JPH0856311A

JPH0856311A - 固体撮像装置の駆動方法

Info

Publication number: JPH0856311A
Application number: JP6189354A
Authority: JP
Inventors: Yuji Matsuda; 祐二松田; Sumio Terakawa; 澄雄寺川
Original assignee: Matsushita Electronics Corp
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1994-08-11
Filing date: 1994-08-11
Publication date: 1996-02-27

Abstract

(57)【要約】【目的】動き信号を出力可能として、動き検出カメラ
（モーションセンサ）の構成を簡単化する。【構成】フォトダイオード１がリセットされ、次の期
間、信号が蓄積される。パルスφ１ａがハイレベルにな
り、奇数行目のフォトダイオード１の信号電荷３１が垂
直転送部３に読み出されて、一段転送される。パルスφ
１ｂがハイレベルになって、偶数行目のフォトダイオー
ド１に蓄積された信号電荷３２が垂直転送部３に読み出
され、パルスφＳＵＢがハイレベルになって、Ｎ型基板
２１に電荷が排出され、フォトダイオード１がリセット
される。パルスφ１ａがハイレベルになり、奇数行目の
フォトダイオード１に蓄積された信号電荷３１が垂直転
送部３に読み出されて、垂直転送部３の電荷すべてが一
段転送される。以下、偶数行目のフォトダイオード１に
ついても動作させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は動き検出撮像装置（モー
ションカメラ）等に利用できる固体撮像装置の駆動方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、固体撮像素子はビデオカメラの撮
像部など広く実用化さている、中でもインターライン転
送方式ＣＣＤ（Charge Coupled Device）型固体撮像素
子（以下ＩＴ−ＣＣＤと略す）は、低雑音特性を有する
ため、特にその開発に注力されている。さらにスミア特
性のよいＦＩＴ型（Frame Interline Transfer ChargeC
oupled Device）固体撮像素子（例：特開昭６０−１３
７１７号公報）の開発も盛んに進められている。

【０００３】以下、従来の固体撮像素子について図面を
参照しながら説明する。図１７は従来の固体撮像素子を
用いたモーションカメラの構成を示す模式図である。

【０００４】図１７において、１は光電変換機能を有す
るフォトダイオード、２はフォトダイオード１に蓄積さ
れた信号電荷を読み出す読み出しゲートとして機能する
エンハンスメント型ＭＯＳ（Metal Oxide Semiconducto
r）トランジスタ、３は信号電荷を垂直方向に転送する
埋め込み型チャンネル構成の垂直転送部、４は垂直転送
を制御する垂直転送ゲート、５は信号電荷を水平方向に
転送する水平転送部、６は出力部、９はアナログ・ディ
ジタル変換をするＡＤ変換部（ＡＤＣ：Analogue Digit
al Converter）、１０はフィールドメモリ部、１１は演
算部、１２はディジタル・アナログ変換をするＤＡ変換
部（ＤＡＣ：Digital Analogue Converter）である。

【０００５】なお、垂直転送部３は、垂直方向に向けて
隣り合う４個の転送ゲートを含んで１ビットが形成され
る４ゲート１ビット構成である。また垂直転送部３は読
み出しゲートが１ビット当たり２個付設された構成とな
っている。さらに、各ビットを形成する垂直転送ゲート
４にはパルス印加用電極Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４が接
続されるとともに、電極Ｇ１は奇数行（２ｎ−１）の読
み出しゲート２に、Ｇ３は偶数行（２ｎ）の読み出しゲ
ート２にも接続される。

【０００６】図１８は電極Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３およびＧ４
に印加するパルスφＧ１，φＧ２，φＧ３およびφＧ４
のタイミング図である。電極Ｇ１，Ｇ３に印加するパル
スφＧ１，φＧ３は読み出しと転送を制御する。たとえ
ば、ハイレベルのときには読み出しがなされ、ミドルレ
ベル（Ｍｉｄ）とローレベル（Ｌｏ）のときには転送が
なされる。電極Ｇ２に印加するパルスφＧ２と電極Ｇ４
に印加するパルスφＧ４は転送を制御し、ハイレベル
（Ｈｉ）とローレベルのときに転送がなされる。

【０００７】以上のように構成された従来の固体撮像装
置について、以下その動作を説明する。

【０００８】まず時刻ｔ１のときに、パルスφＧ１がハ
イレベルになり、奇数行目のフォトダイオード１に蓄積
された信号電荷が垂直転送部３に読み出される。つぎに
時刻ｔ２のときに、パルスφＧ３がハイレベルになり、
偶数行目のフォトダイオード１に蓄積された信号電荷が
垂直転送部３に読み出される。つぎに時刻ｔ３のときに
パルスφＧ１〜φＧ４が転送期間になり、信号電荷が１
水平のブランキング期間に一段ずつ転送される。さらに
水平転送部５および出力部６を介して第１フィールドの
信号を出力する。つぎにＡＤ変換部９でアナログ・ディ
ジタル変換し、フィールドメモリ部１０に蓄積する。つ
ぎに時刻ｔ４のときにパルスφＧ１がハイレベルにな
り、奇数行目のフォトダイオード１に蓄積された信号電
荷が垂直転送部３に読み出される。つぎに時刻ｔ５のと
きにパルスφＧ３がハイレベルになり、偶数行目のフォ
トダイオード１に蓄積された信号電荷が垂直転送部３に
読み出される。つぎに時刻ｔのときにパルスφＧ１〜φ
Ｇ４が転送期間になり、信号電荷が１水平のブランキン
グ期間に一段ずつ転送される。さらに水平転送部５およ
び出力部６を介して第２フィールドの信号を出力する。
つぎにフィールドメモリ部１０に蓄積した第１フィール
ドの信号をＤＡ変換部１２においてアナログ量に変換
し、演算部１１において第２フィールドの信号との差の
演算処理を行う。演算部１１からの出力はフィールド間
の差の信号、すなわち被写体の移動した部分のみの動き
情報の信号を得ることができる。

【０００９】一方、ムービー用カメラとして全画素独立
読み出し方式の固体撮像素子も提案されている。以下、
従来の全画素独立読み出し方式の固体撮像素子について
図面を参照しながら説明する。

