JPH08504973A

JPH08504973A - 構造化された表面を形成するための照射量プロフィールを形成する方法及び装置

Info

Publication number: JPH08504973A
Application number: JP7511251A
Authority: JP
Inventors: クレイ，エルンスト−ベルンハルト
Original assignee: イェノプティックテクノロジーゲーエムベーハー
Priority date: 1993-10-15
Filing date: 1994-10-06
Publication date: 1996-05-28
Anticipated expiration: 2019-08-25
Also published as: EP0674778A1; JP3558296B2; US5620814A; DE4333620A1; EP0674778B1; DE59410382D1; WO1995010799A1

Abstract

(57)【要約】構造化された表面を形成する照射量プロフィールを前記表面への照射に使用されるビームを用いて形成する方法及び装置の目的は、マイクロ・レンズ及びマイクロ・レンズ・アレイを形成するために必要な処理時間及び原材料費を実質的に削減するように表面照射をアレンジすることにある。本発明に基づきビームは自身の横断面に少なくとも１つの定形領域を有し、前記の定形領域は前記表面に対して移動可能であり、定形領域の相対的移動の移動方向に沿って延びる長さは同相対的移動の速度とともに照射量を決定する。本発明により特にマイクロ・レンズ及びマイクロ・レンズ・アレイに代表されるレンズ構造のリソグラフィによる効果的な形成を実現可能である。

Description

【発明の詳細な説明】構造化された表面を形成するための照射量プロフィールを形成する方法及び装置本発明は構造化された表面を形成する照射量プロフィールを前記表面への照射に使用されるビームを用いて形成する方法及び装置に関する。電子ビーム・リソグラフィ及びフォト・リソグラフィに使用される表面プロフィールを形成する照射量可変書込み技術を用いた装置及び方法が知られている（光学誌（Opt.Lett.）７（１９８２）１２の５７８頁に記載のティー．フジタ、エッチ．ニシハラ及びジェイ．カヤマ共著による“電子ビーム・リソグラフィによって形成された回折格子及びフレネル・レンズ”、並びに１９９０年１２月に発行された応用光学誌（Applied Optics）第２９巻３４／１号に記載のエム．ハルナ、エム．タカヒシ、ケイ．ワカハヤシ及びエッチ．ニシハラ共著による“レーザ・ビーム・リソグラフィによって形成されたマイクロ・フレネル・レンズ” 参照）。現像溶液中における放射線感応性レジストの溶解速度は、レジスト上に加えられた放射線の照射量によって予め決定可能であるという事実が使用されている。従って、現像から所定時間が経過した後で、所望の表面プロフィールが得られるように放射線照射量の側面分布（laterale Strahlungsdosisverteilung）を設計できる。図１４は、この処理を示している。しかし、従来使用されている電子ビーム書込み装置（Elektronenstrahlschrei ber）またはレーザ・パターン形成装置（Laser-Pattemgeneratoren）等の装置は、物理的に大きく、かつ非常に高価であるため、この処理に必要な照射量プロフィールを形成する設備のコスト高が問題となる。また、大きな表面プロフィールの形成は非常に長い処理時間を必要とする。マイクロ・レンズ及びマイクロ・レンズ・アレイの形成は特に時間を要する。また、必要とされる照射量プロフィールを書込むためのデータは膨大な量に達することがあり、これに対応したコンピュータ技術に関する出費が必要となる。