JPH0876362A - マスク保護装置のペリクル枠への保護膜の塗布方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目 的】 マスク保護装置のペリクル枠からの発塵を
防止するため、ペリクル枠内側目面に粘着剤を塗布して
保護膜を形成し、枠内側面の微少な窪みに入り込んでい
る異物を封じ込める方法において、枠内側面よりエッジ
を経てマスクへの接着剤に至るまでの全域にわたって均
一に厚薄むらを生ずることなく、しかも表面がフラット
で、粘着剤の微粒子により異物検査時に異物と誤認され
ることのないようにする。 【構 成】 吐出孔１２を備えたへら状の塗布ノズル１
３を用い、吐出孔１２をペリクル枠内側面に押し当てた
状態で粘着剤を吐出孔１２より吐出させながらペリクル
枠に沿わせて移動させ、フラットコート法より粘着剤を
枠内側面に塗布する。ついで枠下端面に低粘度の流動性
のある粘着剤を塗布し、枠内側面よりエッジを経て枠下
端面に至るまで粘着剤による保護膜を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ペリクル枠と、ペリク
ル枠の一側面に張設される透明な薄膜よりなり、集積回
路の製造工程におけるフォトリソグラフィ工程で使用さ
れるマスク或いはレチクル（以下「マスク」という）に
塵埃等が付着するのを防止する目的で用いられるマスク
保護装置において、ペリクル枠内側面にペリクル枠から
の発塵を防止するために塗布される保護膜の塗布方法に
関する。

【０００２】

【従来技術】マスク保護装置のペリクル枠には一般に、
アルマイト処理されたアルミ枠が用いられるが、その表
面は精微に観察すると、微細な凹凸を有し、凹部の窪み
に入り込んでいる異物が振動や衝撃により、ときには飛
び出して発塵するおそれがある。

【０００３】特開昭６４−２０５５３３号には、こうし
たペリクル枠からの発塵を防止するため、ペリクル枠の
内側面に塗料や粘着剤を塗布して保護膜を形成し、枠の
微少な窪みに入り込んでいる異物を封じ込めるようにし
たマスク保護装置が開示され、塗料や粘着剤を塗布する
方法の一つとして、スプレーによる塗布が開示されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】塗料や粘着剤をスプレ
ーによって塗布する場合、形成された保護膜に厚薄むら
ができ易いうえ、塗料や粘着剤は微粒子よりなるため、
保護膜の表面が付着した微粒子により凹凸状を呈するよ
うになり、異物検査のとき、これを異物と誤認するおそ
れがあり、また微粒子間には微少な隙間ができ、全面に
保護膜が形成されないことがある。

【０００５】本発明は、上記の問題を解消することを目
的としてなされたものである。

【０００６】

【課題の解決手段及び作用】本発明の保護膜の塗布方法
は、ペリクル枠と、ペリクル枠の一側面に張設される薄
膜よりなるマスク保護装置のペリクル枠内側面に塗料な
いし粘着剤を塗布して保護膜を形成する方法において、
一ないし複数の吐出孔を有し、ペリクル枠内側面に線な
いし面接触する塗布ノズルを用い、吐出孔より吐出した
塗料ないし粘着剤を塗布ノズルでペリクル枠内側面に押
し当てながらペリクル枠の内側面に沿い移動させること
を特徴とする。

【０００７】本方法によれば、ペリクル枠内側面全面に
均一で、しかも表面がフラットな保護膜が形成されるよ
うになる。本方法の塗布ノズルとしては、ペリクル枠内
側面に線ないし面接触するものが用いられるが、こうし
たものとしては、例えば、へら状、円柱状、多角形柱
状、楕円柱状、などが挙げられる。又、必要に応じて、
ペリクルの内面形状に合わせて変形させてもよい。

【０００８】また本方法で用いる塗料としては、油性、
水性、樹脂製塗料、顔料など金属の表面保護や着色のた
めに使用される一般的な塗料、伝熱性や導電性或いは光
線の吸収や反射の調節その他特殊な用途に使用される塗
料などが挙げられ、このなかでは、導電性物質が好まし
い例として挙げられる。塗料が帯電性物質であると、帯
電により塵が吸収され易く、吸収された物質が何らかの
拍子で外れるおそれがあるのに対し、導電性物質ではこ
うした問題を生じないからである。

【０００９】粘着剤には無機系のものもあるが、一般に
は有機系のものが使用される。上述する塗料ないし粘着
剤のなかでは、粘着剤を用いるのが望ましい。粘着剤を
塗布することにより、枠の窪みに入り込んでいる異物を
封じ込め、外部に飛び出すことがないようにすることが
できると共に、ペリクル枠の内側に入り込んで枠内側面
に付着した異物を保持できるようになり、マスク上に落
下させないようにすることができる。

【００１０】本発明による塗料ないし粘着剤の塗布は、
ペリクル枠を多段に重ね、その内側面全体を上述のフラ
ットコート法により塗布することもできるが、好ましく
はペリクル枠一つ一つに対し、上述するように接着剤が
塗布される。多段に重ねたペリクル枠に対し、塗料ない
し粘着剤を塗布する場合、一工程で塗布することができ
る反面、ペリクル枠を一つ一つ取り外すと、上下のペリ
クル枠間の塗料ないし粘着剤が引剥がされるようにな
り、破断面から発塵するおそれがあるのに対し、ペリク
ル枠一つ一つに塗料ないし粘着剤を塗布する場合、こう
した問題を生じない。

【００１１】ペリクル枠は一般に図１に示すように、エ
ッジ１ａが面取りされ、塗布ノズル２で吐出孔３から吐
出した塗料ないし粘着剤４をペリクル枠内側面ｂに押し
当てると、塗料ないし粘着剤４がエッジ１ａに押出さ
れ、エッジまで保護膜が形成されるようになるが、ペリ
クル枠上端面１ｃの場合、上端面全体に薄膜が接着され
るため問題はないとしても、下端面１ｄに接着されるマ
スクへの接着剤5 は通常、図２に示すように、下端面全
体に接着される訳ではないため、露出部１ｅが残るよう
になる。

【００１２】この問題を解消するには、図３に示すよう
に塗布ノズル２の先端にエッジ１ａに沿う形状のフック
状押え部６を形成し、塗料ないし粘着剤４を押え部６で
押出して露出部１ｅに至るまで保護膜を形成させるよう
にするか、或いは第１段階で図１に示すように、ペリク
ル枠内側面とエッジまで保護膜を形成したのち、第２段
階で図４に示すように、ペリクル枠下端面１ｄに塗料し
ないし粘着剤７を塗布するか、或いはペリクル枠を上下
反転し、上向きとなったペリクル枠上端面に粘着剤を塗
布し、更にその上にマスクへの接着剤５を塗布するよう
にするとよい。第２段階で塗布される塗料ないし粘着剤
としては、速かに拡散するように低粘度の流動性のある
ものが望ましい。

【００１３】

【実施例】図５は、本発明方法で用いる塗布装置につい
て示すもので、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸方向に制御されるロ
ボット（図示しない）に回転可能に軸支されるノズルホ
ルダー１１と、ノズルホルダー１１に取着され、一つの
吐出孔１２を備えた塗布ノズル１３と、容器１６内の粘
着剤１７を液送チューブ１４を介して塗布ノズル１３に
供給するポンプ１５とよりなっている。

【００１４】ペリクル枠１８の内側面に粘着剤を塗布す
るときには、段付きのスタンド１９の内側にペリクル枠
１８を嵌着したのち、ロボットをｘｙ軸及びｚ軸方向に
制御して吐出孔１２をペリクル枠内側面中央部に押し当
てる。この状態でポンプ１５を駆動し、容器１６内の粘
着剤１７を塗布ノズル１３に圧送し、吐出孔１２より吐
出させながらロボットをｘｙ制御して塗布ノズル１３を
ペリクル枠１８に押し当てた状態で枠１８に沿わせ移動
させる。

【００１５】以上のようにしてペリクル枠の内側面にフ
ラットコート法により粘着剤による保護膜が形成され
る。この保護膜は塗布ノズル１３が押し当てられて粘着
剤が上下に押出されることによりエッジに至るまで形成
される（図１参照）。次にペリクル枠１８の上下反転
し、上向きとなった枠上端面に上記粘着剤より低粘度の
接着剤が塗布される（図４参照）。

【００１６】

【発明の効果】本発明は以上のように構成され、次のよ
うな効果を奏する。請求項１記載の塗布方法によれば、
ペリクル枠内側面全域にわたって均一で隙間なく、表面
がフラットな保護膜が形成されるようになり、ペリクル
枠内側の微少な窪みに入り込んでいる異物を封じ込めて
発塵するおそれをなくすことができるほか、表面がフラ
ットであるため、異物検査時に異物と誤認するおそれを
なくすことができる。

【００１７】請求項２記載の塗布方法においては、一度
の工程でペリクル枠の内側面よりエッジを経て下端面に
接着されるマスク接着剤に至るまで保護膜が形成できる
ようになり、枠の露出部分がなくなるため、枠からの発
塵を防止することができる。請求項３記載の塗布方法に
よれば、ペリクル枠の下端面に保護膜を確実に形成する
ことができる。

【００１８】請求項４記載の塗布方法のように、低粘度
の流動性のある粘着剤を用いれば、保護膜を迅速に形成
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による塗布方法を示す断面図。

【図２】 ペリクル枠下端面にマスクへの接着剤を接着
した状態を示す断面図

【図３】 別の態様を示す断面図。

【図４】 ペリクル枠下端面に粘着剤を塗布した断面
図。

【図５】 塗布装置の概略図。

【符号の説明】

１、１８・・ペリクル枠 １ａ・・エッジ １ｂ・・内側面 １ｃ・・上端面 １ｄ・下端面 １ｅ・・露出部 ２、１３・・塗布ノズル ３、１２・・吐出
孔 ４・・粘着剤 ５・・接着剤 ６・・押え部 １１・・ノズルホ
ルダー １５・・ポンプ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ペリクル枠と、ペリクル枠の一側面に張
   設される薄膜よりなるマスク保護装置のペリクル枠内側
   面に塗料ないし粘着剤を塗布して保護膜を形成する方法
   において、一ないし複数の吐出孔を有し、ペリクル枠内
   側面に線ないし面接触する塗布ノズルを用い、吐出孔よ
   り吐出した塗料ないし粘着剤を塗布ノズルでペリクル枠
   内側面に押し当てながらペリクル枠の内側面に沿い移動
   させることを特徴とするペリクル枠への保護膜の塗布方
   法。
2. 【請求項２】 塗布ノズルには、ペリクル枠下端面のエ
   ッジに沿う形状のフック状押え部が形成される請求項１
   記載のペリクル枠への保護膜の塗布方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の方法によりペリクル枠内
   側面に塗料ないし粘着剤を塗布後、ペリクル枠下端面に
   粘着剤を塗布することを特徴とするペリクル枠への保護
   膜の塗布方法。
4. 【請求項４】 ペリクル枠下端面に塗布される粘着剤
   は、低粘度の流動性を有する粘着剤である請求項３記載
   のペリクル枠への保護膜の塗布方法。