JPH0857756A - ドーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用した研削方法 - Google Patents
ドーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用した研削方法Info
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- JPH0857756A JPH0857756A JP6219521A JP21952194A JPH0857756A JP H0857756 A JPH0857756 A JP H0857756A JP 6219521 A JP6219521 A JP 6219521A JP 21952194 A JP21952194 A JP 21952194A JP H0857756 A JPH0857756 A JP H0857756A
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- donut
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- annular recesses
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 粗仕上げから仕上げまでを短時間に行え、か
つダイヤモンド砥石の寿命を大幅に延ばせる高精度のド
ーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用した研削
方法を提供すること。 【構成】 高さの異なる一対の環状凹部８のダイヤモン
ド砥石面１２のダイヤモンドの粒度がそれぞれ上下で異
なっているため、例えば、粒度の大きなダイヤモンドを
有するダイヤモンド砥石面１２でドーナツ状基板の粗仕
上げ加工を行った後、次に研削工具を取り外すことなく
上下方向に移動するのみで、粒度の小さなダイヤモンド
を有するダイヤモンド砥石面１２’でのドーナツ状基板
の高精度な仕上げ研削を行える。
つダイヤモンド砥石の寿命を大幅に延ばせる高精度のド
ーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用した研削
方法を提供すること。 【構成】 高さの異なる一対の環状凹部８のダイヤモン
ド砥石面１２のダイヤモンドの粒度がそれぞれ上下で異
なっているため、例えば、粒度の大きなダイヤモンドを
有するダイヤモンド砥石面１２でドーナツ状基板の粗仕
上げ加工を行った後、次に研削工具を取り外すことなく
上下方向に移動するのみで、粒度の小さなダイヤモンド
を有するダイヤモンド砥石面１２’でのドーナツ状基板
の高精度な仕上げ研削を行える。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、板ガラス等の硬脆材料
を用いて製造されるドーナツ状基板の研削工具及び研削
方法に関する。
を用いて製造されるドーナツ状基板の研削工具及び研削
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度情報記録媒体に用いられるディス
ク基板の材料は、アルミ材等の金属材の他ガラス、セラ
ミック、プラスチック等の非金属材料が用いられてお
り、最近では平面性に優れるという理由でガラス等の材
料が多用されている。
ク基板の材料は、アルミ材等の金属材の他ガラス、セラ
ミック、プラスチック等の非金属材料が用いられてお
り、最近では平面性に優れるという理由でガラス等の材
料が多用されている。
【０００３】ディスク基板としては、一般にその中心部
に円孔を有するドーナツ状基板が多く用いられ、切出し
直後のガラス等のドーナツ状基板の場合は、その内外周
に切削時の微小な凹凸が残り、それらの凹凸の除去およ
び強度の向上を図る上で、周端面の仕上加工と面取りと
を行わなければならなかった。
に円孔を有するドーナツ状基板が多く用いられ、切出し
直後のガラス等のドーナツ状基板の場合は、その内外周
に切削時の微小な凹凸が残り、それらの凹凸の除去およ
び強度の向上を図る上で、周端面の仕上加工と面取りと
を行わなければならなかった。
【０００４】そのため、従来は、例えば、実開昭６３−
２０１０４８号公報および実開昭６３−６４４６０号公
報に示されるように、ガラスを図１０（イ）のようにド
ーナツ状に切出し、この切出したドーナツ状基板を真空
吸着テーブルの上に吸着固定し、その後内外周研削具内
に前記ドーナツ状基板を収納し、周壁部とコアー部の内
外周にそれぞれ形成された環状凹部に前記ドーナツ状基
板の内周部と周縁部とを当接させ、内外周研削具と真空
吸着テーブルとをそれぞれを回転させるとともに、内外
周研削具とドーナツ状基板との間に水平運動を与え、ド
ーナツ状基板の内周部と周縁部とを研削し、図１０
（ロ）のような研削仕上げ加工を行っていた。
２０１０４８号公報および実開昭６３−６４４６０号公
報に示されるように、ガラスを図１０（イ）のようにド
ーナツ状に切出し、この切出したドーナツ状基板を真空
吸着テーブルの上に吸着固定し、その後内外周研削具内
に前記ドーナツ状基板を収納し、周壁部とコアー部の内
外周にそれぞれ形成された環状凹部に前記ドーナツ状基
板の内周部と周縁部とを当接させ、内外周研削具と真空
吸着テーブルとをそれぞれを回転させるとともに、内外
周研削具とドーナツ状基板との間に水平運動を与え、ド
ーナツ状基板の内周部と周縁部とを研削し、図１０
（ロ）のような研削仕上げ加工を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のドーナツ状基板の研削工程にあっては、周壁部とコ
アー部の内外周にそれぞれ形成された一対の環状凹部で