本発明の目的は、マイクロ・レンズ及びマイクロ・レンズ・アレイを形成するために必要な処理時間及び原材料費を実質的に削減するように表面照射をアレンジすることにある。本発明の目的は、構造化された表面を形成する照射量プロフィールを前記の表面への照射に使用されるビームを用いて形成する方法であって、ビームが自身の横断面に少なくとも１つの定形領域を有し、同定形領域が表面に対して移動可能であり、相対的移動の方向に沿って延びる定形領域の長さが同相対的移動の速度とともに照射量を決定することを特徴とする方法によって実現される。相対的移動は、一方が他方に対して角度をともなう傾斜をなす２つの方向のうちの少なくとも一方に沿って実施される。前記の角度は９０度であることが好ましいが、９０度以外の角度でもよい。レンズ・アレイを形成すべく複数の互いに隣接する平行な照射が相対的移動の方向に沿って実施される。回動を相対的移動として使用し得る。更に、本発明により、構造化された表面を形成する照射量プロフィールを表面への照射に使用されるビームを用いて形成する光学装置であって、ビームの横断面を整形する手段を備え、同手段が少なくとも１つの定形領域を形成し、同定形領域が表面に対して移動可能であり、相対的移動の方向に沿って延びる定形領域の長さが同相対的移動の速度とともに照射量を決定することを特徴とする装置が提供される。ビームの横断面を整形する手段が絞りであって、移動方向に沿って延びる同絞りの開口が相対的移動の速度とともに照射量を決定する。絞りは複数絞り（Vielfachblende）であって、同複数絞り内において、個々の絞りが移動方向に沿って前後に配置されており、相対的移動の方向に沿って延びる個々の絞りの開口が相対的移動の速度とともに照射量を決定する。ピエゾ・アクチュエータ（Piezoaktuatoren）は相対的移動を形成すべく複数絞りに対して接続可能であり、同相対的移動の距離は移動方向に沿った個々の絞り間の距離にほぼ一致している。絞り開口は直線及び放物線によって形成されたリムを有し、同放物線の対称軸は移動方向に延び、さらに同放物線は移動方向に直交する方向に延びる直線上の２つの点を接続している。少なくとも１つの矩形シャドー・エレメント（abschattendes rechteckiges E lement）がリムを有する絞り開口内に配置されており、同リム内において、矩形シャドー・エレメントの１つの側部が前記した直線と一致し、前記した側部に対向する側部がその両端において放物線と接触している場合に、凹形フレネル構造を形成するのに適した照射量プロフイールを形成可能である。シャドー・エレメントによって形成された開口領域内において、移動方向に直交する方向に延びる同領域の端縁は共通の境界上に位置している。絞り開口は移動方向に延びる共通の対称軸を有する２つの放物線によって形成されたリムを有し、同２つの放物線は移動方向及び同移動方向とは逆方向に向かってそれそれ凸状をなしており、さらには移動方向に直交する方向に延びる直線上に共通の交点を有している。矩形リム内にシャドー・エレメントによって形成された開口を有する絞りは、凸状構造を形成すべく使用され、一対のリム側部は移動方向に直交する方向に延びる側部を有している。円筒状凸レンズは、移動方向に直交する方向に延びる側部のうちの一方がシャドー・エレメントの直線リムと一致し、同シャドー・エレメントの他方のリムが移動方向に延びる対称軸を備えた放物線であり、同放物線が直線リム上の２つの点を接続する絞り開口によって形成された照射量プロフィールによって形成される。凸形フレネル・レンズを形成すべく、シャドー・エレメントは直線及び放物線によって囲まれた表面から少なくとも１つの矩形部分が取り除かれた後に残された部分エレメントによって形成されている。