JPH085728B2 - セラミックスと金属との接合方法 - Google Patents
セラミックスと金属との接合方法Info
- Publication number
- JPH085728B2 JPH085728B2 JP3132878A JP13287891A JPH085728B2 JP H085728 B2 JPH085728 B2 JP H085728B2 JP 3132878 A JP3132878 A JP 3132878A JP 13287891 A JP13287891 A JP 13287891A JP H085728 B2 JPH085728 B2 JP H085728B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- fitting
- press
- lubricant
- joining
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスと金属と
の接合方法に関する。
の接合方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、セラミックス製の部材と金属製の
部材とを接合する場合には、溶接等による化学的接合や
嵌合等による機械的接合があり、このうち、機械的接合
としては、圧入，焼バメ，冷バメ等が行われている。
部材とを接合する場合には、溶接等による化学的接合や
嵌合等による機械的接合があり、このうち、機械的接合
としては、圧入，焼バメ，冷バメ等が行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
焼バメや冷バメによる接合方法では、大がかりな装置が
必要であり、従って高コストであるという問題があっ
た。また、これらの方法は、セラミックスと金属との熱
膨脹率の差を利用して、両部材の接合部を高温もしくは
極低温にした状態で嵌合するために、接合部が常温に戻
った時に、大きな残留応力が発生するという問題があっ
た。更に、焼バメの場合には、金属組織が変態するとい
う問題があり、冷バメの場合には、締め代があまり確保
できないという問題があった。
焼バメや冷バメによる接合方法では、大がかりな装置が
必要であり、従って高コストであるという問題があっ
た。また、これらの方法は、セラミックスと金属との熱
膨脹率の差を利用して、両部材の接合部を高温もしくは
極低温にした状態で嵌合するために、接合部が常温に戻
った時に、大きな残留応力が発生するという問題があっ
た。更に、焼バメの場合には、金属組織が変態するとい
う問題があり、冷バメの場合には、締め代があまり確保
できないという問題があった。
【０００４】一方、温度変化を伴わない圧入接合の場合
は、上記加熱や冷却に伴う問題は回避されるが、その反
面、セラミックスと金属と間にカジリと呼ばれる現象、
即ち圧入時に金属がセラミックスに凝着し、金属表面が
むしれた状態となる現象が発生し、圧入荷重が極端に上
昇するという難点があった。このため、接合部に残留応
力が発生し、接合強度が低下したり、或は製造した部品
に重心のアンバランスが発生する等の問題があった。
は、上記加熱や冷却に伴う問題は回避されるが、その反
面、セラミックスと金属と間にカジリと呼ばれる現象、
即ち圧入時に金属がセラミックスに凝着し、金属表面が
むしれた状態となる現象が発生し、圧入荷重が極端に上
昇するという難点があった。このため、接合部に残留応
力が発生し、接合強度が低下したり、或は製造した部品
に重心のアンバランスが発生する等の問題があった。
【０００５】このカジリを抑制するために、従来より、
二硫化モリブデンや黒鉛といった滑剤を、予め接合部に
塗布して圧入接合する技術が開発されているが、これら
の滑剤を用いた場合には、接合後にも接合部が滑り易い
ので、接合部の保持力が弱くなり、耐抜け強度や耐ねじ
り強度等が低下するという別の問題が生じていた。
二硫化モリブデンや黒鉛といった滑剤を、予め接合部に
塗布して圧入接合する技術が開発されているが、これら
の滑剤を用いた場合には、接合後にも接合部が滑り易い
ので、接合部の保持力が弱くなり、耐抜け強度や耐ねじ
り強度等が低下するという別の問題が生じていた。
【０００６】本発明は、上記課題を解決し、簡単な方法
でセラミックスと金属との強固な接合を可能とし、接合
後にも残留応力の発生や接合力の低下等の障害の少ない
セラミックスと金属との接合方法を提供することを目的
とする。
