JP2003036285A

JP2003036285A - マスクレイアウトパターン検証装置及び方法

Info

Publication number: JP2003036285A
Application number: JP2001221568A
Authority: JP
Inventors: Ken Kotani; 憲小谷; Tetsuji Miyamae; 哲治宮前
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2001-07-23
Filing date: 2001-07-23
Publication date: 2003-02-07

Abstract

(57)【要約】【課題】矩形レイアウトパターンデータに対する検証
を高精度に行なえるマスクレイアウトパターン検証装置
および方法を提供する。【解決手段】半導体集積回路のマスクレイアウトパタ
ーン検証方法において、検証対象データに対して頂点数
と長辺の存在を調べることにより、所定の矩形データを
選別し、選別された矩形データに対して、４頂点の座標
を抽出し、矩形データの長辺方向及び中心座標を算出す
る。また、算出された長辺方向を、所定の定義式に基づ
き予め指定された基準データの方向と比較して、矩形デ
ータの方向性の一致を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
マスクレイアウトパターンを、矩形パターンの中心座標
及び方向性に基づき、検証するマスクレイアウトパター
ン検証方法及びそれを実施するデバイスを装備したマス
クレイアウトパターン検証装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知の通り、半導体集積回路の製造が正
しく行なえること、製造された半導体集積回路が正しく
動作することを事前に確認するために、半導体集積回路
において設計されたマスクレイアウトパターンを所定の
設計規則に基づき検証するデザインルールチェック（Ｄ
ＲＣ）が行なわれる。このデザインルールチェックに際
して、各レーアウトパターン毎に、その幅，間隔及び余
裕等の最小距離が算出される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、プロ
セスの微細化に進むにつれ、これに対応すべき高精度を
実現する多種多様な検証方法が知られている。例えば、
特開平１０−２８３３８７号公報では、レイアウトデー
タ上のヒューズデバイスの物理的位置を検証する装置が
開示され、この装置では、レイアウトデータから抽出し
た検証対象のデバイスの実デバイス座標と計算式によっ
て算出された仮想デバイス座標とが比較され、比較の結
果が予め定義された許容誤差の範囲を超える場合にエラ
ーとされるので、デバイスの物理的位置が検証でき、物
理的位置のずれに伴う処理の誤動作を防ぐことができ
る。しかしながら、特に矩形の検証対象に対しては、そ
の方向性および中心座標を特定することが望ましいとさ
れ、従来行なわれている幅，間隔，余裕等に基づいた検
証方法では、検証対象の方向性を特定することができな
かった。上記の装置においても、ヒューズデバイスの方
向性の特定は不可能で、ヒューズデバイスの方向がヒュ
ーズを切断するレーザトリミング装置の偏光の向きと合
致しない場合には、デバイスへの処理が正しく行なわれ
ない惧れがあり、これに対処するために、設計者の目視
により危険箇所の確認を行なっていたため、対応できる
回路規模に限界があり、検証精度にも問題があった。

【０００４】本発明は、上記技術的課題に鑑みてなされ
たもので、矩形レイアウトパターンデータに対する検証
を高精度に行なえるレイアウトパターン検証装置および
方法を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本願の第１の発明は、半
導体集積回路のマスクレイアウトパターン検証装置にお
いて、検証対象データに対して頂点数と長辺の存在を調
べることにより、所定の矩形データを選別する選別手段
と、選別された矩形データに対して、４頂点の座標を抽
出し、矩形データの長辺方向及び中心座標を算出する算
出手段とを有していることを特徴としたものである。

【０００６】また、本願の第２の発明は、第１の発明に
おいて、更に、上記算出手段により算出された長辺方向
を、所定の定義式に基づき予め指定された基準データの
方向と比較する方向比較手段が設けられていることを特
徴としたものである。

【０００７】更に、本願の第３の発明は、第１の発明に
おいて、更に、複数の矩形データを包含する領域を規定
した上で、上記算出手段により算出された各矩形データ
の長辺方向を用いて、該領域内に存在する矩形データの
方向の数を算出し、該方向の数に基づき、領域単位で矩
形データの方向性の一致を判定する方向性判定手段が設
けられていることを特徴としたものである。

【０００８】また、更に、本願の第４の発明は、第１の
発明において、更に、複数の矩形データを包含する領域
を規定した上で、上記算出手段により算出された各矩形
データの中心座標の配列の仕方に基づき、領域単位で矩
形データの方向性の一致を判定する方向性判定手段が設
けられていることを特徴としたものである。