同放物線の対称軸は移動方向に延びている。更に、同放物線は移動方向に直交する方向に延びる直線上に位置する２つの点を接続している。矩形部分の１つの側部は前記した直線に一致している。前記した側部に対向する側部の両端は、放物線に対してそれそれ接触している。部分エレメントは移動方向に対して直交する方向に延びる同部分エレメントの直線リムが、矩形リムのうちの移動方向に対して直交する方向に延びる側部のうちの一方の側部上に位置するように配置されている。直角三角形の形状をなす開口を有する絞りを使用することができ、同直角三角形の垂直辺のうちの一方が移動方向に延びている。また、二等辺三角形の形状をなす開口の使用が可能であり、同二等辺三角形のうちの等しい２辺によって形成された頂点は移動方向に向いて配置されている。絞りの形状または大きさを調整すべく調整用スライドが効果的に提供されている。形状を形作る領域を直接投射する表示スクリーンをビームの横断面を整形するために使用可能である。表示スクリーンによって形成された領域の形状は、絞りによって形成された領域の形状に一致している。本発明を添付図面に基づいて以下に更に詳述する。図１は構造化された表面を形成するための本発明に基づく装置を示している。図２は本発明に基づく処理を示す基本的な図である。図３ａは移動方向に沿った一方の側に凸状放物線を有する絞りを示している。図３ｂは移動方向に沿った両側に凸状放物線を有する絞りを示している。図３ｃは図３ａに示す複数の個々の絞りからなる複数絞りを示している。図４ａ〜図４ｃは放物線状絞り及び同絞りを用いて形成された構造を示している。図５ａ〜図５ｃは放物線状絞り及び同絞りを用いて形成された構造を示している。図６ａ〜図６ｃは１つの絞り形状及び同絞り形状を用いて形成されたフレネル構造を示している。図６ｄは図６ａに示す絞り形状の形成を示している。図７ａ〜図７ｄは１つの絞り形状及び同絞り形状を用いて形成されたフレネル構造を示している。図７ｄは図７ａに示す絞り形状の形成を示している。図８ａ〜図８ｃは楔形絞り及び同楔形絞りを用いて形成ざれた構造を示している。図９ａ〜図９ｃは三角形絞り及び同三角形絞りを用いて形成された構造を示している。図１０ａ及び図１０ｂは幾何学的可変形状を備えた絞りを示している。図１１は構造化された表面の並行形成のための構成を示している。図１２は円形フレネル・レンズを形成するための構成を示している。図１３は円形フレネル・レンズの一部分を示している。図１４は変更可能な照射量を用いた表面プロフィールの基本的形成処理を示している。図１５a及び図１５ｂは簡単なジグザグ状の移動及び同移動による形成が可能な構造を示している。図１６a及び図１６ｂは交差するジグザグ状の移動及び同移動による形成が可能な構造を示している。図１に示す装置は、放射線の照射方向に沿って以下の順で配置された放射線源としてのコンデンサ付き光源１、ビーム整形手段としての絞り２、結像光学システムとしての対物レンズ３及び対象物を備えており、同対象物は構造化が実施されるレジスト層５の形態をなす表面を基板４上に有している。対象物はＸ−Ｙ位置決めテーブル６上に取付けられている。絞り２は恒久的に取付けるか、または交換可能としてもよい。電子源、Ｘ線源またはイオン源を放射線源として使用可能である。図２に示すように、光源１から照射された光束７の横断面は絞り２によって整形され、同絞り２は領域８を光束７の横断面の他の部分から分離している。整形された領域８は当業者にとって自明な各種の技術工程を用いて構造化が実施される表面に対する移動が可能である。例えば、対象物を位置決めテーブル６を用いて移動させることと、光束７をビーム整形手段とともに移動させることのうちの少なくともいづれか一方を実施可能である。