルと第１イオン通過孔と
を接続する立体角範囲の外部に第２イオン通過孔を有す
る第２電極板と、 c)第１電極板と第２電極板との間に設けられ、筒状部材
の両端を第１電極板及び第２電極板に対して傾斜した平
面で切断した形状を有する中間電極と、 d)第１電極板と第２電極板及び中間電極に直流電圧を印
加する直流電圧印加手段と、 を備えたイオン偏向レンズを有することを特徴とするプ
ラズマ質量分析装置。
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