JPH086319Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH086319Y2 JPH086319Y2 JP503891U JP503891U JPH086319Y2 JP H086319 Y2 JPH086319 Y2 JP H086319Y2 JP 503891 U JP503891 U JP 503891U JP 503891 U JP503891 U JP 503891U JP H086319 Y2 JPH086319 Y2 JP H086319Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- conductor
- intermediate conductor
- electron beam
- shield
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Coating Apparatus (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、塗料や樹脂等の各種
被照射体に電子線を照射する電子線照射装置に関するも
のである。
被照射体に電子線を照射する電子線照射装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子線照射装置の一例を図２に基
づいて説明する。図２は電子線照射装置の縦断面概略図
である。この電子線照射装置は、真空チャンバー１の内
部に配置したカソード３を備えたシールド電極２から放
射される電子線を、チタン（Ti）等の金属箔膜が張られ
た照射窓４から外部に向けて照射するようにしたもので
ある。
づいて説明する。図２は電子線照射装置の縦断面概略図
である。この電子線照射装置は、真空チャンバー１の内
部に配置したカソード３を備えたシールド電極２から放
射される電子線を、チタン（Ti）等の金属箔膜が張られ
た照射窓４から外部に向けて照射するようにしたもので
ある。
【０００３】この電子線照射装置は、排気部９から真空
ポンプ１０で内部を真空状態に保持できる真空チャンバ
ー１と、内部にＳＦ6 などの絶縁性のガスが封入される
とともに接地されているタンク８とを備え、真空チャン
バー１とタンク８との間に絶縁支持体７を設けている。
真空チャンバー１に対して絶縁状態となるように絶縁支
持体７の中央部に中空筒状の中間導体１１を貫挿し、こ
の中間導体１１の内部に高圧導体６を挿入配置し、真空
チャンバー１の内部となる中間導体１１の一端部に絶縁
碍子１３を介在させて加熱用の電力を供給する供電線５
が接続されたシールド電極２を固定している。中間導体
１１の他端部の端部面に複数本の絶縁支柱１８を立設
し、中間導体１１の他端部から突出した高圧導体６の端
部および絶縁支柱１８に、加速電圧（−HV）を印加する
シールドフランジ１７を固定している。
ポンプ１０で内部を真空状態に保持できる真空チャンバ
ー１と、内部にＳＦ6 などの絶縁性のガスが封入される
とともに接地されているタンク８とを備え、真空チャン
バー１とタンク８との間に絶縁支持体７を設けている。
真空チャンバー１に対して絶縁状態となるように絶縁支
持体７の中央部に中空筒状の中間導体１１を貫挿し、こ
の中間導体１１の内部に高圧導体６を挿入配置し、真空
チャンバー１の内部となる中間導体１１の一端部に絶縁
碍子１３を介在させて加熱用の電力を供給する供電線５
が接続されたシールド電極２を固定している。中間導体
１１の他端部の端部面に複数本の絶縁支柱１８を立設
し、中間導体１１の他端部から突出した高圧導体６の端
部および絶縁支柱１８に、加速電圧（−HV）を印加する
シールドフランジ１７を固定している。
【０００４】なお、絶縁支持体７は前述したように中間
導体１１やシールド電極２を機械的に支持する他に、中
間導体１１やシールド電極２と真空チャンバー１との間
を絶縁するとともに、真空チャンバー１とタンク８とを
仕切ることによって、真空チャンバー１の内部を真空に
維持する作用を果たしている。また、絶縁支柱１８は、
絶縁碍子１３にタンク８内に封入された絶縁性のガスの
ガス圧による引っ張り力およびシールド電極３の自重に
よる曲げモーメントが加わるのを軽減する作用を果たし
ている。
導体１１やシールド電極２を機械的に支持する他に、中
間導体１１やシールド電極２と真空チャンバー１との間
を絶縁するとともに、真空チャンバー１とタンク８とを
仕切ることによって、真空チャンバー１の内部を真空に