一気にドーナツ状基板の研削を行うようにすると種々の
問題が発生する。
来のドーナツ状基板の研削工程にあっては、周壁部とコ
アー部の内外周にそれぞれ形成された一対の環状凹部で
一気にドーナツ状基板の研削を行うようにすると種々の
問題が発生する。
【０００６】即ち、環状凹部のダイヤモンド砥石面には
仕上げ研削に適した粒度のダイヤモンドが使用されてい
るため、ドーナツ状基板が図１０（イ）から図１０
（ロ）に変化するまで、言い換えると粗加工から仕上げ
加工まで同じ粒度のダイヤモンドが使用されることにな
り、研削時間が長時間となる。
仕上げ研削に適した粒度のダイヤモンドが使用されてい
るため、ドーナツ状基板が図１０（イ）から図１０
（ロ）に変化するまで、言い換えると粗加工から仕上げ
加工まで同じ粒度のダイヤモンドが使用されることにな
り、研削時間が長時間となる。
【０００７】また、仕上げ研削に適した細かい粒度のダ
イヤモンドで粗加工を行うとすると、ダイヤモンド砥石
面の寿命が短くなり、工具の取り換えを頻繁に行わなけ
ればならなくなる。
イヤモンドで粗加工を行うとすると、ダイヤモンド砥石
面の寿命が短くなり、工具の取り換えを頻繁に行わなけ
ればならなくなる。
【０００８】そこで、粗仕上げ加工と仕上げ加工とを別
々の工具を用いて同一の装置で２工程で行うとすると、
工具取り換えが必要になり、手間を要する。そこで、別
々の複数の装置で上述の２工程を行うとすると、ドーナ
ツ状基板を固定テーブルに設置する際、軸合せが煩雑に
なるばかりか、軸の中心が狂ってしまうとドーナツ状基
板の精度が落ちるといった問題がある。
々の工具を用いて同一の装置で２工程で行うとすると、
工具取り換えが必要になり、手間を要する。そこで、別
々の複数の装置で上述の２工程を行うとすると、ドーナ
ツ状基板を固定テーブルに設置する際、軸合せが煩雑に
なるばかりか、軸の中心が狂ってしまうとドーナツ状基
板の精度が落ちるといった問題がある。
【０００９】本発明は、上記のような問題に着目してな
されたもので、粗仕上げから仕上げまでを短時間に行
え、かつダイヤモンド砥石の寿命を大幅に延ばせる高精
度のドーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用し
た研削方法を提供することである。
されたもので、粗仕上げから仕上げまでを短時間に行
え、かつダイヤモンド砥石の寿命を大幅に延ばせる高精
度のドーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用し
た研削方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のドーナツ状基板
の研削工具は、コアー部材と、該コアー部材を包囲する
ように形成されたフレアー部材とからなるワークであ
り、コアー部材の外周部には上下位置に複数の環状凹部
が、さらにフレアー部材には前記コアー部材の外周の環
状凹部と同高さにやはり上下位置に複数の環状凹部が形
成されており、同高さの内外の環状凹部を一対として、
この一対の環状凹部は、他の異なる高さの一対の環状凹
部に対して粒度の異なるダイヤモンドを使用したダイヤ
モンド砥石面であることを特徴としている。もちろん、
環状凹部の形状は限定されるものではなく、全て同一形
状または相異ならせることも可能である。
の研削工具は、コアー部材と、該コアー部材を包囲する
ように形成されたフレアー部材とからなるワークであ
り、コアー部材の外周部には上下位置に複数の環状凹部
が、さらにフレアー部材には前記コアー部材の外周の環
状凹部と同高さにやはり上下位置に複数の環状凹部が形
成されており、同高さの内外の環状凹部を一対として、
この一対の環状凹部は、他の異なる高さの一対の環状凹
部に対して粒度の異なるダイヤモンドを使用したダイヤ
モンド砥石面であることを特徴としている。もちろん、
環状凹部の形状は限定されるものではなく、全て同一形
状または相異ならせることも可能である。
【００１１】本発明のドーナツ状基板の研削工具は、コ
アー部材と、該コアー部材を包囲するように形成された
フレアー部材とからなるワークであり、コアー部材の外
周部には上下位置に複数の環状凹部が、さらにフレアー
部材には前記コアー部材の外周の環状凹部と同高さにや
はり上下位置に複数の環状凹部が形成されており、同高
さの内外の環状凹部を一対として、この一対の環状凹部
は、他の異なる高さの一対の環状凹部に対して環状凹部
の開放角が相異なるように形成されたダイヤモンド砥石
面であると好ましい。
アー部材と、該コアー部材を包囲するように形成された
フレアー部材とからなるワークであり、コアー部材の外
周部には上下位置に複数の環状凹部が、さらにフレアー
部材には前記コアー部材の外周の環状凹部と同高さにや
はり上下位置に複数の環状凹部が形成されており、同高
さの内外の環状凹部を一対として、この一対の環状凹部
は、他の異なる高さの一対の環状凹部に対して環状凹部
の開放角が相異なるように形成されたダイヤモンド砥石
面であると好ましい。
【００１２】本発明のドーナツ状基板の研削工具は、一
対の環状凹部が、他の異なる高さの一対の環状凹部に対
して開放角を相違させるとともに、粒度の異なるダイヤ
モンドを使用したダイヤモンド砥石面にすることもでき
る。
対の環状凹部が、他の異なる高さの一対の環状凹部に対
して開放角を相違させるとともに、粒度の異なるダイヤ
モンドを使用したダイヤモンド砥石面にすることもでき
る。
【００１３】本発明のドーナツ状基板の研削工具は、コ
アー部材とフレアー部材とが同一シャンクを共有してい
ることが好ましい。
アー部材とフレアー部材とが同一シャンクを共有してい
ることが好ましい。
【００１４】本発明のドーナツ状基板の研削工具は、コ
アー部材とフレアー部材とが同回転軸を共有し、かつコ
アー部材とフレアー部材とはそれぞれ別々のシャンクを
有するようにすることもできる。
アー部材とフレアー部材とが同回転軸を共有し、かつコ
アー部材とフレアー部材とはそれぞれ別々のシャンクを
有するようにすることもできる。
【００１５】本発明のドーナツ状基板の研削工具は、コ
アー部材とフレアー部材とがそれぞれ回転軸の異なる別
々のシャンクを有していることが好ましい。
アー部材とフレアー部材とがそれぞれ回転軸の異なる別
々のシャンクを有していることが好ましい。
【００１６】本発明のドーナツ状基板の研削方法は、コ
アー部材とフレアー部材からなるワークの該コアー部材
にドーナツ状基板の中心孔を挿入して、該ドーナツ状基
板をコアー部材とフレアー部材との所定高さに位置する
環状凹部に位置させ、回転状態の前記ワークとドーナツ
状基板との間に相対的水平運動を与え、前記所定高さの
内外環状凹部でドーナツ状基板の内外周の粗仕上げ研削
を行い、続いて前記ワークの中心とドーナツ状基板の中
心とを接近させ、ワークとドーナツ状基板とを上下方向
に相対移動して、ドーナツ状基板を前記環状凹部と異な
る高さに位置する別の環状凹部に位置させ、再度、ワー
クとドーナツ状基板との間に偏心運動を与えてドーナツ
状基板の内外周の仕上げ研削を行うことを特徴としてい
る。
アー部材とフレアー部材からなるワークの該コアー部材
にドーナツ状基板の中心孔を挿入して、該ドーナツ状基
板をコアー部材とフレアー部材との所定高さに位置する
環状凹部に位置させ、回転状態の前記ワークとドーナツ
状基板との間に相対的水平運動を与え、前記所定高さの
内外環状凹部でドーナツ状基板の内外周の粗仕上げ研削
を行い、続いて前記ワークの中心とドーナツ状基板の中
心とを接近させ、ワークとドーナツ状基板とを上下方向
に相対移動して、ドーナツ状基板を前記環状凹部と異な
る高さに位置する別の環状凹部に位置させ、再度、ワー
クとドーナツ状基板との間に偏心運動を与えてドーナツ
状基板の内外周の仕上げ研削を行うことを特徴としてい
る。
【００１７】
【作用】高さの異なる一対の環状凹部のダイヤモンド砥
石面のダイヤモンドの粒度がそれぞれ上下で異なってい
るため、例えば、粒度の大きなダイヤモンドを有するダ
イヤモンド砥石面でドーナツ状基板の粗仕上げ加工を行
った後、次に研削工具を取り外すことなく上下方向に移
動するのみで、粒度の小さなダイヤモンドを有するダイ
ヤモンド砥石面でのドーナツ状基板の高精度な仕上げ研
削を一連の作業として行える（請求項１）。
石面のダイヤモンドの粒度がそれぞれ上下で異なってい
るため、例えば、粒度の大きなダイヤモンドを有するダ
イヤモンド砥石面でドーナツ状基板の粗仕上げ加工を行
った後、次に研削工具を取り外すことなく上下方向に移
動するのみで、粒度の小さなダイヤモンドを有するダイ
ヤモンド砥石面でのドーナツ状基板の高精度な仕上げ研
削を一連の作業として行える（請求項１）。
【００１８】高さの異なる一対のダイヤモンド砥石面の
環状凹部の開放角がそれぞれ上下で異なっているため、
ドーナツ状基板の仕上げ研削の前段階での粗仕上げ加工
を行った後、研削工具を取り外すことなく上下方向に移
動するのみで研削加工の少ないドーナツ状基板の仕上げ
研削を一連の作業として行える（請求項２）。
環状凹部の開放角がそれぞれ上下で異なっているため、
ドーナツ状基板の仕上げ研削の前段階での粗仕上げ加工
を行った後、研削工具を取り外すことなく上下方向に移
動するのみで研削加工の少ないドーナツ状基板の仕上げ
研削を一連の作業として行える（請求項２）。
【００１９】環状凹部の開放角とダイヤモンドの粒度と
をそれぞれ組み合わせることにより、より広範囲なドー
ナツ状基板の仕上げ加工ができる（請求項３）。
をそれぞれ組み合わせることにより、より広範囲なドー
ナツ状基板の仕上げ加工ができる（請求項３）。
【００２０】コアー部材とフレアー部材とを一体に同一
シャンクで回転できるようにすると、ワークの装着、取
り外しが容易なばかりか、コアー部材とフレアー部材と
の位置調整も省略できる（請求項４）。
シャンクで回転できるようにすると、ワークの装着、取
り外しが容易なばかりか、コアー部材とフレアー部材と
の位置調整も省略できる（請求項４）。
【００２１】コアー部材とフレアー部材とのシャンクを
別々にすることにより、コアー部材とフレアー部材との
回転数を変化させたり、コアー部材とフレアー部材との
回転方向を変化させることができ、ダイヤモンド砥石部
の長寿命化、さらにはドーナツ状基板の仕上げ速度の向
上等を図ることができる（請求項５、請求項６）。
別々にすることにより、コアー部材とフレアー部材との
回転数を変化させたり、コアー部材とフレアー部材との
回転方向を変化させることができ、ダイヤモンド砥石部
の長寿命化、さらにはドーナツ状基板の仕上げ速度の向
上等を図ることができる（請求項５、請求項６）。
【００２２】ワークの中心とドーナツ状基板の中心とを
接近させるのみで、ワークが回転中であったとしても、
自由にドーナツ状基板を高さの異なる他の環状凹部に移
動させることができるため、ドーナツ状基板の粗加工か
ら仕上げまでを高精度かつ短時間に処理できる（請求項
７）。
接近させるのみで、ワークが回転中であったとしても、
自由にドーナツ状基板を高さの異なる他の環状凹部に移
動させることができるため、ドーナツ状基板の粗加工か
ら仕上げまでを高精度かつ短時間に処理できる（請求項
７）。
【００２３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００２４】図１には、ガラス等の硬脆材料の板からな
るドーナツ状基板を研削するための研削工具１（以下、
ワークと言う）が示されており、天板２の上方にはシャ
ンク３が突設されているとともに、シャンク３と同軸下
方には円柱状のコアー部材４が延びており、また天板２
の円周部からは前記コアー部材４を包囲するようにフレ
アー部材５が垂設されている。
るドーナツ状基板を研削するための研削工具１（以下、
ワークと言う）が示されており、天板２の上方にはシャ
ンク３が突設されているとともに、シャンク３と同軸下
方には円柱状のコアー部材４が延びており、また天板２
の円周部からは前記コアー部材４を包囲するようにフレ
アー部材５が垂設されている。
【００２５】ワーク１は主に鋼製でできており、このコ
アー部材４の外周およびフレアー部材５の内周には、同
じ高さ位置に環状凹部８が複数本切設され、その形状は
断面がほぼ台形状をしている。ただし、断面台形に限ら
ずその用途によっては半月状または三角形になってもよ
い。
アー部材４の外周およびフレアー部材５の内周には、同
じ高さ位置に環状凹部８が複数本切設され、その形状は
断面がほぼ台形状をしている。ただし、断面台形に限ら
ずその用途によっては半月状または三角形になってもよ
い。
【００２６】これら環状凹部８はダイヤモンド砥石部１
２を構成しており、このダイヤモンド砥石部１２は、メ
タルボンド砥石あるいは電着砥石等として製作される。
ここで、図１では明らかではないが、ダイヤモンド砥石
部は、各同じ高さの内外の環状凹部８、８を一対として
使用されるダイヤモンドの粒度や環状凹部の形状等が異
なっている。即ち、環状凹部の断面については、例えば
図５（ａ）、（ｂ）に示されるように、上下の環状凹部
の開放角θがそれぞれθ1、θ2のように異なっている。
２を構成しており、このダイヤモンド砥石部１２は、メ
タルボンド砥石あるいは電着砥石等として製作される。
ここで、図１では明らかではないが、ダイヤモンド砥石
部は、各同じ高さの内外の環状凹部８、８を一対として
使用されるダイヤモンドの粒度や環状凹部の形状等が異
なっている。即ち、環状凹部の断面については、例えば
図５（ａ）、（ｂ）に示されるように、上下の環状凹部
の開放角θがそれぞれθ1、θ2のように異なっている。
【００２７】図３、図４に基づいて、ワーク１を用いた
ドーナツ状基板６の粗加工から仕上げの工程についてそ
の一例を説明する。
ドーナツ状基板６の粗加工から仕上げの工程についてそ
の一例を説明する。
【００２８】回転しているワークもしくは非回転状態の
ワーク１内に、（ａ）に示されるようにドーナツ状基板
６が挿入され、所定の高さのダイヤモンド砥石面１２に
臨むように位置決めされる。この位置で、所定の回転が
与えられたワークに、（ｂ）に示されるように水平運動
を与え、例えば、粒度の大きいダイヤモンドを使用した
ダイヤモンド砥石面１２で粗加工が行われる。この場
合、ドーナツ状基板６に回転や水平運動を与えても同じ
効果がある。
ワーク１内に、（ａ）に示されるようにドーナツ状基板
６が挿入され、所定の高さのダイヤモンド砥石面１２に
臨むように位置決めされる。この位置で、所定の回転が
与えられたワークに、（ｂ）に示されるように水平運動
を与え、例えば、粒度の大きいダイヤモンドを使用した
ダイヤモンド砥石面１２で粗加工が行われる。この場
合、ドーナツ状基板６に回転や水平運動を与えても同じ
効果がある。
【００２９】この粗加工において、ドーナツ状基板６を
最終形状に近付け、続いてこのセット状態のまま（ｃ）
に示されるようにワーク１の回転中心とドーナツ状基板
６の中心とを近付けることにより、このワークとドーナ
ツ状基板とは上下に移動可能となる。
最終形状に近付け、続いてこのセット状態のまま（ｃ）
に示されるようにワーク１の回転中心とドーナツ状基板
６の中心とを近付けることにより、このワークとドーナ
ツ状基板とは上下に移動可能となる。
【００３０】図２に示されるように、円板状のドーナツ
状基板６がこのワーク１内に収納され、所定の環状凹部
８に対応する水平位置にセットされると、コアー部材４
の回転中心Ｏに対して所定の寸法の水平移動が与えられ
る。この水平運動はドーナツ状基板６の中心点の回りを
ワークの回転中心Ｏが円周軌道を描く移動形態、さらに
はワークを所定の方向に往復移動させながら、ドーナツ
状基板６を低速で回転させることもできる。言い換える
と、研削中にドーナツ状基板６の内外周がコアー部材４
とフレアー部材５とに形成された所定のダイヤモンド砥
石面１２にほぼ均一に接触すれば足りるため、相対的な
両者の水平移動が達成されればよい。
状基板６がこのワーク１内に収納され、所定の環状凹部
８に対応する水平位置にセットされると、コアー部材４
の回転中心Ｏに対して所定の寸法の水平移動が与えられ
る。この水平運動はドーナツ状基板６の中心点の回りを
ワークの回転中心Ｏが円周軌道を描く移動形態、さらに
はワークを所定の方向に往復移動させながら、ドーナツ
状基板６を低速で回転させることもできる。言い換える
と、研削中にドーナツ状基板６の内外周がコアー部材４
とフレアー部材５とに形成された所定のダイヤモンド砥
石面１２にほぼ均一に接触すれば足りるため、相対的な
両者の水平移動が達成されればよい。
【００３１】この状態で、再度ワーク１とドーナツ状基
板６とに上下方向の移動を与え、次の加工、即ちドーナ
ツ状基板６が仕上げ用のダイヤモンド砥石面１２’に臨
む図４（ｄ）の位置で位置決めされる。
板６とに上下方向の移動を与え、次の加工、即ちドーナ
ツ状基板６が仕上げ用のダイヤモンド砥石面１２’に臨
む図４（ｄ）の位置で位置決めされる。
【００３２】この位置で図３（ｂ）と同様に水平移動が
与えられ、例えば、粒度の小さいダイヤモンドを使用し
たダイヤモンド砥石面１２’で仕上げ加工が行われる。
この後、ワーク１の回転中心とドーナツ状基板６との中
心とを近付けることにより、ドーナツ状基板をワークか
ら容易に分離できる。このワーク１による研削加工には
