JPH085340A - 厚み測定装置 - Google Patents
厚み測定装置Info
- Publication number
- JPH085340A JPH085340A JP15935094A JP15935094A JPH085340A JP H085340 A JPH085340 A JP H085340A JP 15935094 A JP15935094 A JP 15935094A JP 15935094 A JP15935094 A JP 15935094A JP H085340 A JPH085340 A JP H085340A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- thickness
- air
- ceramic green
- thickness measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 セラミックグリーンシートなどのように、表
面が粘着性を有していたり、外部からの応力によって変
形したり損傷を受けたりするようなシートの厚みを、非
接触式の方法で正確に測定することを可能にする。 【構成】 シート３に光線をあてることにより、シート
３に接触することなくシート３の厚みを検出する光学式
の厚み測定センサ１０と、所定の位置に、厚み測定セン
サ１０（７）からの光線を通過させる測定光通過穴４が
形成されているとともに、上面に、エアを吹き出すため
のエア吹出し口が形成され、エア吹出し口からエアを吹
き出すことによりシート３との間にエア層を形成し、シ
ート３を浮き上がらせた状態で測定光通過穴４上を通過
させるフローティングプレート５とを具備する。
面が粘着性を有していたり、外部からの応力によって変
形したり損傷を受けたりするようなシートの厚みを、非
接触式の方法で正確に測定することを可能にする。 【構成】 シート３に光線をあてることにより、シート
３に接触することなくシート３の厚みを検出する光学式
の厚み測定センサ１０と、所定の位置に、厚み測定セン
サ１０（７）からの光線を通過させる測定光通過穴４が
形成されているとともに、上面に、エアを吹き出すため
のエア吹出し口が形成され、エア吹出し口からエアを吹
き出すことによりシート３との間にエア層を形成し、シ
ート３を浮き上がらせた状態で測定光通過穴４上を通過
させるフローティングプレート５とを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、厚み測定装置に関し、
詳しくは、セラミックグリーンシートなどのように、表
面が粘着性を有していたり、外部からの応力によって変
形したり損傷を受けたりするようなシートの厚みを、シ
ートを損傷したりすることなく測定するための厚み測定
装置に関する。
詳しくは、セラミックグリーンシートなどのように、表
面が粘着性を有していたり、外部からの応力によって変
形したり損傷を受けたりするようなシートの厚みを、シ
ートを損傷したりすることなく測定するための厚み測定
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】例え
ば、成形直後の水分を含むセラミックグリーンシート
は、粘着性を有するとともに、柔軟性や可塑性を有し、
外部から応力が加わると変形が生じたり、表面が傷つい
たりしやすい、そのため、接触式の方法では、セラミッ
クグリーンシートを傷つけたりすることなくその厚みを
正確に測定することは困難である。また、セラミックグ
リーンシートを搬送中に接触式の方法で厚みを測定しよ
うとすると、セラミックグリーンシートが粘着性を有し
ていることもあり、厚み測定装置との接触により、その
搬送状態が不安定になるというような問題点がある。
ば、成形直後の水分を含むセラミックグリーンシート
は、粘着性を有するとともに、柔軟性や可塑性を有し、
外部から応力が加わると変形が生じたり、表面が傷つい
たりしやすい、そのため、接触式の方法では、セラミッ
クグリーンシートを傷つけたりすることなくその厚みを
正確に測定することは困難である。また、セラミックグ
リーンシートを搬送中に接触式の方法で厚みを測定しよ
うとすると、セラミックグリーンシートが粘着性を有し
ていることもあり、厚み測定装置との接触により、その
搬送状態が不安定になるというような問題点がある。
【０００３】そのため、セラミックグリーンシートのよ
うなシートの厚みを、非接触式の方法で精度よく測定す
ることが可能な方法や装置が要求されている。
うなシートの厚みを、非接触式の方法で精度よく測定す
ることが可能な方法や装置が要求されている。
【０００４】しかし、例えば、光学式の方法でシートに
接触することなくその厚みを測定しようとした場合、厚
み測定装置（の発受光部）とシートとの相対的な位置関
係が安定していることが必要となるが、シートを測定位
置に搬送する際にシートにうねりやたわみ、あるいは振
動などが生じ、厚み測定装置（の発受光部）とシートと
の相対的な位置関係がばらつくため、正確な厚み測定を
行なうことができないという問題点がある。
接触することなくその厚みを測定しようとした場合、厚
み測定装置（の発受光部）とシートとの相対的な位置関
係が安定していることが必要となるが、シートを測定位
置に搬送する際にシートにうねりやたわみ、あるいは振
動などが生じ、厚み測定装置（の発受光部）とシートと
の相対的な位置関係がばらつくため、正確な厚み測定を
行なうことができないという問題点がある。
【０００５】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、セラミックグリーンシートなどのように、表面が粘
着性を有していたり、外部からの応力によって変形した
り損傷を受けたりするようなシートの厚みを、非接触式
の方法で正確に測定することが可能な厚み測定装置を提
供することを目的とする。
り、セラミックグリーンシートなどのように、表面が粘
着性を有していたり、外部からの応力によって変形した
り損傷を受けたりするようなシートの厚みを、非接触式
の方法で正確に測定することが可能な厚み測定装置を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の厚み測定装置は、シートの厚みを測定する
ための厚み測定装置において、シートに光線をあてるこ
とにより、シートに接触することなくシートの厚みを検
出する光学式の厚み測定センサと、所定の位置に、前記
厚み測定センサからの光線を通過させる測定光通過穴が
形成されているとともに、上面に、エアを吹き出すため
のエア吹出し口が形成され、前記エア吹出し口からエア
を吹き出すことによりシートとの間にエア層を形成し、
シートを浮き上がらせた状態で前記測定光通過穴上を通
過させるフローティングプレートとを具備することを特
徴とする。
に、本発明の厚み測定装置は、シートの厚みを測定する
ための厚み測定装置において、シートに光線をあてるこ
とにより、シートに接触することなくシートの厚みを検
出する光学式の厚み測定センサと、所定の位置に、前記
厚み測定センサからの光線を通過させる測定光通過穴が
形成されているとともに、上面に、エアを吹き出すため
のエア吹出し口が形成され、前記エア吹出し口からエア
を吹き出すことによりシートとの間にエア層を形成し、
シートを浮き上がらせた状態で前記測定光通過穴上を通
過させるフローティングプレートとを具備することを特
徴とする。
【０００７】
【作用】フローティングプレートの上面に形成されたエ
ア吹出し口からエアを吹き出すことにより、フローティ
ングプレートとシートの間にエア層が形成される。した
がって、フローティングプレート上に供給されたシート
は、フローティングプレートから浮き上がった状態で、
変形したり損傷を受けたりすることなく滑らかに搬送さ
れる。そして、フローティングプレートに形成された測
定光通過穴上を通過する際に、光学式の厚み測定センサ
により、シートに接触することなくその厚みが検出され
る。
ア吹出し口からエアを吹き出すことにより、フローティ
ングプレートとシートの間にエア層が形成される。した
がって、フローティングプレート上に供給されたシート
は、フローティングプレートから浮き上がった状態で、
変形したり損傷を受けたりすることなく滑らかに搬送さ
れる。そして、フローティングプレートに形成された測
定光通過穴上を通過する際に、光学式の厚み測定センサ
により、シートに接触することなくその厚みが検出され
る。
【０００８】したがって、セラミックグリーンシートな
どのように、表面が粘着性を有していたり、外部からの
応力によって変形したり損傷を受けたりするようなシー
トの厚みを、シートを傷つけたりすることなく、高精度
に測定することができるようになる。
どのように、表面が粘着性を有していたり、外部からの
応力によって変形したり損傷を受けたりするようなシー
トの厚みを、シートを傷つけたりすることなく、高精度
に測定することができるようになる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例にかかる厚み測定装置の概
略構成を示す斜視図である。
る。図１は本発明の一実施例にかかる厚み測定装置の概
略構成を示す斜視図である。
【００１０】この実施例の厚み測定装置は、図１に示す
ように、押出成形機１の吐出口２から押し出された直後
の押出成形シート（セラミックグリーンシート）３の厚
みを非接触で測定するための厚み測定装置であり、厚み
測定センサとして、レーザビームを測定光として用いる
レーザ厚み測定機１０を用いている。
ように、押出成形機１の吐出口２から押し出された直後
の押出成形シート（セラミックグリーンシート）３の厚
みを非接触で測定するための厚み測定装置であり、厚み
測定センサとして、レーザビームを測定光として用いる
レーザ厚み測定機１０を用いている。
【００１１】まず、この実施例の厚み測定装置の構成に
ついて説明する。図１に示すように、この実施例の厚み
測定装置は、平面形状が略正方形の、レーザビーム通過
用の穴（測定光通過穴）４が設けられたフローティング
プレート５と、フローティングプレート５上を水平に搬
送されてくるセラミックグリーンシート３を上下から挟
むように配設された上側レーザセンサ６と，下側レーザ
センサ７と、センサコントローラ８とを備えて構成され
ており、上下側のレーザセンサ６，７は、センサ固定フ
レーム９に固定されている。
ついて説明する。図１に示すように、この実施例の厚み
測定装置は、平面形状が略正方形の、レーザビーム通過
用の穴（測定光通過穴）４が設けられたフローティング
プレート５と、フローティングプレート５上を水平に搬
送されてくるセラミックグリーンシート３を上下から挟
むように配設された上側レーザセンサ６と，下側レーザ
センサ７と、センサコントローラ８とを備えて構成され
ており、上下側のレーザセンサ６，７は、センサ固定フ
レーム９に固定されている。
【００１２】なお、フローティングプレート５は、内部
にエアチャンバーを有しており、その上面には、多数の
エア吹出し口（図示せず）が形成されている。
にエアチャンバーを有しており、その上面には、多数の
エア吹出し口（図示せず）が形成されている。
【００１３】次に、上記実施例の厚み測定装置を用いて
