JPH0855140A - レイアウト検証装置 - Google Patents
レイアウト検証装置Info
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- JPH0855140A JPH0855140A JP6186033A JP18603394A JPH0855140A JP H0855140 A JPH0855140 A JP H0855140A JP 6186033 A JP6186033 A JP 6186033A JP 18603394 A JP18603394 A JP 18603394A JP H0855140 A JPH0855140 A JP H0855140A
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- pair
- layer
- distance
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体集積回路の配線の直線部分の余裕と末
端部分の余裕とを区別して検証可能なレイアウト検証装
置を得る。 【構成】 検証対象レイヤの検証すべき辺対に含まれる
頂点を検証対象頂点対として抽出する手段、この抽出さ
れた検証対象頂点対間の距離を算出する手段、および算
出された距離を予め定められた検証値と比較し、上記距
離が上記検証値未満の場合にエラーとする手段を備えて
いる。 【効果】 マスクレイアウトパターンが微細化されても
きめ細かい検証が行え、品質の高い半導体集積回路が得
られる。
端部分の余裕とを区別して検証可能なレイアウト検証装
置を得る。 【構成】 検証対象レイヤの検証すべき辺対に含まれる
頂点を検証対象頂点対として抽出する手段、この抽出さ
れた検証対象頂点対間の距離を算出する手段、および算
出された距離を予め定められた検証値と比較し、上記距
離が上記検証値未満の場合にエラーとする手段を備えて
いる。 【効果】 マスクレイアウトパターンが微細化されても
きめ細かい検証が行え、品質の高い半導体集積回路が得
られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路のマ
スクレイアウトパターンの配線レイアウトの検証を行う
レイアウト検証装置に関する。
スクレイアウトパターンの配線レイアウトの検証を行う
レイアウト検証装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１０は、従来のレイアウト検証装置を
示す構成図である。図において、１はレイアウトパター
ンデータ２を入力または表示するレイアウトエディタ、
３は検証対象レイヤ、検証値、およびエラー出力形式を
定義した検証ルールファイル、４は検証ルールファイル
３に定義された検証対象レイヤの各辺を方向性を持たせ
つつ分割する検証対象レイヤ辺分割部、５は検証対象レ
イヤ辺分割部４で分割された各辺に対して、その辺との
距離を検証すべき対となる辺を、上記分割された各辺の
方向性をもとに抽出する検証対象辺対抽出部、６は上記
分割された各辺とそれに対して抽出された対となる辺
（双方を合わせて検証対象辺対という）との距離を算出
する辺対間距離算出部、７は算出された辺対間距離を検
証ルールファイル３内に定義された検証値と比較し、算
出された距離が検証値未満の場合にエラーとする辺対間
距離比較部、８は辺対間距離比較部７においてエラーと
判断された辺対のレイアウトデータを検証ルールファイ
ル３内に定義されたエラー出力形式で出力し、エラーレ
イアウトパターンデータ９およびエラーリポートファイ
ル１０を作成するエラー出力部である。
示す構成図である。図において、１はレイアウトパター
ンデータ２を入力または表示するレイアウトエディタ、
３は検証対象レイヤ、検証値、およびエラー出力形式を
定義した検証ルールファイル、４は検証ルールファイル
３に定義された検証対象レイヤの各辺を方向性を持たせ
つつ分割する検証対象レイヤ辺分割部、５は検証対象レ
イヤ辺分割部４で分割された各辺に対して、その辺との
距離を検証すべき対となる辺を、上記分割された各辺の
方向性をもとに抽出する検証対象辺対抽出部、６は上記
分割された各辺とそれに対して抽出された対となる辺
（双方を合わせて検証対象辺対という）との距離を算出
する辺対間距離算出部、７は算出された辺対間距離を検
証ルールファイル３内に定義された検証値と比較し、算
出された距離が検証値未満の場合にエラーとする辺対間
距離比較部、８は辺対間距離比較部７においてエラーと
判断された辺対のレイアウトデータを検証ルールファイ
ル３内に定義されたエラー出力形式で出力し、エラーレ
イアウトパターンデータ９およびエラーリポートファイ
ル１０を作成するエラー出力部である。
【０００３】次に、動作について図１１のフローチャー
トを参照しながら説明する。まず、レイアウトエディタ
１から入力されたレイアウトパターンデータ２につい
て、検証ルールファイル３で定義された検証対象レイヤ
を抽出し、抽出された各レイヤの各辺を方向性を持たせ
つつ分割する（Ｓ１）。図１２は内部に導体パターンが
形成される被包括レイヤと、その被包括レイヤを内部に
配し、外部に導体パターンを形成する包括レイヤとから
なる検証対象レイヤ（以降、被包括レイヤを第１レイ
ヤ、包括レイヤを第２レイヤとする）の各辺を方向性を
持たせて分割する例を示したものである。各辺の方向
は、図中に示すように、右方向を方向０として反時計回
りに４５°毎に方向づけを行い、０〜７の８方向を設定
している。各辺は、例えば各レイヤが存在するポリゴン
の最左下点を基準点としてそれぞれの方向を選択する。
これにより、右方向は方向０、左方向は方向４などと方
向性を持たせつつ、第１および第２レイヤの各辺が分割
される。
トを参照しながら説明する。まず、レイアウトエディタ
１から入力されたレイアウトパターンデータ２につい
て、検証ルールファイル３で定義された検証対象レイヤ
を抽出し、抽出された各レイヤの各辺を方向性を持たせ
つつ分割する（Ｓ１）。図１２は内部に導体パターンが
形成される被包括レイヤと、その被包括レイヤを内部に
配し、外部に導体パターンを形成する包括レイヤとから
なる検証対象レイヤ（以降、被包括レイヤを第１レイ
ヤ、包括レイヤを第２レイヤとする）の各辺を方向性を
持たせて分割する例を示したものである。各辺の方向
は、図中に示すように、右方向を方向０として反時計回
りに４５°毎に方向づけを行い、０〜７の８方向を設定
している。各辺は、例えば各レイヤが存在するポリゴン
の最左下点を基準点としてそれぞれの方向を選択する。
これにより、右方向は方向０、左方向は方向４などと方
向性を持たせつつ、第１および第２レイヤの各辺が分割
される。
【０００４】次に、方向づけされた各辺について、以下
のような方法で検証対象辺対を抽出する（Ｓ２）。第１
レイヤの辺の方向＝ｎとすると、その辺に対して（ｎ＋
５）％８、（ｎ＋６）％８、（ｎ＋７）％８の方向に存
在し、（ｎ＋７）％８、ｎ、（ｎ＋１）％８の方向を持
つ第２レイヤの辺を検証対象辺対とする。ただし、％は
除算の余りを出力する演算子で、例えば、１０％８は１
０を８で割った余り２である。先に述べた図１２の例で
説明すると、例えば第１レイヤの方向２の辺に対して
は、７％８＝７、８％８＝０、９％８＝１の方向、つま
り、右下、右、および右上の方向を調べ、その方向に、
９％８＝１、２、３％８＝３の方向を持つ第２レイヤの
辺があるか否かを検索する。この例では、方向２を持つ
第２レイヤの辺が方向２を持つ第１レイヤの辺の検証対
象辺対となる。次に、抽出された検証対象辺対間の距離
（検証対象辺対が平行でない場合は最短距離）を算出し
（Ｓ３）、その算出値を検証ルールファイル内で定義さ
れた一律の検証値と比較し（Ｓ４）、算出値が検証値未
満となる辺対があれば、そのレイアウトパターンデータ
および座標等のリポートファイルを出力する（Ｓ５）。
以上により、第２レイヤから第１レイヤへの余裕である
各辺対間距離について、一律の検証値で検証が行われ
る。
のような方法で検証対象辺対を抽出する（Ｓ２）。第１
レイヤの辺の方向＝ｎとすると、その辺に対して（ｎ＋
５）％８、（ｎ＋６）％８、（ｎ＋７）％８の方向に存
在し、（ｎ＋７）％８、ｎ、（ｎ＋１）％８の方向を持
つ第２レイヤの辺を検証対象辺対とする。ただし、％は
除算の余りを出力する演算子で、例えば、１０％８は１
０を８で割った余り２である。先に述べた図１２の例で
説明すると、例えば第１レイヤの方向２の辺に対して
は、７％８＝７、８％８＝０、９％８＝１の方向、つま
り、右下、右、および右上の方向を調べ、その方向に、
９％８＝１、２、３％８＝３の方向を持つ第２レイヤの
辺があるか否かを検索する。この例では、方向２を持つ
第２レイヤの辺が方向２を持つ第１レイヤの辺の検証対
象辺対となる。次に、抽出された検証対象辺対間の距離
（検証対象辺対が平行でない場合は最短距離）を算出し
（Ｓ３）、その算出値を検証ルールファイル内で定義さ
れた一律の検証値と比較し（Ｓ４）、算出値が検証値未
満となる辺対があれば、そのレイアウトパターンデータ
および座標等のリポートファイルを出力する（Ｓ５）。
以上により、第２レイヤから第１レイヤへの余裕である
各辺対間距離について、一律の検証値で検証が行われ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のレ
イアウト検証装置では、検証対象辺対が配線の末端部分
（角の部分）であるか否かを判断することが不可能で、
レイアウト検証を一律の検証値で行わざるを得ず、配線
の末端部分（角の部分）とそうでない部分（以下配線の
直線部分という）とで検証値を使い分けることはできな
かった。しかし、半導体集積回路の高集積化に伴ってマ
スクレイアウトパターンが微細化されると、図１３に示
すように、各辺対において一律の検証値で検証した場
合、ウエハ上での仕上がりパターンが、配線の直線部分
では辺対間距離は検証値を満たすものの、配線の末端部
分では角が削られるように丸められてしまう現象が発生
する。したがって、従来の装置では、角の部分の余裕が
微小になってしまい電気的に短絡するなどの問題点があ
った。
イアウト検証装置では、検証対象辺対が配線の末端部分
（角の部分）であるか否かを判断することが不可能で、
レイアウト検証を一律の検証値で行わざるを得ず、配線
の末端部分（角の部分）とそうでない部分（以下配線の
直線部分という）とで検証値を使い分けることはできな
かった。しかし、半導体集積回路の高集積化に伴ってマ
スクレイアウトパターンが微細化されると、図１３に示
すように、各辺対において一律の検証値で検証した場
合、ウエハ上での仕上がりパターンが、配線の直線部分
では辺対間距離は検証値を満たすものの、配線の末端部
分では角が削られるように丸められてしまう現象が発生
する。したがって、従来の装置では、角の部分の余裕が
微小になってしまい電気的に短絡するなどの問題点があ
った。
【０００６】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、その目的は、配線の直線部分の
余裕と末端部分の余裕とを区別して検証可能なレイアウ
ト検証装置を得るものである。
ためになされたもので、その目的は、配線の直線部分の
余裕と末端部分の余裕とを区別して検証可能なレイアウ
ト検証装置を得るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明にかかるレイア
ウト検証装置においては、検証対象辺対に含まれる頂点
（各辺の始点および終点）を検証対象頂点対として抽出
する手段、上記抽出された検証対象頂点対間の距離を算
出する手段、および算出された距離を予め定められた頂
点対間検証値と比較し、算出された距離が上記検証値未
満の場合にエラーとする手段を備えたものである。
ウト検証装置においては、検証対象辺対に含まれる頂点
（各辺の始点および終点）を検証対象頂点対として抽出
する手段、上記抽出された検証対象頂点対間の距離を算
出する手段、および算出された距離を予め定められた頂
点対間検証値と比較し、算出された距離が上記検証値未
満の場合にエラーとする手段を備えたものである。
【０００８】また、検証対象レイヤのうち被包括レイヤ
をレイヤの各辺に対し垂直方向にそれぞれ予め定められ
た検証値だけオーバーサイズする手段、オーバーサイズ
した被包括レイヤ内に含まれる包括レイヤの頂点をエラ
ーとして抽出する手段を備えたものである。
をレイヤの各辺に対し垂直方向にそれぞれ予め定められ
た検証値だけオーバーサイズする手段、オーバーサイズ
した被包括レイヤ内に含まれる包括レイヤの頂点をエラ
ーとして抽出する手段を備えたものである。
【０００９】また、検証対象辺対のうち被包括レイヤの
辺に含まれる頂点を抽出する手段、抽出された被包括レ
イヤの頂点と上記検証対象辺対のうちの包括レイヤの辺
とを検証対象頂点対辺として抽出する手段、上記検証対
象頂点対辺間の距離を算出する手段、算出された距離を
予め定められた頂点対辺間検証値と比較する手段、およ
び、上記被包括レイヤの１つの頂点に対して２組以上の
頂点対辺間距離が上記頂点対辺間検証値未満である場合
にエラーとする手段を備えたものである。
辺に含まれる頂点を抽出する手段、抽出された被包括レ
イヤの頂点と上記検証対象辺対のうちの包括レイヤの辺
とを検証対象頂点対辺として抽出する手段、上記検証対
象頂点対辺間の距離を算出する手段、算出された距離を
予め定められた頂点対辺間検証値と比較する手段、およ
び、上記被包括レイヤの１つの頂点に対して２組以上の
頂点対辺間距離が上記頂点対辺間検証値未満である場合
にエラーとする手段を備えたものである。
【００１０】
【作用】上記のように構成されたレイアウト検証装置に
おいては、検証対象辺対間距離の検証を行うとともに、
抽出された検証対象頂点対間の距離を頂点対間検証値と
比較し、該検証値未満の場合にエラーとして出力する。
おいては、検証対象辺対間距離の検証を行うとともに、
抽出された検証対象頂点対間の距離を頂点対間検証値と
比較し、該検証値未満の場合にエラーとして出力する。
【００１１】また、レイヤの各辺に対し垂直方向にそれ
ぞれ予め定められた検証値だけオーバーサイズした被包
括レイヤ内に包括レイヤの頂点が含まれた場合は、その
包括レイヤの頂点をエラーとして出力する。
ぞれ予め定められた検証値だけオーバーサイズした被包
括レイヤ内に包括レイヤの頂点が含まれた場合は、その
包括レイヤの頂点をエラーとして出力する。
【００１２】また、検証対象辺対のうち被包括レイヤの
辺に含まれる頂点と上記検証対象辺対のうちの包括レイ
ヤの辺とを検証対象頂点対辺として抽出し、この検証対
象頂点対辺間の距離を頂点対辺間検証値と比較し、上記
被包括レイヤの１つの頂点に対して２組以上の頂点対辺
間距離が該検証値未満である場合にエラーとして出力す
る。
辺に含まれる頂点と上記検証対象辺対のうちの包括レイ
ヤの辺とを検証対象頂点対辺として抽出し、この検証対
象頂点対辺間の距離を頂点対辺間検証値と比較し、上記
被包括レイヤの１つの頂点に対して２組以上の頂点対辺
間距離が該検証値未満である場合にエラーとして出力す
る。
【００１３】
実施例１．図１はこの発明の一実施例であるレイアウト
検証装置を示す構成図であり、図中１〜１０は図１０に
示した従来装置のものと同一または相当部分である。１
１は検証対象辺対に含まれる頂点を検証対象頂点対とし
て抽出する検証対象頂点対抽出部、１２は抽出された検
証対象頂点対間の距離を算出する頂点対間距離算出部、
１３は算出された頂点対間距離を頂点対間検証値と比較
し、頂点対間距離が検証値未満の場合にエラーとする頂
点対間距離比較部である。
検証装置を示す構成図であり、図中１〜１０は図１０に
示した従来装置のものと同一または相当部分である。１
１は検証対象辺対に含まれる頂点を検証対象頂点対とし
て抽出する検証対象頂点対抽出部、１２は抽出された検
証対象頂点対間の距離を算出する頂点対間距離算出部、
１３は算出された頂点対間距離を頂点対間検証値と比較
し、頂点対間距離が検証値未満の場合にエラーとする頂
点対間距離比較部である。
【００１４】次に、動作について図２のフローチャート
を参照しながら説明する。まず、従来と同様に、検証対
象レイヤを抽出し、抽出された各レイヤの各辺を方向性
を持たせつつ分割する（Ｓ１）。次に、方向づけされた
各辺について検証対象辺対を抽出し、それぞれの辺対間
距離を辺対間検証値と比較することにより検証を行う
（Ｓ２〜Ｓ４）。一方、検証対象辺対に含まれる頂点
（各辺の始点および終点）を検証対象頂点対として抽出
する（Ｔ１）。ただし、検証対象頂点対のうち第２レイ
ヤの頂点が第１レイヤの頂点に対して１８０°以上の内
角をもつものであれば、ウエハ上での仕上がりパターン
が外側に丸まって頂点間距離が増加する方向となるの
で、検証対象外の頂点として削除する。例えば、図３
（ａ）に示すように、検証対象頂点対である第１レイヤ
の頂点Ｐおよび第２レイヤの頂点Ｑにおいて、頂点Ｑは
頂点Ｐに対して２２５°（≧１８０°）の内角をもつの
で、ウエハ上での仕上がりパターンが図３（ｂ）に示す
ように外側に丸まるので、検証対象から除外される。
を参照しながら説明する。まず、従来と同様に、検証対
象レイヤを抽出し、抽出された各レイヤの各辺を方向性
を持たせつつ分割する（Ｓ１）。次に、方向づけされた
各辺について検証対象辺対を抽出し、それぞれの辺対間
距離を辺対間検証値と比較することにより検証を行う
（Ｓ２〜Ｓ４）。一方、検証対象辺対に含まれる頂点
（各辺の始点および終点）を検証対象頂点対として抽出
する（Ｔ１）。ただし、検証対象頂点対のうち第２レイ
ヤの頂点が第１レイヤの頂点に対して１８０°以上の内
角をもつものであれば、ウエハ上での仕上がりパターン
が外側に丸まって頂点間距離が増加する方向となるの
で、検証対象外の頂点として削除する。例えば、図３
（ａ）に示すように、検証対象頂点対である第１レイヤ
の頂点Ｐおよび第２レイヤの頂点Ｑにおいて、頂点Ｑは
頂点Ｐに対して２２５°（≧１８０°）の内角をもつの
で、ウエハ上での仕上がりパターンが図３（ｂ）に示す
ように外側に丸まるので、検証対象から除外される。
【００１５】次に、抽出された検証対象頂点対間の距離
を算出し（Ｔ２）、その算出値と検証ルールファイルに
定義された頂点間検証値とを比較する（Ｔ３）。図３
（ｃ）に示すように、配線の直線部分の最小余裕をａ、
配線の末端部分の最小余裕をｂとして検証したい場合、
上記辺対間検証値をａと定義し、頂点対間検証値を（ａ
2＋ｂ2）(1/2)と定義すればよい。最後に、Ｓ４におけ
る辺対間距離の検証結果およびＴ３における頂点対間距
離の検証結果で、それぞれの検証値未満の距離をもつ辺
対または頂点対をエラーとして、そのレイアウトパター
ンデータおよび座標等のリポートファイルを作成する
（Ｔ４）。以上により、検証対象の配線の直線部分と末
端部分（角の部分）とを区別してレイアウト検証が行え
る。
を算出し（Ｔ２）、その算出値と検証ルールファイルに
定義された頂点間検証値とを比較する（Ｔ３）。図３
（ｃ）に示すように、配線の直線部分の最小余裕をａ、
配線の末端部分の最小余裕をｂとして検証したい場合、
上記辺対間検証値をａと定義し、頂点対間検証値を（ａ
