JPH0870060A - セラミック多層パッケージ - Google Patents

セラミック多層パッケージ

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JPH0870060A
JPH0870060A JP20494494A JP20494494A JPH0870060A JP H0870060 A JPH0870060 A JP H0870060A JP 20494494 A JP20494494 A JP 20494494A JP 20494494 A JP20494494 A JP 20494494A JP H0870060 A JPH0870060 A JP H0870060A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base plate
frame
metal film
holes
package
Prior art date
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Pending
Application number
JP20494494A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideyuki Ishiwatari
秀幸 石渡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH0870060A publication Critical patent/JPH0870060A/ja
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 内部に構成されるマイクロ波集積回路装置な
どの特性を安定にでき、また、小形化ができるセラミッ
ク多層パッケージパッケージを提供すること。 【構成】 表面に電気回路が、裏面に接地面となる金属
膜が形成されたベースプレート11と、電気回路を囲む
ようにベースプレート上に配置され、ベースプレートと
反対側の面に金属膜が形成されたフレーム12と、ベー
スプレートの側面に形成される信号端子13a〜13d
とを具備し、フレームとベースプレートにスルーホール
14a〜14nを形成し、フレーム上面の金属膜とベー
スプレート裏面の金属膜を電気的に接続している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波集積回路、
例えばマイクロ波電力増幅器が内部に構成されるセラミ
ック多層パッケージに関する。
【0002】
【従来の技術】自動車電話やコードレス電話など移動体
通信機器に使用される部品は、小形で軽量、そして低コ
ストで量産性に優れるなどの条件が要求される。例えば
リードレスのセラミック多層パッケージは、これらの条
件を満たすものとして、近年、数多く使用されている。
【0003】ここで、従来のセラミック多層パッケージ
について、図2乃至図4を参照して説明する。図2は構
造全体を示す斜視図で、図3や図4は、それぞれ図2の
線A−Aや線B−Bで断面した図である。なお、図2乃
至図4においては、同一部分には同一の符号が付されて
いる。また、図2では全体の構成が分かるように上部を
覆う蓋が省略されている。
【0004】31はベースプレートで、例えば矩形のセ
ラミック基板である。ベースプレート31の裏面には金
属膜32が形成され接地面を構成している。また、ベー
スプレート31の表面には、MMICチップやMIC基
板がマウントされ、あるいは回路パターンがパターニン
グされ電気回路が形成される。
【0005】また、ベースプレート31上の周辺に沿っ
て矩形状のフレーム33が形成され、その上面には金属
膜34が形成されている。
【0006】そして、ベースプレート31とフレーム3
3の各側壁部分に連続するように断面が半円状の多数の
溝が形成され、フレーム33上面の金属膜34とベース
プレート31裏面の金属膜32を電気的に接続する接地
端子35a〜35d、35e〜35hを構成している。
また、ベースプレート31の他の2つの側壁部分には断
面が半円状の複数の溝が形成され、ベースプレート31
表面に形成される電気回路に信号を入力したりあるいは
出力する信号端子36a〜36d、36e〜36hを構
成している。なお、信号端子36e〜36hは、図面の
関係から図2には示されていない。また、信号端子例え
ば36a、36hはベースプレート31上に形成された
電気回路、例えば信号ライン37a、37hに接続され
ている。また、信号端子例えば36a、36hの下端
は、ベースプレート31裏面の一部に形成された導電パ
ターン38a、38hに接続されている。
【0007】そして、表面が金属メッキされたセラミッ
ク基板や金属板などの蓋39で、フレーム33上方の開
口を覆うことにより、ベースプレート31上の電気回路
を電気的にシールドするパッケージが構成される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来のセラミック多層
パッケージでは、フレーム33の上面に金属膜34を形
成し、この金属膜34を接地端子35a〜35hによっ
て接地している。したがって直流的(十分低周波)には
接地状態になっている。しかし、1GHz以上のマイク
ロ波帯になると、分布定数効果のため完全な接地状態に
ならない。例えば図3の点X、即ち、ベースプレート3
1裏面の金属膜の端を0Vとすると、フレーム33上面
の外側の点Y、そして内側の点Zのように、点Xから遠
くなるにつれて電位が高くなる。このため、フレーム3
3上面の内側の電位が最も高くなる。このようにフレー
ム33上面の電位が高くなると、フレーム33の金属膜
34とベースプレート31上の信号ライン26a、26
hが、図4の点線Cで示すように容量結合を起こす。
【0009】したがって、パッケージ内部に例えば電力
増幅器が構成されている場合、信号ライン26a、26
hとフレーム33上面の金属膜34の容量結合によっ
て、図5で示されるように帰還回路51が形成される。
なお、図5においてC1、C2は結合容量、そしてLは
フレーム上面の誘導成分である。また、50は電力増幅
素子、そしてINは入力端子、OUTは出力端子であ
る。この構成で、帰還回路51の共振周波数が電力増幅
素子50が増幅しようとする周波数f0 に近くなると発
振する恐れがある。
【0010】ところで、上記した問題を解決するため
に、フレーム33の周囲全体に接地端子を設け、フレー
ム33の上面から電位が高い点をなくすことが考えられ
る。この場合、接地端子と信号端子が接近して設けられ
る。しかし、パッケージが小形化してくると、信号端子
や接地端子を形成する半円状の溝の分布が密になり、強
度的な問題が出て来る。このため、信号端子と接地端子
を接近して設けること難しくなり、フレーム33上面の
金属膜と信号ライン間の容量結合をなくすことができな
い。
【0011】本発明は、上記した欠点を解決するもの
で、内部に構成されるマイクロ波集積回路装置などの特
性を安定にでき、また、小形化ができるセラミック多層
パッケージパッケージを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、電気回路が形
成される領域を表面に有し、接地面となる金属膜が裏面
に形成されたベースプレートと、前記領域を囲むように
前記ベースプレート上に配置され、前記ベースプレート
と反対側の上面に金属膜が形成されたフレームと、前記
ベースプレートの側面に形成される信号端子とを具備し
たセラミック多層パッケージにおいて、前記フレームと
前記ベースプレートにスルーホールを形成し、前記フレ
ーム上面の金属膜と前記ベースプレート裏面の金属膜
を、前記スルーホールを通して電気的に接続している。
【0013】また、前記フレームと前記ベースプレート
に形成されるスルーホールが同じ位置に形成され、前記
フレームから前記ベースプレートに連続するようにして
いる。 また、前記スルーホールを、前記フレームの延
長方向に沿って複数個形成し、かつ互いの間隔を前記回
路パターンを伝送する信号の波長より小さくしている。
【0014】
【作用】上記した構成によれば、フレームとベースプレ
ートにそれぞれスルーホールが形成されている。そし
て、このスルーホールを接地端子として利用し、フレー
ム上面の金属膜を接地している。したがって、フレーム
上面の金属膜を接地する接地端子を、ベースプレートの
側面に信号端子と一緒に形成する必要がなくなる。この
ため、セラミック多層パッケージが小形化しても、フレ
ームの延長方向に数多くの接地端子を形成することがで
き、電位が高くなる箇所をフレーム上面からなくせる。
【0015】また、フレームやベースプレートに形成さ
れるスルーホールを同じ位置にし、フレーム上面からベ
ースプレート裏面までスルーホールが連続するようにす
れば、フレーム上面の金属膜とベースプレート裏面の金
属膜の距離が短くなる。したがって、フレーム上面にお
ける電位の上昇がその分抑えられる。この結果、帰還回
路などの発生を少なくできる。また、帰還回路が発生し
ても、帰還回路の共振周波数が高くなり電力増幅器の発
振などを防げる。
【0016】
【実施例】本発明の一実施例について図1を参照して説
明する。図1は全体の構造を示した斜視図である。
【0017】11はベースプレートで、裏面には、接地
面となる金属膜が形成される。また、ベースプレート1
1の表面は、MMICチップやMIC基板がマウントさ
れ、あるいは回路パターンがパターニングされ、電気回
路(図示せず)が形成される領域になっている。また、
ベースプレート11の側面には断面が半円の複数の溝が
形成され、信号端子13a〜13dを構成している。こ
れらの信号端子13a〜13dは、ベースプレート11
表面に形成される電気回路に信号を入力し、あるいは信
号を出力するために使用される。
【0018】そして、ベースプレート11上の電気回路
が形成される領域を囲むように、ベースプレート11の
周辺に沿ってフレーム12が配置されている。フレーム
12は断面が矩形をしており、その上側の面、即ちベー
スプレート11と反対側の面には金属膜が形成されてい
る。
【0019】そして、フレーム12の中央部には、フレ
ーム12上面からベースプレート11の裏面を結ぶ多数
のスルーホール14a〜14nが、フレーム12の延長
方向に沿って形成されている。このとき、スルーホール
14a〜14nの互いの間隔は、ベースプレート11表
面の電気回路を伝送する信号の波長より小さくなるよう
にされる。また、スルーホール14a〜14nの内面に
は導電層が形成され、フレーム12上面の金属膜とベー
スプレート11裏面の金属膜を電気的に接続し、フレー
ム12上面の金属膜を接地している。また、表面が金属
メッキされたセラミック基板や金属板などの蓋(図示せ
ず)によって、フレーム12上方の開口が覆われ、ベー
スプレート11上に形成された電気回路を電気的にシー
ルドする。
【0020】なお、上記した実施例では、各スルーホー
ル14a〜14nがフレーム12とベースプレート11
の同じ位置に設けられ、フレーム12上面からベースプ
レート11裏面まで連続するように形成されている。し
かし、スルーホールは、フレーム12部分とベースプレ
ート11部分とで必ずしも連続させる必要はない。この
場合、ベースプレート11の例えばフレーム12と接す
る面に金属膜などを形成し、フレーム12に形成された
スルーホールとベースプレート11に形成されたスルー
ホールとが電気的に接続するようにする。
【0021】
【発明の効果】本発明によれば、内部に構成されるマイ
クロ波集積回路装置などの特性を安定にでき、また、小
形化できるセラミック多層パッケージパッケージを実現
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図2】従来例を示す斜視図である。
【図3】従来例の断面図である。
【図4】従来例の断面図である。
【図5】従来例を説明する回路図である。
【符号の説明】
11…ベースプレート 12…フレーム 13a〜13d…信号端子 14a〜14n…スルーホール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/46 H 6921−4E

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気回路が形成される領域を表面に有
    し、接地面となる金属膜が裏面に形成されたベースプレ
    ートと、前記領域を囲むように前記ベースプレート上に
    配置され、前記ベースプレートと反対側の上面に金属膜
    が形成されたフレームと、前記ベースプレートの側面に
    形成される信号端子とを具備したセラミック多層パッケ
    ージにおいて、前記フレームと前記ベースプレートにス
    ルーホールを形成し、前記フレーム上面の金属膜と前記
    ベースプレート裏面の金属膜を、前記スルーホールを通
    して電気的に接続したことを特徴とするセラミック多層
    パッケージ。
  2. 【請求項2】 前記フレームと前記ベースプレートに形
    成されるスルーホールが同じ位置に形成され、前記フレ
    ームから前記ベースプレートに連続するようにしたこと
    を特徴とする請求項1記載のセラミック多層パッケー
    ジ。
  3. 【請求項3】 前記スルーホールを、前記フレームの延
    長方向に沿って複数個形成し、かつ互いの間隔を前記回
    路パターンを伝送する信号の波長より小さくしたことを
    特徴とする請求項1または請求項2記載のセラミック多
    層パッケージ。
JP20494494A 1994-08-30 1994-08-30 セラミック多層パッケージ Pending JPH0870060A (ja)

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JP20494494A JPH0870060A (ja) 1994-08-30 1994-08-30 セラミック多層パッケージ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11265957A (ja) * 1998-03-16 1999-09-28 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc セラミックパッケージ基体及びその製造方法
JP2009010671A (ja) * 2007-06-28 2009-01-15 Daishinku Corp 圧電振動デバイス
JP2009010660A (ja) * 2007-06-27 2009-01-15 Daishinku Corp 圧電振動デバイス

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11265957A (ja) * 1998-03-16 1999-09-28 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc セラミックパッケージ基体及びその製造方法
JP2009010660A (ja) * 2007-06-27 2009-01-15 Daishinku Corp 圧電振動デバイス
JP2009010671A (ja) * 2007-06-28 2009-01-15 Daishinku Corp 圧電振動デバイス

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