JPH0850875A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0850875A JPH0850875A JP6203048A JP20304894A JPH0850875A JP H0850875 A JPH0850875 A JP H0850875A JP 6203048 A JP6203048 A JP 6203048A JP 20304894 A JP20304894 A JP 20304894A JP H0850875 A JPH0850875 A JP H0850875A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- water
- water retention
- electron microscope
- retention material
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、試料室が比較的高い圧力（１
〜２７０Ｐａ）でも観察可能な電子顕微鏡において、ゲ
ルなど保水力の大きな物質上に試料を設置する構造と
し、当該保水力大な物質に真空外より水分を供給するこ
とにより、観察中に水分蒸発に伴なう試料の収縮を防止
し、前処理を行わずに観察可能な電子顕微鏡を提供する
ことにある。 【構成】本発明による装置の構成は、試料台３上に保水
物質２および、試料１が保持されている。試料台３は試
料ステージ５に保持され、配管４は保水物質２と大気中
の貯水タンク９とを接続して保水物質２に水分を供給し
ている。保水物質２は試料１に水分を供給する。配管４
中にはオリフィス７およびバルブ１０があり、それぞ
れ、保水物質２に供給する水量を調節している。
〜２７０Ｐａ）でも観察可能な電子顕微鏡において、ゲ
ルなど保水力の大きな物質上に試料を設置する構造と
し、当該保水力大な物質に真空外より水分を供給するこ
とにより、観察中に水分蒸発に伴なう試料の収縮を防止
し、前処理を行わずに観察可能な電子顕微鏡を提供する
ことにある。 【構成】本発明による装置の構成は、試料台３上に保水
物質２および、試料１が保持されている。試料台３は試
料ステージ５に保持され、配管４は保水物質２と大気中
の貯水タンク９とを接続して保水物質２に水分を供給し
ている。保水物質２は試料１に水分を供給する。配管４
中にはオリフィス７およびバルブ１０があり、それぞ
れ、保水物質２に供給する水量を調節している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、比較的高い試料室圧力
（１〜２７０Ｐａ）における電子顕微鏡に関する。
（１〜２７０Ｐａ）における電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は電子顕微鏡で水分を含んだ試料を
観察する手段として、試料に固定・脱水・乾燥といった
前処理を施す、液体窒素などにより試料を凍結する、比
較的高い試料室圧力下（１〜２７０Ｐａ）で観察する方
法などが一般的であった。しかし、これらの方法は試料
観察を行うまでに手間や時間を要し、また高い試料室圧
力（１〜２７０Ｐａ）でも、観察中に試料から水分が蒸
発するため試料の収縮が生じ、観察が困難となる場合が
あった。
観察する手段として、試料に固定・脱水・乾燥といった
前処理を施す、液体窒素などにより試料を凍結する、比
較的高い試料室圧力下（１〜２７０Ｐａ）で観察する方
法などが一般的であった。しかし、これらの方法は試料
観察を行うまでに手間や時間を要し、また高い試料室圧
力（１〜２７０Ｐａ）でも、観察中に試料から水分が蒸
発するため試料の収縮が生じ、観察が困難となる場合が
あった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】電子顕微鏡において水
分を含んでいる試料を前処理を行わずに観察するために
は、試料室内で試料から蒸発する水分を外部から供給す
ることが必要である。
分を含んでいる試料を前処理を行わずに観察するために
は、試料室内で試料から蒸発する水分を外部から供給す
ることが必要である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、観察試料をゲルなど保水力の大な物質上に設置可能
な構造とし、さらに真空外より配管を通して水分を保水
物質に供給できようにした。また、配管と保水物質との
間にはオリフィスを設け、試料に適量の水分が供給可能
な構造とした。配管の片側は大気中の貯水タンクまでつ
ながっている。また、配管中にバルブを設け、大気中か
らでも水分の供給量を可変できるようにした。
め、観察試料をゲルなど保水力の大な物質上に設置可能
な構造とし、さらに真空外より配管を通して水分を保水
物質に供給できようにした。また、配管と保水物質との
間にはオリフィスを設け、試料に適量の水分が供給可能
な構造とした。配管の片側は大気中の貯水タンクまでつ
ながっている。また、配管中にバルブを設け、大気中か
らでも水分の供給量を可変できるようにした。
【０００５】
【作用】本発明により、試料が保水物質と密着して設置
されていることにより、真空中で試料から蒸発した水分
を連続的に補充できるようになる。
されていることにより、真空中で試料から蒸発した水分
を連続的に補充できるようになる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【０００７】図１は電子顕微鏡の試料室８を示したもの
である。試料台３上には保水物質２が保持され、また、
保水物質２の上には試料１が載せられている。試料台３
は試料ステージ５に保持される。配管４は試料台３中の
保水物質２と大気中の貯水タンク９とに接続されてお
り、これにより保水物質２は貯水タンク９から水分を供
給できる。水量は配管４中に設けられたオリフィス７の
径と、バルブ１０で調節できる。
である。試料台３上には保水物質２が保持され、また、
保水物質２の上には試料１が載せられている。試料台３
は試料ステージ５に保持される。配管４は試料台３中の
保水物質２と大気中の貯水タンク９とに接続されてお
り、これにより保水物質２は貯水タンク９から水分を供
給できる。水量は配管４中に設けられたオリフィス７の
径と、バルブ１０で調節できる。
【０００８】図２は試料台３部の詳細図である。保水物
質２と配管４の間にはフィルタ６があり、保水物質２に
対して均一に水分を供給する。
質２と配管４の間にはフィルタ６があり、保水物質２に
対して均一に水分を供給する。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、従来技術に比べて植物組織な
ど水分を含んだ試料の観察において、試料に常に水分が
供給可能なため収縮を軽減できる。
ど水分を含んだ試料の観察において、試料に常に水分が
供給可能なため収縮を軽減できる。
【００１０】図３は本発明の効果を示すものである。観
察試料はシクラメンの花弁、観察条件は、加速電圧１５
ｋＶ，観察倍率５００倍，観察圧力１３０Ｐａ、いずれ
も観察開始から１０分後の試料の状態である。従来法で
は、観察例１１に示すようにシクラメンの細胞の収縮が
認められる。本発明による方法１２では、試料の収縮は
ほとんど認められていない。
察試料はシクラメンの花弁、観察条件は、加速電圧１５
ｋＶ，観察倍率５００倍，観察圧力１３０Ｐａ、いずれ
も観察開始から１０分後の試料の状態である。従来法で
は、観察例１１に示すようにシクラメンの細胞の収縮が
認められる。本発明による方法１２では、試料の収縮は
ほとんど認められていない。
【図１】本発明の実施例について示す図である。
【図２】試料台３の詳細説明図である。
【図３】本発明による試料の観察例を示す図である。
１…試料、２…保水物質、３…試料台、４…配管、５…
試料ステージ、６…フィルタ、７…オリフィス、８…試
料室、９…貯水タンク、１０…バルブ、１１…従来法に
よる試料観察例、１２…本発明による試料観察例。
試料ステージ、６…フィルタ、７…オリフィス、８…試
料室、９…貯水タンク、１０…バルブ、１１…従来法に
よる試料観察例、１２…本発明による試料観察例。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１２月１２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例について示す図である。
【図２】試料台３の詳細説明図である。
【図３】本発明による試料の観察例を示す顕微鏡写真で
ある。
ある。
【符号の説明】 １…試料、２…保水物質、３…試料台、４…配管、５…
試料ステージ、６…フィルタ、７…オリフィス、８…試
料室、９…貯水タンク、１０…バルブ、１１…従来法に
よる試料観察例、１２…本発明による試料観察例。 以 上
試料ステージ、６…フィルタ、７…オリフィス、８…試
料室、９…貯水タンク、１０…バルブ、１１…従来法に
よる試料観察例、１２…本発明による試料観察例。 以 上
Claims (1)
- 【請求項１】試料室が比較的高い圧力（１〜２７０Ｐ
ａ）でも観察可能な電子顕微鏡において、ゲルなど保水
力の大きな物質に試料を設置する構造とし、当該保水力
大な物質に真空外より水分を供給することにより、観察
中に水分蒸発に伴なう試料の収縮を防止し、前処理を行
わずに観察可能なことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6203048A JPH0850875A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6203048A JPH0850875A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0850875A true JPH0850875A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16467486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6203048A Pending JPH0850875A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0850875A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009158222A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Jeol Ltd | 試料保持体及び観察・検査方法並びに観察・検査装置 |
| WO2014041882A1 (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
| WO2015198968A1 (ja) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | 日本電子株式会社 | 試料導入方法、試料ステージ、および荷電粒子線装置 |
| JP2019169442A (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | 日本電子株式会社 | 液体試料を観察または分析する方法および電子顕微鏡 |
-
1994
- 1994-08-05 JP JP6203048A patent/JPH0850875A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009158222A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Jeol Ltd | 試料保持体及び観察・検査方法並びに観察・検査装置 |
| WO2014041882A1 (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
| JP2014056785A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
| KR20150016351A (ko) * | 2012-09-14 | 2015-02-11 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 하전 입자선 장치 및 시료 관찰 방법 |
| CN104520966A (zh) * | 2012-09-14 | 2015-04-15 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子束装置以及试样观察方法 |
| US9362083B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-06-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus and sample observation method |
| WO2015198968A1 (ja) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | 日本電子株式会社 | 試料導入方法、試料ステージ、および荷電粒子線装置 |
| US9916963B2 (en) | 2014-06-27 | 2018-03-13 | Jeol Ltd. | Specimen loading method, specimen stage, and charged particle beam device |
| JP2019169442A (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | 日本電子株式会社 | 液体試料を観察または分析する方法および電子顕微鏡 |
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