【００１０】図１９は従来の全画素独立読み出し方式固
体撮像素子の構成を示す模式図である。

【００１１】図１９において、１は光電変換機能を有す
るフォトダイオード、２はフォトダイオードに蓄積され
た信号電荷を読み出す読み出しゲートとして機能するエ
ンハンスメント型ＭＯＳトランジスタ、３は信号電荷を
垂直方向に転送する埋め込み型チャンネル構成の垂直転
送部、４は垂直転送を制御する垂直転送ゲート、５ａ，
５ｂは信号電荷を水平方向に転送する水平転送部、６
ａ，６ｂは出力部である。

【００１２】なお、垂直転送部３は、垂直方向に向けて
隣り合う３個の転送ゲートを含んで１ビットが形成され
る３ゲート１ビット構成である。また垂直転送部３は読
み出しゲートが１ビット当たり１個付設された構成とな
っている。さらに、各ビットを形成する転送ゲートに
は、パルス印加用電極Ｇ１ａ，Ｇ１ｂ，Ｇ２およびＧ３
が接続されている。電極Ｇ１ａは奇数行（２ｎ−１）の
読み出しゲート２に、Ｇ１ｂは偶数行（２ｎ）の読み出
しゲート２にも接続される。

【００１３】図２０は、電極Ｇ１ａ，Ｇ１ｂ，Ｇ２およ
びＧ３に印加するパルスφＧ１ａ，φＧ１ｂ，φＧ２お
よびφＧ３のタイミング図である。電極Ｇ１ａ，Ｇ１ｂ
に印加するパルスφＧ１ａ，φＧ１ｂは読み出しと転送
を制御し、ハイレベルのときに読み出しがなされ、ミド
ルレベルとローレベルのときには転送がなされる。電極
Ｇ２に印加するパルスφＧ２と電極Ｇ３に印加するパル
スφＧ３は転送を制御し、ハイレベルとローレベルのと
きには転送がなされる。

【００１４】図２１は従来の全画素独立読み出し方式固
体撮像素子の画素部の断面構成を示す図である。

【００１５】図２１において、１は光電変換機能を有す
るフォトダイオード、２はフォトダイオードに蓄積され
た信号電荷を読み出す読み出しゲートとして機能するエ
ンハンスメント型ＭＯＳトランジスタ、３は信号電荷を
垂直方向に転送する埋め込み型チャンネル構成の垂直転
送部、４は垂直転送を制御する垂直転送ゲート、２１は
Ｎ型基板、２２はＰ型不純物層、２３はＮ^-不純物層、
２４はＰ⁺層、２５は酸化膜、２６はＰ層、２７はＮ層
である。

【００１６】図２２はＮ型基板２１に電圧を印加したと
きのポテンシャルを示す図で、ローレベルのときブルー
ミングを抑制している状態と、ハイレベルで電子シャッ
タ動作を行ったときの状態（信号電荷が基板側に掃き出
されている）を示している。

【００１７】以上のように構成された従来の全画素独立
読み出し方式固体撮像装置について、以下その動作を説
明する。

【００１８】まず、時刻ｔ１のときにパルスφＧ１ａが
ハイレベルになり、奇数行目のフォトダイオード１に蓄
積された信号電荷が垂直転送部３に読み出される。つぎ
に時刻ｔ２のときパルスφＧ１ｂがハイレベルになり、
偶数行目のフォトダイオード１に蓄積された信号電荷が
垂直転送部３に読み出される。つぎに時刻ｔ３のときに
パルスφＧ１ａ，φＧ１ｂ，φＧ２およびφＧ３が転送
期間になり、信号電荷が１水平のブランキング期間に２
段ずつ転送される。さらに水平転送部５ａ，５ｂおよび
出力部６ａ，６ｂを介して第１フィールドの信号を出力
する。第２フィールドも第１フィールドと同様に出力す
る。このように全画素独立読み出し方式固体撮像装置で
は１フィールド期間において、すべての画素情報を独立
に読み出し転送することができ、垂直解像度が向上す
る。

【００１９】さらにもう一方、ムービー用カメラとして
水平加算方式の固体撮像素子も提案されている。以下、
従来の水平加算方式の固体撮像素子（たとえば特開平４
−１７９６３７号公報）について図面を参照しながら説
明する。

【００２０】図２３は従来の水平加算方式の固体撮像装
置の構成を示す概略図である。図２３において、１ａ，
１ｂ，１ｃおよび１ｄは光電変換機能を有するフォトダ
イオード、２ａ，２ｂ，２ｃおよび２ｄはフォトダイオ
ードに蓄積された信号電荷を読み出す読み出しゲートと
して機能するエンハンスメントＭＯＳ型トランジスタ、
３ａ，３ｂは信号電荷を垂直方向に転送する埋め込み型
チャンネル構成の垂直転送部、４は垂直転送を制御する
垂直転送ゲート、５は信号電荷を水平方向に転送する水
平転送部、６は出力部である。

【００２１】なお、垂直転送部３ａ，３ｂは、垂直方向
に向けて隣り合う４個の転送ゲートを含んで１ビットが
形成される４ゲート１ビット構成である。また垂直転送
部３ａ，３ｂは読み出しゲートが１ビット当たり２個付
設された構成となっている。さらに、各ビットを形成す
る転送ゲートにはパルス印加用電極Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３お
よびＧ４が接続されるとともに、電極Ｇ１，Ｇ３は、読
み出しゲート２にも接続されている。フォトダイオード
１ａ，１ｂは、垂直転送部３ａと電極Ｇ１の読み出しゲ
ート２により接続されており、フォトダイオード１ｃ，
１ｄは垂直転送部３ｂと電極Ｇ３の読み出しゲート２に
より接続されている。

【００２２】図２４は、電極Ｇ１〜Ｇ４に印加するパル
スφＧ１，φＧ２，φＧ３およびφＧ４のタイミング図
である。

【００２３】以上のように構成された固体撮像装置につ
いて、以下その動作を説明する。まず時刻ｔ１のとき、
パルスφＧ１がハイレベルになり、奇数行奇数列のフォ
トダイオード１ａと奇数行偶数列のフォトダイオード１
ｂに蓄積された信号電荷が奇数列の垂直転送部３ａに読
み出される。つぎに時刻ｔ２のときパルスφ３がハイレ
ベルになり、偶数行偶数列のフォトダイオード１ｄと偶
数行奇数列のフォトダイオード１ｃに蓄積された信号電
荷が偶数列の垂直転送部３ｂに読み出される。つぎに時
刻ｔ３のときにパルスφＧ１〜φＧ４が転送期間にな
り、垂直転送部の信号電荷が一行ずつ順次水平転送部５
に転送し、出力部６より出力する。

【００２４】以上のように、信号電荷を垂直方向に混ぜ
合わせることなく転送することができ高い垂直解像度を
得ることができる。

【００２５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のモーションカメラシステムでは、フィール
ドメモリ，ＡＤ変換部およびＤＡ変換部などの多数の外
部回路が必要となり、システムが複雑になり、その解決
が課題として残されていた。

【００２６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の固体撮像装置の駆動方法は、光電変換機能を
有する複数の光電変換部と、光電変換部の信号を転送す
る機能を有する垂直転送部と、信号の読み出しを制御す
る読み出しスイッチ部とを備え、第１の読み出しで、奇
数行と偶数行目の光電変換部の信号を加算した第１の信
号群を垂直転送部の奇数行または偶数行目に蓄積し、第
２の読み出しで、奇数行と偶数行目の光電変換部の信号
を加算した第２の信号群を垂直転送部の偶数行または奇
数行目に蓄積し、第１の信号群と第２の信号群を演算処
理する。

【００２７】また、第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には信号蓄積時刻に差があり、かつ第１の読み出し
と第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じである。

【００２８】また、演算処理は少なくとも第１の信号群
と第２の信号群の信号の差をとる。さらに、光電変換機
能を有する光電変換部と、光電変換部の信号を転送する
機能を有する垂直転送部と、信号の読み出しを制御する
読み出しスイッチ部と、少なくともフィールド期間信号
を蓄積する機能を有する蓄積部とを備え、第１の読み出
しで、奇数行と偶数行目の光電変換部の信号を加算した
第１の信号群を奇数行または偶数行目の垂直転送部に蓄
積し、第２の読み出しで、奇数行と偶数行目の光電変換
部の信号を加算した第２の信号群を偶数行または奇数行
目の垂直転送部に蓄積し、第１の信号群と第２の信号群
を演算処理する。

【００２９】また、第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には信号蓄積時刻に差があり、かつ第１の読み出し
と第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じである。

【００３０】また、演算処理は少なくとも第１の信号群
と第２の信号群の信号の差をとる。さらに、奇数行奇数
列に配列された光電変換機能を有する第１の光電変換部
と、奇数行偶数列に配列された第２の光電変換部と、偶
数行奇数列に配列された第３の光電変換部と、偶数行偶
数列に配列された第４の光電変換部と、各光電変換され
た電荷を転送する機能を有する第１の転送部を奇数列
に、第２の転送部を偶数列に配列し、第１の転送部に対
して電荷の読み出しを制御する第１の読み出しスイッチ
部と第２の読み出しスイッチ部と、第２の転送部に対し
て第３の読み出しスイッチ部と第４の読み出しスイッチ
部とを備え、第１の読み出しで第１の光電変換部と第２
の光電変換部の第１の信号群を第１の転送部に蓄積し、
第２の読み出しで第３の光電変換部と第４の光電変換部
の第２の信号群を第２の転送部に蓄積し、第１の信号群
と第２の信号群を演算処理する。

【００３１】また、第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には信号蓄積時刻に差があり、かつ第１の読み出し
と第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じである。

【００３２】また、演算処理は少なくとも第１の信号群
と第２の信号群の信号の差をとる。さらに、奇数行奇数
列に配列した光電変換機能を有する第１の光電変換部
と、奇数行偶数列に配列した第２の光電変換部と、偶数
行奇数列に配列した第３の光電変換部と、偶数行偶数列
に配列した第４の光電変換部と、各光電変換部によって
形成された電荷を転送する機能を有する第１の転送部を
奇数列に配列し、第２の転送部を偶数列に配列し、各光
電変換部に対して電荷の読み出しを制御する第１の読み
出しスイッチ部、第２の読み出しスイッチ部、第３の読
み出しスイッチ部および第４の読み出しスイッチ部と、
少なくともフィールド期間信号を蓄積する機能を有する
蓄積部とを備え、第１の読み出しで第１の光電変換部と
第２の光電変換部との第１の信号群を第１の転送部に蓄
積し、第２の読み出しで第３の光電変換部と第４の光電
変換部との第２の信号群を第２の転送部に蓄積し、第１
の信号群と第２の信号群を演算処理する。

【００３３】また、第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には、信号蓄積時刻に差があり、かつ第１の読み出
しと第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じであ
る。

【００３４】また、演算処理は少なくとも第１の信号群
と第２の信号群の信号の差をとる。さらに、奇数行奇数
列に配列した光電変換機能を有する第１の光電変換部
と、奇数行偶数列に配列した第２の光電変換部と、偶数
行奇数列に配列した第３の光電変換部と、偶数行偶数列
に配列した第４の光電変換部と、各光電変換された電荷
を転送する機能を有する奇数列に配列してなる第１の転
送部と、偶数列に配列してなる第２の転送部と、各光電
変換部に対して電荷の読み出しを制御する第１の読み出
しスイッチ部、第２の読み出しスイッチ部、第３の読み
出しスイッチ部および第４の読み出しスイッチ部、第５
の読み出しスイッチ部、第６の読み出しスイッチ部、第
７の読み出しスイッチ部および第８の読み出しスイッチ
部とを備え、第１の読み出しで第１の光電変換部と第２
の光電変換部の第１の信号群を第１の転送部で蓄積し、
第２の読み出しで第３の光電変換部と第４の光電変換部
の第２の信号群を第２の転送部で蓄積し、第１の信号群
と第２の信号群を演算処理する。

【００３５】また、第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には信号蓄積時刻に差があり、かつ第１の読み出し
と第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じである。

【００３６】また、演算処理は少なくとも第１の信号群
と第２の信号群の信号の差をとる。さらに、奇数行奇数
列に配列した光電変換機能を有する第１の光電変換部
と、奇数行偶数列に配列した第２の光電変換部と、偶数
行奇数列に配列した第３の光電変換部と、偶数行偶数列
に配列した第４の光電変換部と、各光電変換された電荷
を転送する機能を有する奇数列に配列してなる第１の転
送部と、偶数列に配列してなる第２の転送部と、各光電
変換部に対して電荷の読み出しを制御する第１の読み出
しスイッチ部、第２の読み出しスイッチ部、第３の読み
出しスイッチ部、第４の読み出しスイッチ部、第５の読
み出しスイッチ部、第６の読み出しスイッチ部、第７の
読み出しスイッチ部および第８の読み出しスイッチ部
と、少なくともフィールド期間信号を蓄積する機能を有
する蓄積部とを備え、第１の読み出しで第１の光電変換
部と第２の光電変換部の第１の信号群を第１の転送部で
蓄積し、第２の読み出しで第３の光電変換部と第４の光
電変換部の第２の信号群を第２の転送部で蓄積し、第１
の信号群と第２の信号群を演算処理する。

【００３７】また、第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には、信号蓄積時刻に差があり、かつ第１の読み出
しと第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じであ
る。

【００３８】また、演算処理は少なくとも第１の信号群
と第２の信号群の信号の差をとる。

【００３９】

【作用】上記構成により、撮像素子から同時刻に蓄積時
刻のシフトした信号電荷を出力することが可能となり、
容易に動き検出が可能になる。したがって、きわめて簡
単な構成でモーションカメラを構成することができる。

【００４０】

【実施例】

〔第１の実施例〕以下、本発明の第１の実施例につい
て、図面を参照しながら説明する。

【００４１】本発明の第１の実施例における固体撮像装
置は全画素独立読み出し方式固体撮像装置である。

【００４２】図１は、本実施例の駆動方法を説明するた
めの図で、図１９で示した電極Ｇ１ａ，Ｇ１ｂ，Ｇ２お
よびＧ３に印加するパルスφＧ１ａ，φＧ１ｂ，φＧ２
およびφＧ３のタイミングと、図２１に示したＮ型基板
２１に印加するパルスφＳＵＢの波形とを示す。

【００４３】図２は、図１９で示したフォトダイオード
１，垂直転送部３および水平転送部５ａ，５ｂに信号電
荷が転送される様子を模式的に示した図である。３１〜
３６は信号電荷である。

【００４４】まず、時刻ｔ１のときパルスφＳＵＢがハ
イレベルになり、Ｎ型基板２１に電荷が排出されて、フ
ォトダイオード１がリセットされる。つぎに時刻ｔ２を
含む（ｔ３−ｔ１）の第１の蓄積期間（たとえば１／１
０００秒間）、信号が蓄積される。つぎに時刻ｔ３のと
きパルスφ１ａがハイレベルになり、奇数行目のフォト
ダイオード１に蓄積された信号電荷３１が垂直転送部３
に読み出される。つぎに時刻ｔ４のとき転送期間にな
り、垂直転送部３の電荷すべてが一段転送される。つぎ
に時刻ｔ５のときパルスφ１ｂがハイレベルになり、偶
数行目のフォトダイオード１に蓄積された信号電荷３２
が垂直転送部３に読み出される。このとき奇数行目のフ
ォトダイオード１に蓄積された信号電荷３１と、偶数行
目のフォトダイオード１に蓄積された信号電荷３２とが
加算されて、信号電荷３３になる。つぎに時刻ｔ６のと
きパルスφＳＵＢがハイレベルになり、Ｎ型基板２１に
電荷が排出されて、フォトダイオード１がリセットされ
る。つぎに時刻ｔ７を含む（ｔ８−ｔ６）の第２の蓄積
期間（たとえば１／１０００秒間）、信号が蓄積され
る。つぎに時刻ｔ８のときパルスφ１ａがハイレベルに
なり、奇数行目のフォトダイオード１に蓄積された信号
電荷３４が垂直転送部３に読み出される。つぎに時刻ｔ
９のとき転送期間になり、垂直転送部３の電荷すべてが
一段転送される。つぎに時刻ｔ１０のときパルスφ１ｂ
がハイレベルになり、偶数行目のフォトダイオード１に
蓄積された信号電荷３５が垂直転送部３に読み出され
る。このとき奇数行目のフォトダイオード１に蓄積され
た信号電荷３４と偶数行目のフォトダイオード１に蓄積
された信号電荷３５が加算され信号電荷３６になる。つ
ぎに時刻ｔ１１のときパルスφ１ａ，φ１ｂ，φ２，φ
３が転送期間になり、信号電荷が１水平のブランキング
期間に２段ずつ転送される。さらに水平転送部５ａ，５
ｂを介して出力部６ａ，６ｂから出力される。このとき
出力部６ａから第２の蓄積時間に蓄積した信号電荷３６
が出力され、出力部６ｂから第１の蓄積時間に蓄積した
信号電荷３３が出力される。

【００４５】〔第２の実施例〕以下、本発明の第２の実
施例について、図面を参照しながら説明する。

【００４６】本実施例における固体撮像装置は、図３に
示す全画素独立読み出し方式固体撮像装置に蓄積部を設
けたＦＩＴ構造を用いる。

【００４７】図４は本実施例の駆動方法を示した図であ
る。図４は電極Ｇ１ａ，Ｇ１ｂ，Ｇ２およびＧ３に印加
するパルスφＧ１ａ，φＧ１ｂ，φＧ２およびφＧ３の
タイミングと、電極ＧＳ１，ＧＳ２およびＧＳ３に印加
するパルスφＧＳ１，φＧＳ２およびφＧＳ３のタイミ
ングを示す図である。

【００４８】図４において、図１との相違点は蓄積部７
の電極ＧＳ１，ＧＳ２およびＧＳ３が追加されている点
である。

【００４９】図５は、図３のフォトダイオード１，垂直
転送部３，蓄積部７および水平転送部５ａ，５ｂの信号
電荷が転送される様子を模式的に示した図である。３１
〜３６は信号電荷である。