絞り２の直線移動により領域８の相対的移動を実施するか、または光束７の軸に沿って垂直方向に延びるＺ−Ｚ軸の周囲における相対的回動を実施することにより領域８の相対的移動が可能である。移動方向に沿って延びる絞りの開口は、相対的移動の速度とともに対象物に対する照射量を決定する。このため、全ての構成において、絞りの形状は相対的移動の方向に依存している。殆どの場合において、領域８内の照射強度分布は均一である。しかし、特定の結果を得るために、領域８内の照射強度分布は同強度分布が限定された不均一性を備えるように設計し得る。結像光学システムを使用した定形領域の結像は鮮明であるか、または不鮮明であり得る。不鮮明な結像は円筒状レンズの使用などによりボケが相対的移動の方向に沿って位置する際に更に均一なプロフィールを形成する。即ち、これにより相対的移動の精度に関する要件が緩和される。不鮮明な結像により、相対的移動の大きさを縮小可能である。Ｘ線を使用する場合、投影により領域８を直接結像できる。図３ａ及び図３ｂに示す絞りの形状は、少なくとも部分的に放物線を描き、かつ光線の通過を許容する絞り開口９，１０及び影の領域１１，１２をそれそれ備えている。絞り開口９は直線Ｇ₁及び放物線Ｐ₁によって形成されたリムによって囲まれている。相対的移動の方向（本実施例ではＹ’）に延びる対称軸ＳＹ₁を有する放物線Ｐ₁は、移動方向に対して直交する方向に延びる直線Ｇ₁上の２つの点Ｓ₁，Ｓ₂をそれそれ接続している。この絞りを使用して実現し得る照射量は照射時間ｔに比例する一方、同照射時間ｔは相対的移動の移動速度ｖに基づいて変化する。この相対的移動により、絞り開口を通過する光ビーム７の領域は構造化される表面に沿って移動される。これは以下の式によって表すことができる。ｔ（ｘ’）＝ｂ（Ｘ’）／ｖここで値ｂは移動方向に沿って延びる絞り開口の長さを表しており、同開口は本実施例において放物線Ｐ₁の形状を有している。絞りの適切な開口は使用用途に応じて選択可能である。位置Ｘ₁に対してｂ₁で表された開口の長さｂは速度ｖに続く第２の値であり、同開口の長さｂは移動通路全体に沿った相対的移動の際に構造化される表面上に作用する照射量を決定する。照射量は絞りの中心において最大値を示した後、直線Ｇ₁及び放物線Ｐ₁が交差する交点Ｓ₁，Ｓ₂へ到達するまで減少し、最終的にはゼロとなる。この絞りを用いて達成し得る照射量プロフィールは、移動通路全体において移動方向に直交する方向に沿って延びている。均一であり、かつ限定された構造深度は光ビーム７の時間的及び空間的均一性、並びに一定速度ｖによって保証される。図３ｂに示す絞りは移動方向に延びる共通の対称軸ＳＹ₂を備えた２つの放物線Ｐ₂，Ｐ₃によって形成されたリムを有している。放物線Ｐ₂，Ｐ₃はそれそれ移動方向及び同移動方向とは逆方向に向かって凸状をなしている。更に、放物線Ｐ₂ ，Ｐ₃は移動方向に対して直交する方向に延びる直線Ｇ₂上に共通の交点Ｓ₃，Ｓ₄ を有している。この例において、直線Ｇ₂はリムを形成していない。この構成において、２つの放物線Ｐ₂，Ｐ₃は非対称形または面対称であり得る。図３ｂに示す絞りを用いて形成可能な照射量プロフィールは、図３ａに示す絞りを用いて形成可能な照射量と同一である。両側部が放物線状をなす形状の利点は、同形状により不正確さ、特に傾きを補正できる点にある。図３ｃに示す複数絞りは移動方向に沿って前後に配置された複数の個々の絞りを有している。これら複数の個々の絞りは、絞り開口９の形状と一致する形状を備えた絞り開口１４をそれそれ有している。複数絞りを用いて照射量プロフィールを形成するためには、相対的移動を絞り開口１４間の距離によって決定される通路長さに沿って実施すれば十分である。これは互いに平行をなすように隣接して配置された円筒状レンズに対応する照射量プロフィールを形成する。