でセラミックスと金属との強固な接合を可能とし、接合
後にも残留応力の発生や接合力の低下等の障害の少ない
セラミックスと金属との接合方法を提供することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の請求項１の発明は、セラミックス部材と金属部材とを
嵌合させることにより、各々の接合面で接触させて機械
的に接合する方法であって、上記セラミックス部材及び
金属部材の少なくとも一方の接合面に、加熱によってそ
の滑性が消失する滑剤を塗布して、上記セラミックス部
材と金属部材とを圧入接合し、その後接合面を加熱する
熱処理を行なうことを特徴とするセラミックスと金属と
の接合方法を要旨とする。
の請求項１の発明は、セラミックス部材と金属部材とを
嵌合させることにより、各々の接合面で接触させて機械
的に接合する方法であって、上記セラミックス部材及び
金属部材の少なくとも一方の接合面に、加熱によってそ
の滑性が消失する滑剤を塗布して、上記セラミックス部
材と金属部材とを圧入接合し、その後接合面を加熱する
熱処理を行なうことを特徴とするセラミックスと金属と
の接合方法を要旨とする。
【０００８】また、請求項２の発明は、上記請求項１の
滑剤が、カルボン酸又はカルボン酸塩を含む物質である
ことを特徴とするセラミックスと金属との接合方法を要
旨とする。ここで、上記セラミックス部材としては、例
えばタービンロータのタービン翼が挙げられ、一方、金
属部材としては、例えばタービン翼と軸部材とを接続す
るスリーブが挙げられる。
滑剤が、カルボン酸又はカルボン酸塩を含む物質である
ことを特徴とするセラミックスと金属との接合方法を要
旨とする。ここで、上記セラミックス部材としては、例
えばタービンロータのタービン翼が挙げられ、一方、金
属部材としては、例えばタービン翼と軸部材とを接続す
るスリーブが挙げられる。
【０００９】上記滑剤の条件としては、圧入接合時
（常温）で充分に滑り効果が得られ、しかもカジリを抑
制できるものであること、圧入終了後に熱処理するこ
とによって、その滑り効果を失い、しかも接合部の保持
力が確保されることが必要である。
（常温）で充分に滑り効果が得られ、しかもカジリを抑
制できるものであること、圧入終了後に熱処理するこ
とによって、その滑り効果を失い、しかも接合部の保持
力が確保されることが必要である。
【００１０】また、上記熱処理の温度は、１００℃以上
で、しかも接合体に負担のかからない程度の６００℃未
満が望ましい。
で、しかも接合体に負担のかからない程度の６００℃未
満が望ましい。
【００１１】
【作用】本発明のセラミックスと金属との接合方法は、
セラミックス部材及び金属部材の少なくとも一方の接合
面に、例えばカルボン酸又はカルボン酸塩を含む物質の
様な、加熱によってその滑性が消失する滑剤を予め塗布
して、セラミックス部材と金属部材とを圧入接合するも
のである。
セラミックス部材及び金属部材の少なくとも一方の接合
面に、例えばカルボン酸又はカルボン酸塩を含む物質の
様な、加熱によってその滑性が消失する滑剤を予め塗布
して、セラミックス部材と金属部材とを圧入接合するも
のである。
【００１２】従って、圧入時には、この滑剤によってカ
ジリ等の発生を防止して、スムーズに嵌合させることが
でき、しかも圧入後には、その接合面を加熱するので、
上記滑剤の特性は変化してその滑性が消失する。その結
果、セラミックス部材と金属部材とは滑ることがないの
で、接合後も強固な接合が維持されることになる。
ジリ等の発生を防止して、スムーズに嵌合させることが
でき、しかも圧入後には、その接合面を加熱するので、
上記滑剤の特性は変化してその滑性が消失する。その結
果、セラミックス部材と金属部材とは滑ることがないの
で、接合後も強固な接合が維持されることになる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明のセラミックスと金属との接合
方法の実施例を、図に基づいて説明する。図１に示す様
に、本実施例では、セラミックス製の部材として、主成
分が窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）であり、焼結助剤としてア
ルミナ（Ａｌ2Ｏ3），イットリア（Ｙ2Ｏ3）を含むφ１
５mmの棒状部材１を用い、金属製の部材として、インコ
ロイ９０３からなる外径φ２０mmの金属軸部材２を用い
た。また、この金属軸部材２は、低熱膨脹金属で予め時
効硬化処理が施してあり、その端部に棒状部材１が嵌入