【００５０】まず、時刻ｔ１のときパルスφ１ａがハイ
レベルになり、第１の蓄積期間、たとえば１／２フィー
ルド、奇数行目のフォトダイオード１に蓄積された信号
電荷３１が垂直転送部３に読み出される。つぎに時刻ｔ
２のときに転送期間になり、垂直転送部３の電荷すべて
が一段転送される。つぎに時刻ｔ３のときパルスφ１ｂ
がハイレベルになり、偶数行目のフォトダイオード１に
蓄積された信号電荷３２が垂直転送部３に読み出され
る。このとき奇数行目のフォトダイオード１に蓄積され
た信号電荷３１と、偶数行目のフォトダイオード１に蓄
積された信号電荷３２とが加算されて、信号電荷３３に
なる。つぎに時刻ｔ４を含む（ｔ５−ｔ３）の第２の蓄
積期間（たとえば１／２フィールド）、信号が蓄積され
る。つぎに時刻ｔ５のときパルスφ１ａがハイレベルに
なり、奇数行目のフォトダイオード１に蓄積された信号
電荷３４が垂直転送部３に読み出される。つぎに時刻ｔ
６のとき転送期間になり、垂直転送部３の電荷すべてが
一段転送される。つぎに時刻ｔ７のときパルスφ１ｂが
ハイレベルになり、偶数行目のフォトダイオード１に蓄
積された信号電荷３５が垂直転送部３に読み出される。
このとき奇数行目のフォトダイオード１に蓄積された信
号電荷３４と偶数行目のフォトダイオード１に蓄積され
た信号電荷３５が加算されて信号電荷３６になる。つぎ
に時刻ｔ８のときパルスφＧ１ａ，φＧ１ｂ，φＧ２，
φＧ３とパルスφＧＳ１，φＧＳ２，φＧＳ３が高速転
送期間になり、信号電荷が蓄積部７に転送される。その
後１水平のブランキング期間に２段ずつ転送される、さ
らに水平転送部５ａ，５ｂを介して出力部６ａ，６ｂか
ら出力される。このとき出力部６ａから第２の蓄積時間
に蓄積した信号電荷３６が出力され、出力部６ｂから第
１の蓄積時間に蓄積した信号電荷３３が出力される。

【００５１】〔第３の実施例〕以下、本発明の第３の実
施例について、図面を参照しながら説明する。

【００５２】本実施例における固体撮像装置は、図２３
に示す水平加算方式固体撮像装置を用いる。

【００５３】図６は本実施例の駆動方法を説明するため
の示す図で、図２３に示した電極Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３およ
びＧ４に印加するパルスφＧ１，φＧ２，φＧ３および
φＧ４のタイミングと、図２１のＮ型基板２１に印加す
るパルスφＳＵＢの波形を示す。

【００５４】図７は、図２３に示したフォトダイオード
１，垂直転送部３および水平転送部５の信号電荷が転送
される様子を模式的に示した図である。３１〜３６は信
号電荷である。

【００５５】以上のように構成された固体撮像装置の駆
動方法について、以下その動作を説明する。

【００５６】まず、時刻ｔ１のときパルスφＳＵＢがハ
イレベルになり、Ｎ型基板２１に電荷が排出されて、フ
ォトダイオード１がリセットされる。つぎに時刻ｔ２を
含む（ｔ３−ｔ１）の第１の蓄積期間（たとえば１／１
０００秒間）、信号が蓄積される。つぎに時刻ｔ３のと
きパルスφＧ１がハイレベルになり、奇数行奇数列のフ
ォトダイオード１ａと、奇数行偶数列のフォトダイオー
ド１ｂに蓄積された信号電荷３１，３２とを加算した信
号電荷３３が、奇数列の垂直転送部３ａに読み出され
る。つぎに時刻ｔ４のときパルスφＳＵＢがハイレベル
になり、Ｎ型基板２１に電荷が排出されて、フォトダイ
オード１がリセットされる。つぎに時刻ｔ５を含む（ｔ
６−ｔ４）の第２の蓄積期間（たとえば１／１０００秒
間）、信号が蓄積される。つぎに時刻ｔ６のときパルス
φＧ３がハイレベルになり、偶数行偶数列のフォトダイ
オード１ｄと偶数行奇数列のフォトダイオード１ｃに蓄
積された信号電荷３４，３５が加算され、加算された信
号電荷３６が偶数列の垂直転送部３ｂに読み出される。
つぎに時刻ｔ７のときパルスφＧ１〜φＧ４が転送期間
になり、垂直転送部の信号電荷が一行ずつ順次水平転送
部５に転送し、出力部６より出力する。このとき出力部
６から第１の蓄積時間に蓄積した信号電荷と第２の蓄積
時間に蓄積した信号電荷が交互に出力される。

【００５７】〔第４の実施例〕以下、本発明の第４の実
施例について、図面を参照しながら説明する。

【００５８】本実施例における固体撮像装置は、図２３
に示す水平加算方式固体撮像装置に蓄積部を設けた、図
８に示したＦＩＴ型水平加算方式固体撮像装置を用い
る。

【００５９】図９は本実施例の駆動方法を示した図であ
る。図９は、電極Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４にそれぞれ印
加するパルスφＧ１，φＧ２，φＧ３およびφＧ４のタ
イミングと、電極ＧＳ１，ＧＳ２，ＧＳ３およびＧＳ４
にそれぞれ印加するパルスφＧＳ１，φＧＳ２，φＧＳ
３およびφＧＳ４のタイミングを示す図である。

【００６０】図１０は、図８に示したフォトダイオード
１，垂直転送部３および水平転送部５の信号電荷が転送
される様子を模式的に示した図である。３１〜３６は信
号電荷である。図９において、図６との相違点は蓄積部
７の電極ＧＳ１，ＧＳ２，ＧＳ３およびＧＳ４が追加さ
れている点である。