押出成形シートの厚みを測定する場合の動作について説
明する。
押出成形シートの厚みを測定する場合の動作について説
明する。
【００１４】まず、押出成形機１の吐出口２からセラミ
ックグリーンシート３が押し出され、吐出口２の近傍に
配設されたフローティングプレート５上に搬送されてく
ると、フローティングプレート５の上面のエア吹き出し
口から吹き出されるエアによるフローティング効果によ
り、セラミックグリーンシート３がフローティングプレ
ート５の表面から浮き上がった状態でフローティングプ
レート５上を変形したりすることなく円滑に走行する。
ックグリーンシート３が押し出され、吐出口２の近傍に
配設されたフローティングプレート５上に搬送されてく
ると、フローティングプレート５の上面のエア吹き出し
口から吹き出されるエアによるフローティング効果によ
り、セラミックグリーンシート３がフローティングプレ
ート５の表面から浮き上がった状態でフローティングプ
レート５上を変形したりすることなく円滑に走行する。
【００１５】そして、フローティングプレート５のレー
ザビーム通過用の穴（測定光通過穴）４上を通過する際
に、上下側のレーザセンサ６，７により、セラミックグ
リーンシート３の厚みが検出される。なお、この実施例
の厚み測定装置の場合、下側レーザセンサ７からのレー
ザビーム及びその反射光が測定光通過穴４を通過する。
ザビーム通過用の穴（測定光通過穴）４上を通過する際
に、上下側のレーザセンサ６，７により、セラミックグ
リーンシート３の厚みが検出される。なお、この実施例
の厚み測定装置の場合、下側レーザセンサ７からのレー
ザビーム及びその反射光が測定光通過穴４を通過する。
【００１６】こうようにして、フローティングプレート
５によりセラミックグリーンシート３を浮き上がらせた
状態で搬送し、非接触式のレーザ厚み測定機１０によっ
てその厚みを測定することにより、粘着性を有するとと
もに、柔軟性、可塑性を有し、変形したり、損傷を受け
たりしやすいセラミックグリーンシート３の厚みを精度
よく測定することができる。
５によりセラミックグリーンシート３を浮き上がらせた
状態で搬送し、非接触式のレーザ厚み測定機１０によっ
てその厚みを測定することにより、粘着性を有するとと
もに、柔軟性、可塑性を有し、変形したり、損傷を受け
たりしやすいセラミックグリーンシート３の厚みを精度
よく測定することができる。
【００１７】なお、上記実施例では、非接触式の厚み測
定センサとして、レーザ厚み測定機を用いた場合につい
て説明したが、非接触式の厚み測定手段はこれに限られ
るものではなく、他の種々の光学的な厚み測定センサを
用いることが可能である。
定センサとして、レーザ厚み測定機を用いた場合につい
て説明したが、非接触式の厚み測定手段はこれに限られ
るものではなく、他の種々の光学的な厚み測定センサを
用いることが可能である。
【００１８】また、例えば、レーザ厚み測定機などの厚
み測定センサの機種を適切に選択することにより、例え
ば±１０μm以内の高い測定精度でセラミックグリーン
シートの厚みを測定することができる。
み測定センサの機種を適切に選択することにより、例え
ば±１０μm以内の高い測定精度でセラミックグリーン
シートの厚みを測定することができる。
【００１９】なお、上記実施例では、測定光通過穴４の
形状（平面形状）が略正方形であるようなフローティン
グプレート５を用いた場合について説明したが、測定光
通過穴の形状はこれに限られるものではなく、円形など
のその他の種々の形状とすることが可能である。
形状（平面形状）が略正方形であるようなフローティン
グプレート５を用いた場合について説明したが、測定光
通過穴の形状はこれに限られるものではなく、円形など
のその他の種々の形状とすることが可能である。
【００２０】また、例えば、測定光通過穴をセラミック
グリーンシート３の幅方向に長さのあるスリット状に形
成し、上下側のレーザセンサ６，７が固定されたセンサ
固定フレーム９を、セラミックグリーンシート３の幅方
向にトラバースさせることができるようにして、セラミ
ックグリーンシート３の幅方向の各部の厚みを測定する
ことができるように構成することも可能である。
グリーンシート３の幅方向に長さのあるスリット状に形
成し、上下側のレーザセンサ６，７が固定されたセンサ
固定フレーム９を、セラミックグリーンシート３の幅方
向にトラバースさせることができるようにして、セラミ
ックグリーンシート３の幅方向の各部の厚みを測定する
ことができるように構成することも可能である。
【００２１】さらに、上記実施例の厚み測定装置におい
ては、シート厚みの測定結果を押出成形機の要素部分に
フィードバックすることにより、セラミックグリーンシ
ートの厚みを制御するように構成することも可能であ
る。
ては、シート厚みの測定結果を押出成形機の要素部分に
フィードバックすることにより、セラミックグリーンシ
ートの厚みを制御するように構成することも可能であ
る。
【００２２】本発明は、さらにその他の点においても上
記実施例に限定されるものではなく、測定対象であるシ
ートの種類、フローティングプレートの細部の具体的な
構成などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の
応用、変形を加えることが可能である。
記実施例に限定されるものではなく、測定対象であるシ
ートの種類、フローティングプレートの細部の具体的な
構成などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の
応用、変形を加えることが可能である。
【００２３】
【発明の効果】上述のように、本発明の厚み測定装置
