JPH087103B2 - 物理量特に温度測定用電気インピーダンス検出器及び該検出器の製造方法 - Google Patents

物理量特に温度測定用電気インピーダンス検出器及び該検出器の製造方法

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JPH087103B2
JPH087103B2 JP5075840A JP7584093A JPH087103B2 JP H087103 B2 JPH087103 B2 JP H087103B2 JP 5075840 A JP5075840 A JP 5075840A JP 7584093 A JP7584093 A JP 7584093A JP H087103 B2 JPH087103 B2 JP H087103B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】本発明は、当該電極間で測定される物理量
を示す電気インピーダンスが測定される電極を含み、及
び該電極間にそのインピーダンス特性が測定されるべき
物理量の関数である活性物質が存在する物理量特に温度
測定用の電気インピーダンス検出器に関する。さらに本
発明は、物理量特に温度又は相対湿度の測定用に意図さ
れた電気インピーダンス検出器の製造方法に関する。
【０００２】多数の応用において、高速、小型及び低放
射誤差が、測定検出器、特に温度測定を意図した検出器
から必要とされている。かかる要求は、例えばラジオゾ
ンデの温度検出器においては特に厳格である。多くの応
用において、対応する特性が相対湿度測定用の検出器か
らも必要とされている。例えばラジオゾンデの温度検出
器として先行技術に知られるように、一般にその活性物
質が、温度に依存する誘電性をもつセラミックである容
量性検出器が使用される。しかしながら先行技術のガラ
スセラミック温度検出器は比較的大形であるので、その
速度及び放射誤差について幾分改善が必要である。太陽
放射によって生じる放射誤差は、従来技術の温度検出器
を使用するラジオゾンデによる温度測定における最も重
要な問題点となってきた。ラジオゾンデ及び同等物にお
ける容量性検出器の他に、抵抗温度検出器及び熱電対も
また使用されてきた。
【０００３】先行技術において、容量性湿度検出器は、
そのキャパシタンスにおいて使用された誘電物質が、そ
の誘電定数がそれにより吸収された湿度の関数であるポ
リマー、セラミック、ガラスセラミックであることが知
られている。これらの検出器の速度及び対応する特性に
関しても、特にラジオゾンデ応用の面で開発が必要であ
る。先行技術のインピーダンス検出器及び同等物の製造
方法は複雑であり、しばしば自動化が困難であり製造の
自動化工程に適用が困難である。
【０００４】先行技術において、ある種のガラス又はガ
ラスセラミック物質の誘電性が温度に依存することが知
られている。この点について及び本発明に関連する先行
技術に関して以下の論文を参照する。 （１）科学機器の概説、４２巻、Ｎｏ．５、１９７１年
５月W.N.Lawless:「低温ガラスセラミックキャバシタン
ス温度計」 （２）日本応用物理学会誌、３０巻、Ｎｏ．６Ａ、１９
９１年６月、ｐｐ．Ｌ９８８−Ｌ９９０、Masashi Onis
hi, Michihisa Kyoto 、及びMinoru Watanabe 「ガラス
延伸法によって形成されたＢｉ−Ｐｂ−Ｓｒ−Ｃａ−Ｃ
u −Ｏガラスセラミック繊維の性質」 （３）プロシーディングス センサ９１年第１９回会議
１９９１年５月１６日、Ｖｏｌ．IV、ｐｐ２３７−２４
６、Th.Hubert ，U.Banach: 「温度湿度測定容量性セン
サ用ガラスセラミック」 （４）応用光学、１２巻、Ｎｏ．１、１９７３年１月、
ｐｐ．８０−８３：S.G.BishopとW.J.Moore:「カルコゲ
ナイドガラスボロメーター」 上記引用の論文（２）において、ガラス延伸法によって
生成したガラスセラミック繊維の超伝導性が扱われてい
る。本発明において、適用可能な場合は該論文中に示さ
れたガラス延伸法及びガラス原料を使用することができ
る。上記論文（３）ではガラスセラミックをベースとす
る湿度検出器が記載されている。
【０００５】本発明に関連する先行技術に関し、さらに
容量性温度検出器が特に低温（Ｔ＝１〜２０°Ｋ）測定
に関して記載されている米国特許第３，６４９，８９１
号が参照されている。引用した特許において、検出器キ
ャパシタンスの誘電物質は制御下でガラス母体中結晶化
されたチタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ3 ）であ
る。該容量性検出器はそのガラスセラミック物質の誘電
定数が、温度が当該温度域に低下したときに急速かつ同
等に低下するので特に低温の測定に適合する。該米国特
許中の検出器キャパシタンスの建造は極めて大型でかつ
形式的であり、低速度及び放射誤差において、例えばラ
ジオゾンデ又は同等物用の温度検出器として適さない。
【０００６】本発明の目的は先行技術の電気インピーダ
ンス検出器及びその製造方法、特に温度検出器をさらに
発展させ、前記欠点を本質的に解消することである。本
発明の他の目的は、有利な単価及び画一的な品質、性能
の検出器の製造を可能にするインピーダンス検出器の製
造方法を提供することである。本発明は、特に小型で低
質量でかつ高速、低放射誤差のインピーダンス検出器を
提供することを目的とする。前記との関連において、本
発明の目的は特にラジオゾンデ用の温度検出器に適する
新規なインピーダンス検出器を提供することであり、該
検出器の操作の原理は抵抗性又は容量性のいずれかであ
る。
【０００７】前記及び以下で述べる目的の達成におい
て、本発明に従った検出器は、検出器の活性物質がガラ
ス延伸法によって製造された非常に薄い糸状のガラス又
はガラスセラミック繊維であることを主に特徴とするも
のである。他方、検出器の製造のための本発明方法は主