2＋ｂ2）(1/2)と定義すればよい。最後に、Ｓ４におけ
る辺対間距離の検証結果およびＴ３における頂点対間距
離の検証結果で、それぞれの検証値未満の距離をもつ辺
対または頂点対をエラーとして、そのレイアウトパター
ンデータおよび座標等のリポートファイルを作成する
（Ｔ４）。以上により、検証対象の配線の直線部分と末
端部分（角の部分）とを区別してレイアウト検証が行え
る。
【００１６】実施例２．以下、この発明の実施例２を図
について説明する。図４は本実施例２によるレイアウト
検証装置を示す構成図であり、図において、１〜１０は
従来または実施例１のものと同一または相当部分を示
す。１４は第１レイヤをレイヤの各辺に対し垂直方向に
それぞれ配線の末端部分の最小余裕分だけオーバーサイ
ズする第１レイヤオーバーサイズ部、１５はオーバーサ
イズした第１レイヤ内に含まれる第２レイヤの頂点を抽
出する第２レイヤエラー頂点抽出部である。 次に、動
作について図５のフローチャートを参照しながら説明す
る。ただし、本実施例２においても、従来または実施例
１と同様、検証対象辺対を抽出し辺対距離の検証を行う
（図１１のＳ１〜Ｓ５）が、図５においてはその処理の
説明を省略している。まず、レイアウトエディタ１から
入力されたレイアウトパターンデータ２について、検証
ルールファイル３で定義された検証対象レイヤのうち、
第１レイヤをレイヤの各辺に対し垂直方向に配線の末端
部分の最小余裕値だけオーバーサイズする（Ｕ１）。次
に、オーバーサイズした第１レイヤ内に含まれる第２レ
イヤの頂点を抽出する（Ｕ２）。これにより、配線の末
端部分の第１レイヤの頂点に対してそれとの距離が最小
余裕値未満である第２レイヤの頂点だけが抽出される。
また、抽出された第２レイヤの頂点のうち、、第１レイ
ヤの頂点に対して１８０°以上の内角をもつものであれ
ば、図３を用いて前述したように、ウエハ上での仕上が
りパターンが外側に丸まって頂点間距離が増加する方向
となるので検証対象外として削除する（Ｕ３）。最後
に、Ｕ３において削除されずに残った第２レイヤの頂点
をエラーとして、レポートファイルに座標値を出力し、
エラーレイアウトデータを生成する。図６は、第１レイ
ヤを最小余裕値ｂだけオーバーサイズしてエラーとなる
第２レイヤの頂点を抽出する例を示したものである。以
上により、本実施例２においても、実施例１と同様、配
線の末端部分を配線の直線部分と区別してレイアウト検
証が行える。
について説明する。図４は本実施例２によるレイアウト
検証装置を示す構成図であり、図において、１〜１０は
従来または実施例１のものと同一または相当部分を示
す。１４は第１レイヤをレイヤの各辺に対し垂直方向に
それぞれ配線の末端部分の最小余裕分だけオーバーサイ
ズする第１レイヤオーバーサイズ部、１５はオーバーサ
イズした第１レイヤ内に含まれる第２レイヤの頂点を抽
出する第２レイヤエラー頂点抽出部である。 次に、動
作について図５のフローチャートを参照しながら説明す
る。ただし、本実施例２においても、従来または実施例
１と同様、検証対象辺対を抽出し辺対距離の検証を行う
（図１１のＳ１〜Ｓ５）が、図５においてはその処理の
説明を省略している。まず、レイアウトエディタ１から
入力されたレイアウトパターンデータ２について、検証
ルールファイル３で定義された検証対象レイヤのうち、
第１レイヤをレイヤの各辺に対し垂直方向に配線の末端
部分の最小余裕値だけオーバーサイズする（Ｕ１）。次
に、オーバーサイズした第１レイヤ内に含まれる第２レ
イヤの頂点を抽出する（Ｕ２）。これにより、配線の末
端部分の第１レイヤの頂点に対してそれとの距離が最小
余裕値未満である第２レイヤの頂点だけが抽出される。
また、抽出された第２レイヤの頂点のうち、、第１レイ
ヤの頂点に対して１８０°以上の内角をもつものであれ
ば、図３を用いて前述したように、ウエハ上での仕上が
りパターンが外側に丸まって頂点間距離が増加する方向
となるので検証対象外として削除する（Ｕ３）。最後
に、Ｕ３において削除されずに残った第２レイヤの頂点
をエラーとして、レポートファイルに座標値を出力し、
エラーレイアウトデータを生成する。図６は、第１レイ
ヤを最小余裕値ｂだけオーバーサイズしてエラーとなる
第２レイヤの頂点を抽出する例を示したものである。以
上により、本実施例２においても、実施例１と同様、配
線の末端部分を配線の直線部分と区別してレイアウト検
証が行える。
【００１７】実施例３．以下、この発明の実施例３を図
について説明する。図７は本実施例３によるレイアウト
検証装置を示す構成図であり、図において、１〜１０は
従来または実施例１のものと同一または相当部分を示
す。１６は検証対象辺対のうち、被包括レイヤである第
１レイヤの辺に含まれる頂点（辺の始点および終点）を
抽出し、その頂点と上記検証対象辺対のうちの第２レイ
ヤの辺とを検証対象頂点対辺として抽出する検証対象頂
点対辺抽出部、１７は抽出された検証対象頂点対辺の頂
点と辺との距離を算出する頂点対辺距離算出部、１８は
算出した頂点対辺間の距離を検証ルールファイル内に定
義された頂点対辺検証値と比較し、頂点対辺間の距離が
検証値未満の場合に、その頂点をエラーとする頂点対辺
間距離比較部である。
について説明する。図７は本実施例３によるレイアウト
検証装置を示す構成図であり、図において、１〜１０は
従来または実施例１のものと同一または相当部分を示
す。１６は検証対象辺対のうち、被包括レイヤである第
１レイヤの辺に含まれる頂点（辺の始点および終点）を
抽出し、その頂点と上記検証対象辺対のうちの第２レイ
ヤの辺とを検証対象頂点対辺として抽出する検証対象頂
点対辺抽出部、１７は抽出された検証対象頂点対辺の頂
点と辺との距離を算出する頂点対辺距離算出部、１８は
算出した頂点対辺間の距離を検証ルールファイル内に定
義された頂点対辺検証値と比較し、頂点対辺間の距離が
検証値未満の場合に、その頂点をエラーとする頂点対辺
間距離比較部である。
【００１８】次に、動作について図８のフローチャート
を参照しながら説明する。まず、従来と同様に、検証対
象レイヤを抽出し、抽出された各レイヤの各辺を方向性
を持たせつつ分割する（Ｓ１）。次に、方向づけされた
各辺について検証対象辺対を抽出し、それぞれの辺対間
距離を辺対間検証値と比較することにより検証を行う
（Ｓ２〜Ｓ４）。一方、上記検証対象辺対のうち被包括
レイヤである第１レイヤの辺に含まれる頂点（辺の始点
および終点）を抽出し、もとの検証対象辺対の関係か
ら、第１レイヤの該頂点と検証対象の第２レイヤの辺と
を検証対象頂点対辺として抽出する（Ｖ１）。したがっ
て、もし第１レイヤの頂点が配線の末端部分に存在すれ
ば、その頂点に対する検証対象頂点対辺は２組以上抽出
されることになる。例えば、図９に示すように、配線の
末端部分に存在する第１レイヤの頂点Ｐは、右方向と上
方向との２方向に対辺をもち、検証対象頂点対辺が２組
存在する。次に、抽出されたそれぞれの頂点対辺間の距
離を算出する（Ｖ２）。この算出されたそれぞれの距離
を検証ルールファイル３に定義された頂点対辺間検証値
と比較して、検証値未満の頂点対辺間距離が２組以上存
在する頂点をエラーとする（Ｖ３）。最後に、エラーと
なった頂点のエラーレイアウトパターンデータと座標値
等のエラリポートファイルを生成する（Ｖ４）。以上に
より、上記実施例１および２と同様、配線の末端部を配
線の直線部分と区別してレイアウト検証を行うことがで
きる。
を参照しながら説明する。まず、従来と同様に、検証対
象レイヤを抽出し、抽出された各レイヤの各辺を方向性
を持たせつつ分割する（Ｓ１）。次に、方向づけされた
各辺について検証対象辺対を抽出し、それぞれの辺対間
距離を辺対間検証値と比較することにより検証を行う
（Ｓ２〜Ｓ４）。一方、上記検証対象辺対のうち被包括
レイヤである第１レイヤの辺に含まれる頂点（辺の始点
および終点）を抽出し、もとの検証対象辺対の関係か
ら、第１レイヤの該頂点と検証対象の第２レイヤの辺と
を検証対象頂点対辺として抽出する（Ｖ１）。したがっ
て、もし第１レイヤの頂点が配線の末端部分に存在すれ
ば、その頂点に対する検証対象頂点対辺は２組以上抽出
されることになる。例えば、図９に示すように、配線の
末端部分に存在する第１レイヤの頂点Ｐは、右方向と上
方向との２方向に対辺をもち、検証対象頂点対辺が２組
存在する。次に、抽出されたそれぞれの頂点対辺間の距
離を算出する（Ｖ２）。この算出されたそれぞれの距離
を検証ルールファイル３に定義された頂点対辺間検証値
と比較して、検証値未満の頂点対辺間距離が２組以上存
在する頂点をエラーとする（Ｖ３）。最後に、エラーと
なった頂点のエラーレイアウトパターンデータと座標値
等のエラリポートファイルを生成する（Ｖ４）。以上に
より、上記実施例１および２と同様、配線の末端部を配
線の直線部分と区別してレイアウト検証を行うことがで
きる。
【００１９】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に示すような効果を奏する。
れているので、以下に示すような効果を奏する。
【００２０】検証対象辺対に含まれる頂点を抽出するこ
とで配線の末端部分を抽出することができ、その頂点対
間の距離を検証することにより、配線の末端部分を配線
の直線部分と区別してレイアウト検証することができ
る。
とで配線の末端部分を抽出することができ、その頂点対
間の距離を検証することにより、配線の末端部分を配線
の直線部分と区別してレイアウト検証することができ
る。
【００２１】また、被包括レイヤをレイヤの各辺に対し
垂直方向に検証値分だけオーバーサイズして、それに含