【０００９】また、更に、本願の第５の発明は、第１〜
４の発明のいずれか一において、更に、１つ又は複数の
矩形データをその領域内に包含する包含矩形データにつ
いて、包含される複数の矩形データ間の方向性の一致を
判定した上で、複数の矩形データと包含矩形データの方
向性との間の方向性の一致を判定する方向性判定手段が
設けられていることを特徴としたものである。

【００１０】また、更に、本願の第６の発明は、第１〜
５の発明のいずれか一において、上記算出手段により算
出された矩形データの長辺方向および中心座標を、それ
以降のプロセスを行なう装置へ共に出力する出力手段を
有していることを特徴としたものである。

【００１１】また、更に、本願の第７の発明は、半導体
集積回路のマスクレイアウトパターン検証方法におい
て、検証対象データに対して頂点数と長辺の存在を調べ
ることにより、所定の矩形データを選別する選別ステッ
プと、選別された矩形データに対して、４頂点の座標を
抽出し、矩形データの長辺方向及び中心座標を算出する
算出ステップとを有していることを特徴としたものであ
る。

【００１２】また、更に、本願の第８の発明は、第７の
発明において、更に、上記算出ステップにおいて算出さ
れた長辺方向を、所定の定義式に基づき予め指定された
基準データの方向と比較する方向比較ステップを有して
いることを特徴としたものである。

【００１３】また、更に、本願の第９の発明は、第７の
発明において、更に、複数の矩形データを包含する領域
を規定した上で、上記算出ステップにおいて算出された
各矩形データの長辺方向を用いて、該領域内に存在する
矩形データの方向の数を算出し、該方向の数に基づき、
領域単位で矩形データの方向性の一致を判定する方向性
判定ステップを有していることを特徴としたものであ
る。

【００１４】また、更に、本願の第１０の発明は、第７
の発明において、更に、複数の矩形データを包含する領
域を規定した上で、上記算出ステップにおいて算出され
た各矩形データの中心座標の配列の仕方に基づき、領域
単位で矩形データの方向性の一致を判定する方向性判定
ステップを有していることを特徴としたものである。

【００１５】また、更に、本願の第１１の発明は、第７
〜１０の発明のいずれか一において、更に、１つ又は複
数の矩形データをその領域内に包含する包含矩形データ
について、包含される複数の矩形データ間の方向性の一
致を判定した上で、複数の矩形データと包含矩形データ
の方向性との間の方向性の一致を判定する方向性判定ス
テップを有していることを特徴としたものである。

【００１６】また、更に、本願の第１２の発明は、第７
〜１０の発明のいずれか一において、上記算出ステップ
において算出された矩形データの長辺方向および中心座
標を、それ以降のプロセスを行なう装置へ共に出力する
出力ステップを有していることを特徴としたものであ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照しながら説明する。実施の形態１．図１は、本発明の実施の形態１に係るマ
スクレイアウトパターン検証装置（以下、レイアウト検
証装置という）の構成を示すブロック図である。このレ
イアウト検証装置１０は、レイアウトパターンデータフ
ァイル及び検証コマンドファイルが入力される入力部１
と、レイアウトパターンデータファイルを格納するレイ
アウトパターンデータファイル格納部２と、検証コマン
ドファイルを格納する検証コマンドファイル格納部３
と、検証コマンドファイルからのデータにしたがって、
レイアウトパターンデータファイルに含まれる配線およ
びデバイスパターンを認識する配線・デバイス認識部４
と、配線・デバイス認識部４により認識されたヒューズ
図形から方向・中心座標データを抽出する長方形データ
方向・中心座標抽出部５と、抽出されたヒューズ長方形
データ方向・中心座標を格納するヒューズ中心座標・方
向データ格納部６とを有している。

【００１８】かかる構成により、レイアウト検証装置１
０は、レイアウトパターンデータファイルに含まれる各
パターンについての中心座標および方向情報を抽出する
ことができる。この中心座標および方向情報の抽出処理
については、図３及び４を参照して後述する。

【００１９】レイアウト検証装置１０は、更に、ヒュー
ズ座標の算出式を定義したヒューズ中心座標・方向算出
式定義ファイル（以下、ＴＰＬ定義式ファイルという）
を格納するヒューズ中心座標・方向算出式定義ファイル
格納部７と、ＴＰＬ定義式ファイルに定義された算出
式，定数，変数等にしたがって検証対象の仮想ヒューズ
中心座標・方向データを算出する仮想ヒューズ算出部８
と、算出された仮想ヒューズ中心座標・方向データを格
納する仮想ヒューズ中心座標・方向データ格納部９と、
検証対象のヒューズに対してヒューズ中心座標・方向デ
ータと仮想ヒューズ中心座標・方向データとを比較し、
それらが互いに一致しているか否かの判断を行なうヒュ
ーズ中心座標・方向比較部１１と、ヒューズ中心座標・
方向比較部１１における比較結果に基づき、一致した若
しくは一致していないヒューズの中心座標及び方向を出
力する出力部１２とを有している。

【００２０】かかる構成により、レイアウト検証装置１
０は、先に抽出された中心座標および方向情報を、基準
となる仮想ヒューズ中心座標・方向データと比較して、
各レイアウトパターンの方向性を判定することができ
る。この中心座標および方向情報の抽出処理について
は、図５を参照して後述する。

【００２１】レイアウト検証装置１０は、例えば図２に
示すようなハードウェア構成を有する情報処理装置で構
成することができる。この場合、情報処理装置のＣＰＵ
５０２が所定の制御プログラムを実行することにより、
図２に示す各部の機能、すなわち、後述するレイアウト
検証装置の動作を実現できる。この場合、ＣＰＵ５０２
が実行するプログラムはＣＤ−ＲＯＭ５２０等の情報記
録媒体により提供される。

【００２２】図２において、レイアウト検証装置１０
は、制御プログラムを実行する中央演算処理装置（以
下、ＣＰＵと表記）５０２を有し、ＣＰＵ５０２がバス
５０１を介してプログラム及びデータを格納するＲＡＭ
５０３やＲＯＭ５０５、情報を表示する表示部５１３、
キーボードやマウス等からなりユーザが操作を行なう操
作部５１１、ＬＡＮ等のネットワーク２００に接続する
ためのネットワークインタフェース部５１５、外部の情
報機器と接続するための外部インタフェース部５１７に
接続されて構成される。また、検証装置１０は、補助記
憶装置としてのハードディスク装置５０７や、情報記録
媒体であるＣＤ−ＲＯＭからプログラムやデータの読み
込みを行なうための装置であるＣＤドライブ５０９を備
える。

【００２３】図３は、かかるレイアウト検証装置１０に
よる長方形データの中心座標・方向情報の抽出処理につ
いてのフローチャートである。この抽出処理では、ま
ず、入力されたレイアウトパターン内の矩形データが長
方形データであるか否かの判定を行なうために、Ｓ１に
おいて、個々の矩形データの頂点を抽出する。次に、Ｓ
２において、その判定対象が、頂点数が４で且つコーナ
ー角が９０°であるものか否かを判断する。その結果、
ＹＥＳの場合には、Ｓ３へ進み、他方、ＮＯの場合に
は、エラー出力をするために、処理を終了する。

【００２４】Ｓ３では、矩形データとして認識されたも
のに対して、４辺の長さからその矩形データが長方形で
あるか否かを判定する。その結果、ＹＥＳの場合には、
Ｓ４へ進み、他方、ＮＯの場合には、エラー出力をする
ために、処理を終了する。Ｓ４では、長方形と認識され
たデータに対して、中心座標を抽出し、続いて、Ｓ５で
は、長辺方向を抽出する。

【００２５】最後に、Ｓ６では、抽出した中心座標・方
向性の情報を各長方形データに付加し、後にその情報を
用いた検証を可能にする。以上で、中心座標及び方向情
報の抽出処理を終了する。また、矩形判定（Ｓ２），長
方形判定（Ｓ３）にてＮＧとなった図形に関しては、エ
ラーとして別途出力することも可能である。本実施の形
態では、このように、長方形と認識されたデータに対し
て、その中心座標および方向性の情報を抽出する。

【００２６】図４に、長方形と認識された１つのデータ
から、中心座標および長辺方向を抽出する具体例を示
す。例えば、矩形データの４頂点の座標（１，１），
（３，１），（１，７），（３，７）から、矩形データ
の中心の座標（２，４），Ｙ方向の方向情報を取得す
る。

【００２７】図５は、レイアウト検証装置１０によるヒ
ューズデータに対する中心座標・方向情報の抽出および
ＴＰＬ定義式との比較の一例をあらわす説明図である。
レイアウトパターンデータ上のヒューズに対して、長方
形データ方向・中心座標抽出部を用いて、中心座標に加
え、方向を抽出し、ＴＰＬ定義式ファイルに記述された
仮想ヒューズの方向・中心座標と比較し、一致している
か否かを判断する。その結果、一致したヒューズと一致
しなかったヒューズに分けて、ヒューズ情報ファイルを
出力する。一致したヒューズ情報ファイルは、その後、
レイアウト検証装置１０から出力され、ヒューズを物理
的に切断するレーザトリミング装置において用いられ
る。これにより、ヒューズデバイスの方向が偏光の向き
と合致しないというレーザトリミング装置における不具
合を未然に防止することができる。

【００２８】以上のように、本実施の形態では、設計段
階で方向性を特定することができ、レイアウトパターン
データに対する検証を一層高精度に行なえ、検証効率が
向上する。その結果、設計工期の短縮を図ることができ
る。

【００２９】以下、本発明の別の実施の形態について説
明する。なお、以下では、上記実施の形態１における場
合と同じものについては同一の符号を付す。実施の形態
２．図６は、本発明の実施の形態２に係るレイアウト検
証装置の構成を示すブロック図である。このレイアウト
検証装置３０は、レイアウトパターンデータファイル及
び検証コマンドファイルが入力される入力部１と、レイ
アウトパターンデータファイルを格納するレイアウトパ
ターンデータファイル格納部２と、検証コマンドファイ
ルを格納する検証コマンドファイル格納部３と、検証領
域データファイルを格納する検証領域データファイル格
納部３１と、検証コマンドファイルからのデータにした
がって、レイアウトパターンデータファイルに含まれる
配線およびデバイスパターンを認識する配線・デバイス
認識部４と、配線・デバイス認識部４により認識された
長方形データから方向・中心座標データを抽出する長方
形データ方向・中心座標抽出部５と、抽出された中心座
標・方向データを用いて方向性検証に関する判定を行な
う方向性判定部３１と、方向性判定部３１の判定結果に
基づき、方向性エラーデータを出力する出力部１２とを
有している。

【００３０】図７は、かかる構成を備えたレイアウト検
証装置３０による方向判定処理についてのフローチャー
トである。この情報ファイル出力処理では、まず、Ｓ７
において、検証対象の長方形データから中心座標および
方向性の情報を抽出する。次に、Ｓ８では、検証領域デ
ータファイル格納部３１より入力された検証領域データ
を用いて、長方形データのグループ分けを行なう。すな
わち、同一検証領域データに含まれる長方形データ群を
同じグループに属するデータとして扱う。

【００３１】続いて、Ｓ９では、各グループに存在する
方向の数を計算し、Ｓ１０では、その数が１つであるか
否かを判定する。その結果、１つである場合には、Ｓ１
１へ進み、そのグループにおいては方向性が一致してい
ると判断し、長方形データ・方向情報を出力した上で、
処理を終了する。他方、Ｓ１０において、方向の数が１
つでない場合には、Ｓ１２へ進み、そのグループにおい
ては方向性が一致していないと判断し、エラー出力した
上で、処理を終了する。

【００３２】図８には、上記の方向性判定処理の具体例
を示す。長方形データの方向を抽出した後、検証領域デ
ータ毎にグループ１，２，３（図中、左方から順に）に
分けて長方形データを扱い、各グループに存在する方向
の数を計算し、１つでないものを方向性不一致とする。
ここでは、グループ１にて、２方向の長方形データが検
出され、方向性が不一致であると判断される。このよう
に、長方形データの方向性をグループ毎に判定すること
ができる。

【００３３】実施の形態３．続いて、本発明の実施の形
態３に係るレイアウト検証装置について説明するが、こ
のレイアウト検証装置は、上記実施の形態２におけるレ
イアウト検証装置３０とほぼ同様の構成を有しているた
め、改めて図示しない。図９は、実施の形態３に係るレ
イアウト検証装置による方向判定処理についてのフロー
チャートである。この方向判定処理では、まず、Ｓ１３
において、入力された検証対象の長方形データに対し
て、上記実施の形態で説明したのと同様に、中心座標・
方向情報の抽出を行なう。次に、Ｓ１４において、入力
された検証領域データを用いて、長方形データのグルー
プ分けを行なう。Ｓ１５では、各グループで長方形デー
タ群の中心座標点群を選択する。

【００３４】Ｓ１６では、その中心座標点群が一直線上
に存在するかを判定する。その結果、存在する場合に
は、Ｓ１７へ進み、中心座標方向性が一致すると判断
し、長方形データ・中心座標を出力した上で、処理を終
了する。他方、Ｓ１６において、中心座標点群が一直線
上に存在しない場合には、Ｓ１８へ進み、中心座標方向
性が一致しないと判断し、エラー出力した上で、処理を
終了する。

【００３５】図１０には、上記の方向性判定処理の具体
例を示す。長方形データの中心座標を抽出した後、検証
領域データ毎にグループ１，２，３（図中、左方から順
に）に分けて長方形データを扱い、各グループ内の長方
形データ中心座標点群が直線上にないものについてエラ
ー出力する。ここでは、グループ１及び２において中心
座標点群が一直線上に並ばず、中心座標方向性不一致と
判断される。このように、中心座標方向性の不一致を検
証することができる。

【００３６】実施の形態４．更に、続いて、本発明の実
施の形態４に係るレイアウト検証装置について説明する
が、このレイアウト検証装置は、上記実施の形態２にお
けるレイアウト検証装置３０とほぼ同様の構成を有して
いるため、改めて図示しない。この実施の形態４では、
一方のデータの領域内に他方のデータが１つ又は複数含
まれるような大小のデータを考え、大きい方のデータ内
に含まれる小さい方のデータの方向に基づいて、検証対
象となる大小両データの方向性を検証する。

【００３７】図１１は、かかるレイアウト検証装置によ
る方向判定処理についてのフローチャートである。この
方向判定処理では、まず、Ｓ１９において、入力された
検証対象の大小の長方形データから、中心座標・方向性
を抽出する。以下、小さい方の長方形データを長方形デ
ータ１，大きい方の長方形データを長方形データ２と呼
ぶ。次に、Ｓ２０では、１つ又は複数の長方形データ１
を含む長方形データ２単位で、長方形データのグループ
分けを行なう。

【００３８】Ｓ２１では、各グループで、長方形データ
２の領域内の長方形データ１に存在する方向の数を数え
る。続いて、Ｓ２２では、方向の数が１つであるか否か
の判定を行ない、その結果、２つ以上の場合には、Ｓ２
３へ進み、方向性不一致と判断し、エラー出力した上
で、処理を終了する。他方、Ｓ２２の結果、１つの場合
には、Ｓ２４へ進み、方向性一致と判断し、長方形デー
タ１の方向を決定する。

【００３９】Ｓ２４の後、Ｓ２５では、グループ毎に、
大小の長方形データ１，２の方向性の関係が合っている
か否かの判定を行なう。その結果、ＮＯの場合には、Ｓ
２６へ進み、方向性不一致と判断し、エラー出力した上
で、処理を終了する。他方、Ｓ２５の結果、ＹＥＳの場
合には、Ｓ２７へ進み、方向性一致と判断し、長方形デ
ータ・中心座標を出力する。以上で、処理を終了する。

【００４０】図１２には、上記の方向性判定処理の具体
例を示す。この形態では、長方形データ１をその領域内
に含む長方形データ２が、長方形データ１と９０°をな
す関係にあるか否かが検証される。長方形データ１，２
の方向を抽出した後、長方形データ２単位で、グループ
１，２，３に分けて長方形データを扱い、各グループ内
の長方形データ１群の方向性一致を検証する。その結
果、グループ２が長方形データ１群の方向性不一致と認
識され、エラー出力される。

【００４１】また、グループ１，３については、長方形
データ１群の方向性を決定し、それぞれ、図形である長
方形データ２の方向性に対し比較を行なう。その結果、
９０°をなす関係にないグループ３が、エラー出力され
る。このように、実施の形態４では、一方のデータの領
域内に他方のデータが１つ又は複数含まれるような大小
のデータの方向性を検証することができる。

【００４２】実施の形態５．更に、続いて、本発明の実
施の形態５に係るレイアウト検証装置について説明す
る。この実施の形態５では、レイアウトパターン上の抵
抗等の、所定数のデバイス端子を備えた矩形デバイスデ
ータに対して、方向抽出処理を行なう。ここでは、特に
２つのデバイス端子を備えた矩形デバイスデータを取り
上げる。

【００４３】図１３は、実施の形態５に係るレイアウト
検証装置による方向判定処理についてのフローチャート
である。この方向判定処理では、まず、Ｓ２８におい
て、入力されたレイアウトパターン内のデータに対し、
矩形データ判定を行なうために、個々のデータの頂点を
抽出する。次に、Ｓ２９では、検証対象について頂点数
が４で且つコーナー角が９０°であるかを判定する。そ
の結果、ＹＥＳの場合には、Ｓ３０へ進み、他方、ＮＯ
の場合には、処理を終了する。Ｓ３０では、矩形デバイ
スデータに接しているデバイス端子データ数が２である
ものとそうでないものに分けることで、２端子接続であ
るか否かを判定する。その結果、ＹＥＳの場合には、Ｓ
３１へ進み、他方、ＮＯの場合には、処理を終了する。

【００４４】Ｓ３１では、２端子接続と判定された矩形
データに対して、４頂点座標を用いて中心座標を抽出す
る。続いて、Ｓ３２では、方向に関して端子データと接
する辺に微小フラグデータを生成する。更に、Ｓ３３で
は、微小フラグデータの方向を抽出する。最後に、Ｓ３
４では、抽出した中心座標・方向の情報を各長方形デー
タに付加し、後にその情報を用いた検証を可能にする。

【００４５】図１４に、上記の方向性判定処理の具体例
を示す。まず、例えば、端子データ（矩形データ）の４
頂点の座標からその中点の座標（２，２）を求める。続
いて、端子データとの接辺に微小のフラグデータ（接辺
フラグデータ）を生成する。そして、この接辺フラグデ
ータの方向を抽出することにより、矩形データの方向性
を判定する。ここでは、矩形データの方向をＸ方向と判
定する。

【００４６】このように、２端子接続である矩形デバイ
スであれば、正方形データの方向も抽出が可能である。
この実施の形態５において、検証対象とし得る矩形デバ
イスデータとしては、２端子接続タイプのものに限ら
ず、図１５の（ａ）〜（ｃ）に示すように、２つのデバ
イス端子を備えた２端子接続タイプの矩形デバイスデー
タ以外にも、３つのデバイス端子を備えた３端子接続タ
イプおよび４つのデバイス端子を備えた４端子接続タイ
プの矩形デバイスデータも考えられる。この図から分か
るように、デバイス端子データのブロックが、矩形デバ
イスデータのブロックに隣接しており、１つの矩形デバ
イスデータに対してデバイス端子データが接続する数に
よって、接続態様が決定される。

【００４７】なお、本発明は、例示された実施の形態に
限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
において、種々の改良及び設計上の変更が可能であるこ
とは言うまでもない。

【００４８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本願の
第１の発明によれば、半導体集積回路のマスクレイアウ
トパターン検証装置において、検証対象データに対して
頂点数と長辺の存在を調べることにより、所定の矩形デ
ータを選別し、選別された矩形データに対して、４頂点
の座標を抽出して、矩形データの長辺方向及び中心座標
を算出するので、検証対象の方向性を特定することがで
き、矩形データに対する検証を高精度に行なえ、検証効
率が向上する。その結果、設計工期の短縮を図ることが
できる。

【００４９】また、本願の第２の発明によれば、更に、
上記算出手段により算出された長辺方向を、所定の定義
式に基づき予め指定された基準データの方向と比較する
ので、検証対象とする矩形データの方向性の良否を確実
に且つ効率的に判定することができる。

【００５０】更に、本願の第３の発明によれば、更に、
複数の矩形データを包含する領域を規定した上で、上記
算出手段により算出された各矩形データの長辺方向を用
いて、該領域内に存在する矩形データの方向の数を算出
し、該方向の数に基づき、領域単位で矩形データの方向
性の一致を判定するので、検証対象とする矩形データの
方向性の良否を確実に且つ効率的に判定することができ
る。

【００５１】また、更に、本願の第４の発明によれば、
更に、複数の矩形データを包含する領域を規定した上
で、上記算出手段により算出された各矩形データの中心
座標の配列の仕方に基づき、領域単位で矩形データの方
向性の一致を判定するので、検証対象とする矩形データ
の方向性の良否を確実に且つ効率的に判定することがで
きる。

【００５２】また、更に、本願の第５の発明によれば、
更に、１つ又は複数の矩形データをその領域内に包含す
る包含矩形データについて、包含される複数の矩形デー
タ間の方向性の一致を判定した上で、複数の矩形データ
と包含矩形データの方向性との間の方向性の一致を判定
するので、検証対象とする矩形データの方向性の良否を
確実に且つ効率的に判定することができる。

【００５３】また、更に、本願の第６の発明によれば、
上記算出手段により算出された矩形データの長辺方向お
よび中心座標を、それ以降のプロセスを行なう装置へ共
に出力する出力手段を有しているので、例えばレーザト
リミング装置ではヒューズデバイスの方向がヒューズを
切断する偏光の向きと合致しないという不具合を未然に
防止することが可能となることにより、以降のプロセス
を行なう装置に関するコストを削減することができる。

【００５４】また、更に、本願の第７の発明によれば、
半導体集積回路のマスクレイアウトパターン検証方法に
おいて、検証対象データに対して頂点数と長辺の存在を
調べることにより、所定の矩形データを選別する選別ス
テップと、選別された矩形データに対して、４頂点の座
標を抽出し、矩形データの長辺方向及び中心座標を算出
する算出ステップとを有しているので、検証対象の方向
性を特定することができ、レイアウトパターンデータに
対する検証を一層高精度に行なえ、検証効率が向上す
る。その結果、設計工期の短縮を図ることができる。

【００５５】また、更に、本願の第８の発明によれば、
更に、上記算出ステップにおいて算出された長辺方向
を、所定の定義式に基づき予め指定された基準データの
方向と比較する方向比較ステップを有しているので、検
証対象とする矩形データの方向性の良否を確実に且つ効
率的に判定することができる。

【００５６】また、更に、本願の第９の発明によれば、
更に、複数の矩形データを包含する領域を規定した上
で、上記算出ステップにおいて算出された各矩形データ
の長辺方向を用いて、該領域内に存在する矩形データの
方向の数を算出し、該方向の数に基づき、領域単位で矩
形データの方向性の一致を判定する方向性判定ステップ
を有しているので、検証対象とする矩形データの方向性
の良否を確実に且つ効率的に判定することができる。

【００５７】また、更に、本願の第１０の発明によれ
ば、更に、複数の矩形データを包含する領域を規定した
上で、上記算出ステップにおいて算出された各矩形デー
タの中心座標の配列の仕方に基づき、領域単位で矩形デ
ータの方向性の一致を判定する方向性判定ステップを有
しているので、検証対象とする矩形データの方向性の良
否を確実に且つ効率的に判定することができる。

【００５８】また、更に、本願の第１１の発明によれ
ば、更に、１つ又は複数の矩形データをその領域内に包
含する包含矩形データについて、包含される複数の矩形
データ間の方向性の一致を判定した上で、複数の矩形デ
ータと包含矩形データの方向性との間の方向性の一致を
判定する方向性判定ステップを有しているので、検証対
象とする矩形データの方向性の良否を確実に且つ効率的
に判定することができる。

【００５９】また、更に、本願の第１２の発明によれ
ば、上記算出ステップにおいて算出された矩形データの
長辺方向および中心座標を、それ以降のプロセスを行な
う装置へ共に出力する出力ステップを有しているので、
例えばレーザトリミング装置ではヒューズデバイスの方
向がヒューズを切断する偏光の向きと合致しないという
不具合を未然に防止することが可能となることにより、
以降のプロセスを行なう装置に関するコストを削減する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１に係るマスクレイアウ
トパターン検証装置の構成を示すブロック図である。

【図２】上記マスクレイアウトパターン検証装置を実
現するハードウェア構成を示すブロック図である。

【図３】上記マスクレイアウトパターン検証装置によ
る長方形データの中心座標・方向情報の抽出処理につい
てのフローチャートである。

【図４】上記マスクレイアウトパターン検証装置にお
いて、長方形データから、中心座標および長辺方向を抽
出する具体例を示す説明図である。

【図５】上記マスクレイアウトパターン検証装置にお
いて、長方形データの方向性の一致を検証する具体例を
示す説明図である。

【図６】本発明の実施の形態２に係るマスクレイアウ
トパターン検証装置の構成を示すブロック図である。

【図７】上記実施の形態２に係るマスクレイアウトパ
ターン検証装置による方向判定処理についてのフローチ
ャートである。

【図８】上記実施の形態２に係るマスクレイアウトパ
ターン検証装置において、長方形データの方向性の一致
を検証する具体例を示す説明図である。

【図９】本発明の実施の形態３に係るマスクレイアウ
トパターン検証装置による方向判定処理についてのフロ
ーチャートである。

【図１０】上記実施の形態３に係るマスクレイアウト
パターン検証装置において、長方形データの方向性の一
致を検証する具体例を示す説明図である。

【図１１】本発明の実施の形態４に係るマスクレイア
ウト検証装置による方向判定処理についてのフローチャ
ートである。

【図１２】上記実施の形態４に係るマスクレイアウト
パターン検証装置において、長方形データの方向性の一
致を検証する具体例を示す説明図である。

【図１３】本発明の実施の形態５に係るマスクレイア
ウトパターン検証装置による方向判定処理についてのフ
ローチャートである。

【図１４】上記実施の形態５に係るマスクレイアウト
パターン検証装置において、長方形データの方向性の一
致を検証する具体例を示す説明図である。

【図１５】（ａ）２つのデバイス端子を備えた２端子
接続タイプの矩形デバイスデータを示す図である。
（ｂ）３つのデバイス端子を備えた３端子接続タイプの
矩形デバイスデータを示す図である。（ｃ）４つのデバ
イス端子を備えた４端子接続タイプの矩形デバイスデー
タを示す図である。

【符号の説明】

１入力部，２レイアウトパターンデータファイル，
３検証コマンドファイル，４配線・デバイス認識
部，５長方形データ方向・中心座標抽出部，６ヒュー
ズ中心座標・方向データ格納部，７ヒューズ中心座標
・方向算出式定義ファイル格納部，８仮想ヒューズ算
出部，９仮想ヒューズ中心座標・方向データ格納部，
１０レイアウトパターン検証装置，１１ヒューズ中
心座標・方向比較部，１２出力部，３１検証領域デ
ータファイル格納部，３２方向判定部

フロントページの続きＦターム(参考） 2H095 BB01 BB02 BB36 5B046 AA08 BA06 JA02 5F064 DD10 DD12 DD14 HH06 HH10 HH11 HH15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体集積回路のマスクレイアウトパタ
ーン検証装置において、検証対象データに対して頂点数と長辺の存在を調べるこ
とにより、所定の矩形データを選別する選別手段と、選別された矩形データに対して、４頂点の座標を抽出
し、矩形データの長辺方向及び中心座標を算出する算出
手段とを有していることを特徴とするマスクレイアウト
パターン検証装置。
【請求項２】更に、上記算出手段により算出された長
辺方向を、所定の定義式に基づき予め指定された基準デ
ータの方向と比較する方向比較手段が設けられているこ
とを特徴とする請求項１記載のマスクレイアウトパター
ン検証装置。
【請求項３】更に、複数の矩形データを包含する領域
を規定した上で、上記算出手段により算出された各矩形
データの長辺方向を用いて、該領域内に存在する矩形デ
ータの方向の数を算出し、該方向の数に基づき、領域単
位で矩形データの方向性の一致を判定する方向性判定手
段が設けられていることを特徴とする請求項１記載のマ
スクレイアウトパターン検証装置。
【請求項４】更に、複数の矩形データを包含する領域
を規定した上で、上記算出手段により算出された各矩形
データの中心座標の配列の仕方に基づき、領域単位で矩
形データの方向性の一致を判定する方向性判定手段が設
けられていることを特徴とする請求項１記載のマスクレ
イアウトパターン検証装置。
【請求項５】更に、１つ又は複数の矩形データをその
領域内に包含する包含矩形データについて、包含される
複数の矩形データ間の方向性の一致を判定した上で、複
数の矩形データと包含矩形データの方向性との間の方向
性の一致を判定する方向性判定手段が設けられているこ
とを特徴とする請求項１〜４のいずれか一に記載のマス
クレイアウトパターン検証装置。
【請求項６】上記算出手段により算出された矩形デー
タの長辺方向および中心座標を、それ以降のプロセスを
行なう装置へ共に出力する出力手段を有していることを
特徴とする請求項１〜５のいずれか一に記載のマスクレ
イアウトパターン検証装置。
【請求項７】半導体集積回路のマスクレイアウトパタ
ーン検証方法において、検証対象データに対して頂点数と長辺の存在を調べるこ
とにより、所定の矩形データを選別する選別ステップ
と、選別された矩形データに対して、４頂点の座標を抽出
し、矩形データの長辺方向及び中心座標を算出する算出
ステップとを有していることを特徴とするマスクレイア
ウトパターン検証方法。
【請求項８】更に、上記算出ステップにおいて算出さ
れた長辺方向を、所定の定義式に基づき予め指定された
基準データの方向と比較する方向比較ステップを有して
いることを特徴とする請求項７記載のマスクレイアウト
パターン検証方法。
【請求項９】更に、複数の矩形データを包含する領域
を規定した上で、上記算出ステップにおいて算出された
各矩形データの長辺方向を用いて、該領域内に存在する
矩形データの方向の数を算出し、該方向の数に基づき、
領域単位で矩形データの方向性の一致を判定する方向性
判定ステップを有していることを特徴とする請求項７記
載のマスクレイアウトパターン検証方法。
【請求項１０】更に、複数の矩形データを包含する領
域を規定した上で、上記算出ステップにおいて算出され
た各矩形データの中心座標の配列の仕方に基づき、領域
単位で矩形データの方向性の一致を判定する方向性判定
ステップを有していることを特徴とする請求項７記載の
マスクレイアウトパターン検証方法。
【請求項１１】更に、１つ又は複数の矩形データをそ
の領域内に包含する包含矩形データについて、包含され
る複数の矩形データ間の方向性の一致を判定した上で、
複数の矩形データと包含矩形データの方向性との間の方
向性の一致を判定する方向性判定ステップを有している
ことを特徴とする請求項７〜１０のいずれか一に記載の
マスクレイアウトパターン検証方法。
【請求項１２】上記算出ステップにおいて算出された
矩形データの長辺方向および中心座標を、それ以降のプ
ロセスを行なう装置へ共に出力する出力ステップを有し
ていることを特徴とする請求項７〜１１のいずれか一に
記載のマスクレイアウトパターン検証方法。