JPH0875807A - 静電気測定方法 - Google Patents
静電気測定方法Info
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- JPH0875807A JPH0875807A JP20877294A JP20877294A JPH0875807A JP H0875807 A JPH0875807 A JP H0875807A JP 20877294 A JP20877294 A JP 20877294A JP 20877294 A JP20877294 A JP 20877294A JP H0875807 A JPH0875807 A JP H0875807A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は静電気測定方法に関し、信頼性の高
い測定ができる静電気測定方法を実現することを目的と
する。 【構成】 被測定物１６に帯電している静電気の帯電量
を被測定物１６と測定プローブ１３との距離を常に一定
に保って測定するように構成する。
い測定ができる静電気測定方法を実現することを目的と
する。 【構成】 被測定物１６に帯電している静電気の帯電量
を被測定物１６と測定プローブ１３との距離を常に一定
に保って測定するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置等に帯電し
た静電気の帯電量を測定する測定方法に関する。
た静電気の帯電量を測定する測定方法に関する。
【０００２】最近の電子部品は小型化が急速に進んでお
り、それに伴って内部回路の小型化、高密度化して来て
いる。その中でも半導体装置（ＩＣ）に於いては、パッ
ケージの外形寸法の小型化に伴うリード間ピッチの狭ピ
ッチ化、内部チップの高密度パターン化等が進行してい
る。
り、それに伴って内部回路の小型化、高密度化して来て
いる。その中でも半導体装置（ＩＣ）に於いては、パッ
ケージの外形寸法の小型化に伴うリード間ピッチの狭ピ
ッチ化、内部チップの高密度パターン化等が進行してい
る。
【０００３】この傾向は、従来より問題視されていた静
電気による内部回路の破壊を助長することになる。この
ため半導体装置（ＩＣ）の製造工程の全べてにおいて、
静電気障害対策の強化が不可欠となっている。
電気による内部回路の破壊を助長することになる。この
ため半導体装置（ＩＣ）の製造工程の全べてにおいて、
静電気障害対策の強化が不可欠となっている。
【０００４】半導体装置（ＩＣ）の静電気障害は、主
に、パッケージ表面に帯電した静電気が放電することに
より発生するが、帯電量の大きさにより障害になる場合
とならない場合がある。また、半導体装置（ＩＣ）の性
能、種類によっても差があり、その半導体装置（ＩＣ）
の耐えられる帯電量を明確にし、製造工程で発生する静
電気の帯電量をそれ以下に抑えることが重要となる。
に、パッケージ表面に帯電した静電気が放電することに
より発生するが、帯電量の大きさにより障害になる場合
とならない場合がある。また、半導体装置（ＩＣ）の性
能、種類によっても差があり、その半導体装置（ＩＣ）
の耐えられる帯電量を明確にし、製造工程で発生する静
電気の帯電量をそれ以下に抑えることが重要となる。
【０００５】従って、帯電している静電気の帯電量を正
確に測定する測定方法が必要となってくる。
確に測定する測定方法が必要となってくる。
【０００６】静電気の帯電量を測定する計測器の一つに
表面電位計がある。これは、比較的低電圧の静電気を測
定するのに適しているといわれている。しかし、被測定
物と測定プローブとの距離を適切にしないと正確な測定
値が得られないという欠点があり、取扱いが難しい面が
ある。そこで、表面電位計を使用して取扱いが簡単な静
電気測定方法の開発が求められている。
表面電位計がある。これは、比較的低電圧の静電気を測
定するのに適しているといわれている。しかし、被測定
物と測定プローブとの距離を適切にしないと正確な測定
値が得られないという欠点があり、取扱いが難しい面が
ある。そこで、表面電位計を使用して取扱いが簡単な静
電気測定方法の開発が求められている。
【０００７】
【従来の技術】従来の静電測定方法は、図７に示すよう
に、被測定物１又は、被測定物を収納した容器２を机上
等に置き、表面電位計の測定プローブ３を人間が手で持
ち、被測定物１に対して感覚的に水平に移動させながら
複数の被測定物１を測定していた。
に、被測定物１又は、被測定物を収納した容器２を机上
等に置き、表面電位計の測定プローブ３を人間が手で持
ち、被測定物１に対して感覚的に水平に移動させながら
複数の被測定物１を測定していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の測定方法で
は、被測定物１と測定プローブ３との距離を一定に保つ
事が困難であり、測定値に対する信頼性に乏しく、測定
の再現性も正確には出ない事が多かった。また人間の感
覚により被測定物１と測定プローブ３との距離を決める
為、作業者により個人差が出てしまい同じ被測定物でも
測定値に差が出る場合があった。
は、被測定物１と測定プローブ３との距離を一定に保つ
事が困難であり、測定値に対する信頼性に乏しく、測定
の再現性も正確には出ない事が多かった。また人間の感
覚により被測定物１と測定プローブ３との距離を決める
為、作業者により個人差が出てしまい同じ被測定物でも
測定値に差が出る場合があった。
【０００９】さらに、取扱のミスにより測定プローブ３
を被測定物１や収納容器２にぶつけてしまい、測定プロ
ーブ３を破損させたり、被測定物１を不良品にしてしま
う場合もあった。
を被測定物１や収納容器２にぶつけてしまい、測定プロ
ーブ３を破損させたり、被測定物１を不良品にしてしま
う場合もあった。
【００１０】本発明は上記従来の問題点に鑑み、信頼性
の高い測定ができる静電気測定方法を実現しようとす
る。
の高い測定ができる静電気測定方法を実現しようとす
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の静電気測定方法
に於いては、被測定物１６に帯電している静電気の帯電
量を、被測定物１６と測定プローブ１３との距離を常に
一定に保って測定することを特徴とする。また、被測定
物１６又は被測定物を収容した容器１２をＸＹテーブル
１８に載置し、Ｘおよび／またはＹ方向に移動させなが
ら被測定物１６の静電気の帯電量を測定することを特徴
とする。
に於いては、被測定物１６に帯電している静電気の帯電
量を、被測定物１６と測定プローブ１３との距離を常に
一定に保って測定することを特徴とする。また、被測定
物１６又は被測定物を収容した容器１２をＸＹテーブル
１８に載置し、Ｘおよび／またはＹ方向に移動させなが
ら被測定物１６の静電気の帯電量を測定することを特徴
とする。
【００１２】また、ＸＹアーム１９に測定プローブ１３
を取り付け、該プローブ１３をＸおよび／またはＹ方向
に移動させながら被測定物１６の静電気の帯電量を測定
することを特徴とする。また、測定プローブ１３をＸ軸
方向に移動させ被測定物１６又は被測定物を収容した容
器１２をＹ軸方向に移動させながら被測定物１６の静電
気の帯電量を測定することを特徴とする。また、被測定
物１６の静電気の帯電量を測定した値が所定の値を超え
た場合は被測定物１６の静電気を除電装置２０により除
電することを特徴とする。
を取り付け、該プローブ１３をＸおよび／またはＹ方向
に移動させながら被測定物１６の静電気の帯電量を測定
することを特徴とする。また、測定プローブ１３をＸ軸
方向に移動させ被測定物１６又は被測定物を収容した容
器１２をＹ軸方向に移動させながら被測定物１６の静電
気の帯電量を測定することを特徴とする。また、被測定
物１６の静電気の帯電量を測定した値が所定の値を超え
た場合は被測定物１６の静電気を除電装置２０により除
電することを特徴とする。
【００１３】また、測定プローブ１３と被測定物１６間
の距離が変動した場合、測定プローブ１３に設けた距離
検出手段と、測定プローブ１３を上下させる機構へのフ
ィードバック手段により測定プローブ１３と被測定物１
６間の距離の変動を補正することを特徴とする。この構
成を採ることにより、信頼性の高い測定ができる静電気
測定方法が得られる。
の距離が変動した場合、測定プローブ１３に設けた距離
検出手段と、測定プローブ１３を上下させる機構へのフ
ィードバック手段により測定プローブ１３と被測定物１
６間の距離の変動を補正することを特徴とする。この構
成を採ることにより、信頼性の高い測定ができる静電気
測定方法が得られる。
【００１４】
【作用】本発明においては、測定プローブに対して被測
定物又は被測定物を収容した容器が水平に且つ、常時一
定の距離を保って動作する事ができる為、距離の変動に
よる測定値のばらつきを抑えることができ、信頼性のあ
る測定値が得られる。また、測定者による測定値のばら
つきも抑えることができる。更に、測定プローブと被測
定物又は、被測定物を収容した容器が接触する事が無い
ため、測定プローブの破損、或いは被測定物を傷つける
等の障害を防止することができる。
定物又は被測定物を収容した容器が水平に且つ、常時一
定の距離を保って動作する事ができる為、距離の変動に
よる測定値のばらつきを抑えることができ、信頼性のあ
る測定値が得られる。また、測定者による測定値のばら
つきも抑えることができる。更に、測定プローブと被測
定物又は、被測定物を収容した容器が接触する事が無い
ため、測定プローブの破損、或いは被測定物を傷つける
等の障害を防止することができる。
【００１５】
【実施例】本発明の静電気測定方法の第１の実施例は、
被測定物と測定プローブとの距離を常に一定に保ちなが
ら、また測定プローブと被測定物を相対的にＸＹ方向に
移動して被測定物の静電気帯電量を測定するものであ
る。図１に本発明方法を実施できる静電気測定装置を示
す。
被測定物と測定プローブとの距離を常に一定に保ちなが
ら、また測定プローブと被測定物を相対的にＸＹ方向に
移動して被測定物の静電気帯電量を測定するものであ
る。図１に本発明方法を実施できる静電気測定装置を示
す。
【００１６】本静電気測定装置は、ベース板１０に収納
容器ガイド用のガイドピン１１が設けられ、該ガイドピ
ン１１をガイドにして容器１２を設置し、その上を測定
プローブ１３が水平に移動するようにＸ軸シャフト１４
及びＹ軸シャフト１５を配設し、容器１２に収納されて
いる被測定物１６の静電気の帯電量を測定できるように
なっている。測定方法としては、取手つまみ１７を持っ
て測定したい被測定物上に測定プローブ１３を移動させ
て測定値を読み取るのである。
容器ガイド用のガイドピン１１が設けられ、該ガイドピ
ン１１をガイドにして容器１２を設置し、その上を測定
プローブ１３が水平に移動するようにＸ軸シャフト１４
及びＹ軸シャフト１５を配設し、容器１２に収納されて
いる被測定物１６の静電気の帯電量を測定できるように
なっている。測定方法としては、取手つまみ１７を持っ
て測定したい被測定物上に測定プローブ１３を移動させ
て測定値を読み取るのである。
【００１７】本実施例によれば測定プローブ１３と被測
定物１６との間の距離が常に一定しているため距離の変
動による測定値のばらつきは抑制される。また測定者に
よる個人誤差も少なくなる。さらに測定プローブ１３が
被測定物１６に接触することがないため、測定プローブ
１３又は被測定物１６を傷つけることはない。
定物１６との間の距離が常に一定しているため距離の変
動による測定値のばらつきは抑制される。また測定者に
よる個人誤差も少なくなる。さらに測定プローブ１３が
被測定物１６に接触することがないため、測定プローブ
１３又は被測定物１６を傷つけることはない。
【００１８】本発明の静電気測定方法の第２の実施例
は、被測定物又は被測定物を収容した容器をＸＹテーブ
ル上に載置し、Ｘおよび／またはＹ方向に移動させなが
ら被測定物の静電気の帯電量を測定するものである。
は、被測定物又は被測定物を収容した容器をＸＹテーブ
ル上に載置し、Ｘおよび／またはＹ方向に移動させなが
ら被測定物の静電気の帯電量を測定するものである。
【００１９】図２に本発明の静電気測定方法の第２の実
施例を実施できる静電気測定装置を示す。本静電気測定
装置は、ベース板１０上にＸＹテーブル１８が設けら
れ、その上方に所定距離を隔てて測定プローブ１３が配
置固定されている。そして被測定物１６を収容した容器
１２をＸＹテーブル１８上に載置し、測定プローブ１３
の下をＸ又はＹ方向に移動させながら被測定物１６の帯
電量を測定するようになっている。
施例を実施できる静電気測定装置を示す。本静電気測定
装置は、ベース板１０上にＸＹテーブル１８が設けら
れ、その上方に所定距離を隔てて測定プローブ１３が配
置固定されている。そして被測定物１６を収容した容器
１２をＸＹテーブル１８上に載置し、測定プローブ１３
の下をＸ又はＹ方向に移動させながら被測定物１６の帯
電量を測定するようになっている。
【００２０】このように構成された本静電気測定装置は
図１に示した静電気測定装置と同様な作用効果を有す
る。さらに本静電気測定装置では、あらかじめ被測定物
のあるポイント（測定ポイント）を別置きの制御プログ
ラムに入力しておくことにより自動的に静電気の帯電量
を測定することができる。
図１に示した静電気測定装置と同様な作用効果を有す
る。さらに本静電気測定装置では、あらかじめ被測定物
のあるポイント（測定ポイント）を別置きの制御プログ
ラムに入力しておくことにより自動的に静電気の帯電量
を測定することができる。
【００２１】本発明の静電気測定方法の第３の実施例
は、ＸＹアームに測定プローブを取り付け、該プローブ
をＸおよび／またはＹ方向に移動させながら被測定物の
静電気の帯電量を測定するものである。
は、ＸＹアームに測定プローブを取り付け、該プローブ
をＸおよび／またはＹ方向に移動させながら被測定物の
静電気の帯電量を測定するものである。
【００２２】この静電気測定方法の第３の実施例を実施
できる静電気測定装置を図３に示す。本静電気測定装置
は図２の場合とは逆に、測定プローブ１３をＸＹアーム
１９先端に固定し、ベース板１０に設置した被測定物１
６が収容されている容器１２上を水平に移動する構成と
なっている。本実施例も図２に示した実施例と同様にＸ
Ｙアーム１９の動作を制御することにより、自動的に静
電気の帯電量を測定することができる。
できる静電気測定装置を図３に示す。本静電気測定装置
は図２の場合とは逆に、測定プローブ１３をＸＹアーム
１９先端に固定し、ベース板１０に設置した被測定物１
６が収容されている容器１２上を水平に移動する構成と
なっている。本実施例も図２に示した実施例と同様にＸ
Ｙアーム１９の動作を制御することにより、自動的に静
電気の帯電量を測定することができる。
【００２３】本発明の静電気測定方法の第４の実施例
は、測定プローブをＸ軸方向に移動させ被測定物又は被
測定物を収容した容器をＹ軸方向に移動させながら被測
定物の静電気の帯電量を測定するものである。
は、測定プローブをＸ軸方向に移動させ被測定物又は被
測定物を収容した容器をＹ軸方向に移動させながら被測
定物の静電気の帯電量を測定するものである。
【００２４】図４に本発明の静電気測定方法の第４の実
施例を実施できる静電気測定装置を示す。本静電気測定
装置は測定プローブ１３がＸ軸動作、被測定物１６を収
容した容器１２がＹ軸の動作をする構造とし、相互の動
作を組み合わせることにより、各被測定物１６を測定す
ることができるようになっている。各軸の動作にはそれ
ぞれＸＹアーム、ＸＹテーブルの１軸を使用する様な形
となっている。この場合も図２に示した実施例と同様に
各軸の動作を制御することにより、自動的に静電気の帯
電量を測定することができる。
施例を実施できる静電気測定装置を示す。本静電気測定
装置は測定プローブ１３がＸ軸動作、被測定物１６を収
容した容器１２がＹ軸の動作をする構造とし、相互の動
作を組み合わせることにより、各被測定物１６を測定す
ることができるようになっている。各軸の動作にはそれ
ぞれＸＹアーム、ＸＹテーブルの１軸を使用する様な形
となっている。この場合も図２に示した実施例と同様に
各軸の動作を制御することにより、自動的に静電気の帯
電量を測定することができる。
【００２５】なお図１乃至図４の静電気測定装置におい
て、測定した測定値をメモリ及び、演算する機能を具備
することにより、測定値の最大値、最小値、平均値等を
算出したり多種多様な処理を行なうことができ、測定値
を有効に利用することが可能となる。
て、測定した測定値をメモリ及び、演算する機能を具備
することにより、測定値の最大値、最小値、平均値等を
算出したり多種多様な処理を行なうことができ、測定値
を有効に利用することが可能となる。
【００２６】本発明の静電気測定方法の第５の実施例
は、被測定物の静電気の帯電量を測定した値が所定の値
を超えた場合は被測定物の静電気を除電装置により除電
するものであり、その装置としては図３に示すように除
電装置２０を設けている。
は、被測定物の静電気の帯電量を測定した値が所定の値
を超えた場合は被測定物の静電気を除電装置により除電
するものであり、その装置としては図３に示すように除
電装置２０を設けている。
【００２７】また、本発明の静電気測定方法の第６の実
施例は、測定プローブと被測定物間の距離が変動した場
合、測定プローブに設けた距離検出手段と測定プローブ
を上下させる機構へのフィードバック手段により測定プ
ローブと被測定物間の距離の変動を補正するようにした
ものであり、図５にこの発明方法を実施できる静電気測
定装置を示す。
施例は、測定プローブと被測定物間の距離が変動した場
合、測定プローブに設けた距離検出手段と測定プローブ
を上下させる機構へのフィードバック手段により測定プ
ローブと被測定物間の距離の変動を補正するようにした
ものであり、図５にこの発明方法を実施できる静電気測
定装置を示す。
【００２８】本静電気測定装置は、図５に示すように、
モータ２２、カム２３、ＬＭガイド２４、バネ２５等よ
りなる構成で、測定プローブ１３と被測定物１６間の距
離の変動に対して測定プローブ１３の高さを調整できる
ようになっている。測定プローブ１３と被測定物１６間
の距離測定にはレーザ２１を用いた距離検出手段等を用
いることができ、レーザ２１を使用した場合はレーザ光
線２６のレーザスポットにより測定ポイント２７が示さ
れる為、測定ポイントを容易に判別することができる。
本実施例によれば更に信頼性の高い測定値を得ることが
できる。
モータ２２、カム２３、ＬＭガイド２４、バネ２５等よ
りなる構成で、測定プローブ１３と被測定物１６間の距
離の変動に対して測定プローブ１３の高さを調整できる
ようになっている。測定プローブ１３と被測定物１６間
の距離測定にはレーザ２１を用いた距離検出手段等を用
いることができ、レーザ２１を使用した場合はレーザ光
線２６のレーザスポットにより測定ポイント２７が示さ
れる為、測定ポイントを容易に判別することができる。
本実施例によれば更に信頼性の高い測定値を得ることが
できる。
【００２９】また、図１乃至図５に示した各静電気測定
装置において、その測定プローブ１３に図６に示すよう
な測定値を表示する表示部２８を設けておくことも好ま
しい。このように表示部２８を設けることにより、測定
中に一目で測定値を読み取ることができる。
装置において、その測定プローブ１３に図６に示すよう
な測定値を表示する表示部２８を設けておくことも好ま
しい。このように表示部２８を設けることにより、測定
中に一目で測定値を読み取ることができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明に依れば、測定プローブに対し
て、被測定物又は、被測定物を収納した容器が水平に且
つ、常時一定の距離を保って動作することが出来るた
め、距離の変動による測定値のばらつきを抑えることが
でき、信頼性のある測定値が得られる。また測定者の個
人誤差による測定値のばらつきも抑えることができる。
更に測定プローブが被測定物又は被測定物を収容した容
器に接触することがないため、測定プローブ又は被測定
物を損傷することはない。
て、被測定物又は、被測定物を収納した容器が水平に且
つ、常時一定の距離を保って動作することが出来るた
め、距離の変動による測定値のばらつきを抑えることが
でき、信頼性のある測定値が得られる。また測定者の個
人誤差による測定値のばらつきも抑えることができる。
更に測定プローブが被測定物又は被測定物を収容した容
器に接触することがないため、測定プローブ又は被測定
物を損傷することはない。
【００３１】また、付加機能として、測定プローブと被
測定物との距離を常時監視する為の距離検出機能、更に
は距離の変動を補正する為の高さ調整機能を具備するこ
とにより、更に信頼性の高い測定を行うことができる。
他にも、測定値のメモリ、演算機能を具備することによ
り装置の使用範囲を拡大することができる。
測定物との距離を常時監視する為の距離検出機能、更に
は距離の変動を補正する為の高さ調整機能を具備するこ
とにより、更に信頼性の高い測定を行うことができる。
他にも、測定値のメモリ、演算機能を具備することによ
り装置の使用範囲を拡大することができる。
【００３２】以上の内容により、帯電している静電気の
帯電量を正確に測定することができ、半導体装置等の静
電気障害を防止することができる。
帯電量を正確に測定することができ、半導体装置等の静
電気障害を防止することができる。
【図１】本発明の静電気測定方法の第１の実施例を実施
できる静電気測定装置を示す斜視図である。
できる静電気測定装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の静電気測定方法の第２の実施例を実施
できる静電気測定装置を示す平面図である。
できる静電気測定装置を示す平面図である。
【図３】本発明の静電気測定方法の第３及び第５の実施
例を実施できる静電気測定装置を示す平面図である。
例を実施できる静電気測定装置を示す平面図である。
【図４】本発明の静電気測定方法の第４の実施例を実施
できる静電気測定装置を示す平面図である。
できる静電気測定装置を示す平面図である。
【図５】本発明の静電気測定方法の第６の実施例を実施
できる静電気測定装置を示す側面図である。
できる静電気測定装置を示す側面図である。
【図６】静電気測定装置に設けた表示部を示す斜視図で
ある。
ある。
【図７】従来の静電気測定方法を示す斜視図である。
１０…ベース板 １１…ガイドピン １２…容器 １３…測定プローブ １４…Ｘ軸シャフト １５…Ｘ軸シャフト １６…被測定物 １８…ＸＹテーブル １９…ＸＹアーム ２０…除電装置 ２１…レーザ ２２…モータ ２３…カム ２４…ＬＭガイド ２５…バネ ２６…レーザ光線 ２８…表示部
Claims (6)
- 【請求項１】 被測定物（１６）に帯電している静電気
の帯電量を、被測定物（１６）と測定プローブ（１３）
との距離を常に一定に保って測定することを特徴とする
静電気測定方法。 - 【請求項２】 被測定物（１６）又は被測定物を収容し
た容器（１２）をＸＹテーブル（１８）に載置し、Ｘお
よび／またはＹ方向に移動させながら被測定物（１６）
の静電気の帯電量を測定することを特徴とする静電気測
定方法。 - 【請求項３】 ＸＹアーム（１９）に測定プローブ（１
３）を取り付け、該プローブ（１３）をＸおよび／また
はＹ方向に移動させながら被測定物（１６）の静電気の
帯電量を測定することを特徴とする静電気測定方法。 - 【請求項４】 測定プローブ（１３）をＸ軸方向に移動
させ被測定物（１６）又は被測定物を収容した容器（１
２）をＹ軸方向に移動させながら被測定物（１６）の静
電気の帯電量を測定することを特徴とする静電気測定方
法。 - 【請求項５】 被測定物（１６）の静電気の帯電量を測
定した値が所定の値を超えた場合は被測定物（１６）の
静電気を除電装置（２０）により除電することを特徴と
する請求項１乃至４の何れか１項の静電気測定方法。 - 【請求項６】 測定プローブ（１３）と被測定物（１
６）間の距離が変動した場合、測定プローブ（１３）に
設けた距離検出手段と、測定プローブ（１３）を上下さ
せる機構へのフィードバック手段により測定プローブ
（１３）と被測定物（１６）間の距離の変動を補正する
ことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項の静電気
測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20877294A JPH0875807A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 静電気測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20877294A JPH0875807A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 静電気測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875807A true JPH0875807A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16561846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20877294A Withdrawn JPH0875807A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 静電気測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0875807A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100351693B1 (ko) * | 1999-10-20 | 2002-09-11 | 닛본 덴기 가부시끼가이샤 | 전하측정장치 |
| US9194903B2 (en) | 2013-03-06 | 2015-11-24 | Ebara Corporation | Surface potential measuring apparatus and surface potential measuring method |
-
1994
- 1994-09-01 JP JP20877294A patent/JPH0875807A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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