まれる包括レイヤの頂点を抽出することにより、エラー
となる配線の末端部分を容易に抽出することができる。
垂直方向に検証値分だけオーバーサイズして、それに含
まれる包括レイヤの頂点を抽出することにより、エラー
となる配線の末端部分を容易に抽出することができる。
【００２２】また、被包括レイヤの１つの頂点に対して
２組以上の検証対象頂点対辺を抽出することで配線の末
端部分を抽出することができ、その２組以上の頂点対辺
間の距離を検証することにより、配線の末端部分のレイ
アウト検証を確実に行うことができる。
２組以上の検証対象頂点対辺を抽出することで配線の末
端部分を抽出することができ、その２組以上の頂点対辺
間の距離を検証することにより、配線の末端部分のレイ
アウト検証を確実に行うことができる。
【図１】 この発明の実施例１によるレイアウト検証装
置を示す構成図である。
置を示す構成図である。
【図２】 この発明の実施例１によるレイアウト検証装
置の処理の流れを説明するフローチャートである。
置の処理の流れを説明するフローチャートである。
【図３】 この発明の実施例１による配線の末端部分の
検証（頂点対間距離の検証）を示す図である。
検証（頂点対間距離の検証）を示す図である。
【図４】 この発明の実施例２によるレイアウト検証装
置を示す構成図である。
置を示す構成図である。
【図５】 この発明の実施例２によるレイアウト検証装
置の処理の流れを説明するフローチャートである。
置の処理の流れを説明するフローチャートである。
【図６】 この発明の実施例２による配線の末端部分の
検証（被包括レイヤをオーバーサイズ）を示す図であ
る。
検証（被包括レイヤをオーバーサイズ）を示す図であ
る。
【図７】 この発明の実施例３によるレイアウト検証装
置を示す構成図である。
置を示す構成図である。
【図８】 この発明の実施例３によるレイアウト検証装
置の処理の流れを説明するフローチャートである。
置の処理の流れを説明するフローチャートである。
【図９】 この発明の実施例３による配線の末端部分の
検証（頂点対辺間距離の検証）を示す図である。
検証（頂点対辺間距離の検証）を示す図である。
【図１０】 従来のレイアウト検証装置を示す構成図で
ある。
ある。
【図１１】 従来のレイアウト検証装置の処理の流れを
説明するフローチャートである。
説明するフローチャートである。
【図１２】 検証対象レイヤの各辺を方向性を持たせつ
つ分割する方法を示す図である。
つ分割する方法を示す図である。
【図１３】 従来のレイアウト検証装置による配線の末
端部分の仕上がりを示す図である。
端部分の仕上がりを示す図である。
１ レイアウトエディタ、２ レイアウトパターンデー
タ、３ 検証ルールファイル、４ 検証対象レイヤ辺分
割部、５ 検証対象辺対抽出部、６ 辺対間距離算出
部、７ 辺対間距離比較部、８ エラー出力部、１１
検証対象頂点対抽出部、１２ 頂点対間距離算出部、１
３ 頂点対間距離比較部、１４ 第１レイヤオーバーサ
イズ部、１５ 第２レイヤエラー頂点抽出部、１６ 検
証対象頂点対辺抽出部、１７ 頂点対辺間距離算出部、
１８ 頂点対辺間距離比較部。
タ、３ 検証ルールファイル、４ 検証対象レイヤ辺分
割部、５ 検証対象辺対抽出部、６ 辺対間距離算出
部、７ 辺対間距離比較部、８ エラー出力部、１１
検証対象頂点対抽出部、１２ 頂点対間距離算出部、１
３ 頂点対間距離比較部、１４ 第１レイヤオーバーサ
イズ部、１５ 第２レイヤエラー頂点抽出部、１６ 検
証対象頂点対辺抽出部、１７ 頂点対辺間距離算出部、
１８ 頂点対辺間距離比較部。
Claims (3)
- 【請求項１】 レイアウトパターンデータ内の各レイヤ
のうち、内部に導体パターンが形成される被包括レイヤ
と、この被包括レイヤを内部に配し、外部に導体パター
ンが形成される包括レイヤとを検証対象レイヤとし、そ
の検証対象レイヤの各辺を方向性を持たせつつ分割する
手段、上記分割された各辺に対して、その辺との距離を
検証すべき対となる辺（双方の辺を合わせて以降、検証
対象辺対という）を、上記分割された各辺の方向性をも
とに抽出する手段、および上記検証対象辺対間の距離を
予め定められた辺対間検証値と比較することによって検
証する手段を備えたレイアウト検証装置において、 上記検証対象辺対に含まれる頂点（各辺の始点および終
点）を検証対象頂点対として抽出する手段、上記抽出さ
れた検証対象頂点対間の距離を算出する手段、および算
出された距離を予め定められた頂点対間検証値と比較
し、算出された距離が上記検証値未満の場合にエラーと
する手段を備えたことを特徴とするレイアウト検証装
置。 - 【請求項２】 レイアウトパターンデータ内の各レイヤ
のうち、内部に導体パターンが形成される被包括レイヤ
と、この被包括レイヤを内部に配し、外部に導体パター
ンが形成される包括レイヤとを検証対象レイヤとし、そ
の検証対象レイヤの各辺を方向性を持たせつつ分割する
手段、上記分割された各辺に対して、その辺との距離を
検証すべき対となる辺（双方の辺を合わせて以降、検証
対象辺対という）を、上記分割された各辺の方向性をも
とに抽出する手段、および上記検証対象辺対間の距離を
予め定められた辺対間検証値と比較することによって検
証する手段を備えたレイアウト検証装置において、 上記検証対象レイヤのうち被包括レイヤをレイヤの各辺
に対し垂直方向にそれぞれ予め定められた検証値だけオ
ーバーサイズする手段、およびオーバーサイズした被包
括レイヤ内に含まれる包括レイヤの頂点をエラーとして
抽出する手段を備えたことを特徴とするレイアウト検証
装置。 - 【請求項３】 レイアウトパターンデータ内の各レイヤ
のうち、内部に導体パターンが形成される被包括レイヤ
と、この被包括レイヤを内部に配し、外部に導体パター
ンが形成される包括レイヤとを検証対象レイヤとし、そ
の検証対象レイヤの各辺を方向性を持たせつつ分割する
手段、上記分割された各辺に対して、その辺との距離を
検証すべき対となる辺（双方の辺を合わせて以降、検証
対象辺対という）を、上記分割された各辺の方向性をも
とに抽出する手段、および上記検証対象辺対間の距離を
予め定められた辺対間検証値と比較することによって検
証する手段を備えたレイアウト検証装置において、 検証対象辺対のうち被包括レイヤの辺に含まれる頂点を
抽出する手段、抽出された被包括レイヤの頂点と上記検
証対象辺対のうちの包括レイヤの辺とを検証対象頂点対
辺として抽出する手段、上記検証対象頂点対辺間の距離
を算出する手段、算出された距離を予め定められた頂点
対辺間検証値と比較する手段、および、上記被包括レイ
ヤの１つの頂点に対して２組以上の頂点対辺間距離が上
記頂点対辺間検証値未満である場合にエラーとする手段
を備えたことを特徴とするレイアウト検証装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6186033A JPH0855140A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | レイアウト検証装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6186033A JPH0855140A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | レイアウト検証装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0855140A true JPH0855140A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16181226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6186033A Pending JPH0855140A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | レイアウト検証装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0855140A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7120881B2 (en) | 2003-04-11 | 2006-10-10 | Fujitsu Limited | Wiring graphic verification method, program and apparatus |
| JP2021081818A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | 新日本無線株式会社 | ネットリスト生成方法 |
-
1994
- 1994-08-08 JP JP6186033A patent/JPH0855140A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7120881B2 (en) | 2003-04-11 | 2006-10-10 | Fujitsu Limited | Wiring graphic verification method, program and apparatus |
| JP2021081818A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | 新日本無線株式会社 | ネットリスト生成方法 |
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