２つの照射処理がそれそれ互いに直交する方向に沿って実施された場合、照射量プロフィールはレンズ・アレイに一致する。複数絞りの構成は、個々の絞りの配置、形状及び大きさについて変更可能である。例えば、複数絞りは５０ｘ５０ｍｍの寸法を備え、かつ１０，０００個の個々の絞りを有するとともに、同個々の絞りのそれぞれが移動方向に直交する方向に沿って５００μｍの長さと、移動方向に沿って最大で２５０μｍの長さとを有する絞り開口１４の形態をなすように設計可能である。照射は衝突光線（kollidie rtem Licht）を使用した投影によって実行可能である。Ｘ線の使用も効果的である。本解決策は巨大アレイを形成するための廉価な手段を提供する。図４〜図９は異なる絞り形状を用いて達成し得る結果を示している。但し、本発明は本明細書中に例示する形状に限定されるものではない。“ａ”が付された図は絞りの形状を示し、“ｂ”が付された図は移動方向に沿ってこれらの形状を移動した際に得られる結果を示し、さらに“ｃ”が付された図は互いに直交する各移動方向の交差領域において得られる結果を示している。図４ａに示す絞りは図３ａに示す絞りに一致している。構造化される表面であるレジスト層５にポジ形レジストを使用した場合、図４ａに示す放物線状の絞りによって形成された領域を、表面に対して放物線の方向に移動した場合、図４ｂに示す円筒状凹形レンズが現像の後に形成される。２つの照射プロセスを互いに直交する方向にそれそれ沿って実行した場合、放射状凹レンズの形成が可能である。これは、この種類のレンズに対応する照射量分布が２つの照射プロセスの重複領域において形成されることに基づく（図４ｃ参照）。楕円レンズは異なる絞り寸法を適切に選択することにより形成できる。２つの照射プロセスは９０度の角度で互いに交差する２つの相対的移動により実施可能である。これによりレンズの“変位した”バリエーション（"verschobe ne"Abarten von Linsen）が生じる。各レンズの焦点距離または楕円レンズの構成は相対的移動の速度によって決定される。図５ｂに示す円筒状凸レンズ及び図５ｃに示す放射状凸レンズは、図５ａに示す絞りを用いて形成できる。図５ａに示す絞りは矩形リム１６内にシャドー・エレメント１７によって形成された開口部分と一致する絞り開口１５を備えている。リムの一対の側部１８，１９は移動方向に対して直交する方向に沿って延びている。側部１９はシャドー・エレメント１７の直線リムＧ₃に一致しており、同シャドー・エレメント１７の残りのリムは放物線Ｐ₄を形成している。放物線Ｐ₄は移動方向に延びる対称軸ＳＹ₃を備え、さらには直線リムＧ₃上の２つの点Ｓ₅，Ｓ₆を接続している。図６ａに示す絞り開口２０を備えた絞りは、フレネル・レンズを形成するために使用される。同絞りを１つの方向に沿って移動した場合、円筒状凹形フレネル・レンズが形成される。２つの照射プロセスが互いに直交する方向のそれぞれに沿って実行された場合、凹形フレネル・レンズが形成され、同凹形フレネル・レンズはドイツ特許出願第Ｐ４３１４５７４．４号に既に詳述されている。図６ａに示す種類の絞りは図６ｄに示すように直線Ｇ₄との間に共通する側部Ｓ₉，Ｓ₁₀を有する矩形シャドー・エレメントＲ₁，Ｒ₂を絞り開口２０’内に挿入することにより形成される。絞り開口２０’のリムは、直線Ｇ₄及び放物線Ｐ₅ を交点Ｓ₇，Ｓ₈とともに有している。側部Ｓ₉，Ｓ₁₀のそれぞれに対向する側部Ｓ₁₁，Ｓ₁₂は同側部Ｓ₁₁，Ｓ₁₂の両端においてそれそれ放物線Ｐ₅と接しており、同放物線Ｐ₅は移動方向に延びる対称軸ＳＹ₄を有している。開口部分Ａ₁，Ａ₂ ，Ａ₃絞り開口２０を形成し、さらには共通の境界Ｇ₅上に位置している。図７ａに示す絞りは円筒状凸形フレネル・レンズまたは凸形フレネル・レンズを提供する。