【００６１】まず、時刻ｔ１のときパルスφＧ１がハイ
レベルになり、第１の蓄積期間（たとえば１フィール
ド）奇数行奇数列のフォトダイオード１ａと奇数行偶数
列のフォトダイオード１ｂに蓄積された信号電荷３１，
３２を加算した信号電荷３３が奇数列の垂直転送部３ａ
に読み出される、つぎに時刻ｔ２のときパルスφＧ３が
ハイレベルになり、第２の蓄積期間（たとえば１フィー
ルド）偶数行偶数列のフォトダイオード１ｄと偶数行奇
数列のフォトダイオード１ｃに蓄積された信号電荷３
４，３５が加算した信号電荷３６が偶数列の垂直転送部
３ｂに読み出される。つぎに時刻ｔ３のときにパルスφ
Ｇ１，φＧ２，φＧ３およびφＧ４が高速転送期間にな
り、垂直転送部３ａの信号電荷がすべて蓄積部７に転送
され、その後一行ずつ順次水平転送部５に転送し、出力
部６より出力する。このとき出力部６から第１の蓄積時
間に蓄積した信号電荷と第２の蓄積時間に蓄積した信号
電荷が交互に出力される。

【００６２】〔第５の実施例〕以下、本発明の第５の実
施例について、図面を参照しながら説明する。

【００６３】本実施例における固体撮像装置は図１１に
示すダブル読み出し水平加算方式固体撮像装置を用い
る。

【００６４】図１２は本実施例の駆動方法を示す図であ
る。図１２は、図１１に示した電極Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３お
よびＧ４に印加するパルスφＧ１，φＧ２，φＧ３およ
びφＧ４のタイミングを示す図である。

【００６５】図１３は、図１１に示したフォトダイオー
ド１，垂直転送部３および水平転送部５の信号電荷が転
送される様子を模式的に示した図である。３１〜３６は
信号電荷である。

【００６６】まず、時刻ｔ１のときパルスφＳＵＢがハ
イレベルになり、Ｎ型基板２１に電荷が排出されて、フ
ォトダイオード１がリセットされる。つぎに時刻ｔ２を
含む（ｔ３−ｔ１）の第１の蓄積期間（たとえば１／１
０００秒間）、信号が蓄積される。つぎに時刻ｔ３のと
きパルスφＧ１，φＧ２がハイレベルになり、奇数行奇
数列のフォトダイオード１ａと奇数行偶数列のフォトダ
イオード１ｂと偶数行偶数列のフォトダイオード１ｄと
偶数行奇数列のフォトダイオード１ｃに蓄積された信号
電荷３１，３２，３４，３５の加算された信号電荷３３
が奇数列の垂直転送部３ａに読み出される。つぎに時刻
ｔ４のときパルスφＳＵＢがハイレベルになり、Ｎ型基
板２１に電荷が排出されて、フォトダイオード１がリセ
ットされる。つぎに時刻ｔ５を含む（ｔ６−ｔ４）の第
２の蓄積期間（たとえば１／１０００秒間）、信号が蓄
積される。つぎに時刻ｔ６のときパルスφＧ３，φＧ４
がハイレベルになり、偶数行偶数列のフォトダイオード
１ｄと、偶数行奇数列のフォトダイオード１ｃと、奇数
行奇数列のフォトダイオード１ａと、奇数行偶数列のフ
ォトダイオード１ｂとに蓄積された信号電荷３４，３
５，３１，３２の加算された信号電荷３６が偶数列の垂
直転送部３ｂに読み出される。つぎに時刻ｔ７のときパ
ルスφＧ１，φＧ２，φＧ３およびφＧ４が転送期間に
なり、垂直転送部の信号電荷を一行ずつ順次水平転送部
５に転送し、出力部６より出力する。このとき出力部６
から第１の蓄積時間に蓄積した信号電荷と第２の蓄積時
間に蓄積した信号電荷が交互に出力される。

【００６７】〔第６の実施例〕以下、本発明の第６の実
施例について、図面を参照しながら説明する。

【００６８】本実施例における固体撮像装置は図１４に
示すＦＩＴ型ダブル読み出し水平加算方式固体撮像装置
を用いる。

【００６９】図１５は本実施例の駆動方法を示した図で
ある。図１５は、図１４に示した電極Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３
およびＧ４に印加するパルスφＧ１，φＧ２，φＧ３お
よびφＧ４のタイミングと電極ＧＳ１，ＧＳ２，ＧＳ３
およびＧＳ４に印加するパルスφＧＳ１，φＧＳ２，φ
ＧＳ３およびφＧＳ４のタイミングとをを示す図であ
る。

【００７０】図１６は、図１４に示したフォトダイオー
ド１，垂直転送部３および水平転送部５の信号電荷が転
送される様子を模式的に示した図である。３１〜３６は
信号電荷である。

【００７１】まず、時刻ｔ１のとき第１の蓄積期間（た
とえば１フィールド）、信号が蓄積される。つぎに時刻
ｔ２のときパルスφＧ１，φＧ２がハイレベルになり、
奇数行奇数列のフォトダイオード１ａと、奇数行偶数列
のフォトダイオード１ｂと、偶数行奇数列のフォトダイ
オード１ｃと、偶数行偶数列のフォトダイオード１ｄと
にそれぞれ蓄積された信号電荷３１，３２，３４，３５
の加算された信号電荷３３が、奇数列の垂直転送部３ａ
に読み出される。つぎに時刻ｔ３のとき第２の蓄積期間
（たとえば１フィールド時間）信号が蓄積される。つぎ
に時刻ｔ４のときパルスφ３，φ４がハイレベルにな
り、偶数行奇数列のフォトダイオード１ｃと、偶数行偶
数列のフォトダイオード１ｄと、奇数行奇数列のフォト
ダイオード１ａと、奇数行偶数列のフォトダイオード１
ｂとにそれぞれ蓄積された信号電荷３４，３５，３１，
３２の加算された信号電荷３６が、奇数列の垂直転送部
３ａに読み出される。つぎに時刻ｔ５のときパルスφＧ
１，φＧ２，φＧ３およびφＧ４が高速転送期間にな
り、垂直転送部の信号電荷が蓄積部７に転送される、次
に一行ずつ順次水平転送部５に転送し、出力部６より出
力する。このとき出力部６から第１の蓄積時間に蓄積し
た信号電荷と第２の蓄積時間に蓄積した信号電荷が交互
に出力される。

【００７２】第１の実施例によれば、信号蓄積時刻のシ
フトした信号電荷を出力することが可能となり、容易に
動き検出が可能になる。

【００７３】第２の実施例ではＦＩＴ構造により長時間
蓄積が可能であり高いＳ／Ｎ比において、動き検出が可
能になる。

【００７４】第３の実施例によれば、垂直ＣＣＤを高密
度化することなく、信号蓄積時刻のシフトした信号電荷
を出力することが可能となる。

【００７５】第４の実施例では第３の実施例をＦＩＴ構
造により長時間蓄積を可能とし、高いＳ／Ｎ比におい
て、動き検出が可能になる。

【００７６】第５の実施例によれば、垂直ＣＣＤを高密
度化することなく、かつ、空間的な誤差が少ない、信号
蓄積時刻のシフトした信号電荷を出力することが可能と
なる。

【００７７】第６の実施例では第５の実施例をＦＩＴ構
造により長時間蓄積を可能とし、高いＳ／Ｎ比におい
て、動き検出が可能になる。

【００７８】きわめて簡単な構成でモーションカメラを
構成することができ、その実用的効果は大なるものがあ
る。

【００７９】

【発明の効果】本発明によれば、撮像素子から同時刻に
蓄積時刻のシフトした信号電荷を出力することが可能と
なり、容易に動き検出が可能になる。したがって、きわ
めて簡単な構成でモーションカメラを構成することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における固体撮像装置の
駆動方法を示す図

【図２】本発明の第１の実施例における固体撮像装置の
駆動方法の電荷の転送を示す模式図

【図３】本発明の第２の実施例における固体撮像装置の
駆動方法に用いるＦＩＴ型全画素独立読み出しＣＣＤの
平面図

【図４】本発明の第２の実施例における固体撮像装置の
駆動方法を示す図

【図５】本発明の第２の実施例における固体撮像装置の
駆動方法の電荷の転送を示す模式図

【図６】本発明の第３の実施例における固体撮像装置の
駆動方法を示す図

【図７】本発明の第３の実施例における固体撮像装置の
駆動方法の電荷の転送を示す模式図

【図８】本発明の第４の実施例における固体撮像装置の
駆動方法に用いるＦＩＴ型水平加算方式ＣＣＤの平面図

【図９】本発明の第４の実施例における固体撮像装置の
駆動方法を示す図

【図１０】本発明の第４の実施例における固体撮像装置
の駆動方法の電荷の転送を示す模式図

【図１１】本発明の第５の実施例における固体撮像装置
の駆動方法に用いるダブル読み出し水平加算方式ＣＣＤ
の平面図

【図１２】本発明の第５の実施例における固体撮像装置
の駆動方法を示す図

【図１３】本発明の第５の実施例における固体撮像装置
の駆動方法の電荷の転送を示す模式図

【図１４】本発明の第６の実施例における固体撮像装置
の駆動方法に用いるＦＩＴ型ダブル読み出し水平加算方
式ＣＣＤの平面図

【図１５】本発明の第６の実施例における固体撮像装置
の駆動方法を示す図

【図１６】本発明の第６の実施例における固体撮像装置
の駆動方法の電荷の転送を示す模式図

【図１７】従来のモーションセンサーの構成図

【図１８】従来の固体撮像装置の駆動方法を説明する図

【図１９】従来の全画素独立読み出し型固体撮像装置の
平面図

【図２０】従来の全画素独立読み出し型固体撮像装置の
駆動方法を説明する図

【図２１】従来の全画素独立読み出し型固体撮像装置の
画素部断面図

【図２２】従来の全画素独立読み出し型固体撮像装置の
画素部ポテンシャル図

【図２３】従来の水平加算型固体撮像装置の平面図

【図２４】従来の水平加算型固体撮像装置の駆動方法を
説明する図

【符号の説明】

１フォトダイオード２ａ〜２ｄ読み出しゲートＭＯＳトランジスタ３ａ，３ｂ垂直転送部４垂直転送ゲート５ａ，５ｂ水平転送部６ａ，６ｂ出力部７蓄積部９アナログ・ディジタル変換部（ＡＤ変換部）１０フィールドメモリ１１減算部１２ディジタル・アナログ変換部（ＤＡ変換部）２１Ｎ型基板２２Ｐ型不純物層２３Ｎ^-不純物層２４Ｐ⁺層２５酸化膜２６Ｐ層２７Ｎ層３１〜３６信号電荷 φ１ａ，φ１ｂ，φ２〜φ４垂直転送パルス φＳ１〜φＳ４垂直転送パルスＧ１ａ，Ｇ１ｂ，Ｇ２〜Ｇ４垂直転送ゲートＧＳ１〜ＧＳ４垂直転送ゲート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光電変換機能を有する複数の光電変換部
と、前記光電変換部の信号を転送する機能を有する垂直
転送部と、信号の読み出しを制御する読み出しスイッチ
部とを備え、第１の読み出しで、奇数行と偶数行目の前
記光電変換部の信号を加算した第１の信号群を前記垂直
転送部の奇数行または偶数行目に蓄積し、第２の読み出
しで、奇数行と偶数行目の前記光電変換部の信号を加算
した第２の信号群を前記垂直転送部の偶数行または奇数
行目に蓄積し、前記第１の信号群と第２の信号群を演算
処理することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
【請求項２】前記第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には、信号蓄積時刻に差があり、かつ前記第１の読
み出しと第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じで
あることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置の駆
動方法。
【請求項３】前記演算処理は少なくとも前記第１の信
号群と第２の信号群の信号の差をとることを特徴とする
請求項１記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項４】光電変換機能を有する光電変換部と、前
記光電変換部の信号を転送する機能を有する垂直転送部
と、信号の読み出しを制御する読み出しスイッチ部と、
少なくともフィールド期間信号を蓄積する機能を有する
蓄積部とを備え、第１の読み出しで、奇数行と偶数行目
の前記光電変換部の信号を加算した第１の信号群を奇数
行または偶数行目の垂直転送部に蓄積し、第２の読み出
しで、奇数行と偶数行目の前記光電変換部の信号を加算
した第２の信号群を偶数行または奇数行目の前記垂直転
送部に蓄積し、前記第１の信号群と前記第２の信号群を
演算処理することを特徴とする固体撮像装置の駆動方
法。
【請求項５】前記第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には、信号蓄積時刻に差があり、かつ前記第１の読
み出しと第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じで
あることを特徴とする請求項４記載の固体撮像装置の駆
動方法。
【請求項６】前記演算処理は少なくとも前記第１の信
号群と第２の信号群の信号の差をとることを特徴とする
請求項４記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項７】奇数行奇数列に配列された光電変換機能
を有する第１の光電変換部と、奇数行偶数列に配列され
た第２の光電変換部と、偶数行奇数列に配列された第３
の光電変換部と、偶数行偶数列に配列された第４の光電
変換部と、各光電変換された電荷を転送する機能を有す
る第１の転送部を奇数列に、第２の転送部を偶数列に配
列し、前記第１の転送部に対して電荷の読み出しを制御
する第１の読み出しスイッチ部と第２の読み出しスイッ
チ部と、前記第２の転送部に対して第３の読み出しスイ
ッチ部と第４の読み出しスイッチ部とを備え、前記第１
の読み出しで前記第１の光電変換部と前記第２の光電変
換部の第１の信号群を前記第１の転送部に蓄積し、第２
の読み出しで前記第３の光電変換部と第４の第２の信号
群を前記第２の転送部に蓄積し、前記第１の信号群と第
２の信号群を演算処理することを特徴とする固体撮像装
置の駆動方法。
【請求項８】前記第１の読み出しと第２の読み出しと
の間には、信号蓄積時刻に差があり、かつ前記第１の読
み出しと第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じで
あることを特徴とする請求項７記載の固体撮像装置の駆
動方法。
【請求項９】前記演算処理は少なくとも前記第１の信
号群と第２の信号群の信号の差をとることを特徴とする
請求項７記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項１０】奇数行奇数列に配列した光電変換機能
を有する第１の光電変換部と、奇数行偶数列に配列した
第２の光電変換部と、偶数行奇数列に配列した第３の光
電変換部と、偶数行偶数列に配列した第４の光電変換部
と、前記各光電変換部によって形成された電荷を転送す
る機能を有する第１の転送部を奇数列に配列し、第２の
転送部を偶数列に配列し、各光電変換部に対して電荷の
読み出しを制御する第１の読み出しスイッチ部、第２の
読み出しスイッチ部、第３の読み出しスイッチ部および
第４の読み出しスイッチ部と、少なくともフィールド期
間信号を蓄積する機能を有する蓄積部とを備え、第１の
読み出しで前記第１の光電変換部と前記第２の光電変換
部との第１の信号群を前記第１の転送部に蓄積し、第２
の読み出しで前記第３の光電変換部と前記第４の光電変
換部との第２の信号群を前記第２の転送部に蓄積し、前
記第１の信号群と第２の信号群を演算処理することを特
徴とする固体撮像装置の駆動方法。
【請求項１１】前記第１の読み出しと第２の読み出し
との間には、信号蓄積時刻に差があり、かつ前記第１の
読み出しと第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じ
であることを特徴とする請求項１０記載の固体撮像装置
の駆動方法。
【請求項１２】前記演算処理は少なくとも前記第１の
信号群と第２の信号群の信号の差をとることを特徴とす
る請求項１０記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項１３】奇数行奇数列に配列した光電変換機能
を有する第１の光電変換部と、奇数行偶数列に配列した
第２の光電変換部と、偶数行奇数列に配列した第３の光
電変換部と、偶数行偶数列に配列した第４の光電変換部
と、各光電変換された電荷を転送する機能を有する奇数
列に配列してなる第１の転送部と、偶数列に配列してな
る第２の転送部と、前記各光電変換部に対して電荷の読
み出しを制御する第１の読み出しスイッチ部、第２の読
み出しスイッチ部、第３の読み出しスイッチ部および第
４の読み出しスイッチ部、第５の読み出しスイッチ部、
第６の読み出しスイッチ部、第７の読み出しスイッチ部
および第８の読み出しスイッチ部とを備え、第１の読み
出しで前記第１の光電変換部と前記第２の光電変換部の
第１の信号群を前記第１の転送部で蓄積し、第２の読み
出しで前記第３の光電変換部と第４の光電変換部の第２
の信号群を前記第２の転送部で蓄積し、前記第１の信号
群と第２の信号群を演算処理することを特徴とする固体
撮像装置の駆動方法。
【請求項１４】前記第１の読み出しと第２の読み出し
との間には、信号蓄積時刻に差があり、かつ前記第１の
読み出しと第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じ
であることを特徴とする請求項１３記載の固体撮像装置
の駆動方法。
【請求項１５】前記演算処理は少なくとも前記第１の
信号群と第２の信号群の信号の差をとることを特徴とす
る請求項１３記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項１６】奇数行奇数列に配列した光電変換機能
を有する第１の光電変換部と、奇数行偶数列に配列した
第２の光電変換部と、偶数行奇数列に配列した第３の光
電変換部と、偶数行偶数列に配列した第４の光電変換部
と、各光電変換された電荷を転送する機能を有する奇数
列に配列してなる第１の転送部と、偶数列に配列してな
る第２の転送部と、前記各光電変換部に対して電荷の読
み出しを制御する第１の読み出しスイッチ部、第２の読
み出しスイッチ部、第３の読み出しスイッチ部、第４の
読み出しスイッチ部、第５の読み出しスイッチ部、第６
の読み出しスイッチ部、第７の読み出しスイッチ部およ
び第８の読み出しスイッチ部と、少なくともフィールド
期間信号を蓄積する機能を有する蓄積部とを備え、第１
の読み出しで前記第１の光電変換部と前記第２の光電変
換部の第１の信号群を前記第１の転送部で蓄積し、第２
の読み出しで前記第３の光電変換部と第４の光電変換部
の第２の信号群を前記第２の転送部で蓄積し、前記第１
の信号群と第２の信号群を演算処理することを特徴とす
る固体撮像装置の駆動方法。
【請求項１７】前記第１の読み出しと第２の読み出し
との間には、信号蓄積時刻に差があり、かつ前記第１の
読み出しと第２の読み出しにおける信号蓄積時間が同じ
であることを特徴とする請求項１６記載の固体撮像装置
の駆動方法。
【請求項１８】前記演算処理は少なくとも前記第１の
信号群と第２の信号群の信号の差をとることを特徴とす
る請求項１６記載の固体撮像装置の駆動方法。