JPH0860368A - 成膜装置のクリーニングガスおよびクリーニング方法 - Google Patents
成膜装置のクリーニングガスおよびクリーニング方法Info
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
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Abstract
珪素、タングステンをクリーニングするガスおよびその
クリーニング方法を提供する。 【構成】CF4 またはC2 F6 に1〜50vol%のF
2 、ClF3 、BrF3、BrF5 のうち少なくとも1
種以上を混合せしめたガスで、これを用いてクリーニン
グし、特に、20〜500℃の温度範囲でプラズマレス
クリーニングする。
Description
材料等の分野において、CVD等により珪素、窒化珪
素、タングステン等を成膜する装置に堆積する不要膜状
物をクリーニングするためのクリーニングガスおよびク
リーニング方法に関する。
等を成膜すると装置内部には膜状や粉体状の珪素、窒化
珪素等が堆積する。これらは、剥がれを起こし製品とな
る膜に取り込まれ、汚染原因となるため随時クリーニン
グする必要がある。これらのクリーニングにおいてC2
F6 、CF4 に酸素や塩素を添加したガスでプラズマク
リーニングする方法(特開昭53−7549号、特開昭
63−260031号、特開昭64−87773号等)
があり、プラズマ領域内にある膜状、粉状のクリーニン
グ対象物は除去できるがプラズマ領域外にあるものはク
リーニングできない。さらに、窒化珪素や珪素をクリー
ニングした場合において、N2 でクリーニングガスを希
釈した場合などは珪フッ化アンモニウムやフッ化炭素の
粉体が生成し、クリーニングそのものが二次的に汚染物
を生成する原因となる。
の検討の結果、当該装置をC2 F6 、CF4 にF2 、C
lF3 、BrF3 、BrF5 を混合したガスでプラズマ
クリーニングまたはプラズマレスクリーニングすること
によりプラズマ領域内外にあるクリーニング対象物を除
去するとともに前述した二次的な汚染物を生成すること
なくクリーニングできることを見いだした。
グステンを成膜する装置の堆積物を除去するために、C
F4 またはC2 F6 に0.1〜50vol%のF2 、C
lF 3 、BrF3 、BrF5 のうち少なくとも1種以上
を混合せしめたクリーニングガスで、これを用いてプラ
ズマクリーニングする方法、および20〜500℃の温
度範囲でプラズマレスクリーニングする方法を提供する
ものである。
3 、BrF5 は配管中で混合してもかまわないが、F2
に関してはボンベ中で予めC2 F6 、CF4 と混合した
ガスを用いても良い。さらに、必要に応じてO2 を添加
したりN2 で希釈して用いても良い。F2 、ClF3 、
BrF3 、BrF5 の添加量は二次的副生物の抑制のた
めにはなるべく多い方が好ましいが、このように活性な
ガスをプラズマ中で更に活性化させて用いるとプラズマ
雰囲気にある装置材料の損傷の恐れがあるため好ましく
なく、あまり添加量が少ないと効果が少なく好ましくな
い。従って、混合量はクリーニングガス量の0.1〜5
0vol%、更に好ましくは1〜20vol%の範囲が
好ましい。また、C2 F6 に添加する場合、活性ガス量
があまり多いとC2 F6 の一部と反応し、C2 F6 の分
解が進みCF4 を生成するがクリーニングの効果には影
響しない。クリーニングする圧力はプラズマを生成可能
な範囲であれば特に限定されない。
ガス組成物を20〜500℃の温度範囲で接触反応させ
ることにより除去することができる。反応温度が、20
℃未満だと反応速度が遅く、500℃を越えると装置の
腐食の問題と特にC2 F6 の場合活性ガスとの反応が起
こり反応装置内の急激な圧力上昇が起こるため好ましく
ない。より好ましくは100〜400℃の温度範囲が最
適である。
係る実施例に限定されるものではない。
度250℃、RF:300W、系内圧力1Torr)に
より無アルカリ硝子基板上に珪素を1μm成膜する工程
を10回繰り返した。その反応器内部をC2 F6 10v
ol%、O2 40vol%、N2 50vol%ガス(総
流量:500SCCM)で成膜時と同条件で20分間プ
ラズマクリーニングした。その後、反応装置を解体し内
部観察を行った結果、電極近傍はクリーニングされてい
たが、側壁にはアモルファス珪素膜、反応器底部や排気
配管中には膜状のアモルファス珪素と粉状のアモルファ
ス珪素化合物、珪フッ化アンモニウム、微量の炭素、フ
ッ素、酸素からなる化合物が堆積していた。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、ClF3
10vol%、N2 40vol%ガス(総流量:500
SCCM)で20分間プラズマクリーニングした。その
後反応装置を解体し内部観察をしたが反応器内部、配管
内部ともに堆積物は観察されなかった。
ングを行った結果を表1に記す。
マCVD(基板温度350℃、RF:300W、系内圧
力1Torr)により無アルカリ硝子基板上に窒化珪素
を1μm成膜する工程を10回繰り返した。その反応器
内部をC2 F610vol%、O2 40vol%、N2
50vol%ガスで成膜時と同条件で20分間プラズマ
クリーニングした。その後、反応装置を解体し内部観察
を行った結果、電極近傍はクリーニングされていたが、
側壁にはアモルファス窒化珪素膜、反応器底部や排気配
管中には膜状のアモルファスシリコンと粉状のアモルフ
ァス窒化珪素、珪フッ化アンモニウム、微量の炭素、フ
ッ素、酸素からなる化合物が堆積していた。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、ClF3
10vol%、N2 40vol%ガスで20分間プラズ
マクリーニングした。その後反応装置を解体し内部観察
をしたが反応器内部、配管内部ともに堆積物は観察され
なかった。
ングを行った結果を表2に記す。
上に1μm堆積させる操作を20回繰り返した後、C2
F6 10vol%、O2 40vol%、N2 50vol
%ガスで実施例1と同条件で1時間プラズマクリーニン
グを行った。クリーニング終了後反応器内部を観察した
ところ、電極近傍は完全にクリーニングされていたが、
反応器側壁にはW膜が堆積していた。
上に1μm堆積させる操作を20回繰り返した後、C2
F6 に F2 を10vol%添加したガスで20分間プ
ラズマクリーニングした。クリーニング後反応器内部を
観察したところ電極近傍も反応器側壁も完全にクリーニ
ングできていた。
上に1μm堆積させる操作を20回繰り返した後、CF
4 10vol%、O2 40vol%、N2 50vol%
ガスで比較例1と同条件で1時間プラズマクリーニング
を行った。クリーニング終了後反応器内部を観察したと
ころ、電極近傍は完全にクリーニングされていたが、反
応器側壁にはW膜が堆積していた。
上に1μm堆積させる操作を20回繰り返した後、CF
4 に F2 を10vol%添加したガスで20分間プラ
ズマクリーニングした。クリーニング後反応器内部を観
察したところ電極近傍も反応器側壁も完全にクリーニン
グできていた。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、N2 50
vol%ガス(総流量:500SCCM)を基板ホルダ
ー(電極部)温度250℃、反応器壁温度20℃で20
分間プラズマレスクリーニングした。その結果、反応器
内側壁には膜状アモルファス珪素、底部には粉状のアモ
ルファス珪素化合物、配管内には粉状のアモルファス珪
素化合物が堆積していた。さらに、1時間ガスを流通さ
せたがクリーニングはできなかった。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、F2 10
vol%、N2 40vol%ガス(総流量:500SC
CM、圧力:700Torr)を基板ホルダー(電極
部)温度250℃、反応器壁温度20℃で1時間プラズ
マレスクリーニングした。その後反応装置を解体し内部
観察をしたが反応器内部、配管内部ともに堆積物は観察
されなかった。また、F2 に代えてClF3 、Br
F3 、BrF5 を用いたが同様の結果を得た。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、N2 50
vol%ガス(総流量:500SCCM、圧力:700
Torr)を基板ホルダー(電極部)温度350℃、反
応器壁温度40℃、さらに配管部の温度100℃で20
分間プラズマレスクリーニングした。その結果、反応器
内側壁には膜状アモルファス窒化珪素、底部には粉状の
アモルファス珪素化合物、配管内には粉状のアモルファ
ス珪素化合物が堆積していた。さらに、1時間ガスを流
通させたがクリーニングはできなかった。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、F2 10
vol%、N2 40vol%ガス(総流量:500SC
CM、圧力:700Torr)を基板ホルダー(電極
部)温度350℃、反応器壁温度40℃、さらに配管部
の温度100℃で1時間プラズマレスクリーニングし
た。その後反応装置を解体し内部観察をしたが反応器内
部、配管内部ともに堆積物は観察されなかった。また、
F2 に代えてClF3 、BrF3 、BrF5 を用いたが
同様の結果を得た。
6 10vol%、O240vol%、N2 50vol%
ガス(総流量:500SCCM、圧力:700Tor
r)を反応器内部温度150℃で1時間プラズマレスク
リーニングしたが、反応器内部のタングステン膜はクリ
ーニングはできなかった。
F6 10vol%、O 2 40vol%、F2 10vol
%、N2 40vol%ガス(総流量:500SCCM、
圧力:700Torr)を反応器内部温度150℃で1
時間プラズマレスクリーニングした。その後反応装置を
解体し内部観察をしたが反応器内部、配管内部ともに堆
積物は観察されなかった。また、F2 に代えてCl
F3 、BrF 3 、BrF5 を用いたが同様の結果を得
た。
に1μm堆積させる操作を20回繰り返した後、C2 F
6 10vol%、O2 40vol%、N2 50vol%
ガス(総流量:500SCCM、圧力:700Tor
r)を反応器内部温度150℃で1時間プラズマレスク
リーニングしたが、反応器内部のWSix膜はクリーニ
ングはできなかった。
2 F6 10vol%、O2 40vol%、F2 10vo
l%、N2 40vol%ガス(総流量:500SCC
M、圧力:700Torr)を反応器内部温度150℃
で1時間プラズマレスクリーニングした。その後反応装
置を解体し内部観察をしたが反応器内部、配管内部とも
に堆積物は観察されなかった。また、F2 に代えてCl
F3 、BrF3 、BrF5 を用いたが同様の結果を得
た。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、BrF3
10vol%、N2 40vol%ガス(総流量:500
SCCM)で1時間プラズマクリーニングした。その後
反応装置を解体し内部観察をしたが反応器内部、配管内
部ともに堆積物は観察されなかった。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、BrF5
10vol%、N2 40vol%ガス(総流量:500
SCCM)で1時間プラズマクリーニングした。その後
反応装置を解体し内部観察をしたが反応器内部、配管内
部ともに堆積物は観察されなかった。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、BrF3
10vol%、N2 40vol%ガス(総流量:500
SCCM)で1時間プラズマクリーニングした。その後
反応装置を解体し内部観察をしたが反応器内部、配管内
部ともに堆積物は観察されなかった。
をC2 F6 10vol%、O2 40vol%、BrF5
10vol%、N2 40vol%ガス(総流量:500
SCCM)で1時間プラズマクリーニングした。その後
反応装置を解体し内部観察をしたが反応器内部、配管内
部ともに堆積物は観察されなかった。
リーニングした場合には、二次的汚染原因となる副生物
を発生するが、CF4 、C2 F6 にF2 、ClF3 、B
rF3、BrF5 を添加したガスを用いてCVD装置を
プラズマクリーニングまたはプラズマレスクリーニング
することにより、プラズマ領域外にある反応器側壁や配
管中もクリーニングすることができる。
Claims (3)
- 【請求項1】 珪素、窒化珪素、タングステンを成膜す
る装置の堆積物を除去するために、CF4 またはC2 F
6 に0.1〜50vol%のF2 、ClF3 、Br
F3 、BrF5 のうち少なくとも1種以上を混合せしめ
たことを特徴とするクリーニングガス。 - 【請求項2】 珪素、窒化珪素、タングステンを成膜す
る装置の堆積物を除去するために、CF4 またはC2 F
6 に0.1〜50vol%のF2 、ClF3 、Br
F3 、BrF5 のうち少なくとも1種以上を混合せしめ
たクリーニングガスを用いることを特徴とするクリーニ
ング方法。 - 【請求項3】 珪素、窒化珪素、タングステンを成膜す
る装置の堆積物を除去するために、CF4 またはC2 F
6 に0.1〜50vol%のF2 、ClF3 、Br
F3 、BrF5 のうち少なくとも1種以上を混合せしめ
たクリーニングガスを20〜500℃の温度範囲で用い
ることを特徴とするプラズマレスクリーニング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6196936A JP3025156B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 成膜装置のクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JPH0860368A true JPH0860368A (ja) | 1996-03-05 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11181421A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-06 | Central Glass Co Ltd | フッ化アンモニウムの付着した基体のクリーニング方法 |
EP1138802A2 (en) * | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Applied Materials, Inc. | Fluorine process for cleaning semiconductor process chamber |
JP2001345280A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-12-14 | Hideki Matsumura | 化学蒸着方法及び化学蒸着装置 |
JP2004153265A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-05-27 | Boc Group Inc:The | 酸化クリーニングガスを熱活性化する方法および装置 |
US6843258B2 (en) | 2000-12-19 | 2005-01-18 | Applied Materials, Inc. | On-site cleaning gas generation for process chamber cleaning |
WO2011012185A1 (de) * | 2009-07-26 | 2011-02-03 | Leybold Optics Gmbh | Reinigen einer prozesskammer |
-
1994
- 1994-08-22 JP JP6196936A patent/JP3025156B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11181421A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-06 | Central Glass Co Ltd | フッ化アンモニウムの付着した基体のクリーニング方法 |
EP1138802A2 (en) * | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Applied Materials, Inc. | Fluorine process for cleaning semiconductor process chamber |
JP2002033289A (ja) * | 2000-03-27 | 2002-01-31 | Applied Materials Inc | 半導体プロセスチャンバの洗浄方法 |
EP1138802A3 (en) * | 2000-03-27 | 2003-11-26 | Applied Materials, Inc. | Fluorine process for cleaning semiconductor process chamber |
KR100455459B1 (ko) * | 2000-03-27 | 2004-11-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 반도체 처리용 챔버를 세정하기 위한 불소 처리 방법 |
JP2001345280A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-12-14 | Hideki Matsumura | 化学蒸着方法及び化学蒸着装置 |
US6843258B2 (en) | 2000-12-19 | 2005-01-18 | Applied Materials, Inc. | On-site cleaning gas generation for process chamber cleaning |
US6981508B2 (en) | 2000-12-19 | 2006-01-03 | Applied Materials, Inc. | On-site cleaning gas generation for process chamber cleaning |
JP2004153265A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-05-27 | Boc Group Inc:The | 酸化クリーニングガスを熱活性化する方法および装置 |
WO2011012185A1 (de) * | 2009-07-26 | 2011-02-03 | Leybold Optics Gmbh | Reinigen einer prozesskammer |
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