維持する作用を果たしている。また、絶縁支柱１８は、
絶縁碍子１３にタンク８内に封入された絶縁性のガスの
ガス圧による引っ張り力およびシールド電極３の自重に
よる曲げモーメントが加わるのを軽減する作用を果たし
ている。
【０００５】このような構成の電子線照射装置におい
て、給電線５で供給される電力により加熱されたカソー
ド３から放出された熱電子は、高圧導体６でシールド電
極２に供給される加速電圧（−HV）によって加速されて
照射窓４を通して大気中に取り出され、試料（図示せ
ず）に照射される。このとき、高圧導体６とタンク８と
の間に接続されるとともに結合点が中間導体１１に接続
された第１および第２分圧抵抗１５，１６は、その分圧
比によって印加される加速電圧（−HV）を分圧し、絶縁
支持体７と絶縁碍子１３および絶縁支柱１８に加わる電
位を固定する機能を果たしている。
て、給電線５で供給される電力により加熱されたカソー
ド３から放出された熱電子は、高圧導体６でシールド電
極２に供給される加速電圧（−HV）によって加速されて
照射窓４を通して大気中に取り出され、試料（図示せ
ず）に照射される。このとき、高圧導体６とタンク８と
の間に接続されるとともに結合点が中間導体１１に接続
された第１および第２分圧抵抗１５，１６は、その分圧
比によって印加される加速電圧（−HV）を分圧し、絶縁
支持体７と絶縁碍子１３および絶縁支柱１８に加わる電
位を固定する機能を果たしている。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構造では、絶縁支持体７の沿面などで放電が発生し
た場合、中間導体１１が接地電位に近づき、第１分圧抵
抗１５に高圧導体６とタンク８に印加さる加速電圧（−
HV）のほぼ１００％が印加され、第１分圧抵抗１５を破
壊する可能性がある。
うな構造では、絶縁支持体７の沿面などで放電が発生し
た場合、中間導体１１が接地電位に近づき、第１分圧抵
抗１５に高圧導体６とタンク８に印加さる加速電圧（−
HV）のほぼ１００％が印加され、第１分圧抵抗１５を破
壊する可能性がある。
【０００７】この考案の目的は、加速電圧（−HV）を安
定に保持する機能を持つ第１分圧抵抗が破壊することな
く、中間導体と高圧導体との隙間で発生する電界の乱れ
による放電が発生しない電子線照射装置を提供すること
である。
定に保持する機能を持つ第１分圧抵抗が破壊することな
く、中間導体と高圧導体との隙間で発生する電界の乱れ
による放電が発生しない電子線照射装置を提供すること
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この考案の電子線照射装
置は、真空チャンバーとタンクとの間に仕切用の絶縁支
持体を設け、中空筒状の中間導体を絶縁支持体の中央部
に貫通支持させ、この中間導体の内部に高圧導体を挿入
配置し、真空チャンバーの内部に突入した中間導体の一
端部に絶縁碍子を介在させてシールド電極を固定し、中
間導体の他端部に絶縁支柱を立設するとともに、中間導
体の他端部から突出した高圧導体の端部にシールドフラ
ンジを固定し、このシールドフランジと中間導体との間
に第１分圧抵抗を、中間導体とタンクとの間に第２分圧
抵抗をそれぞれ接続し、中間導体の他端部とシールドフ
ランジとの間に、絶縁支柱と平行に保護ギャップを設け
たものである。
置は、真空チャンバーとタンクとの間に仕切用の絶縁支
持体を設け、中空筒状の中間導体を絶縁支持体の中央部
に貫通支持させ、この中間導体の内部に高圧導体を挿入
配置し、真空チャンバーの内部に突入した中間導体の一
端部に絶縁碍子を介在させてシールド電極を固定し、中
間導体の他端部に絶縁支柱を立設するとともに、中間導
体の他端部から突出した高圧導体の端部にシールドフラ
ンジを固定し、このシールドフランジと中間導体との間
に第１分圧抵抗を、中間導体とタンクとの間に第２分圧
抵抗をそれぞれ接続し、中間導体の他端部とシールドフ
ランジとの間に、絶縁支柱と平行に保護ギャップを設け
たものである。
【０００９】
【作用】この考案の電子線照射装置は、絶縁支持体に支
持された中間導体の他端に絶縁支柱を立設し、中間導体
の他端部から突出した高圧導体の端部にシールドフラン
ジを固定し、このシールドフランジとタンクとの間に第
１および第２分圧抵抗を直列に接続し、中間導体の他端
部とシールドフランジとの間に絶縁支柱と平行に保護ギ
ャップを設けたので、シールド電極の高圧電極部および
高圧導体と中間導体との間に印加される所定値を超える
電圧（異常電圧）を、保護ギャップで放電させることが
できる。
持された中間導体の他端に絶縁支柱を立設し、中間導体
の他端部から突出した高圧導体の端部にシールドフラン
ジを固定し、このシールドフランジとタンクとの間に第
１および第２分圧抵抗を直列に接続し、中間導体の他端
部とシールドフランジとの間に絶縁支柱と平行に保護ギ
ャップを設けたので、シールド電極の高圧電極部および
高圧導体と中間導体との間に印加される所定値を超える
電圧（異常電圧）を、保護ギャップで放電させることが
できる。
【００１０】また、保護ギャップを中間導体の他端部と
シールドフランジとの間に設けたので、中間導体と高圧
導体との隙間で電界が乱れるのを防ぐことができる。
シールドフランジとの間に設けたので、中間導体と高圧
導体との隙間で電界が乱れるのを防ぐことができる。
【００１１】
【実施例】この考案の電子線照射装置の一実施例を図１
に基づいて説明する。図１は中間導体１１の他端部付近
の要部拡大縦断面図であり、従来例と同一部分または相
当部分には同一符号を付しており、その詳しい説明は省
略する。図１のように、絶縁支持体７には中間導体１１
が貫通しており、この中間導体１１は真空チャンバー
（図示せず）とタンク（図示せず）とによって支持され
ている。
に基づいて説明する。図１は中間導体１１の他端部付近
の要部拡大縦断面図であり、従来例と同一部分または相
当部分には同一符号を付しており、その詳しい説明は省
略する。図１のように、絶縁支持体７には中間導体１１
が貫通しており、この中間導体１１は真空チャンバー
（図示せず）とタンク（図示せず）とによって支持され
ている。
【００１２】中間導体１１の他端部の端部面に複数本の
絶縁支柱１８がたとえば円周上に立設され、中間導体１
１の他端部から突出した高圧導体６の端部に加速電圧
（−HV）を印加するシールドフランジ１７を固定し、こ
のシールドフランジ１７とタンク（図示せず）との間
に、前述の従来例と同様に第１および第２分圧抵抗１
５，１６を接続している。
絶縁支柱１８がたとえば円周上に立設され、中間導体１
１の他端部から突出した高圧導体６の端部に加速電圧
（−HV）を印加するシールドフランジ１７を固定し、こ
のシールドフランジ１７とタンク（図示せず）との間
に、前述の従来例と同様に第１および第２分圧抵抗１
５，１６を接続している。
【００１３】そして、中間導体１１の他端部とシールド
フランジ１７との各々に、絶縁支柱１８と平行にギャッ
プ部材１４ａ，１４ｂを配置し、保護ギャップ１４を構
成している。なお、この保護ギャップ１４は必要に応じ
て複数個を円周上に配置してもよいのは勿論である。こ
のような構成の電子線照射装置において電子線を照射す
るときは、図２に示した従来例と同様に、給電線５（図
２）で供給される電力により加熱されたカソード３から
放出された熱電子が、高圧導体６を介してシールド電極
２に供給された加速電圧（−HV）によって加速されて照
射窓４を通して大気中に取り出され、試料（図示せず）
に照射される。
フランジ１７との各々に、絶縁支柱１８と平行にギャッ
プ部材１４ａ，１４ｂを配置し、保護ギャップ１４を構
成している。なお、この保護ギャップ１４は必要に応じ
て複数個を円周上に配置してもよいのは勿論である。こ
のような構成の電子線照射装置において電子線を照射す
るときは、図２に示した従来例と同様に、給電線５（図
２）で供給される電力により加熱されたカソード３から
放出された熱電子が、高圧導体６を介してシールド電極
２に供給された加速電圧（−HV）によって加速されて照
射窓４を通して大気中に取り出され、試料（図示せず）
に照射される。
【００１４】このとき、シールド電極２（図２）の高圧
電極部１２および高圧導体６と中間導体１１との間に所
定値を超える電圧（異常電圧）が印加された場合、この
電圧（異常電圧）を中間導体１１の他端部とシールドフ
ランジ１７との間に配置した保護ギャップ１４で放電さ
せるので、第１分圧抵抗１５を破壊することがない。ま
た、保護ギャップ１４を中間導体１１の他端部とシール
ドフランジ１７との各々に設けたギャップ部材１４ａ，
１４ｂで構成したので、中間導体１１と高圧導体６との
隙間での電界の乱れによる放電が発生しない。
電極部１２および高圧導体６と中間導体１１との間に所
定値を超える電圧（異常電圧）が印加された場合、この
電圧（異常電圧）を中間導体１１の他端部とシールドフ
ランジ１７との間に配置した保護ギャップ１４で放電さ
せるので、第１分圧抵抗１５を破壊することがない。ま
た、保護ギャップ１４を中間導体１１の他端部とシール
ドフランジ１７との各々に設けたギャップ部材１４ａ，
１４ｂで構成したので、中間導体１１と高圧導体６との
隙間での電界の乱れによる放電が発生しない。
【００１５】
【考案の効果】この考案の電子線照射装置は、絶縁支持
体に支持された中間導体の他端に絶縁支柱を立設し、中
間導体の他端部から突出した高圧導体の端部にシールド
フランジを固定し、このシールドフランジとタンクとの
間に第１および第２分圧抵抗を接続し、中間導体の他端
部とシールドフランジとの間に絶縁支柱と平行に保護ギ
ャップを設けたことにより、シールド電極の高圧電極部
および高圧導体と中間導体との間に印加される所定値を
超える電圧（異常電圧）を、保護ギャップで放電させる
ことができ、高圧導体を介してシールド電極に供給され
る加速電圧（−HV）を分圧する第１分圧抵抗を破壊する
ことがない。
体に支持された中間導体の他端に絶縁支柱を立設し、中
間導体の他端部から突出した高圧導体の端部にシールド
フランジを固定し、このシールドフランジとタンクとの
間に第１および第２分圧抵抗を接続し、中間導体の他端
部とシールドフランジとの間に絶縁支柱と平行に保護ギ
ャップを設けたことにより、シールド電極の高圧電極部
および高圧導体と中間導体との間に印加される所定値を
超える電圧（異常電圧）を、保護ギャップで放電させる
ことができ、高圧導体を介してシールド電極に供給され
る加速電圧（−HV）を分圧する第１分圧抵抗を破壊する
ことがない。
【００１６】また、保護ギャップを中間導体の他端部と
シールドフランジとの各々に設けたギャップ部材で構成
したので、中間導体と高圧導体との隙間での電界を乱さ
ず、異常放電の発生を軽減することができる。
シールドフランジとの各々に設けたギャップ部材で構成
したので、中間導体と高圧導体との隙間での電界を乱さ
ず、異常放電の発生を軽減することができる。
【図１】この考案の電子線照射装置の一実施例の要部拡
大縦断面図である。
大縦断面図である。
【図２】従来の電子線照射装置の縦断面概略図である。
６ 高圧導体 ７ 絶縁支持体 １１ 中間導体 １４ａ，１４ｂ ギャップ部材 １４ 保護ギャップ １５ 第１分圧抵抗 １６ 第２分圧抵抗 １７ シールドフランジ １８ 絶縁支柱
Claims (1)
- 【請求項１】 真空チャンバーとタンクとの間に仕切用
の絶縁支持体を設け、中空筒状の中間導体を前記絶縁支
持体の中央部に貫通支持させ、この中間導体の内部に高
圧導体を挿入配置し、前記真空チャンバーの内部に突入
した前記中間導体の一端部に絶縁碍子を介在させてシー
ルド電極を固定し、前記中間導体の他端部に絶縁支柱を
立設するとともに、前記中間導体の他端部から突出した
前記高圧導体の端部にシールドフランジを固定し、この
シールドフランジと前記中間導体との間に第１分圧抵抗
を、前記中間導体と前記タンクとの間に第２分圧抵抗を
それぞれ接続し、前記中間導体の他端部と前記シールド
フランジとの間に、前記絶縁支柱と平行に保護ギャップ
を設けたことを特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP503891U JPH086319Y2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP503891U JPH086319Y2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04102100U JPH04102100U (ja) | 1992-09-03 |
| JPH086319Y2 true JPH086319Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31735291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP503891U Expired - Lifetime JPH086319Y2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086319Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-12 JP JP503891U patent/JPH086319Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04102100U (ja) | 1992-09-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |