JPH0429022A - 測定方法及びそれに用いる測温体 - Google Patents
測定方法及びそれに用いる測温体Info
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- JPH0429022A JPH0429022A JP13406590A JP13406590A JPH0429022A JP H0429022 A JPH0429022 A JP H0429022A JP 13406590 A JP13406590 A JP 13406590A JP 13406590 A JP13406590 A JP 13406590A JP H0429022 A JPH0429022 A JP H0429022A
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Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は半導体装置の製造に用いる電気炉などの炉内
温度の測定方法及びその測温体に関するものである。
温度の測定方法及びその測温体に関するものである。
（従来の技術）
従来の電気炉の炉内温度の測定方法を第２図を参照しつ
つ説明する。
つ説明する。
電気炉１はアウタシェル２、断熱材３及びヒーター４か
ら構成されている。この電気炉１の炉温を測定するには
熱電対５が用いられる。熱電対５はそれぞれ組成の異な
る合金で形成された導体５ａ、５ｂをその先端部５Ｃで
接触させたもので、石英等でできた保護管６によって保
護されている。
ら構成されている。この電気炉１の炉温を測定するには
熱電対５が用いられる。熱電対５はそれぞれ組成の異な
る合金で形成された導体５ａ、５ｂをその先端部５Ｃで
接触させたもので、石英等でできた保護管６によって保
護されている。
各導体５ａ、５ｂ間では温度に比例した微小な電位差を
発生する。この電位差を微小電圧計７で測定し、電位差
から温度を計算する。
発生する。この電位差を微小電圧計７で測定し、電位差
から温度を計算する。
このようにして従来は炉内温度を熱電対によって測温し
ていた。
ていた。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上述の炉内温度の測定方法では熱電対が
電気炉のヒーターから発生するｔＶａノイズ、誘導ノイ
ズ及び輻射ノイズなどに影響され、不要なノイズを拾っ
てしまい、炉温を正確に測定出来ないという問題点があ
った。なお、このノイズは温度が上昇するにつれて増加
する。従来の熱電対では実際には１０００℃以上になる
と測温出来ない状態となる。又、熱電対の距離に比例し
て増加するため、第１図のポイントＡがノイズが一番多
い。
電気炉のヒーターから発生するｔＶａノイズ、誘導ノイ
ズ及び輻射ノイズなどに影響され、不要なノイズを拾っ
てしまい、炉温を正確に測定出来ないという問題点があ
った。なお、このノイズは温度が上昇するにつれて増加
する。従来の熱電対では実際には１０００℃以上になる
と測温出来ない状態となる。又、熱電対の距離に比例し
て増加するため、第１図のポイントＡがノイズが一番多
い。
この発明は以上述べた熱電対がノイズを拾ってしまうと
いう問題点に鑑み、ノイズを拾いにくい熱電対を用いた
炉温測定方法及び熱電対を提供することにある。
いう問題点に鑑み、ノイズを拾いにくい熱電対を用いた
炉温測定方法及び熱電対を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
この発明は熱電対を構成する２本の導体のそれぞれに、
接触させる先端部を除いて絶縁処理を施し、この２本の
導体を等間隔ごとにねじった形にして構成した熱電対を
用いて炉内温度を測定するようにした。
接触させる先端部を除いて絶縁処理を施し、この２本の
導体を等間隔ごとにねじった形にして構成した熱電対を
用いて炉内温度を測定するようにした。
（作用）
上述のように、等間隔ごとにねじった形としたことがノ
イズを拾いにくい構造となって正確な測温かできる。ま
た絶縁処理はねじったときに２本の導体がショートする
のを防くよう作用する。
イズを拾いにくい構造となって正確な測温かできる。ま
た絶縁処理はねじったときに２本の導体がショートする
のを防くよう作用する。
（実施例）
第１図は本発明の実施例を示す概略図である。
第１図かられかるように、熱電対１０を構成する２本の
導体１０ａ、１０ｂは端部１０ｃで接触しており、かつ
等間隔ごとにねじり処理が施されている。ねじり処理は
可能な限り２本の導体と接近させるようにし、又ねじり
のピッチは、等しくなるようにすることが重要である。
導体１０ａ、１０ｂは端部１０ｃで接触しており、かつ
等間隔ごとにねじり処理が施されている。ねじり処理は
可能な限り２本の導体と接近させるようにし、又ねじり
のピッチは、等しくなるようにすることが重要である。
この実施例では２Ｏｎ＋ｍごとにねじり処理を施こして
いる。なお、２本の導体１０ａ、１０ｂはこの実施例で
は白金、ロジウムをそれぞれ用いている。さらにこれら
の導体１０ ａ、 １０ ｂはねじり処理によりショ
ートすることを防止するために、接触させるための先端
（第１図の１００）を除いて、絶縁被膜で覆われている
。即ち、第３図で示す断面図かられかるように白金導体
１０ａ及びロジウム導体１０ｂは絶縁被膜１１で被覆さ
れている。なお、この実施例では絶縁被膜としてアルミ
ナ、酸化ボロン及びシリカ等の絶縁物から構成されたネ
クステル（スリーエム社商品名）を使用した。
いる。なお、２本の導体１０ａ、１０ｂはこの実施例で
は白金、ロジウムをそれぞれ用いている。さらにこれら
の導体１０ ａ、 １０ ｂはねじり処理によりショ
ートすることを防止するために、接触させるための先端
（第１図の１００）を除いて、絶縁被膜で覆われている
。即ち、第３図で示す断面図かられかるように白金導体
１０ａ及びロジウム導体１０ｂは絶縁被膜１１で被覆さ
れている。なお、この実施例では絶縁被膜としてアルミ
ナ、酸化ボロン及びシリカ等の絶縁物から構成されたネ
クステル（スリーエム社商品名）を使用した。
上述のように構成した熱電対を用いて炉温の測定を行な
う例を第４図に示す。
う例を第４図に示す。
第４図の電気炉４１は第２図のものと同様なため、説明
を省略する。本発明の熱電対４５は導線４５ａ （例え
ば白金）ともう一方の導線４５ｂ（例えばロジウム）が
２０ｍｍ間隔でねしり処理されている。この熱電対４５
は例えば高純度石英で構成された熱伝導率の良い保護管
４６で保護されている。この熱電対４５は第２図同様微
小電圧計４７に接続されている。
を省略する。本発明の熱電対４５は導線４５ａ （例え
ば白金）ともう一方の導線４５ｂ（例えばロジウム）が
２０ｍｍ間隔でねしり処理されている。この熱電対４５
は例えば高純度石英で構成された熱伝導率の良い保護管
４６で保護されている。この熱電対４５は第２図同様微
小電圧計４７に接続されている。
このような熱電対４５で炉温を測定したところ、Ａ、Ｂ
、Ｃの箇所において、はぼ同様に正確な炉温を測定でき
、また１０００℃以上でもノイズに影響されない測温か
出来た。
、Ｃの箇所において、はぼ同様に正確な炉温を測定でき
、また１０００℃以上でもノイズに影響されない測温か
出来た。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明では等間隔でねしり処理を
施した熱電対を用いて炉温を測定したため、高温の測定
が可能となり、また炉内の全ての位置で誤差の少ない温
度測定が可能となった。
施した熱電対を用いて炉温を測定したため、高温の測定
が可能となり、また炉内の全ての位置で誤差の少ない温
度測定が可能となった。
第１図は本発明の熱電対を示す図、第２図は従来の炉温
測定を示す図、第３図は熱電対の導体の断面図、第４図
は本発明の炉温測定を示す図である。 １０．４５−・・熱電対、１０ａ、１０ｂ ４５ａ４
５ｂ・・・導線、１１・・・絶縁被膜。 ｏｂ ？Ｔ灯の導体の断面図 促辛のが逼−７１定 第２８
測定を示す図、第３図は熱電対の導体の断面図、第４図
は本発明の炉温測定を示す図である。 １０．４５−・・熱電対、１０ａ、１０ｂ ４５ａ４
５ｂ・・・導線、１１・・・絶縁被膜。 ｏｂ ？Ｔ灯の導体の断面図 促辛のが逼−７１定 第２８
Claims (2)
- （１）それぞれが異なる成分の金属で構成され、その端
部を除いて絶縁被膜で覆われている導体を２本準備し、 これら２本の導体の一端どうしを導通させ、この導通さ
せた一端を先頭として一定間隔ごとに前記２本の導体に
ねじり処理を行ない、 このねじり処理を行なった２本の導体を測温箇所に配置
し、 前記２本の導体の他端の電位差を計ることにより前記箇
所の測定を行なうことを特徴とする測温方法。 - （２）それぞれが異なる成分の金属で構成され、その端
部を除いて絶縁被膜で覆われている２本の導体を、その
一端部どうしを導通させ、かつこの導通させた端部を先
頭として一定間隔ごとに前記２本の導体をねじり処理し
たことを特徴とする測温体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13406590A JPH0429022A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 測定方法及びそれに用いる測温体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13406590A JPH0429022A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 測定方法及びそれに用いる測温体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0429022A true JPH0429022A (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=15119552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13406590A Pending JPH0429022A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 測定方法及びそれに用いる測温体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0429022A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011143021A (ja) * | 2010-01-13 | 2011-07-28 | Terumo Corp | 感温用カニューラおよび酸素濃縮装置 |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP13406590A patent/JPH0429022A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011143021A (ja) * | 2010-01-13 | 2011-07-28 | Terumo Corp | 感温用カニューラおよび酸素濃縮装置 |
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