は、フローティングプレートのエア吹出し口からエアを
吹き出し、シートとの間にエア層を形成することによ
り、シートをフローティングプレートの表面から浮き上
がらせた状態で搬送し、シートが測定光通過穴上を通過
する際に、非接触式の光学式の厚み測定センサによりシ
ートの厚みを検出するようにしているので、セラミック
グリーンシートなどのように、表面が粘着性を有してい
たり、外部からの応力によって変形したり損傷を受けた
りするようなシートの厚みを、シートを傷つけたりする
ことなく、高精度に測定することができる。
は、フローティングプレートのエア吹出し口からエアを
吹き出し、シートとの間にエア層を形成することによ
り、シートをフローティングプレートの表面から浮き上
がらせた状態で搬送し、シートが測定光通過穴上を通過
する際に、非接触式の光学式の厚み測定センサによりシ
ートの厚みを検出するようにしているので、セラミック
グリーンシートなどのように、表面が粘着性を有してい
たり、外部からの応力によって変形したり損傷を受けた
りするようなシートの厚みを、シートを傷つけたりする
ことなく、高精度に測定することができる。
【００２４】また、搬送（走行）中のセラミックグリー
ンシートの厚みを連続して精度よく測定することができ
るため、例えば、従来解析が困難であったセラミックグ
リーンシート成形工程における厚みのばらつき要因の解
析に有効に利用することができる。
ンシートの厚みを連続して精度よく測定することができ
るため、例えば、従来解析が困難であったセラミックグ
リーンシート成形工程における厚みのばらつき要因の解
析に有効に利用することができる。
【００２５】また、シートの厚みを迅速に測定すること
ができるため、例えば、セラミックグリーンシートの押
出成形直後の厚みを本発明の厚み測定装置により測定
し、その結果を押出成形機にフィードバックすることに
より、シート厚みに関する良品率を向上させることがで
きる。
ができるため、例えば、セラミックグリーンシートの押
出成形直後の厚みを本発明の厚み測定装置により測定
し、その結果を押出成形機にフィードバックすることに
より、シート厚みに関する良品率を向上させることがで
きる。
【図１】本発明の一実施例にかかる厚み測定装置の概略
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
１ 押出成形機 ２ 吐出口 ３ セラミックグリーンシート（押出成形
シート） ４ 測定光通過穴 ５ フローティングプレート ６ 上側レーザセンサ ７ 下側レーザセンサ ８ センサコントローラ ９ センサ固定フレーム １０ 厚み測定センサ（レーザ厚み測定機）
シート） ４ 測定光通過穴 ５ フローティングプレート ６ 上側レーザセンサ ７ 下側レーザセンサ ８ センサコントローラ ９ センサ固定フレーム １０ 厚み測定センサ（レーザ厚み測定機）
Claims (1)
- 【請求項１】 シートの厚みを測定するための厚み測定
装置において、 シートに光線をあてることにより、シートに接触するこ
となくシートの厚みを検出する光学式の厚み測定センサ
と、 所定の位置に、前記厚み測定センサからの光線を通過さ
せる測定光通過穴が形成されているとともに、上面に、
エアを吹き出すためのエア吹出し口が形成され、前記エ
ア吹出し口からエアを吹き出すことによりシートとの間
にエア層を形成し、シートを浮き上がらせた状態で前記
測定光通過穴上を通過させるフローティングプレートと
を具備することを特徴とする厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15935094A JP3557651B2 (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | セラミックグリーンシートの厚み測定装置及び厚み測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15935094A JP3557651B2 (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | セラミックグリーンシートの厚み測定装置及び厚み測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085340A true JPH085340A (ja) | 1996-01-12 |
| JP3557651B2 JP3557651B2 (ja) | 2004-08-25 |
Family
ID=15691932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15935094A Expired - Fee Related JP3557651B2 (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | セラミックグリーンシートの厚み測定装置及び厚み測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3557651B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100917612B1 (ko) * | 2007-10-17 | 2009-09-17 | 삼성전기주식회사 | 기판의 가공 방법 |
| CN103754669A (zh) * | 2012-09-17 | 2014-04-30 | 罗兰电子有限责任公司 | 用于探测复式零件的方法和装置 |