ダイヤモンド砥石面１２と１２’とを使用したが、更に
ダイヤモンド砥石面１２”を使用し、粗仕上げ、中仕上
げ、そして高精度仕上げのように、３段階の工程を行っ
てもよい。
与えられ、例えば、粒度の小さいダイヤモンドを使用し
たダイヤモンド砥石面１２’で仕上げ加工が行われる。
この後、ワーク１の回転中心とドーナツ状基板６との中
心とを近付けることにより、ドーナツ状基板をワークか
ら容易に分離できる。このワーク１による研削加工には
ダイヤモンド砥石面１２と１２’とを使用したが、更に
ダイヤモンド砥石面１２”を使用し、粗仕上げ、中仕上
げ、そして高精度仕上げのように、３段階の工程を行っ
てもよい。
【００３３】図５は環状凹部即ちダイヤモンド砥石面１
２の開放角θをそれぞれ変化させた実施例であり、前述
の工程における、粗仕上げの際、（ａ）に示されるよう
に上部傾斜面９と下部傾斜面１０とで形成される開放角
θ1の大きいダイヤモンド砥石面１２で糸面部１１を予
め削り落とす。このため、次段階の仕上げ用のダイヤモ
ンド砥石面１２’を用いた研削時には、（ｂ）に示され
るように上部傾斜面９’と下部傾斜面１０’とで形成さ
れる開放角θ2の小さいダイヤモンド砥石面１２’にか
かる研削負担は極めて少なくなる。ここで、粗加工と仕
上げ加工とに用いられるダイヤモンド砥石面において、
ダイヤモンドの粒子の大小と開放角とを組み合わせるこ
とも可能である。
２の開放角θをそれぞれ変化させた実施例であり、前述
の工程における、粗仕上げの際、（ａ）に示されるよう
に上部傾斜面９と下部傾斜面１０とで形成される開放角
θ1の大きいダイヤモンド砥石面１２で糸面部１１を予
め削り落とす。このため、次段階の仕上げ用のダイヤモ
ンド砥石面１２’を用いた研削時には、（ｂ）に示され
るように上部傾斜面９’と下部傾斜面１０’とで形成さ
れる開放角θ2の小さいダイヤモンド砥石面１２’にか
かる研削負担は極めて少なくなる。ここで、粗加工と仕
上げ加工とに用いられるダイヤモンド砥石面において、
ダイヤモンドの粒子の大小と開放角とを組み合わせるこ
とも可能である。
【００３４】図６には、円筒状のフレアー部材５にダイ
ヤモンド砥石面が上下２箇所に形成されたものが、さら
に図７にはフレアー部材５が円筒状ではなくバランス良
く複数片垂下されたフレアー部材を有するものが示され
ている。
ヤモンド砥石面が上下２箇所に形成されたものが、さら
に図７にはフレアー部材５が円筒状ではなくバランス良
く複数片垂下されたフレアー部材を有するものが示され
ている。
【００３５】図８には、更に他の実施例が示されてお
り、ワーク１のフレアー部材５とコアー部材４とが同じ
回転中心軸を共有するが、それぞれ別々の回転駆動部
（図示せず）と連結されるように、フレアー部材５のシ
ャンク３内にコアー部材４と一体のコアーシャンク７が
形成されている。
り、ワーク１のフレアー部材５とコアー部材４とが同じ
回転中心軸を共有するが、それぞれ別々の回転駆動部
（図示せず）と連結されるように、フレアー部材５のシ
ャンク３内にコアー部材４と一体のコアーシャンク７が
形成されている。
【００３６】このワークを使用して例えば、コアー部材
４の回転方向とフレアー部材５の回転方向とを逆にする
ことにより、下方で真空吸着テーブル（図示せず）等で
固定されたドーナツ状基板６に掛かる一方向の回転研削
抵抗が減少し、固定する力の多少にかかわらずドーナツ
状基板の位置ずれ等の危険を防止することができる。
４の回転方向とフレアー部材５の回転方向とを逆にする
ことにより、下方で真空吸着テーブル（図示せず）等で
固定されたドーナツ状基板６に掛かる一方向の回転研削
抵抗が減少し、固定する力の多少にかかわらずドーナツ
状基板の位置ずれ等の危険を防止することができる。
【００３７】また、このワークを使用して、コアー部材
４の周速度をフレアー部材５の周速度よりも高めること
により、それぞれの部材４、５のダイヤモンド砥石面の
寿命を等しくすることができる。
４の周速度をフレアー部材５の周速度よりも高めること
により、それぞれの部材４、５のダイヤモンド砥石面の
寿命を等しくすることができる。
【００３８】図９には、本発明の更に他の実施例が示さ
れており、これは、前述の形態と異なり、コアー部材４
とフレアー部材５とが回転軸の異なる別々のシャンク１
３、１４を有しているものである。これらコアー部材４
とフレアー部材５とはテーブルプレート１５に対して位
置決めされ使用されるものであり、回転中のコアー部材
４とフレアー部材５とでドーナツ状基板が研削される。
れており、これは、前述の形態と異なり、コアー部材４
とフレアー部材５とが回転軸の異なる別々のシャンク１
３、１４を有しているものである。これらコアー部材４
とフレアー部材５とはテーブルプレート１５に対して位
置決めされ使用されるものであり、回転中のコアー部材
４とフレアー部材５とでドーナツ状基板が研削される。
【００３９】以上、実施例を図面により説明してきた
が、具体的な構成は実施例に限られるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加等があ
っても本発明に含まれる。
が、具体的な構成は実施例に限られるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加等があ
っても本発明に含まれる。
【００４０】例えば、フレアー部材５とコアー部材４の
下方にドリル部を設け、ドーナツ状基板の切取りを行
い、続いて本発明の仕上げ工程を行うようにしてもよ
い。また、このワークやドーナツ状基板の水平移動幅や
その速度ついても材質やその大きさ等によって種々に変
更できることは明らかである。
下方にドリル部を設け、ドーナツ状基板の切取りを行
い、続いて本発明の仕上げ工程を行うようにしてもよ
い。また、このワークやドーナツ状基板の水平移動幅や
その速度ついても材質やその大きさ等によって種々に変
更できることは明らかである。
【００４１】なお、水平移動時にワークとドーナツ状基
板とが相対的に上下方向に移動すると、ドーナツ状基板
が破損されるため、本発明の実施にあたってはシステム
的にこの誤動作は許されない。
板とが相対的に上下方向に移動すると、ドーナツ状基板
が破損されるため、本発明の実施にあたってはシステム
的にこの誤動作は許されない。
【００４２】
【発明の効果】本発明は次の効果を奏する。
【００４３】（ａ）高さの異なる一対の環状凹部のダイ
ヤモンド砥石面のダイヤモンドの粒度がそれぞれ上下で
異なっているため、例えば、粒度の大きなダイヤモンド
を有するダイヤモンド砥石面でドーナツ状基板の粗仕上
げ加工を行った後、次に研削工具を取り外すことなく上
下方向に移動するのみで、粒度の小さなダイヤモンドを
有するダイヤモンド砥石面でのドーナツ状基板の高精度
な仕上げ研削を行える。
ヤモンド砥石面のダイヤモンドの粒度がそれぞれ上下で
異なっているため、例えば、粒度の大きなダイヤモンド
を有するダイヤモンド砥石面でドーナツ状基板の粗仕上
げ加工を行った後、次に研削工具を取り外すことなく上
下方向に移動するのみで、粒度の小さなダイヤモンドを
有するダイヤモンド砥石面でのドーナツ状基板の高精度
な仕上げ研削を行える。
【００４４】（ｂ）高さの異なる一対のダイヤモンド砥
石面の環状凹部の開放角がそれぞれ上下で異なっている
ため、ドーナツ状基板の仕上げ研削の前段階での粗仕上
げ加工を行った後、研削工具を取り外すことなく上下方
向に移動するのみで研削加工の少ないドーナツ状基板の
仕上げ研削を行える。
石面の環状凹部の開放角がそれぞれ上下で異なっている
ため、ドーナツ状基板の仕上げ研削の前段階での粗仕上
げ加工を行った後、研削工具を取り外すことなく上下方
向に移動するのみで研削加工の少ないドーナツ状基板の
仕上げ研削を行える。
【００４５】（ｃ）環状凹部の開放角とダイヤモンドの
粒度とをそれぞれ組み合わせることにより、より広範囲
なドーナツ状基板の仕上げ加工ができる。
粒度とをそれぞれ組み合わせることにより、より広範囲
なドーナツ状基板の仕上げ加工ができる。
【００４６】（ｄ）コアー部材とフレアー部材とを一体
に同一シャンクで回転できるようにすると、ワークの装
着、取り外しが容易なばかりか、コアー部材とフレアー
部材との位置調整も省略できる。
に同一シャンクで回転できるようにすると、ワークの装
着、取り外しが容易なばかりか、コアー部材とフレアー
部材との位置調整も省略できる。
【００４７】（ｅ）コアー部材とフレアー部材との回転
駆動部を別々にすることにより、コアー部材とフレアー
部材との回転数を変化させたり、コアー部材とフレアー
部材との回転方向を変化させることができ、ダイヤモン
ド砥石部の長寿命化、さらにはドーナツ状基板の仕上げ
速度の向上等を図ることができる。
駆動部を別々にすることにより、コアー部材とフレアー
部材との回転数を変化させたり、コアー部材とフレアー
部材との回転方向を変化させることができ、ダイヤモン
ド砥石部の長寿命化、さらにはドーナツ状基板の仕上げ
速度の向上等を図ることができる。
【００４８】（ｆ）ワークの中心とドーナツ状基板の中
心とを接近させるのみで、ワークが回転中であったとし
ても、自由にドーナツ状基板を高さの異なる他の環状凹
部に移動させることができるため、ドーナツ状基板の粗
加工から仕上げまでを高精度かつ短時間に処理できる。
心とを接近させるのみで、ワークが回転中であったとし
ても、自由にドーナツ状基板を高さの異なる他の環状凹
部に移動させることができるため、ドーナツ状基板の粗
加工から仕上げまでを高精度かつ短時間に処理できる。
【００４９】
【図１】本発明実施例のワークの断面図である。
【図２】ワークとドーナツ状基板との関係を示す平面図
ある。
ある。
【図３】ワークを利用した仕上げ工程を示す断面図であ
る。
る。
【図４】ワークを利用した仕上げ工程を示す断面図であ
る。
る。
【図５】ワークのダイヤモンド砥石面の部分断面図であ
る。
る。
【図６】本発明の他の実施例のワークの断面図である。
【図７】本発明の他の実施例のワークの斜視図である。
【図８】本発明の更に他の実施例のワークの断面図であ
る。
る。
【図９】本発明の更に他の実施例のワークの断面図であ
る。
る。
【図１０】ドーナツ状基板の加工前と加工後の斜視図で
ある。
ある。
１ 研削工具（ワーク） ２ 天板 ３ シャンク ４ コアー部材 ５ フレアー部材 ６ ドーナツ状
基板 ７ コアーシャンク ８ 環状凹部 ９ 上部傾斜面 １０ 下部傾斜面 １１ 糸面部 １２ ダイヤモ
ンド砥石部 １３ シャンク １４ シャンク １５ テーブルプレート
基板 ７ コアーシャンク ８ 環状凹部 ９ 上部傾斜面 １０ 下部傾斜面 １１ 糸面部 １２ ダイヤモ
ンド砥石部 １３ シャンク １４ シャンク １５ テーブルプレート
Claims (7)
- 【請求項１】 コアー部材と、該コアー部材を包囲する
ように形成されたフレアー部材とからなるワークであ
り、コアー部材の外周部には上下位置に複数の環状凹部
が、さらにフレアー部材には前記コアー部材の外周の環
状凹部と同高さにやはり上下位置に複数の環状凹部が形
成されており、同高さの内外の環状凹部を一対として、
この一対の環状凹部は、他の異なる高さの一対の環状凹
部に対して粒度の異なるダイヤモンドを使用したダイヤ
モンド砥石面であることを特徴とするドーナツ状基板の
研削工具。 - 【請求項２】 コアー部材と、該コアー部材を包囲する
ように形成されたフレアー部材とからなるワークであ
り、コアー部材の外周部には上下位置に複数の環状凹部
が、さらにフレアー部材には前記コアー部材の外周の環
状凹部と同高さにやはり上下位置に複数の環状凹部が形
成されており、同高さの内外の環状凹部を一対として、
この一対の環状凹部は、他の異なる高さの一対の環状凹
部に対して環状凹部の開放角が相異なるように形成され
たダイヤモンド砥石面であることを特徴とするドーナツ
状基板の研削工具。 - 【請求項３】 一対の環状凹部は、他の異なる高さの一
対の環状凹部に対して粒度の異なるダイヤモンドを使用
したダイヤモンド砥石面である請求項２に記載のドーナ
ツ状基板の研削工具。 - 【請求項４】 コアー部材とフレアー部材とが同一シャ
ンクを共有している請求項１ないし３のいずれかに記載
のドーナツ状基板の研削工具。 - 【請求項５】 コアー部材とフレアー部材とが同回転中
心軸を共有し、かつコアー部材とフレアー部材とはそれ
ぞれ別々のシャンクを有するようにした請求項１ないし
３のいずれかに記載のドーナツ状基板の研削工具。 - 【請求項６】 コアー部材とフレアー部材とがそれぞれ
回転軸の異なる別々のシャンクを有している請求項１な
いし３のいずれかに記載のドーナツ状基板の研削工具。 - 【請求項７】 コアー部材とフレアー部材からなるワー
クの該コアー部材にドーナツ状基板の中心孔を挿入し
て、該ドーナツ状基板をコアー部材とフレアー部材との
所定高さに位置する環状凹部に位置させ、回転状態の前
記ワークとドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与
え、前記所定高さの内外環状凹部でドーナツ状基板の内
外周の粗仕上げ研削を行い、 続いて前記ワークの中心とドーナツ状基板の中心とを接
近させ、ワークとドーナツ状基板とを上下方向に相対移
動して、ドーナツ状基板を前記環状凹部と異なる高さに
位置する別の環状凹部に位置させ、 再度、ワークとドーナツ状基板との間に偏心運動を与え
てドーナツ状基板の内外周の仕上げ研削を行うことを特
徴とするドーナツ状基板の研削方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06219521A JP3099216B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ドーナツ状基板の研削工具 |
| JP10134510A JP3061605B2 (ja) | 1994-08-22 | 1998-04-28 | ドーナツ状基板の円孔研削工具 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06219521A JP3099216B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ドーナツ状基板の研削工具 |
| JP10134510A JP3061605B2 (ja) | 1994-08-22 | 1998-04-28 | ドーナツ状基板の円孔研削工具 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10134510A Division JP3061605B2 (ja) | 1994-08-22 | 1998-04-28 | ドーナツ状基板の円孔研削工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0857756A true JPH0857756A (ja) | 1996-03-05 |
| JP3099216B2 JP3099216B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=47711451
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06219521A Expired - Fee Related JP3099216B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ドーナツ状基板の研削工具 |
| JP10134510A Expired - Lifetime JP3061605B2 (ja) | 1994-08-22 | 1998-04-28 | ドーナツ状基板の円孔研削工具 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10134510A Expired - Lifetime JP3061605B2 (ja) | 1994-08-22 | 1998-04-28 | ドーナツ状基板の円孔研削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JP3099216B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10329037A (ja) | 1994-08-22 | 1998-12-15 | Kiyokuei Kenma Kako Kk | ドーナツ状基板の円孔研削工具およびこの工具を利用した円孔研削方法 |
| CN1078182C (zh) * | 1998-03-13 | 2002-01-23 | 咸阳多晶材料厂 | 一种彩色显像管用钴兰的制备工艺 |
| JP2010009723A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の加工方法、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、および磁気ディスクの製造方法 |
| JP2010086631A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