に以下のステップの組み合わせにその特徴を有する。ほ
ぼ環状断面の連続性検出器繊維糸を、適当な電気的性質
を有する検出器用活性物質を提供する１又は２以上の添
加物との混合物である溶融ガラスミックスで知られるガ
ラス延伸法によって製造するステップ。該検出器繊維糸
がガラスセラミックの形へ熱処理によって結晶化され又
はその物質が選ばれるか処理されるかして、キャパシタ
ンス及び／又は抵抗が温度又は特定の場合には活性物質
によって吸収された水の量に依存する活性検出器物質が
生産されるステップ。個々の検出器に対して該検出器繊
維糸が適当な個数のピースに切断され、各ピースに端子
が形成され及び／又は端子が接続され、及び／又は糸の
延伸段階で形成された電極へ端子が結合又は接続され、
その端子間で検出器のインピーダンスが測定できるステ
ップ。
【０００８】本発明の検出器は好ましくは例えばいわゆ
る二重るつぼ法の使用による連続的方法としてのガラス
延伸技術によって作られた検出器繊維糸から製造され
る。検出器繊維糸の延伸はガラス形状で行われる。もし
ガラスセラミックが活性物質として使用されるならば、
ここにおいて検出器の活性層はガラスセラミックの形状
へ結晶化され、その誘電性及び／又は抵抗が活性物質の
温度に依存する物質が生成される。本発明による検出器
は、その物質又はその物質のある程度の成分が通例温度
に関して測定される物理量にその誘電定数又は抵抗が依
存する物質である環状断面の連続性検出器糸からつくら
れている。また、いくつかの例外的ケースにおいても、
本発明方法により相対湿度用のインピーダンス検出器を
製造することが可能であり、この場合、活性ガラスセラ
ミック物質の誘電定数は物質によって吸収された水の量
に依存するように定められている。
【０００９】仮の推定によれば、本発明の応用の最も有
利な形態は、ラジオゾンデ用に意図され、そのキャパシ
タンスが温度ＴがＴ＝−９０°Ｃ〜＋４５°Ｃの範囲で
変動して測定されるときに一般的にＣ＝３〜１０ｐＦの
範囲である容量性温度検出器である。ガラス延伸技術の
手段によって作った連続性検出器糸から概して約１〜５
cmのピースを切断し、それらのピースへ糸の延伸工程に
おいて中心電極を形成し、ピースへ電極が付着され、及
び／又はその繊維糸の外面上に連続工程で連続性検出器
糸を作成することを可能にすべきとの目的で適当な導線
パターンを例えばフォトリトグラフ法によって作成す
る。以下において、本発明は添付図面の図に表された本
発明の例示的実施態様を参照して詳細に記載されるが、
本発明は該実施態様の詳細に決して厳格に限定されるも
のではない。
【００１０】
【実施例】第１〜４図は本発明による好ましい容量性又
は抵抗性温度検出器を示す。第５Ａ，５Ｂ及び５Ｃ図は
本発明による抵抗性温度検出器を示す。第６〜８図は本
発明に従った該検出器の製造方法の模式図である。第９
図は該方法によって製造された容量性温度検出器を示
す。
【００１１】第１図によれば、前記容量性温度検出器は
糸状の非常に細い環状断面のガラス繊維１０を含み、中
にプラチナ等の金属から成る１本の中心電極及びその周
囲に１層のガラスセラミック環状層１２がある。ガラス
セラミック層１２上に密閉した１層の環状ガラス層１
３、及びその上に１層の伝導性電極層１４があるので、
構造は同軸である。測定されるキャパシタンスＣは電極
１１と１４の間に形成される。このキャパシタンスＣの
誘電体は連続して接続された層１２及び１３から成り、
その層のガラスセラミック層は例えばバリウム−ストロ
ンチウム−チタン酸塩、Ｂａx Ｓｒ1-x ＴｉＯ3 であ
る。このガラスセラミック及び他の対応するガラスセラ
ミックの誘電定数は温度に依存する。ガラスセラミック
を取り囲む密閉したガラス層１３は誘電体層１２の活性
物質への湿気の進入を防止する。
【００１２】ガラスセラミック物質は誘電定数に影響を
及ぼす湿気を吸収し、このため温度測定において誤差を
生じる。この現象は相対湿度用容量性測定検出器におい
て利用できる。本発明方法によれば、第１図に示される
連続性検出器繊維から約１〜５cm、好ましくは約２cmの
長さのピースが切断される。検出器繊維１０は非常に細
く、その外径Ｄは好ましくはＤ＝２５〜５００μｍの範
囲内である。例えば、２cm長の検出器において、温度Ｔ
が２０°Ｃでの電極１１及び１４間で測定されたキャパ
シタンスＣは５ｐＦである。温度が−９０°Ｃ〜＋４５
°Ｃの範囲で変化する場合は、キャパシタンスは３〜１
０ｐＦの範囲で変動し、そして検出器キャパシタンスＣ
は検出器によって検出可能な温度Ｔが上昇した時、ほぼ
直線的に増加する。第２Ａ図及び第２Ｂ図に示した容量
性温度検出器は、例えば接着接合１５の手段によってそ
の長さＬに沿って一緒に接合されている二本の検出器繊
維１０Ａ及び１０Ｂから成っている。キャパシタンスＣ
が形成され、中心電極１１ａ及び１１Ｂの間で測定され
る。検出器キャパシタンスＣの範囲は寸法Ｌを変更する
ことによって調整できる。寸法Ｌは一般に５cmより小さ
く、一方繊維１０Ａ及び１０Ｂの外径Ｄは一般に２５〜
５００μｍの範囲内である。第２Ａ図及び第２Ｂ図に示
される検出器構造においては、第１図で必要とされるよ
うな外部電極１４が全く必要とされないことは長所であ
る。
【００１３】第３Ａ及び第３Ｂ図に示した検出器は、一
本の検出器繊維１０Ｃから成る。この検出器繊維中には
金属性の中心電極１１はないが、その容積は１本のガラ
スセラミックの内部繊維１２によって完全に占められ、
その上に１層の密閉したガラスシールド１３がある。該
層１３上には、接合部１５ａ及び１５ｂの手段によって
金属電極ワイヤー１６Ａ及び１６Ｂが長さＬ上に取り付
けられ、該検出器キャパシタンスＣは該電極ワイヤー間
で測定される。
【００１４】第４Ａ図及び第４Ｂ図に示される検出器は
長さＬの１個の検出器繊維ピース１０Ｄから成り、その
ピース１０Ｄ上に導線パターン１４ａ及び１４ｂが与え
られている。これらのパターン間には、導線パターン１
４ａ及び１４ｂを互いに分離する軸絶縁ギャップ１７ａ
及び放射状絶縁ギャップ１７ｂがある。第４Ａ図及び第
４Ｂ図に示される構造は、抵抗性温度検出器、湿度検出
器又は若干変更した容量性検出器のいずれかとして使用
できる。第４Ａ、第４Ｂ図に示されるような構造が湿度
検出器として使用される場合は、ガラスセラミックはそ
の誘電定数が該物質によって吸収された湿度に依存する
１種の物質である。湿気は中間領域１７ａ及び１７ｂを
通って、また必要ならば長さＬｏ内に置かれ、非常に薄
く作られるため湿気を透過するがなお電気伝導性である
導線パターンを通して前記物質１２へ接近する。第４Ａ
図及び第４Ｂ図に示されるような構造が抵抗性湿度検出
器として使用される場合は、該物質１２はその抵抗が温
度に依存するガラスセラミックである。第４Ａ図及び第
４Ｂ図の構造が容量性検出器として使用される場合は、
第３Ａ図に示されるような密閉層１３がガラスセラミッ
ク１２の周囲に置かれ、導線パターン１４ａ及び１４ｂ
が該層１３上に与えられる。検出器の抵抗Ｒ又はキャパ
シタンスＣは該導線パターン１４ａ及び１４ｂの間で測
定される。
【００１５】第５Ａ図、第５Ｂ図及び第５Ｃ図には、本
発明による抵抗性温度検出器が示され、そこでは導線パ
ターン１４ｃ及び１４ｄはガラスセラミック繊維１０Ｅ
上に形成され、そのパターン１４ｃ及び１４ｄは絶縁ギ
ャップ１７ｃにより相互に分離される。ガラスセラミッ
ク物質１２の抵抗率は温度に依存する。検出器の抵抗Ｒ
は室温で１０ＫΩのオーダーであり、温度−９０°Ｃで
１ＭΩのオーダーである。この抵抗は導線パターン１４
ｃ及び１４ｄの間で測定される。
【００１６】以下に第６，７及び８図を参照して、検出
器特に容量性温度検出器の製造のための本発明に従った
好ましい方法が記載される。本方法において、多数の観
点から先行技術の光ファイバーの製造方法及び装置にお
いて使用されたものに類似の装置及び方法ステップを使
用することが可能である。以下には単に一の好ましい製
造方法が記載されており、本発明の範囲に含まれる方法
が前記方法と実質的に異なるであろうことが強調される
べきである。本発明において、その誘電定数が測定され
る物理量に依存する成分が加えられている物質を使用す
ることもできる。第６Ａ図によれば、検出器繊維糸１０
の延伸はそれ自体が光ファイバーの製造で知られている
いわゆる二重るつぼ法を用いることにより行われる。本
方法において、一個が他の内側に置かれた、つまり１個
の外側るつぼ２１と１個の内側るつぼ２２を含むるつぼ
ノズル装置２０が使用される。該外側るつぼ２１の底部
には１個の環状ノズル２３があり、そして該ノズルの内
側には内側るつぼ２２の底部へ開いた１個の内側ノズル
２４がある。該外側るつぼ２１はガラス物質Ｇ、例えば
溶融状態のアルミノケイ酸塩ガラスを含み、該内側るつ
ぼ２２は溶融コアガラスＣを含む。
【００１７】容量性検出器に適する活性物質の実施例 ａ）アルミノケイ酸塩ガラスをベースとする物質 コアガラスＣをバリウム、ストロンチウム、チタン、シ
リコン及び酸化アルミナの混合物から作った。この混合
する割合の例はＢａＯ：５％、ＳｒＯ：３０％、ＴｉＯ
2 ：３５％、ＳｉＯ2 ：２０％、Ａｌ2 Ｏ3 ：１０％で
ある。バリウムと酸化ストロンチウムの割合によって、
該電性の温度依存曲線の型に影響を及ぼすことが可能で
ある。前記組成はゾンデへの利用に適している。繊維１
０が延伸される時繊維は急激に冷却され、この場合ガラ
ス様（無定形）形状となる。熱処理で繊維を例えば１１
００°Ｃで２時間熱し、これによりガラスマトリックス
中にバリウム−チタン及びストロンチウム−チタン結晶
が存在するガラスセラミック物質が製造される。 ｂ）アルミノホウ酸塩をベースとする物質 組成は酸化ケイ素のすべてをホウ酸Ｂ2 Ｏ3 で置き換え
た以外は前記と同様である。この場合、熱処理は例えば
８５０°Ｃで１時間である。抵抗性検出器に適する活性
物質は、例えばカルコゲナイドガラスであり、これは半
導体であり繊維に延伸できる。文献によれば、カルコゲ
ナイドガラスＴｉ2ＳｅＡｓ2 Ｔｅ3 はボロメーターへ
の利用に使用されている（論文（４）から引用）。この
ようにこの物質はガラスであり、ガラスセラミックでは
ない。
【００１８】繊維糸１０が延伸される時は、それは急速
に冷却され、それにより該表面層１３及び該コア層１２
ともガラス形状のままである。本発明における非常に重
要なステップは、繊維糸が延伸された後に繊維糸に加え
られる熱処理であり、その処理においてストロンチウム
−チタン及びバリウム−チタン結晶がコアガラス部１２
の中に形成される。温度プロフィル及び熱処理の最高温
度の手段によって結晶サイズに影響を及ぼすことが可能
で、それにより該電性及び繊維糸の温度依存性を制御し
定めることができる。結晶化の熱処理は極めて長時間を
要するので、リール上に置いた１本の繊維へ熱が与えら
れるのが好ましく、それゆえ繊維のバッチが延伸された
後にリール全体を熱処理オーブン中に置くのが好まし
い。第６Ｂ図は前記コア部１２及び表面層１３を含む１
本の繊維糸１０の軸断面図である。ガラス延伸法におい
ては繊維糸は自然に環状になる。本発明において非常に
重要である前記熱処理に関して、最初に前記した引用論
文（１）及び（３）をその中のドーピング剤の濃度と同
様参照する。
【００１９】他に代わり得る実施態様として、前記繊維
糸１０の延伸方法との関連で電極ワイヤー１１をワイヤ
ーリール２５から繊維（第６Ａ図で点線で示される）へ
送ることが可能であり、この場合第２Ａ図及び第２Ｂ図
に示したものに類似の繊維糸１０Ａ及び１０Ｂが生産さ
れ、これは第６Ｂ図に示されるものと相違する。１の代
用法として、ガラスチューブブランクの内側へ金属棒を
入れ金属棒及びガラスチューブをいっしょに繊維中に引
くことにより、又はまず中空繊維を製造しその後その内
側を金属化することによって１本の内側電極を繊維の内
部へ入れることができる。後者の場合、該繊維の構造は
固体中心電極１１の代わりに中空の管状中心電極が存在
する以外には他の観点において第１図に示したものに類
似している。内部が中空である後者の構造は、ガラス繊
維１０中の中心ホールを通る熱の伝送がより効率的にな
り、それにより検出器の操作がより迅速になり、また反
応時間がより短くなる点において有利である。前記ガラ
ス繊維１０のコア部の結晶化の後、該繊維糸は適当なペ
ーストで被覆される。これは例えば第６Ｃ図において示
されたような手段によって実施される。被覆されるガラ
ス繊維糸１０は、例えば第６Ｂ図に示されるように、出
発リール２８からるつぼ２６へその底部に設けられたホ
ール２６ａを通り、さらに焼結炉２７を通って通過され
る。該るつぼ２６は適当なコーティングペーストＰを含
む。焼結炉２７の後、その断面が第１図に示されるもの
に類似する繊維１０Ｐが受け取りリール２９上に延びて
いる。第６Ｃ図に示した方法は、光ファイバーのコーテ
ィングで知られ、一般に使用されているコーティング方
法である。ペーストコーティング及び焼結の代わりに、
蒸着等の公知の他のコーティング方法を用いることがで
きる。
【００２０】第１図に示される電極１４、第４Ａ図及び
第４Ｂ図に示す電極１４ａ及び１４ｂ、及び第５Ａ、５
Ｂ、５Ｃ及び９Ａ、９Ｂ、９Ｃ図に示される電極１４
ａ、１４ｂ、１４ｃ及び１４ｄのようなガラス繊維糸１
０上に施される電極及び電極パターンが、例えば第７図
に模式的に示されるフォトリトグラフ法によって製造さ
れる。本方法においては、繊維１０は第６Ｃ図に関連し
て前記された底部中にホールを有するるつぼ２６によっ
て被覆される。ここにおいて、被覆されたガラス繊維糸
１０は出発リール３０から露光ユニット３１を通ってフ
ォトレジストの一定領域が露光される光源３２へ送られ
る。露光ユニット３１に続いて、繊維１０はガイドロー
ル３３及びその中でレジストが現像薬Ｄにより処理され
る現像タンク３４中のドラム３５へ送られる。該繊維糸
１０はさらにそこで露光領域がエッチング薬Ｅによって
エッチされるエッチングタンク３６内のドラム３７を通
過し、そこで繊維糸１０はガイドロール３３を通って薬
剤Ｆが該レジストを溶解する溶解タンク３８内のドラム
３９へさらに送られる。ここで繊維１０Ｐは受け取りリ
ール４０上に巻き取られる。第７図によれば、露光から
レジストの除去までの工程は連続工程として行われる。
【００２１】第８Ａ、８Ｂ及び８Ｃ図は互いに垂直の三
つの図解で、繊維１０の露出状態を示している。該露出
は異なる４方向から特に正確に整列されたジグ４１Ａ及
び４１Ｂ中で行われる。露出マスク４２ａ及び４２ｂは
光ファイバーケーブルの接続の製造の先行技術において
用いられている技術と一致するシリコンへ適当な溝をエ
ッチングする方法によって製造されている。参照番号４
３は露出される領域を表す。前記ステップ手段により、
繊維糸上に施されたた電極の外面上に水を通さないガラ
ス層（第９Ａ図、９Ｂ図、９Ｃ図）を例えばガラスペー
ストによって形成する。かかる場合該コーティング方法
は、例えば第６Ｃ図に関連して記載されたコーティング
方法に類似しており、伝導性ペーストを用いて行われ
る。前記した方法ステップにより、連続性検出器繊維糸
１０が簡単経済的に製造できる。
【００２２】本発明による検出器製造の次のステップは
個々の検出器のピースへの繊維糸の切断であり、該ピー
スの軸長Ｌは一般に１〜５cmの範囲、好ましくは２cmで
ある。ここにおいてハンダ付けに適する接触面１８ａ及
び１８ｂは検出器の末端に作成され、その面は第９Ａ図
及び第９Ｂ図に示される。このように第９Ａ、９Ｂ及び
９Ｃ図に容量性検出器が示され、これは第６図から第８
図に前記されたような方法によって製造され、検出器が
ガラスペーストのような水を通さない絶縁層１９で被覆
される以外は他の観点において第４Ａ図及び第４Ｂ図に
前記されたものに類似する。第９図に示された検出器の
活性領域はその長さＬ上に配置されそこに測定されるべ
きキャパシタンスＣが形成され、該キャパシタンスＣの
誘電体はその誘電定数が温度関数である前記ガラスセラ
ミックコア物質１２である。検出器のキャパシタンスＣ
は電極１８ａ及び１８ｂ間で測定される。以下に請求の
範囲が与えられ、そして本発明の詳細は該クレーム中に
限定され、実施例だけのために前述されたものと異なる
発明思想の範囲内での変形を示す。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従った容量性温度検出器繊維の断面図
である。
【図２】図２Ａは接合された二本のガラスセラミック繊
維で作った容量性温度検出器の断面図である。図２Ｂは
図２Ａに示された該検出器の側面図であり、図２Ａは同
時に図２Ｂの線Ａ−Ａに沿って切った断面図である。
【図３】図３Ａは一本のガラスセラミック繊維から作ら
れる本発明に従った容量性温度検出器を示す。図３Ｂは
図３Ａに示された該検出器の側面図であり、図３Ａは図
３Ｂの線Ａ−Ａに沿って切った断面図である。
【図４】図４Ａは本発明に従った容量性又は抵抗性検出
器の断面図である。図４Ｂは図４Ａに示された検出器の
側面図であり、図４Ａは図４Ｂの線Ａ−Ａに沿って切り
取った断面図である。
【図５】図５Ａ及び図５Ｂは本発明に従った抵抗性温度
検出器の断面図である。図５Ｃは図５Ａ及び図５Ｂに示
された検出器の側面図であり、図５Ａは同時に図５Ｃの
線Ａ−Ａに沿って切り取った断面図、及び図５Ｂは第５
Ｃ図の線Ｂ−Ｂに沿って切り取った断面図である。
【図６】図６Ａは本発明に従ったガラス繊維及びその底
部内のノズル配置の製造に使用される二重るつぼを示
す。図６Ｂは図６Ａに示されたようなノズルの手段によ
って製造されている本発明に従ったガラスセラミック繊
維の拡大中心軸断面図である。図６Ｃは図６Ａで示され
た方法で製造されたガラスセラミック繊維が伝導性物質
で被覆される方法の模式図である。
【図７】図７は図６Ｃに示された方法でホトレジストで
被覆された繊維の露出、レジスト処理、エッチング及び
溶解を連続工程として示す。
【図８】図８Ａ、図８Ｂ及び図８Ｃは異なる４方向から
行ったホトレジストの露出に使用されるマスクを示す。
【図９】図９Ａ及び図９Ｂは、図６〜図８に示されたよ
うな方法によって製造された容量性湿度検出器の構造の
互いに直角な軸断面図である。図９Ａは同時に図９Ｃの
線Ａ−Ａに沿って切った断面図、図９Ｂは図９Ｃの線Ｂ
−Ｂに沿って切った断面図である。図９Ｃは図９Ｂの線
Ｃ−Ｃに沿って切った断面図である。
【符号の説明】
10A 検出器繊維 10B 検出器繊維 10c 検出器繊維 10D 検出器繊維ピース 10E ガラスセラミック繊維 11 電極 12 ガラスセラミック層 13 環状ガラス層 14 電極 15 接着手段 16a 金属電極ワイヤー 16b 金属電極ワイヤー 17a 絶縁ギャップ 17b 絶縁ギャップ 21 外側るつぼ 22 内側るつぼ 26 るつぼ 27 炉

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 当該電極間で測定されるべき物理量を表
    示する電気インピーダンス（Ｃ；Ｒ）が測定される電極
    （１１，１４）及び該電極（１１，１４）間に、そのイ
    ンピーダンス特性が測定される物理量の関数である１種
    の活性物質が存在する電極からなり、検出器の活性物質
    がガラス延伸技術により製造されている極めて細い糸状
    ガラス又はガラスセラミック繊維（１０）であることを
    特徴とする、物理量特に温度の測定用の電気インピーダ
    ンス検出器。
  2. 【請求項２】 前記繊維が１本のガラスセラミック繊維
    （１０）であり、そのガラス繊維糸への延伸がガラス様
    形状で行われ、そのガラスセラミック形状への結晶化が
    熱処理で行われることを特徴とする請求項１に記載の検
    出器。
  3. 【請求項３】 ガラスセラミック物質中の活性成分がガ
    ラスマトリックス中に存在する結晶性のバリウム−スト
    ロンチウムチタン酸塩Ｂａx Ｓｒ1-x ＴｉＯ3であり、
    式中のｘは０〜１の範囲であることを特徴とする請求項
    １又は２に記載の抵抗性又は容量性検出器。
  4. 【請求項４】 該ガラスセラミック繊維（１０）が、活
    性誘電体層（１２）の物質への湿気の浸入を防止する密
    閉したガラス層（１３）によって取り囲まれていること
    を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記
    載の抵抗性又は容量性検出器。
  5. 【請求項５】 該検出器繊維糸が実質的に環状断面であ
    り、検出器繊維糸（１０）の直径がＤ＝２５〜５００μ
    ｍのオーダーであることを特徴とする請求項１から４項
    のいずれか一項に記載の抵抗性又は容量性検出器。
  6. 【請求項６】 該検出器の構造が同軸で、かつ中実中心
    電極ワイヤー（１１）又は対応する中空電極糸及び該中
    心電極周囲に置かれたガラス又はガラスセラミック層
    （１２）を備え、その層（１２）上に１層の密閉したガ
    ラス層（１３）があり、該ガラス層（１３）上に１の電
    極層（１４）及び／又は電極パターン（１４ａ、１４
    ｂ、１４ｃ、１４ｄ）が存在することを特徴とする請求
    項１から５項のいずれか一項に記載の抵抗性又は容量性
    検出器。
  7. 【請求項７】 該検出器が、一定の長さ（Ｌ）に亘る接
    合手段（１５）によって互いに平行に接合された二本の
    検出器繊維糸（１０Ａ、１０Ｂ）から成り、その長さ上
    の検出器キャパシタンス（Ｃ）が該検出器繊維糸（１０
    Ａ、１０Ｂ）の内側に置かれた中心電極（１１ａ、１１
    ｂ）の間で測定できるように形成されることを特徴とす
    る請求項１から５項のいずれか１項に記載の容量性検出
    器。
  8. 【請求項８】 該検出器が中心電極を含まない検出器繊
    維糸（１０Ｃ）のピースを含み、糸（１０Ｃ）の該ピー
    スに平行な電極ワイヤー（１６Ａ、１６Ｂ）が糸（１０
    Ｃ）の該ピースの両側へ取り付けられ、その電極ワイヤ
    ー（１６Ａ，１６Ｂ）間で検出器キャパシタンス（Ｃ）
    が測定できることを特徴とする請求項１から５項のいず
    れか一項に記載の容量性検出器。
  9. 【請求項９】 中心電極を含まないガラス繊維又はガラ
    スセラミック繊維糸の１ピース上に、少なくとも部分的
    に軸方向に互いに重複して配置される絶縁ギャップ（１
    ７ａ、１７ｂ）によって互いに分離される電極パターン
    （４ａ、４ｂ）が施され、該検出器キャパシタンス又は
    抵抗（Ｃ；Ｒ）が該伝導性外電極（１４ａ、１４ｂ）の
    間で測定されることを特徴とする請求項１から５項のい
    ずれか一項に記載の容量性又は抵抗性検出器。
  10. 【請求項１０】 抵抗が温度の関数であるガラス又はガ
    ラスセラミック糸（１０Ｅ）上に１の絶縁ギャップ（１
    ７ｃ）によって軸方向に互いに分離される導線パターン
    （１４ｃ、１４ｄ）が施されていることを特徴とする請
    求項１から５項のいずれか一項に記載の抵抗性検出器。
  11. 【請求項１１】 ほぼ環状断面の連続性検出器繊維糸
    （１０）を、適当な電気的性質を有する検出器の活性物
    質を提供する１又は２以上の添加物との混合物である溶
    融ガラスミックス（Ｃ）で知られるガラス延伸法によっ
    て製造するステップ、 前記検出器繊維糸（１０）をガラスセラミックの形状に
    熱処理によって結晶化するか又はその物質を選択するか
    若しくは処理して、そのキャパシタンス及び／又は抵抗
    が温度又は特定の場合には活性物質によって吸収された
    水の量に依存する活性検出器物質を生産するステップ、 個々の検出器の対し、該検出器繊維糸を適当なピースに
    切断し、各ピースに端子を形成し、及び／又は端子が接
    続され、及び／又は糸の延伸段階で形成された電極（１
    １、１１ａ、１１ｂ）に端子を結合又は接続し、その端
    子間で検出器のインピーダンスを測定できるステップ、
    の組み合わせから成ることを特徴とする物理量特に温度
    又は相対湿度の測定用に意図された電気インピーダンス
    検出器の製造方法。
  12. 【請求項１２】 該検出器繊維糸（１０）の延伸を、光
    ファイバーの製造で知られ、方法中内側るつぼ（２２）
    内に溶融コアガラス（Ｃ）が使用され、そこへストロン
    チウム、バリウム及び酸化チタン及び／又は同等の他添
    加物が加えられ、外側るつぼ（２１）には、アルミノケ
    イ酸塩ガラス等の溶融ガラス物質が使用され、そこから
    ガラスの管状密閉外層が検出器繊維糸上に得られる二重
    るつぼ法を用いて実施することを特徴とする請求項１１
    に記載の方法。
  13. 【請求項１３】 溶融検出器繊維の内部へ１本の電極ワ
    イヤー（１１）を送るか、又は内側電極をガラスチュー
    ブブランクへ通してそれらをいっしょに検出器繊維糸
    （１０）へ延伸するか、又はまず中空の検出器繊維糸を
    製造しそしてその内部をその後に金属化することを特徴
    とする請求項１１又は請求項１２のいずれかに記載の方
    法。
  14. 【請求項１４】 該検出器繊維糸（１０）が、導線ペー
    スト又はガラスペースト等のコーティングペーストを含
    み底部にホールを有するるつぼ（２６）及び炉（２７）
    を通して該繊維糸（１０）を通過させることによりガラ
    ス層又は伝導性電極層で被覆されることを特徴とする請
    求項１１から請求項１３のいずれか一項に記載の方法。
  15. 【請求項１５】 該繊維糸（１０）上に、導線パターン
    （１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ）が蒸着又はフォト
    リトグラフ法によって、好ましくは連続工程で施される
    ことを特徴とする請求項１１から請求項１４のいずれか
    一項に記載の方法。
  16. 【請求項１６】 本方法中、連続性検出器繊維糸（１
    ０）から長さ約１〜５cmのピースを切り取り、それらの
    ピースをいっしょに並べて縦接合（１５）により接続
    し、又は検出器繊維糸（１０Ｃ）のそれらのピースの両
    側に検出器ワイヤー（１６Ａ、１６Ｂ）を接続すること
    を特徴とする請求項１１から請求項１５のいずれか一項
    に記載の方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151617A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 National Institute Of Advanced Industrial & Technology キャパシタンス温度計

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI92439C (fi) * 1993-09-29 1994-11-10 Vaisala Oy Sähköisesti ilmaistu impedanssianturi fysikaalisten suureiden, etenkin lämpötilan tai kosteuden, mittaamiseksi sekä menetelmä kyseisten anturien valmistamiseksi
FI98568C (fi) * 1994-12-28 1997-07-10 Vaisala Oy Sähköisesti ilmaistu impedanssianturi fysikaalisten suureiden, etenkin lämpötilan tai kosteuden, mittaamiseksi sekä menetelmä kyseisten anturien valmistamiseksi
FI100135B (fi) * 1996-01-05 1997-09-30 Vaisala Oy Menetelmä ja lämpötila-anturirakenne säteilyvirheen eliminoimiseksi
US5788376A (en) * 1996-07-01 1998-08-04 General Motors Corporation Temperature sensor
US5913158A (en) * 1997-01-17 1999-06-15 Sullivan; William B. Dynamic temperature measurement
EP1052502A4 (en) * 1998-09-02 2003-02-26 Maekawa Seisakusho Kk DEVICE FOR MEASURING THE TEMPERATURE OF A NON-CONTACT FOOD ARTICLE
US6288344B1 (en) * 1999-08-20 2001-09-11 Cardiac Pacemakers, Inc. Integrated EMI shield utilizing a hybrid edge
AU773413B2 (en) 2000-04-24 2004-05-27 Shell Internationale Research Maatschappij B.V. A method for sequestering a fluid within a hydrocarbon containing formation
US6680617B2 (en) * 2000-09-20 2004-01-20 Neocera, Inc. Apertured probes for localized measurements of a material's complex permittivity and fabrication method
US7293467B2 (en) 2001-07-09 2007-11-13 Nartron Corporation Anti-entrapment system
NO318250B1 (no) * 2001-07-10 2005-02-21 Harald Benestad Anordning ved en kapasitiv sensor
CA2531822A1 (en) * 2003-07-14 2005-06-02 Massachusetts Institute Of Technology Optoelectronic fiber codrawn from conducting, semiconducting, and insulating materials
US7567740B2 (en) * 2003-07-14 2009-07-28 Massachusetts Institute Of Technology Thermal sensing fiber devices
CA2563592C (en) 2004-04-23 2013-10-08 Shell Internationale Research Maatschappij B.V. Temperature limited heaters with thermally conductive fluid used to heat subsurface formations
JP4528943B2 (ja) * 2004-04-27 2010-08-25 独立行政法人産業技術総合研究所 キャパシタンス温度センサ及び温度測定装置
US7312591B2 (en) 2005-03-11 2007-12-25 Npc Corporation Powered panel moving system
US7575053B2 (en) 2005-04-22 2009-08-18 Shell Oil Company Low temperature monitoring system for subsurface barriers
US7342373B2 (en) * 2006-01-04 2008-03-11 Nartron Corporation Vehicle panel control system
WO2008131177A1 (en) 2007-04-20 2008-10-30 Shell Oil Company In situ heat treatment of a tar sands formation after drive process treatment
RU2465624C2 (ru) * 2007-10-19 2012-10-27 Шелл Интернэшнл Рисерч Маатсхаппий Б.В. Регулируемый трансформатор с переключаемыми ответвлениями
JP2010032493A (ja) * 2008-06-25 2010-02-12 Ngk Spark Plug Co Ltd 温度センサ
JP5611962B2 (ja) 2008-10-13 2014-10-22 シエル・インターナシヨナル・リサーチ・マートスハツペイ・ベー・ヴエー 地表下地層を処理するために使用される循環熱伝導流体システム
US8327932B2 (en) 2009-04-10 2012-12-11 Shell Oil Company Recovering energy from a subsurface formation
US9466896B2 (en) 2009-10-09 2016-10-11 Shell Oil Company Parallelogram coupling joint for coupling insulated conductors
US8257112B2 (en) * 2009-10-09 2012-09-04 Shell Oil Company Press-fit coupling joint for joining insulated conductors
US8356935B2 (en) * 2009-10-09 2013-01-22 Shell Oil Company Methods for assessing a temperature in a subsurface formation
EP2486380B1 (en) * 2009-10-09 2018-09-05 Shell Oil Company Methods for assessing a temperature in a subsurface formation
US8939207B2 (en) 2010-04-09 2015-01-27 Shell Oil Company Insulated conductor heaters with semiconductor layers
US8502120B2 (en) 2010-04-09 2013-08-06 Shell Oil Company Insulating blocks and methods for installation in insulated conductor heaters
US8943686B2 (en) 2010-10-08 2015-02-03 Shell Oil Company Compaction of electrical insulation for joining insulated conductors
US8857051B2 (en) 2010-10-08 2014-10-14 Shell Oil Company System and method for coupling lead-in conductor to insulated conductor
US8732946B2 (en) 2010-10-08 2014-05-27 Shell Oil Company Mechanical compaction of insulator for insulated conductor splices
DE102011003199A1 (de) * 2011-01-26 2012-07-26 Siemens Aktiengesellschaft Elektrooptische Sonde
WO2012138883A1 (en) 2011-04-08 2012-10-11 Shell Oil Company Systems for joining insulated conductors
JO3141B1 (ar) 2011-10-07 2017-09-20 Shell Int Research الوصلات المتكاملة للموصلات المعزولة
JO3139B1 (ar) 2011-10-07 2017-09-20 Shell Int Research تشكيل موصلات معزولة باستخدام خطوة اختزال أخيرة بعد المعالجة الحرارية.
CN104011327B (zh) 2011-10-07 2016-12-14 国际壳牌研究有限公司 利用地下地层中的绝缘导线的介电性能来确定绝缘导线的性能
CN103438936B (zh) * 2013-09-02 2016-06-15 东南大学 基于soi片器件层硅阳极键合的电容式温度、湿度和气压传感器集成制造方法
CN105891547A (zh) * 2014-09-18 2016-08-24 扬州思必得仪器设备有限公司 一种隧穿纤维
WO2018088082A1 (ja) * 2016-11-08 2018-05-17 日本電気硝子株式会社 ガラスセラミック複合繊維およびその製造方法
KR102621992B1 (ko) * 2016-11-11 2024-01-08 엘지이노텍 주식회사 습도 센서
US10466201B2 (en) 2018-02-01 2019-11-05 FPG Industries Ohio, Inc. Complex impedance moisture sensor and sensing method
CN109239139B (zh) * 2018-09-29 2021-02-02 厦门大学 一种纱线状湿度传感器
CN111351596B (zh) * 2020-04-21 2021-06-04 上海无线电设备研究所 一种测量温度的电容式传感器
WO2022229935A1 (de) 2021-04-30 2022-11-03 W.O.M. World Of Medicine Gmbh Insufflationsschlauch für die laparoskopie mit heizelement, befeuchtungsmittel und vorrichtung zur bestimmung des feuchtigkeitsgehaltes

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2639247A (en) * 1949-11-17 1953-05-19 Specialties Dev Corp Method of making heat or flame detecting elements
US3210607A (en) * 1961-09-07 1965-10-05 Texas Instruments Inc Ferroelectric capacitor apparatus
US3443293A (en) * 1965-09-03 1969-05-13 Sho Masujima Method of manufacturing capacitors
US3649891A (en) * 1970-06-18 1972-03-14 Corning Glass Works Capacitive cryogenic thermometer
GB1411968A (en) * 1972-12-19 1975-10-29 Standard Telephones Cables Ltd Pressure transducer
GB1386200A (en) * 1973-05-21 1975-03-05 Shevinov P A Plant for manufacturing coated glass filament suitable for use as filamentous resistor blanks
GB2158229A (en) * 1984-05-05 1985-11-06 Graviner Ltd Temperature-sensitive arrangement
US4921328A (en) * 1989-05-26 1990-05-01 Alfred University Polycrystalline ferroelectric fiber

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151617A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 National Institute Of Advanced Industrial & Technology キャパシタンス温度計

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Publication number Publication date
CA2092609A1 (en) 1993-10-02
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