| CN110864635A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-03-06 | 宁波兰羚钢铁实业有限公司 | 一种纵剪机用在线厚度检测系统及方法 |
| CN112605008A (zh) * | 2020-11-04 | 2021-04-06 | 九江市哥瑞照明电器有限公司 | 一种灯具扩散板厚度检测装置 |
-
1994
- 1994-06-16 JP JP15935094A patent/JP3557651B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100917612B1 (ko) * | 2007-10-17 | 2009-09-17 | 삼성전기주식회사 | 기판의 가공 방법 |
| CN103754669A (zh) * | 2012-09-17 | 2014-04-30 | 罗兰电子有限责任公司 | 用于探测复式零件的方法和装置 |
| CN110864635A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-03-06 | 宁波兰羚钢铁实业有限公司 | 一种纵剪机用在线厚度检测系统及方法 |
| CN112605008A (zh) * | 2020-11-04 | 2021-04-06 | 九江市哥瑞照明电器有限公司 | 一种灯具扩散板厚度检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3557651B2 (ja) | 2004-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2010082335A1 (ja) | 塗工膜の幅の検査方法および該検査方法に用いる検査装置 | |
| WO2014017420A1 (ja) | 板状体の反り検査装置及びその反り検査方法 | |
| US20190120779A1 (en) | Measurement system for a corrugating machine | |
| JP2016213418A5 (ja) | ||
| JPH085340A (ja) | 厚み測定装置 | |
| JP5416143B2 (ja) | シート材の基準面に対する共形化可能度を予測する方法 | |
| JP2003047922A (ja) | シート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置 | |
| JP2002350482A (ja) | 基板位置ずれ検出装置及び基板位置ずれ検出方法 | |
| JP2972511B2 (ja) | レーザーによる発泡ポリエチレンシートの厚さ測定方法 | |
| JP2010066242A (ja) | 基板検査装置、及び、基板検査方法 | |
| JP2002257506A (ja) | 非接触膜厚測定装置 | |
| JPH02228513A (ja) | ハニカム成形用口金の検査方法 | |
| JPH04156972A (ja) | フローコート塗装設備の膜切れ検査装置 | |
| JPH01152304A (ja) | 搬送区間の対象物の測定方法及びその装置 | |
| JP2004351261A (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
| JPH06207863A (ja) | テンションプロファイル計測装置 | |
| JP7316331B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| JPS6275209A (ja) | 板状物の寸法測定方法およびその装置 | |
| JP2013003117A (ja) | シート状材料の厚さ測定方法およびシート状材料の搬送装置 | |
| JP2001221630A (ja) | 帯状材性状の非接触センシング方法及び装置 | |
| JPH11157504A (ja) | キャリアテープの検査方法 | |
| JPH07174543A (ja) | 金属薄板の平坦度を測定する装置 | |
| JPH07156122A (ja) | 押出成形シートの製造装置 | |
| JPS63197360A (ja) | 部品の製造方法及び装置 | |
| JPH06213640A (ja) | 矩形体の曲がり度測定方法および装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040204 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040204 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040311 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040427 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20040510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090528 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090528 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110528 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |