JPH087252A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH087252A JPH087252A JP14197694A JP14197694A JPH087252A JP H087252 A JPH087252 A JP H087252A JP 14197694 A JP14197694 A JP 14197694A JP 14197694 A JP14197694 A JP 14197694A JP H087252 A JPH087252 A JP H087252A
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- magnetic recording
- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低域から高域の広い範囲にわたって高出力な
磁気記録媒体を提供することである。 【構成】 支持体上に磁性層が設けられてなる磁気記録
媒体であって、前記磁性層はＦｅ4 Ｎ系強磁性材料が用
いられて構成されてなる磁気記録媒体。
磁気記録媒体を提供することである。 【構成】 支持体上に磁性層が設けられてなる磁気記録
媒体であって、前記磁性層はＦｅ4 Ｎ系強磁性材料が用
いられて構成されてなる磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体及びその
製造方法に関するものである。
製造方法に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気記録媒体として、従来より、磁性粉
末を含む磁性塗料をポリエチレンテレフタレートからな
るフィルムに塗布して製造される塗布型の磁気記録媒体
が知られている。しかしながら、この種の磁気記録媒体
は、磁性粉末の充填性に限界が有り、高密度化の向上が
困難であった。
末を含む磁性塗料をポリエチレンテレフタレートからな
るフィルムに塗布して製造される塗布型の磁気記録媒体
が知られている。しかしながら、この種の磁気記録媒体
は、磁性粉末の充填性に限界が有り、高密度化の向上が
困難であった。
【０００３】これを解決する為に、磁性材料の薄膜を支
持体上に直接設けたタイプの磁気記録媒体が提案されて
いる。例えば、磁性材料を支持体上に蒸着させ、磁性層
を支持体上に直接設けた蒸着タイプの磁気記録媒体が有
る。そして、この種の磁気記録媒体は塗布型の磁気記録
媒体にはない特長が有る。ところで、蒸着タイプの磁気
記録媒体の製造に際して、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ
合金、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金などの磁性材料
を支持体上に斜めに蒸着する、斜め蒸着法が主流になっ
ている。
持体上に直接設けたタイプの磁気記録媒体が提案されて
いる。例えば、磁性材料を支持体上に蒸着させ、磁性層
を支持体上に直接設けた蒸着タイプの磁気記録媒体が有
る。そして、この種の磁気記録媒体は塗布型の磁気記録
媒体にはない特長が有る。ところで、蒸着タイプの磁気
記録媒体の製造に際して、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ
合金、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金などの磁性材料
を支持体上に斜めに蒸着する、斜め蒸着法が主流になっ
ている。
【０００４】しかしながら、実際にビデオテープ等とし
て用いた場合、上記のようにして構成された蒸着テープ
は残留磁束密度が高いものの低域での出力が低いと言っ
た問題点が残されている。この為、低域から高域の全域
にわたって高出力が安定して得られる磁気記録媒体が待
たれている。
て用いた場合、上記のようにして構成された蒸着テープ
は残留磁束密度が高いものの低域での出力が低いと言っ
た問題点が残されている。この為、低域から高域の全域
にわたって高出力が安定して得られる磁気記録媒体が待
たれている。
【０００５】
【発明の開示】本発明の目的は、低域から高域の広い範
囲にわたって高出力な磁気記録媒体を提供することであ
る。この本発明の目的は、支持体上に磁性層が設けられ
てなる磁気記録媒体であって、前記磁性層はＦｅ4 Ｎ系
強磁性材料が用いられて構成されてなることを特徴とす
る磁気記録媒体によって達成される。
囲にわたって高出力な磁気記録媒体を提供することであ
る。この本発明の目的は、支持体上に磁性層が設けられ
てなる磁気記録媒体であって、前記磁性層はＦｅ4 Ｎ系
強磁性材料が用いられて構成されてなることを特徴とす
る磁気記録媒体によって達成される。
【０００６】又、支持体上に磁性層が設けられてなる磁
気記録媒体であって、前記磁性層はＦｅ4 Ｎ系強磁性材
料及びＦｅ8 Ｎ系強磁性材料が用いられて構成されてな
ることを特徴とする磁気記録媒体によって達成される。
又、支持体上に磁性層が設けられてなる磁気記録媒体の
製造方法であって、Ｆｅ2 Ｎ及びＦｅ3 Ｎの群の中から
選ばれる窒化鉄をＮ化合物のガス雰囲気下において支持
体上に飛来、堆積させることを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法によって達成される。
気記録媒体であって、前記磁性層はＦｅ4 Ｎ系強磁性材
料及びＦｅ8 Ｎ系強磁性材料が用いられて構成されてな
ることを特徴とする磁気記録媒体によって達成される。
又、支持体上に磁性層が設けられてなる磁気記録媒体の
製造方法であって、Ｆｅ2 Ｎ及びＦｅ3 Ｎの群の中から
選ばれる窒化鉄をＮ化合物のガス雰囲気下において支持
体上に飛来、堆積させることを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法によって達成される。
【０００７】すなわち、このような手法によれば、Ｆｅ
4 Ｎ系の強磁性膜あるいはＦｅ4 ＮとＦｅ8 Ｎ系の強磁
性膜が支持体上に設けられた金属薄膜型の磁気記録媒体
が得られ、このものは飽和磁束密度が高く、低域から高
域の広い範囲にわたって高出力なものとなる。Ｆｅ2 Ｎ
及びＦｅ3 Ｎの群の中から選ばれる窒化鉄をＮ化合物の
ガス雰囲気下において支持体上に飛来、堆積させる方法
は、スパッタリングや蒸着と言ったような如何なる手法
であっても良いが、蒸着、特に斜め蒸着によることが好
ましい。尚、Ｎ化合物としては、一般的には、窒素ガス
が用いられる。その他にも、窒素と水素との混合ガス、
窒素と酸素との混合ガス等を用いることが出来る。この
ようなＮ化合物のガス雰囲気は、約１×１０-6〜１×１
０-4Ｔｏｒｒ程度のものであることが好ましい。
4 Ｎ系の強磁性膜あるいはＦｅ4 ＮとＦｅ8 Ｎ系の強磁
性膜が支持体上に設けられた金属薄膜型の磁気記録媒体
が得られ、このものは飽和磁束密度が高く、低域から高
域の広い範囲にわたって高出力なものとなる。Ｆｅ2 Ｎ
及びＦｅ3 Ｎの群の中から選ばれる窒化鉄をＮ化合物の
ガス雰囲気下において支持体上に飛来、堆積させる方法
は、スパッタリングや蒸着と言ったような如何なる手法
であっても良いが、蒸着、特に斜め蒸着によることが好
ましい。尚、Ｎ化合物としては、一般的には、窒素ガス
が用いられる。その他にも、窒素と水素との混合ガス、
窒素と酸素との混合ガス等を用いることが出来る。この
ようなＮ化合物のガス雰囲気は、約１×１０-6〜１×１
０-4Ｔｏｒｒ程度のものであることが好ましい。
【０００８】又、Ｆｅ2 Ｎ及びＦｅ3 Ｎの群の中から選
ばれる窒化鉄をＮ化合物のガス雰囲気下において支持体
上に飛来、堆積させるに際して、Ｏ化合物が供給される
ことが好ましい。尚、Ｏ化合物としては、一般的には、
酸素ガスが用いられる。その他にも、水蒸気や過酸化水
素などを用いることが出来る。このようなＯ化合物の供
給量は、約５〜５０ｓｃｃｍ程度のものであることが好
ましい。そして、このように活性なＯ元素が供給されて
いると、得られるＦｅ4 Ｎ強磁性膜あるいはＦｅ4 Ｎや
Ｆｅ8 Ｎからなる強磁性膜は一部が酸化され、保磁力の
向上や、特に表層部が酸化され、保護層の役割も果たす
ものとなっている。
ばれる窒化鉄をＮ化合物のガス雰囲気下において支持体
上に飛来、堆積させるに際して、Ｏ化合物が供給される
ことが好ましい。尚、Ｏ化合物としては、一般的には、
酸素ガスが用いられる。その他にも、水蒸気や過酸化水
素などを用いることが出来る。このようなＯ化合物の供
給量は、約５〜５０ｓｃｃｍ程度のものであることが好
ましい。そして、このように活性なＯ元素が供給されて
いると、得られるＦｅ4 Ｎ強磁性膜あるいはＦｅ4 Ｎや
Ｆｅ8 Ｎからなる強磁性膜は一部が酸化され、保磁力の
向上や、特に表層部が酸化され、保護層の役割も果たす
ものとなっている。
【０００９】本発明で用いられる支持体は、一般的には
非磁性のものが用いられる。例えば、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステ
ル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン
系の樹脂 、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォ
ン、ポリカーボネート、セルローストリアセテートやセ
ルロースジアセテート等のセルロース系の樹脂、塩化ビ
ニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミック
等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が用
いられる。尚、このような支持体の厚さは１μｍから１
０ｍｍ程度のものである。このような支持体面上には、
必要に応じて、磁性膜との密着性を向上させる為のアン
ダーコート層が設けられている。すなわち、表面の粗さ
を適度に粗すことにより乾式メッキにより構成される磁
性膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表面の表
面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、例えば
ＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．０１〜０．５
μｍの塗膜を設けることによってアンダーコート層が構
成されている。
非磁性のものが用いられる。例えば、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステ
ル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン
系の樹脂 、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォ
ン、ポリカーボネート、セルローストリアセテートやセ
ルロースジアセテート等のセルロース系の樹脂、塩化ビ
ニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミック
等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が用
いられる。尚、このような支持体の厚さは１μｍから１
０ｍｍ程度のものである。このような支持体面上には、
必要に応じて、磁性膜との密着性を向上させる為のアン
ダーコート層が設けられている。すなわち、表面の粗さ
を適度に粗すことにより乾式メッキにより構成される磁
性膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表面の表
面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、例えば
ＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．０１〜０．５
μｍの塗膜を設けることによってアンダーコート層が構
成されている。
【００１０】そして、上記のような支持体上に、例えば
斜め蒸着手段によりＦｅ4 Ｎ強磁性膜あるいはＦｅ4 Ｎ
やＦｅ8 Ｎからなる強磁性膜が１０００〜３０００Åの
厚さ設けられる。このＦｅ4 ＮやＦｅ8 Ｎ膜を形成する
に際して、その蒸発源に配置される材料としてＦｅ2 Ｎ
やＦｅ3 Ｎを選定することが大事である。尚、Ｆｅ2 Ｎ
やＦｅ3Ｎは、純鉄をアンモニアガス中で窒化処理する
ことによって得られる。
斜め蒸着手段によりＦｅ4 Ｎ強磁性膜あるいはＦｅ4 Ｎ
やＦｅ8 Ｎからなる強磁性膜が１０００〜３０００Åの
厚さ設けられる。このＦｅ4 ＮやＦｅ8 Ｎ膜を形成する
に際して、その蒸発源に配置される材料としてＦｅ2 Ｎ
やＦｅ3 Ｎを選定することが大事である。尚、Ｆｅ2 Ｎ
やＦｅ3Ｎは、純鉄をアンモニアガス中で窒化処理する
ことによって得られる。
【００１１】又、Ｆｅ4 ＮやＦｅ8 Ｎ膜を形成するに際
して、窒素のようなＮ化合物のガス雰囲気下で堆積させ
ることが大事である。そして、堆積時に、飛来するＦｅ
2 ＮやＦｅ3 Ｎに向けて酸素のような活性Ｏ化合物を照
射することが非常に好ましい。このようにすることによ
って、飽和磁束密度が高く、そして低域から高域にわた
って高出力なＦｅ4 Ｎ系やＦｅ8 Ｎ系の磁気記録媒体が
得られるようになる。しかも、この磁性膜は、耐蝕性に
も富むものであった。
して、窒素のようなＮ化合物のガス雰囲気下で堆積させ
ることが大事である。そして、堆積時に、飛来するＦｅ
2 ＮやＦｅ3 Ｎに向けて酸素のような活性Ｏ化合物を照
射することが非常に好ましい。このようにすることによ
って、飽和磁束密度が高く、そして低域から高域にわた
って高出力なＦｅ4 Ｎ系やＦｅ8 Ｎ系の磁気記録媒体が
得られるようになる。しかも、この磁性膜は、耐蝕性に
も富むものであった。
【００１２】以下、具体的な実施例を挙げて説明する。
【００１３】
〔実施例１〕図１は、本発明の磁気記録媒体の製造に用
いられる装置である。同図中、１は非磁性の支持体（７
μｍ厚さのＰＥＴフィルム）、２ａは供給側ロール、２
ｂは巻取側ロールであって、この間を支持体１は走行す
るよう構成されている。３は冷却キャンロール、４は遮
蔽板、５はルツボ、６は直径１０ｍｍ、長さ１２ｍｍの
ペレット状のＦｅ2 Ｎ、７は電子銃、８は真空容器、９
は冷却キャンロール３に案内されている支持体１に蒸着
した膜に向けて酸素を照射する酸素ガス供給ノズル、１
０は窒素ガス供給ノズルである。
いられる装置である。同図中、１は非磁性の支持体（７
μｍ厚さのＰＥＴフィルム）、２ａは供給側ロール、２
ｂは巻取側ロールであって、この間を支持体１は走行す
るよう構成されている。３は冷却キャンロール、４は遮
蔽板、５はルツボ、６は直径１０ｍｍ、長さ１２ｍｍの
ペレット状のＦｅ2 Ｎ、７は電子銃、８は真空容器、９
は冷却キャンロール３に案内されている支持体１に蒸着
した膜に向けて酸素を照射する酸素ガス供給ノズル、１
０は窒素ガス供給ノズルである。
【００１４】ペレット状のＦｅ2 Ｎは、純鉄を加熱アン
モニアガス中で窒化処理することによって得られたもの
である。そして、Ｘ線回折によりＦｅ2 Ｎになったのを
確認し、これをルツボ５内に充填した。そして、真空容
器８内を所定の真空度（１０-6Ｔｏｒｒのオーダーの真
空度）に排気し、この状態で電子銃７によりルツボ５内
のＦｅ2 Ｎを溶融・蒸発させると共に、窒素ガス供給ノ
ズル１０から窒素ガスを、又、酸素ガス供給ノズル９か
ら酸素ガスを供給しながら支持体１を走行させ、蒸発粒
子を支持体１に堆積させる。
モニアガス中で窒化処理することによって得られたもの
である。そして、Ｘ線回折によりＦｅ2 Ｎになったのを
確認し、これをルツボ５内に充填した。そして、真空容
器８内を所定の真空度（１０-6Ｔｏｒｒのオーダーの真
空度）に排気し、この状態で電子銃７によりルツボ５内
のＦｅ2 Ｎを溶融・蒸発させると共に、窒素ガス供給ノ
ズル１０から窒素ガスを、又、酸素ガス供給ノズル９か
ら酸素ガスを供給しながら支持体１を走行させ、蒸発粒
子を支持体１に堆積させる。
【００１５】尚、窒素ガスの供給量は約６０〜１００ｓ
ｃｃｍ（例えば、７０ｓｃｃｍで、真空容器８内におけ
る窒素ガスの分圧が５×１０-5Ｔｏｒｒ）、酸素ガスの
供給量は約１０〜３０ｓｃｃｍ（例えば、１５ｓｃｃｍ
で、真空容器８内における酸素ガスの分圧が３×１０-5
Ｔｏｒｒ）である。このようにして斜め蒸着法により得
られた磁性層をＸ線回折により調べると、このものはＦ
ｅ4 Ｎ系のものであった。尚、オージェ電子分光によれ
ば表層から５０Åのところでの酸素は４０ａｔｍ％であ
った。
ｃｃｍ（例えば、７０ｓｃｃｍで、真空容器８内におけ
る窒素ガスの分圧が５×１０-5Ｔｏｒｒ）、酸素ガスの
供給量は約１０〜３０ｓｃｃｍ（例えば、１５ｓｃｃｍ
で、真空容器８内における酸素ガスの分圧が３×１０-5
Ｔｏｒｒ）である。このようにして斜め蒸着法により得
られた磁性層をＸ線回折により調べると、このものはＦ
ｅ4 Ｎ系のものであった。尚、オージェ電子分光によれ
ば表層から５０Åのところでの酸素は４０ａｔｍ％であ
った。
【００１６】そして、表面にＦｅ4 Ｎ系の強磁性膜が１
８００Å厚構成されたＰＥＴフィルムの裏面側に、平均
粒径が４０ｎｍのカーボンブラックをウレタンプレポリ
マーと塩化ビニル系樹脂とのバインダ樹脂中に分散させ
てなるバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法に
より乾燥厚さが０．５μｍとなるように塗布し、乾燥さ
せた。
８００Å厚構成されたＰＥＴフィルムの裏面側に、平均
粒径が４０ｎｍのカーボンブラックをウレタンプレポリ
マーと塩化ビニル系樹脂とのバインダ樹脂中に分散させ
てなるバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法に
より乾燥厚さが０．５μｍとなるように塗布し、乾燥さ
せた。
【００１７】この後、パーフルオロポリエーテル（ＦＯ
ＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ モンテカチーニ社製）をフッ
素不活性液体（フロリナート、ＦＣ−７７、住友スリー
エム社製）に０．１％となるよう希釈・分散させた塗料
をダイ塗工方式により乾燥後の厚さが２０Å程度となる
ようにＦｅ4 Ｎ系強磁性金属膜の表面に塗布し、１０５
℃で乾燥させ、８ｍｍ幅にスリットし、磁気テープを得
た。
ＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ モンテカチーニ社製）をフッ
素不活性液体（フロリナート、ＦＣ−７７、住友スリー
エム社製）に０．１％となるよう希釈・分散させた塗料
をダイ塗工方式により乾燥後の厚さが２０Å程度となる
ようにＦｅ4 Ｎ系強磁性金属膜の表面に塗布し、１０５
℃で乾燥させ、８ｍｍ幅にスリットし、磁気テープを得
た。
【００１８】〔実施例２〕実施例１において、窒素ガス
の供給量を５０ｓｃｃｍ、酸素ガスの供給量を１５ｓｃ
ｃｍとした外は同様に行った。尚、このようにして斜め
蒸着法により得られた磁性層をＸ線回折により調べる
と、このものはＦｅ4 Ｎ＋Ｆｅ8 Ｎ系のものであった。
又、オージェ電子分光によれば表層から５０Åのところ
での酸素は４３ａｔｍ％であった。
の供給量を５０ｓｃｃｍ、酸素ガスの供給量を１５ｓｃ
ｃｍとした外は同様に行った。尚、このようにして斜め
蒸着法により得られた磁性層をＸ線回折により調べる
と、このものはＦｅ4 Ｎ＋Ｆｅ8 Ｎ系のものであった。
又、オージェ電子分光によれば表層から５０Åのところ
での酸素は４３ａｔｍ％であった。
【００１９】〔実施例３〕実施例１において、窒素ガス
の供給量を４５ｓｃｃｍ、酸素ガスの供給量を１５ｓｃ
ｃｍとした外は同様に行った。尚、このようにして斜め
蒸着法により得られた磁性層をＸ線回折により調べる
と、このものはＦｅ4 Ｎ＋Ｆｅ8 Ｎ系のものであり、実
施例２のものよりもＦｅ 8 Ｎのピークが強いものであっ
た。又、オージェ電子分光によれば表層から５０Åのと
ころでの酸素は４５ａｔｍ％であった。
の供給量を４５ｓｃｃｍ、酸素ガスの供給量を１５ｓｃ
ｃｍとした外は同様に行った。尚、このようにして斜め
蒸着法により得られた磁性層をＸ線回折により調べる
と、このものはＦｅ4 Ｎ＋Ｆｅ8 Ｎ系のものであり、実
施例２のものよりもＦｅ 8 Ｎのピークが強いものであっ
た。又、オージェ電子分光によれば表層から５０Åのと
ころでの酸素は４５ａｔｍ％であった。
【００２０】〔実施例４〕実施例１において、窒素ガス
の供給量を４０ｓｃｃｍ、酸素ガスの供給量を１５ｓｃ
ｃｍとした外は同様に行った。尚、このようにして斜め
蒸着法により得られた磁性層をＸ線回折により調べる
と、このものはＦｅ4 Ｎ＋Ｆｅ8 Ｎ系のものであり、実
施例３のものよりもＦｅ 8 Ｎのピークが強いものであっ
た。又、オージェ電子分光によれば表層から５０Åのと
ころでの酸素は４７ａｔｍ％であった。
の供給量を４０ｓｃｃｍ、酸素ガスの供給量を１５ｓｃ
ｃｍとした外は同様に行った。尚、このようにして斜め
蒸着法により得られた磁性層をＸ線回折により調べる
と、このものはＦｅ4 Ｎ＋Ｆｅ8 Ｎ系のものであり、実
施例３のものよりもＦｅ 8 Ｎのピークが強いものであっ
た。又、オージェ電子分光によれば表層から５０Åのと
ころでの酸素は４７ａｔｍ％であった。
【００２１】〔特性〕上記各例で得られた磁気テープに
ついて、０．７５ＭＨｚ及び１０ＭＨｚでの再生出力を
調べたので、その結果を下記の表−１に示す。 表−１ 0.75ＭＨｚ再生出力 10ＭＨｚ再生出力 実施例１ ７．５ｄＢ ６．５ｄＢ 実施例２ ９．０ｄＢ ８．０ｄＢ 実施例３ １０．５ｄＢ ９．０ｄＢ 実施例４ １２．０ｄＢ １０．０ｄＢ 比較例１ ０．０ｄＢ ０．０ｄＢ ＊比較例１のものは、Ｃｏ−Ｎｉ（８０−２０）磁性材料を斜め蒸着手段に より蒸着させた市販の８ｍｍＶＴＲ用磁気テープで、これを基準にした。
ついて、０．７５ＭＨｚ及び１０ＭＨｚでの再生出力を
調べたので、その結果を下記の表−１に示す。 表−１ 0.75ＭＨｚ再生出力 10ＭＨｚ再生出力 実施例１ ７．５ｄＢ ６．５ｄＢ 実施例２ ９．０ｄＢ ８．０ｄＢ 実施例３ １０．５ｄＢ ９．０ｄＢ 実施例４ １２．０ｄＢ １０．０ｄＢ 比較例１ ０．０ｄＢ ０．０ｄＢ ＊比較例１のものは、Ｃｏ−Ｎｉ（８０−２０）磁性材料を斜め蒸着手段に より蒸着させた市販の８ｍｍＶＴＲ用磁気テープで、これを基準にした。
【００２２】これによれば、Ｆｅ4 ＮあるいはＦｅ4 Ｎ
及びＦｅ8 Ｎ系強磁性材料が用いられて構成されてなる
ものは再生特性が優れたものであることが判る。特に、
低域から高域全般にわたって高い出力が得られている。
及びＦｅ8 Ｎ系強磁性材料が用いられて構成されてなる
ものは再生特性が優れたものであることが判る。特に、
低域から高域全般にわたって高い出力が得られている。
【００２３】
【効果】本発明によれば、低域から高域全般にわたって
出力が高く、高性能な磁気記録媒体が得られる。
出力が高く、高性能な磁気記録媒体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置の概略図
１ 支持体 ６ ペレット状のＦｅ2 Ｎ ７ 電子銃 ９ 酸素ガス供給ノズル １０ 窒素ガス供給ノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 支持体上に磁性層が設けられてなる磁気
記録媒体であって、前記磁性層はＦｅ4 Ｎ系強磁性材料
が用いられて構成されてなることを特徴とする磁気記録
媒体。 - 【請求項２】 支持体上に磁性層が設けられてなる磁気
記録媒体であって、前記磁性層はＦｅ4 Ｎ系強磁性材料
及びＦｅ8 Ｎ系強磁性材料が用いられて構成されてなる
ことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項３】 支持体上に磁性層が設けられてなる磁気
記録媒体の製造方法であって、Ｆｅ2 Ｎ及びＦｅ3 Ｎの
群の中から選ばれる窒化鉄をＮ化合物のガス雰囲気下に
おいて支持体上に飛来、堆積させることを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。 - 【請求項４】 Ｆｅ2 Ｎ及びＦｅ3 Ｎの群の中から選ば
れる窒化鉄をＮ化合物のガス雰囲気下において支持体上
に飛来、堆積させるに際して、Ｏ化合物が供給されるこ
とを特徴とする請求項３の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14197694A JPH087252A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14197694A JPH087252A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH087252A true JPH087252A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15304506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14197694A Pending JPH087252A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087252A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019122226A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 株式会社デンソー | 車輪駆動装置 |
-
1994
- 1994-06-23 JP JP14197694A patent/JPH087252A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019122226A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 株式会社デンソー | 車輪駆動装置 |
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