する内径φ１５mmの嵌合凹部３を備えている。尚、上記
両部材１，２の締め代は６０μmであり、圧入部長さは
５mmである。
方法の実施例を、図に基づいて説明する。図１に示す様
に、本実施例では、セラミックス製の部材として、主成
分が窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）であり、焼結助剤としてア
ルミナ（Ａｌ2Ｏ3），イットリア（Ｙ2Ｏ3）を含むφ１
５mmの棒状部材１を用い、金属製の部材として、インコ
ロイ９０３からなる外径φ２０mmの金属軸部材２を用い
た。また、この金属軸部材２は、低熱膨脹金属で予め時
効硬化処理が施してあり、その端部に棒状部材１が嵌入
する内径φ１５mmの嵌合凹部３を備えている。尚、上記
両部材１，２の締め代は６０μmであり、圧入部長さは
５mmである。
【００１４】そして、上記嵌合凹部３の内周面や棒状部
分１の接合部の外周面に滑剤を塗布した。この滑剤とし
て、ステアリン酸を採用したが、これ以外にも、カルボ
ン酸或はカルボン酸塩を含む物質である脂肪酸ナトリウ
ムや酸化マイクロワックス等を使用することができる。
分１の接合部の外周面に滑剤を塗布した。この滑剤とし
て、ステアリン酸を採用したが、これ以外にも、カルボ
ン酸或はカルボン酸塩を含む物質である脂肪酸ナトリウ
ムや酸化マイクロワックス等を使用することができる。
【００１５】この滑剤を塗布した状態で、両部材１，２
を常温にて圧入嵌合した。その後、両部材１，２を、熱
処理温度６００℃以下で、３０分にわたり熱処理し、両
部材１，２の機械的接合を完了した。次に、本実施例の
効果を確認するために行った実験例について説明する。
を常温にて圧入嵌合した。その後、両部材１，２を、熱
処理温度６００℃以下で、３０分にわたり熱処理し、両
部材１，２の機械的接合を完了した。次に、本実施例の
効果を確認するために行った実験例について説明する。
【００１６】（実験例１）まず、熱処理の効果を調べる
ために、耐抜け荷重（図２（ｂ））の変化を測定した実
験例について説明する。この実験では、上記実施例にお
ける熱処理の温度を、常温或は１００〜６００℃の範囲
で１００℃毎に変更し、各々の場合における耐抜け荷重
（kg）を測定した。その結果を図３に示す。
ために、耐抜け荷重（図２（ｂ））の変化を測定した実
験例について説明する。この実験では、上記実施例にお
ける熱処理の温度を、常温或は１００〜６００℃の範囲
で１００℃毎に変更し、各々の場合における耐抜け荷重
（kg）を測定した。その結果を図３に示す。
【００１７】この図３から明らかな様に、熱処理を行わ
ない場合には、耐抜け荷重は４００kgと小さく抜け易い
ので不適であるが、熱処理温度が１００〜４００℃で
は、耐抜け荷重は８００〜１３００kgと大きく、好適で
あった。尚、熱処理温度が６００℃に達すると、耐抜け
荷重が５００kgで割れが生じ、好適ではなかった。従っ
て、熱処理温度は、１００℃以上６００℃未満が望まし
い範囲であると判断できる。
ない場合には、耐抜け荷重は４００kgと小さく抜け易い
ので不適であるが、熱処理温度が１００〜４００℃で
は、耐抜け荷重は８００〜１３００kgと大きく、好適で
あった。尚、熱処理温度が６００℃に達すると、耐抜け
荷重が５００kgで割れが生じ、好適ではなかった。従っ
て、熱処理温度は、１００℃以上６００℃未満が望まし
い範囲であると判断できる。
【００１８】（実験例２）次に、本実施例の接合性の実
験について説明する。この実験では、熱処理温度を３０
０℃とし、上記実施例の方法で接合した両部材の常温に
おける圧入荷重（kg），耐抜け荷重（kg），耐曲げ強度
（kgf／mm2）に加え、５００℃の熱間における耐ねじり
トルク（kg・m）を測定した。その結果を図４に示す。
験について説明する。この実験では、熱処理温度を３０
０℃とし、上記実施例の方法で接合した両部材の常温に
おける圧入荷重（kg），耐抜け荷重（kg），耐曲げ強度
（kgf／mm2）に加え、５００℃の熱間における耐ねじり
トルク（kg・m）を測定した。その結果を図４に示す。
【００１９】図４から明かな様に、本実施例の場合に
は、圧入荷重が３００kgと非常に小さく、カジリ等の異
常は何ら発生しなかった。また、耐抜け荷重は１３００
kgであり、耐曲げ強度５０kgf／mm2，耐ねじりトルク１
０kg・mを各々加えても、接合部に異常は発生しなかっ
た。
は、圧入荷重が３００kgと非常に小さく、カジリ等の異
常は何ら発生しなかった。また、耐抜け荷重は１３００
kgであり、耐曲げ強度５０kgf／mm2，耐ねじりトルク１
０kg・mを各々加えても、接合部に異常は発生しなかっ
た。
【００２０】（実験例３）次に、比較例１の接合性の実
験について説明する。この比較例１とは、滑剤なしの場
合であり、その他の実験条件は、上記実験例２と同様に
して、圧入荷重，耐抜け荷重，耐曲げ強度，耐ねじりト
ルクを測定した。その結果を同じく図４に示す。
験について説明する。この比較例１とは、滑剤なしの場
合であり、その他の実験条件は、上記実験例２と同様に
して、圧入荷重，耐抜け荷重，耐曲げ強度，耐ねじりト
ルクを測定した。その結果を同じく図４に示す。
【００２１】図４から明かな様に、比較例１の場合に
は、滑剤がないので圧入荷重が２０００kgにもなり、圧
入部全面にカジリが生じた。また、耐抜け荷重は１４０
０kgでかなり大きいが、圧入荷重に対してはそれほど大
きくはない。更に、耐曲げ強度３０kgf／mm2，耐ねじり
トルク７kg・mにて、圧入時の残留応力のために、接合部
でセラミックス側より破損が生じた。従って、滑剤を使
用しない比較例１は、不適なものである。
は、滑剤がないので圧入荷重が２０００kgにもなり、圧
入部全面にカジリが生じた。また、耐抜け荷重は１４０
０kgでかなり大きいが、圧入荷重に対してはそれほど大
きくはない。更に、耐曲げ強度３０kgf／mm2，耐ねじり
トルク７kg・mにて、圧入時の残留応力のために、接合部
でセラミックス側より破損が生じた。従って、滑剤を使
用しない比較例１は、不適なものである。
【００２２】（実験例４）次に、比較例２の接合性の実
験について説明する。この比較例２とは、滑剤として二
硫化モリブデンを使用した場合であり、その他の実験条
件は、上記実験例２と同様にして、圧入荷重，耐抜け荷
重，耐曲げ強度，耐ねじりトルクを測定した。その結果
を同じく図４に示す。
験について説明する。この比較例２とは、滑剤として二
硫化モリブデンを使用した場合であり、その他の実験条
件は、上記実験例２と同様にして、圧入荷重，耐抜け荷
重，耐曲げ強度，耐ねじりトルクを測定した。その結果
を同じく図４に示す。
【００２３】図４から明かな様に、比較例２の場合に
は、滑剤があるので圧入荷重は３００kg前後と少ない。
ところが、熱処理後も接合部の摩擦係数は低いままであ
り、耐抜け荷重は３６０kgと非常に少なく、これは熱処
理を行わない場合とほぼ同じであった。また、耐曲げ強
度３０kgf／mm2で抜けが生じ、耐ねじりトルク３kg・mに
て滑りが生じた。従って、二硫化モリブデンを使用した
比較例２は、熱処理後も摩擦係数が低下しないので、不
適なものである。
は、滑剤があるので圧入荷重は３００kg前後と少ない。
ところが、熱処理後も接合部の摩擦係数は低いままであ
り、耐抜け荷重は３６０kgと非常に少なく、これは熱処
理を行わない場合とほぼ同じであった。また、耐曲げ強
度３０kgf／mm2で抜けが生じ、耐ねじりトルク３kg・mに
て滑りが生じた。従って、二硫化モリブデンを使用した
比較例２は、熱処理後も摩擦係数が低下しないので、不
適なものである。
【００２４】（実験例５）次に、比較例３の接合性の実
験について説明する。この比較例３とは、滑剤を使用せ
ずに焼バメにて接合を行った場合であり、焼バメは真空
中にて８００℃で３０分間加熱して行った。その他の実
験条件は、上記実験例２と同様にして、圧入荷重，耐抜
け荷重，耐曲げ強度，耐ねじりトルクを測定した。その
結果を同じく図４に示す。
験について説明する。この比較例３とは、滑剤を使用せ
ずに焼バメにて接合を行った場合であり、焼バメは真空
中にて８００℃で３０分間加熱して行った。その他の実
験条件は、上記実験例２と同様にして、圧入荷重，耐抜
け荷重，耐曲げ強度，耐ねじりトルクを測定した。その
結果を同じく図４に示す。
【００２５】図４から明かな様に、比較例３の場合に
は、焼バメであるので圧入荷重は０であるが、冷却工程
にて大きな残留応力が発生する。従って、耐抜け荷重，
耐曲げ強度，耐ねじりトルクは、何れも低い値であり、
接合部のセラミックス側より破損したので、比較例３
は、不適なものである。
は、焼バメであるので圧入荷重は０であるが、冷却工程
にて大きな残留応力が発生する。従って、耐抜け荷重，
耐曲げ強度，耐ねじりトルクは、何れも低い値であり、
接合部のセラミックス側より破損したので、比較例３
は、不適なものである。
【００２６】上述した様に、本実施例の方法は、滑剤と
してステアリン酸等のカルボン酸或はカルボン酸塩を含
んだ物質を、接合するセラミックス製の部材と金属製の
部材の接合面に塗布して嵌合させ、その後所定の温度で
熱処理を行なうものである。従って、この熱処理によっ
て、滑剤の滑性が低下するので接合面の摩擦係数が増大
し、それによって両部材の接合強度が向上することにな
る。
してステアリン酸等のカルボン酸或はカルボン酸塩を含
んだ物質を、接合するセラミックス製の部材と金属製の
部材の接合面に塗布して嵌合させ、その後所定の温度で
熱処理を行なうものである。従って、この熱処理によっ
て、滑剤の滑性が低下するので接合面の摩擦係数が増大
し、それによって両部材の接合強度が向上することにな
る。
【００２７】つまり、本実施例によれば、特定の滑剤を
塗布して加熱するという簡単な方法によって、上述した
実験例１〜５から明かな様に、従来の滑剤を使用する際
の接合力の低下等の問題点を克服できるという顕著な効
果がある。尚、本発明は、上記実施例に限定されること
なく、種々の態様で実施できることは勿論である。
塗布して加熱するという簡単な方法によって、上述した
実験例１〜５から明かな様に、従来の滑剤を使用する際
の接合力の低下等の問題点を克服できるという顕著な効
果がある。尚、本発明は、上記実施例に限定されること
なく、種々の態様で実施できることは勿論である。
【００２８】例えば、加熱によって摩擦係数が低下する
物質であれば、カルボン酸等に何等限定されることな
く、種々の滑剤を使用することが可能である。
物質であれば、カルボン酸等に何等限定されることな
く、種々の滑剤を使用することが可能である。
【００２９】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、セ
ラミックス部材及び金属部材の少なくとも一方の接合面
に、加熱によってその滑性が消失する滑剤を塗布して圧
入接合し、その後接合面を加熱するので、その圧入荷重
が小さく、しかも熱処理後の接合強度が極めて大きいと
いう顕著な効果がある。
ラミックス部材及び金属部材の少なくとも一方の接合面
に、加熱によってその滑性が消失する滑剤を塗布して圧
入接合し、その後接合面を加熱するので、その圧入荷重
が小さく、しかも熱処理後の接合強度が極めて大きいと
いう顕著な効果がある。
【００３０】特に、滑剤として、カルボン酸又はカルボ
ン酸塩を含む物質を使用する場合には、圧入が容易で、
しかも接合強度が大きいので好適である。
ン酸塩を含む物質を使用する場合には、圧入が容易で、
しかも接合強度が大きいので好適である。
【図１】本発明の実施例のセラミックス部材と金属部材
との接合状態を示す断面図である。
との接合状態を示す断面図である。
【図２】実験方法を示す説明図である。
【図３】実験例１の実験結果を示すグラフである。
【図４】実験例２〜５の実験結果をまとめて示すグラフ
である。
である。
１…棒状部材 ２…金属軸部材
Claims (2)
- 【請求項１】 セラミックス部材と金属部材とを嵌合さ
せることにより、各々の接合面で接触させて機械的に接
合する方法であって、上記セラミックス部材及び金属部
材の少なくとも一方の接合面に、加熱によってその滑性
が消失する滑剤を塗布して、上記セラミックス部材と金
属部材とを圧入接合し、その後接合面を加熱する熱処理
を行なうことを特徴とするセラミックスと金属との接合
方法。 - 【請求項２】 上記請求項１の滑剤が、カルボン酸又は
カルボン酸塩を含む物質であることを特徴とするセラミ
ックスと金属との接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3132878A JPH085728B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | セラミックスと金属との接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3132878A JPH085728B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | セラミックスと金属との接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04362072A JPH04362072A (ja) | 1992-12-15 |
| JPH085728B2 true JPH085728B2 (ja) | 1996-01-24 |
Family