| JP2010211882A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用円盤状基板の研削装置、円盤状基板の製造方法および円盤状基板の研削用砥石 |
| US8033893B2 (en) | 2007-01-18 | 2011-10-11 | Showa Denko K.K. | Grinding method of a disk-shaped substrate and grinding apparatus |
| JP2013137862A (ja) * | 2013-03-25 | 2013-07-11 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、並びに磁気ディスクの製造方法 |
| JP2016212946A (ja) * | 2014-12-31 | 2016-12-15 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用基板の製造方法、及び研削用砥石 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0617817A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Musashi Seimitsu Ind Co Ltd | 球面摺動ブッシュ及びその製造方法 |
| GB0002251D0 (en) * | 2000-02-02 | 2000-03-22 | Unova Uk Ltd | Improvements in and relating to grinding machines |
| JP5020603B2 (ja) | 2006-11-15 | 2012-09-05 | ショーダテクトロン株式会社 | ガラス基板の面取加工装置 |
| JP5006011B2 (ja) * | 2006-11-15 | 2012-08-22 | 古河電気工業株式会社 | 円板状基板の製造方法 |
| JP4838188B2 (ja) * | 2007-04-16 | 2011-12-14 | 旭栄研磨加工株式会社 | 孔形成用ドリル |
Family Cites Families (9)
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|---|---|---|---|---|
| JPH0121727Y2 (ja) * | 1980-11-29 | 1989-06-28 | ||
| JPS58160050A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-22 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kk | ウエハ−の面取り加工法およびこれに使用する砥石 |
| JPS6322259A (ja) | 1986-07-10 | 1988-01-29 | Hitachi Cable Ltd | 半導体ウエハ加工方法および加工装置 |
| JPS6364460U (ja) * | 1986-10-20 | 1988-04-28 | ||
| JPH0546845Y2 (ja) † | 1987-06-11 | 1993-12-08 | ||
| JPH0428955U (ja) † | 1990-06-28 | 1992-03-09 | ||
| JP2921250B2 (ja) † | 1992-02-28 | 1999-07-19 | 信越半導体株式会社 | ウエーハ面取部の鏡面研磨方法及び装置 |
| JPH06190700A (ja) | 1992-12-25 | 1994-07-12 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ロータリーエンコーダ用符号円板の加工方法及び加工工具 |
| JP3099216B2 (ja) | 1994-08-22 | 2000-10-16 | 旭栄研磨加工株式会社 | ドーナツ状基板の研削工具 |
-
1994
- 1994-08-22 JP JP06219521A patent/JP3099216B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-04-28 JP JP10134510A patent/JP3061605B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| JPH10329037A (ja) | 1994-08-22 | 1998-12-15 | Kiyokuei Kenma Kako Kk | ドーナツ状基板の円孔研削工具およびこの工具を利用した円孔研削方法 |
| CN1078182C (zh) * | 1998-03-13 | 2002-01-23 | 咸阳多晶材料厂 | 一种彩色显像管用钴兰的制备工艺 |
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| JP2016212946A (ja) * | 2014-12-31 | 2016-12-15 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用基板の製造方法、及び研削用砥石 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3099216B2 (ja) | 2000-10-16 |
| JP3061605B2 (ja) | 2000-07-10 |
| JPH10329037A (ja) | 1998-12-15 |
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