JPH087569A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH087569A
JPH087569A JP13614394A JP13614394A JPH087569A JP H087569 A JPH087569 A JP H087569A JP 13614394 A JP13614394 A JP 13614394A JP 13614394 A JP13614394 A JP 13614394A JP H087569 A JPH087569 A JP H087569A
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transistor
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precharge
bit line
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幸一 井倉
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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    • GPHYSICS
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    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/24Bit-line control circuits

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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は広範囲な電源電圧に対し、セル情報の
安定した読み出し動作を可能とした半導体記憶装置を提
供することを目的とする。 【構成】記憶セル2と、ビット線BLと、セル情報の読
み出しに先立って活性化されてビット線BLに電荷を注
入するプリチャージ回路6と、プリチャージ回路6によ
るビット線BLへの電荷注入時に選択的に活性化されて
ビット線BLに注入される電荷量を制限する降圧回路5
とを有する。また、プリチャージ回路6による電荷の注
入が終了した後であって、かつ記憶セル2のセル情報に
よって、ビット線BLの電荷が引き抜かれるまでの間、
ビット線BLに電荷を供給する電荷補償回路3を有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、セル情報の読み出し
動作に先立って、ビット線をプリチャージする半導体記
憶装置のデータ読み出し回路に関するものである。
【0002】近年の半導体記憶装置では、電源電圧の低
電圧化が進み、低電源電圧で確実に動作することが必要
となっている。また、多様な電源電圧でセル情報を確実
に読み出し可能とすることが必要となっている。
【0003】
【従来の技術】図4は従来の半導体記憶装置のデータ読
み出し回路を示す。プリチャージ用のPチャネルMOS
トランジスタTr1は、そのソースが電源Vccに接続さ
れ、ゲートにはプリチャージ信号PSが入力される。
【0004】前記トランジスタTr1のドレインは、ヒス
テリシスインバータ回路1aの入力端子に接続される。
前記インバータ回路1aの出力信号はインバータ回路1
bに入力され、同インバータ回路1bの出力端子から出
力データDout が出力される。
【0005】前記トランジスタTr1のドレインは、Nチ
ャネルMOSトランジスタTr2のドレインに接続され、
同トランジスタTr2のゲートには制御信号CSが入力さ
れる。
【0006】前記トランジスタTr2のソースは、ビット
線BLを介してメモリセルアレイ内の二つのセルトラン
ジスタ2のドレインに接続され、同セルトランジスタ2
のコントロールゲートにはワード線を介してゲート信号
GCが入力される。前記ゲート信号GCは書き込み動作
時には12.5V程度の高電圧が供給され、読み出し動
作時には5Vが供給される。前記セルトランジスタ2の
ソースはグランドGNDに接続される。
【0007】前記ビット線BLには、書き込み制御用の
NチャネルMOSトランジスタTr3のソースが接続され
る。前記トランジスタTr3のゲートには書き込み制御信
号WSが入力され、ドレインには前記電源Vccより高い
電源Vpp(例えば8V)が供給される。
【0008】上記のように構成されたEPROMにおい
て、セルトランジスタ2に書き込み動作を行う場合に
は、制御信号CSはLレベルとなってトランジスタTr2
はオフされる。
【0009】また、制御信号WSはHレベルとなってト
ランジスタTr3はオンされ、ビット線BLを介してセル
トランジスタ2のドレインに電源Vppが供給される。こ
の状態で、12.5Vのゲート信号GCが供給される
と、セルトランジスタ2に電子注入が行われて、このセ
ルトランジスタ2のしきい値が上昇する。一方、電子注
入が行われないセルトランジスタ2は、しきい値が上昇
しない。
【0010】読み出し動作に先立って行われるプリチャ
ージ動作時には、トランジスタTr1のゲートにLレベル
のプリチャージ信号PSが入力され、トランジスタTr2
のゲートにHレベルの制御信号CSが入力される。
【0011】すると、トランジスタTr1,Tr2がオンさ
れて、ビット線BLは電源VccからトランジスタTr1,
Tr2のしきい値分低下したレベルまでプリチャージされ
る。また、インバータ回路1aの入力信号はHレベルと
なり、インバータ回路1bから出力される出力データD
out はHレベルとなる。
【0012】読み出し動作時には、プリチャージ信号P
SはHレベルとなってトランジスタTr1はオフされ、ト
ランジスタTr2はオン状態に維持される。そして、セル
トランジスタ2が選択されることにより同セルトランジ
スタ2のゲートに5Vのゲート信号GCが入力される。
【0013】セルトランジスタ2に電子注入が行われて
いない場合には、同セルトランジスタ2はオンされて、
インバータ回路1aの入力信号はLレベルとなり、イン
バータ回路1bからLレベルの出力データDout が出力
される。
【0014】セルトランジスタ2に電子注入が行われて
いる場合には、同セルトランジスタ2はオフ状態に維持
され、インバータ回路1aの入力信号はHレベルに維持
され、インバータ回路1bからHレベルの出力データD
out が出力される。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなEPRO
Mでは、セル情報の読み出しサイクルが長くなって、プ
リチャージ時間が長くなると、セルトランジスタ2のド
レインに印加されるプリチャージ電圧により、同セルト
ランジスタ2に電子注入が行われて、誤った書き込み動
作が行われることがある。従って、プリチャージ時間を
制限する必要がある。
【0016】また、電源Vccの低電圧化にともなって、
プリチャージレベルが低電圧化されると、セル情報の読
み出し動作時にセルトランジスタ2がオフ状態に維持さ
れても、インバータ回路1aの入力信号レベルが低くな
って、Hレベルの出力データDout の読み出し速度が低
下することがある。
【0017】また、プリチャージレベルが低電圧化され
ると、セル情報の読み出し動作時にセルトランジスタ2
がオフ状態に維持されても、ビット線BLのプリチャー
ジレベルが経時変化により減衰して、インバータ回路1
aがその減衰したプリチャージレベルをLレベルと認識
し、Lレベルの出力データDout を誤データとして出力
することがある。
【0018】また、このような不具合を解消するため
に、広範囲な電源電圧に対応するようにインバータ回路
1aのしきい値を調整することは困難である。従って、
広範囲の電源電圧において読み出し動作を安定化させる
ことは困難であった。
【0019】この発明の目的は、広範囲な電源電圧に対
し、セル情報の安定した読み出し動作を可能としたEP
ROMを提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】図1(a),(b)は本
発明の原理説明図である。図1(a)に示すように、記
憶セル2と、前記記憶セル2に接続されて、そのセル情
報を読み出すためのビット線BLと、前記セル情報の読
み出しに先立って活性化されて前記ビット線BLに電荷
を注入するためのプリチャージ回路6と、前記プリチャ
ージ回路6による前記ビット線BLへの電荷注入時に選
択的に活性化されて前記ビット線BLに注入される電荷
量を制限する降圧回路5とを有する。
【0021】図1(b)に示すように記憶セル2と、前
記記憶セル2に接続されて、そのセル情報を読み出すた
めのビット線BLと、前記セル情報の読み出しに先立っ
て活性化されて前記ビット線BLに電荷を注入するため
のプリチャージ回路6と、前記プリチャージ回路6によ
る電荷の注入が終了した後であって、かつ前記記憶セル
2のセル情報によって、前記ビット線BLの電荷が引き
抜かれるまでの間、前記ビット線BLに電荷を供給する
電荷補償回路3とを有する。
【0022】また、図2に示すようにセル情報が書き込
まれたセルトランジスタ2のドレインにプリチャージ電
圧Vp が印加され、前記セル情報の読み出し動作時に
は、前記セルトランジスタ2から読み出されたセル情報
に基づく前記プリチャージ電圧Vp の変化が判定回路1
aで検出されて、該判定回路1aから出力データDout
が出力される。前記セルトランジスタ2には、プリチャ
ージ動作時にプリチャージ信号PSに基づいて活性化さ
れて電源Vccを降圧して出力する降圧回路から前記プリ
チャージ電圧Vp が供給される。
【0023】また、図2に示すように前記降圧回路は、
プリチャージ信号PSに基づいてオンされる少なくとも
一つのNチャネルMOSトランジスタTr11 で構成され
る。また、図2に示すように前記降圧回路は、複数のト
ランジスタTr11 ,Tr15,Tr16 ,Tr17 を高電位側
電源Vccと低電位側電源GNDとの間で直列に接続して
構成され、前記各トランジスタTr11 ,Tr15 ,Tr16
,Tr17 で高電位側電源電圧を抵抗分割により降圧し
て前記プリチャージ電圧Vp として前記セルトランジス
タ2に供給する。
【0024】また、図3に示すように前記降圧回路は、
前記プリチャージ信号PSに基づいてオンされるNチャ
ネルMOSトランジスタTr11 と、該NチャネルMOS
トランジスタTr11 とセルトランジスタ2との間に介在
されるデプレッション型NチャネルMOSトランジスタ
Tr18 とで構成し、前記デプレッション型NチャネルM
OSトランジスタTr18 のゲートはそのドレインに接続
した。
【0025】また、図2に示すように前記判定回路1a
の入力端子には、セル情報の読み出し動作時に前記セル
トランジスタがHレベルのセル情報を出力するとき、前
記プリチャージ電圧Vp に基づく前記判定回路1aの出
力信号に基づいて活性化されて、前記プリチャージ電圧
Vp を維持する帰還回路3が接続される。
【0026】
【作用】図1(a)においては、記憶セル2からのセル
情報の読み出しに先立って、ビット線BLはプリチャー
ジ回路6により電荷が注入され、その電荷量は降圧回路
5により制限される。従って、ビット線BLによる電荷
の注入にともなう記憶セル2への電荷の注入が防止され
る。
【0027】図1(b)においては、プリチャージ回路
6によりビット線BLへの電荷の注入が終了した後に
は、記憶セル2のセル情報によりビット線BLの電荷が
引き抜かれるまでの間は電荷補償回路3により同ビット
線BLに電荷が供給される。従って、ビット線BLの電
荷が引き抜かれない限り、Hレベルのセル情報が確実に
読み出される。
【0028】また、図2においてはプリチャージ動作時
にプリチャージ信号PSに基づいて降圧回路が活性化さ
れ、高電位側電源Vccを降圧したプリチャージ電圧Vp
がセルトランジスタ2に供給されるので、同プリチャー
ジ電圧Vp によるセルトランジスタ2へのセル情報の書
き込みが防止される。
【0029】また、図2においては、プリチャージ信号
PSに基づいてオンされるNチャネルMOSトランジス
タTr11 のしきい値分電源Vccが降圧される。また、図
2においては、各トランジスタTr11 ,Tr15 ,Tr16
,Tr17 で高電位側電源電圧Vccが抵抗分割により降
圧されて、プリチャージ電圧Vp として前記セルトラン
ジスタ2に供給される。
【0030】また、図3においては、NチャネルMOS
トランジスタTr11 と、デプレッション型NチャネルM
OSトランジスタTr18 とで高電位側電源電圧Vccが降
圧されて、プリチャージ電圧Vp として前記セルトラン
ジスタ2に供給される。
【0031】また、図2においては、セル情報の読み出
し動作時に前記セルトランジスタがオフされると、前記
プリチャージ電圧Vp が帰還回路3により維持される。
れる。
【0032】
【実施例】図2は、この発明を具体化したEPROMの