ID=15091674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3132878A Expired - Lifetime JPH085728B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | セラミックスと金属との接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085728B2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-04 JP JP3132878A patent/JPH085728B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04362072A (ja) | 1992-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0415361B2 (ja) | ||
| JPH043129Y2 (ja) | ||
| JPH0336787B2 (ja) | ||
| JPH085728B2 (ja) | セラミックスと金属との接合方法 | |
| JP3270893B2 (ja) | セラミックと金属の結合構造 | |
| JP3176459B2 (ja) | セラミックスと金属との結合体の製造方法 | |
| JP3212392B2 (ja) | セラミックスと金属との接合体 | |
| JP3176460B2 (ja) | セラミックスと金属との結合体の製造方法 | |
| JPH08119761A (ja) | 接合用ろう材及びその接合用ろう材により接合された接合体 | |
| JP3250051B2 (ja) | セラミックスと金属との接合体及びその製造方法 | |
| JPH0829991B2 (ja) | セラミックス・金属結合体の製造方法 | |
| KR20040006568A (ko) | 자동차용 복합재료 프로펠러 샤프트의 결합 방법 | |
| WO1998003297A1 (en) | Two-step brazing process for joining materials with different coefficients of thermal expansion | |
| JPS61155268A (ja) | 拡散接合方法 | |
| JP2630490B2 (ja) | セラミックと金属との結合体 | |
| JPS59159408A (ja) | 機械要素 | |
| JPS6167527A (ja) | セラミツクス軸と金属軸との接合方法 | |
| JPS61146424A (ja) | セラミツクスと金属との接合方法 | |
| JPH04277321A (ja) | 軸部材と環状部材との結合方法 | |
| JPS623834A (ja) | セラミツク部材と金属部材の接合体とその製造方法 | |
| JPH0351319Y2 (ja) | ||
| JPH0431772B2 (ja) | ||
| JP3435306B2 (ja) | カーボンヒーターの接続方法 | |
| JPH055791B2 (ja) | ||
| JPH0338401Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090124 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090124 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100124 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100124 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110124 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110124 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120124 Year of fee payment: 16 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120124 Year of fee payment: 16 |