読み出し回路の第一の実施例を示す。なお、前記従来例
と同一構成部分は同一符号を付して説明する。
【0033】プリチャージ用のNチャネルMOSトラン
ジスタTr11 は、そのドレインが電源Vccに接続され、
ゲートにはプリチャージ信号PSが入力される。前記ト
ランジスタTr11 のソースは、ヒステリシスインバータ
回路1aの入力端子に接続される。前記インバータ回路
1aの出力信号はインバータ回路1bに入力され、同イ
ンバータ回路1bの出力端子から出力データDout が出
力される。
【0034】前記トランジスタTr11 のソースは、厚膜
トランジスタにて構成されるNチャネルMOSトランジ
スタTr15 のドレインに接続され、同トランジスタTr1
5 のゲートには制御信号CSが入力される。
【0035】前記トランジスタTr15 のソースは、ビッ
ト線BLを介してEPROMの二つのセルトランジスタ
2のドレインに接続され、同セルトランジスタ2のコン
トロールゲートには前記ゲート信号GCが入力される。
前記セルトランジスタ2のソースはグランドGNDに接
続される。
【0036】前記ビット線BLには、書き込み制御用の
NチャネルMOSトランジスタTr3のソースが接続され
る。前記トランジスタTr3のゲートには書き込み制御信
号WSが入力され、ドレインには前記電源Vppが供給さ
れる。
【0037】前記プリチャージ信号PSはPチャネルM
OSトランジスタTr12 のゲートに入力され、同トラン
ジスタTr12 のソースは電源Vccに接続される。前記ト
ランジスタTr12 のドレインは、PチャネルMOSトラ
ンジスタTr13のソースに接続され、同トランジスタTr
13 のゲートは前記インバータ回路1aの出力端子に接
続される。
【0038】前記トランジスタTr13 のドレインは、N
チャネルMOSトランジスタTr14のドレイン及びゲー
トに接続され、同トランジスタTr14 のソースは前記イ
ンバータ回路1aの入力端子に接続される。そして、前
記トランジスタTr12 〜Tr14 により帰還回路3が構成
される。なお、前記帰還回路3の電流供給能力は、セル
トランジスタ2の負荷駆動能力より十分に小さいもので
ある。
【0039】前記ビット線BLは、厚膜トランジスタに
てなるNチャネルMOSトランジスタTr16 のドレイン
及びゲートに接続され、同トランジスタTr16 のソース
はNチャネルMOSトランジスタTr17 のドレインに接
続される。
【0040】前記トランジスタTr17 のゲートには、前
記プリチャージ信号PSが入力され、同トランジスタT
r17 のソースはグランドGNDに接続される。そして、
前記トランジスタTr16 ,Tr17 により、前記セルトラ
ンジスタ2に供給するプリチャージ電圧Vp を制御する
制御回路4が構成される。
【0041】上記のように構成されたEPROMにおい
て、セルトランジスタ2に対する書き込み動作は前記従
来例と同様に行われる。読み出し動作に先立って行われ
るプリチャージ動作時には、トランジスタTr11 ,Tr1
7 のゲートにHレベルのプリチャージ信号PSが入力さ
れ、トランジスタTr15 のゲートにHレベルの制御信号
CSが入力される。
【0042】すると、トランジスタTr11 ,Tr15 ,T
r16 ,Tr17 がオンされる。トランジスタTr11 のオン
動作に基づいて、インバータ回路1aの入力信号レベル
は電源VccからトランジスタTr11 のしきい値分低下し
たレベルとなる。
【0043】また、トランジスタTr15 〜Tr17 のオン
動作により、ビット線BLのプリチャージ電圧Vp は、
電源VccとグランドGNDとの電位差を各トランジスタ
Tr11 ,Tr15 と、トランジスタTr16 ,Tr17 のオン
抵抗により抵抗分割した値となる。
【0044】この結果、各トランジスタTr11 ,Tr15
,Tr16 ,Tr17 のオン抵抗を適宜に設定することに
より、ビット線BLのプリチャージ電圧Vp を例えば2
V程度の最適なレベルに設定可能となり、プリチャージ
動作によるセルトランジスタ2への電子注入を未然に防
止することができる。
【0045】電源Vccの電圧レベルが低電圧化される
と、前記抵抗分割によるプリチャージ電圧Vp も低下す
るが、トランジスタTr16 のドレイン電位の低下によ
り、同トランジスタTr16 のしきい値が上昇するため、
プリチャージ電圧Vp の低下が抑制される。
【0046】そして、このようなプリチャージ動作時に
は、インバータ回路1aの入力信号レベルはHレベルと
なり、インバータ回路1bから出力される出力データD
outはHレベルとなる。
【0047】読み出し動作時には、プリチャージ信号P
SはLレベルとなってトランジスタTr11 ,Tr17 はオ
フされ、トランジスタTr12 はオンされる。また、トラ
ンジスタTr15 はオン状態に維持される。
【0048】前記プリチャージ動作により、インバータ
回路1aの入力信号はHレベルであるため、同インバー
タ回路1aの出力信号はLレベルとなり、トランジスタ
Tr13 ,Tr14 はオンされる。すると、トランジスタT
r12 〜Tr14 はすべてオンされ、インバータ回路1aの
入力信号レベルの減衰は防止される。
【0049】この状態で、セルトランジスタ2が選択さ
れると、同セルトランジスタ2のゲートに5Vのゲート
信号GCが入力される。セルトランジスタ2に電子注入
が行われていない場合には、同セルトランジスタ2はオ
ンされて、インバータ回路1aの入力信号はLレベルと
なり、インバータ回路1bからLレベルの出力データD
out が出力される。このとき、インバータ回路1aの出
力信号はHレベルとなってトランジスタTr13 がオフさ
れるため、帰還回路3の動作は停止される。
【0050】一方、セルトランジスタ2に電子注入が行
われている場合には、同セルトランジスタ2はオフ状態
に維持される。すると、帰還回路3の動作により、イン
バータ回路1aの入力信号レベルはHレベルに確実に維
持され、インバータ回路1bからHレベルの出力データ
Dout が出力される。
【0051】以上のようにこのEPROMでは、トラン
ジスタTr11 ,Tr15 及び制御回路4の動作により、ビ
ット線BLのプリチャージ電圧Vp が抑制されて、プリ
チャージ動作時におけるセルトランジスタ2への無用な
電子注入を未然に防止することができる。
【0052】また、電源Vccが低電圧化された場合に
も、制御回路4によりプリチャージレベルを確保し、セ
ル情報の読み出し動作時には帰還回路3の動作によりプ
リチャージレベルの減衰を防止することができる。従っ
て、セル情報の読み出し速度の向上及び誤データの出力
の防止を図ることができる。
【0053】図3は、第二の実施例を示す。この実施例
は前記第一の実施例の制御回路4に換えて、前記トラン
ジスタTr15 とセルトランジスタ2との間にデプレッシ
ョン型のNチャネルMOSトランジスタTr18 を接続し
たものである。そして、前記トランジスタTr18 のゲー
トは、そのドレインに接続される。
【0054】このような構成により、プリチャージ動作
時には、セルトランジスタ2に印加されるプリチャージ
電圧Vp は、電源VccからトランジスタTr11 ,Tr15
,Tr18 のしきい値分低下したレベルとなる。
【0055】従って、プリチャージ動作時におけるセル
トランジスタ2への無用な電子注入を未然に防止するこ
とができる。また、セル情報の読み出し動作時には帰還
回路3の動作によりプリチャージ電圧Vp の減衰を防止
することができることは、第一の実施例と同様である。
【0056】上記実施例から把握できる請求項以外の技
術思想について、以下にその効果とともに記載する。 (1)請求項5において、セルトランジスタ2のドレイ
ンとグランドGNDとの間に接続されるNチャネルMO
Sトランジスタは、厚膜トランジスタで構成した。電源
が低電圧化されると厚膜トランジスタのしきい値が上昇
して、プリチャージ電圧の低電圧化が抑制される。
【0057】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明は広範囲
な電源電圧に対し、セル情報の安定した読み出し動作を
可能とした半導体記憶装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理説明図である。
【図2】第一の実施例を示す回路図である。
【図3】第二の実施例を示す回路図である。
【図4】従来例を示す回路図である。
【符号の説明】
2 記憶セル(セルトランジスタ) 3 電荷補償回路(帰還回路) 5 降圧回路 6 プリチャージ回路 BL ビット線

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 記憶セル(2)と、 前記記憶セル(2)に接続されて、そのセル情報を読み
    出すためのビット線(BL)と、 前記セル情報の読み出しに先立って活性化されて前記ビ
    ット線(BL)に電荷を注入するためのプリチャージ回
    路(6)と、 前記プリチャージ回路(6)による前記ビット線(B
    L)への電荷注入時に選択的に活性化されて前記ビット
    線(BL)に注入される電荷量を制限する降圧回路
    (5)とを有することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 記憶セル(2)と、 前記記憶セル(2)に接続されて、そのセル情報を読み
    出すためのビット線(BL)と、 前記セル情報の読み出しに先立って活性化されて前記ビ
    ット線(BL)に電荷を注入するためのプリチャージ回
    路(6)と、 前記プリチャージ回路(6)による電荷の注入が終了し
    た後であって、かつ前記記憶セル(2)のセル情報によ
    って、前記ビット線(BL)の電荷が引き抜かれるまで
    の間、前記ビット線(BL)に電荷を供給する電荷補償
    回路(3)とを有することを特徴とする半導体記憶装
    置。
  3. 【請求項3】 セル情報が書き込まれたセルトランジス
    タ(2)のドレインにプリチャージ電圧(Vp )を印加
    し、前記セル情報の読み出し動作時には、前記セルトラ
    ンジスタ(2)から読み出されたセル情報に基づく前記
    プリチャージ電圧(Vp )の変化を判定回路(1a)で
    検出して、該判定回路(1a)から出力データ(Dout
    )を出力する半導体記憶装置であって、 前記セルトランジスタ(2)には、プリチャージ動作時
    にプリチャージ信号(PS)に基づいて活性化されて高
    電位側電源(Vcc)を降圧して出力する降圧回路(5)
    から前記プリチャージ電圧(Vp )を供給することを特
    徴とする半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記降圧回路は、プリチャージ信号(P
    S)に基づいてオンされる少なくとも一つのNチャネル
    MOSトランジスタ(Tr11 )で構成することを特徴と
    する請求項3記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記降圧回路は、複数のトランジスタ
    (Tr11 ,Tr15 ,Tr16 ,Tr17 )を高電位側電源
    (Vcc)と低電位側電源(GND)との間で直列に接続
    して構成し、前記各トランジスタ(Tr11 ,Tr15 ,T
    r16 ,Tr17 )で高電位側電源電圧を抵抗分割により降
    圧して前記プリチャージ電圧(Vp )として前記セルト
    ランジスタ(2)に供給することを特徴とする請求項3
    記載の半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記降圧回路は、前記プリチャージ信号
    (PS)に基づいてオンされるNチャネルMOSトラン
    ジスタ(Tr11 )と、該NチャネルMOSトランジスタ
    (Tr11 )とセルトランジスタ(2)との間に介在され
    るデプレッション型NチャネルMOSトランジスタ(T
    r18 )とで構成し、前記デプレッション型NチャネルM
    OSトランジスタ(Tr18 )のゲートはそのドレインに
    接続したことを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装
    置。
  7. 【請求項7】 前記判定回路(1a)の入力端子には、
    セル情報の読み出し動作時に前記セルトランジスタ
    (2)がHレベルのセル情報を出力するとき、前記プリ
    チャージ電圧(Vp )に基づく前記判定回路(1a)の
    出力信号に基づいて活性化されて、前記プリチャージ電
    圧(Vp )を維持する帰還回路(3)を接続したことを
    特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。
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