これらのレンズについてもドイツ特許出願第Ｐ４３１４５７４．４号に既に詳述されている。図７ａに示す絞りはシャドー・エレメント２３によって矩形リム２２内に形成された開口部分からなる絞り開口２１を有している。リム２２の一対の側部は移動方向に直交する方向に延びる側部２４，２５を有している。図７ｄに示すように、シャドー・エレメント２３は部分エレメントＥ₁，Ｅ₂, Ｅ₃から形成されており、同部分エレメントＥ₁，Ｅ₂，Ｅ₃は少なくとも１つの矩形部分Ｒ₃，Ｒ₄が直線Ｇ₆及び放物線Ｐ₆によって囲まれた面から取り除かれた際に残される。移動方向に延びる対称軸ＳＹ₅を有する放物線Ｐ₆は、移動方向に直交する方向に延びる直線Ｇ₆上の２つの点Ｓ₁₃，Ｓ₁₄を結んでいる。矩形部分Ｒ₃ ，Ｒ₄の１つの側部Ｓ₁₅，Ｓ₁₆が直線Ｇ₆と一致する一方、同側部Ｓ₁₅，Ｓ₁₆にそれそれ対向する側部Ｓ₁₇，Ｓ₁₈はその両端において放物線Ｐ₆とそれそれ接触している。図７ａに示すように、前記した複数の部分エレメントは絞り開口２１を形成しており、同複数の部分エレメントは側部２５上に位置している。また、別の側部２４を接触のために使用することも可能である。別の適切な絞り（図８ａ参照）は、直角三角形２６の形状をなす絞り開口を備え得る。直角三角形２６の一方の垂直辺２７，２８は、移動方向に延びている。図９ａは二等辺三角形の形状をなす絞り開口２９を示しており、同二等辺三角形の等しい２辺によって形成された頂点は移動方向に向かって配置されている。絞り開口２６は楔形プロフィールを形成する。絞り開口２９は三角形プロフィール及びピラミッド形プロフィールを形成する。図１０ａ及び図１０ｂに示す絞りは、絞りの調整が可能な調整用スライド３０，３１をそれそれ有している。底幅は調整用スライド３０を用いて変更可能であり、構造体の幅は調整用スライド３１を用いて変更し得る。従って、異なる寸法の幾何学的形状を簡単に形成可能である。調整は自動化が可能であり、さらには構造体の幅を変更すべく照射プロセス中に実施可能である。図１１はビーム整形手段としての複数絞りの使用を示している。この解決策は図２に示す解決策と機能が一致している。ピエゾ・アクチュエータは絞りに対して連結されている。振動の形態をなす移動に代表される制御可能な移動を容易に形成するピエゾ・アクチュエータ（図示略）は複数絞りの相対的移動の実施に適している。円形フレネル・レンズに対応する照射プロフィールは、図１２に示す構成を用いることにより形成可能である。絞りは対応する絞り開口３２を有している。この解決策は図２に示す解決策と機能の面で一致しているが、相対的移動がＺ−Ｚ軸の周囲における回動によって形成される点に違いがある。図１３はこれによって形成された円形フレネル・レンズを示している。図１４は変化する照射量を用いて表面プロフィールを形成する基本手順を示している。従って、図１４は本発明による実現が可能な照射量値の使用を示している。レジスト層５が現像される際、Ｘ方向に沿った照射強度の違いにより現像フロント（Entwicklungsfront）３３が形成される。同現像フロント３３は現像の継続時間に合わせて進行し、さらにはレジスト中に表面プロフィールを形成する。別の応用が放射線感応物に対して提供されている。この際、表面プロフィールが対象物内に形成される。対象物の輪郭を直接的に描くことは、例えばイオンビーム・エッチング等のプロフィール・エッチングによって実施可能である。プロフィール・エッチングにおいて、放射線は構造を材料内に直接形成する。円筒状レンズ・アレイ及びレンズ・アレイ（図１５ｂ及び図１６ｂ参照）は図１５及び図１６において矢印で示すジグザグ状に延びる経路に沿った照射によって形成可能である。

Claims

【特許請求の範囲】１．構造化された表面を形成する照射量プロフィールを前記表面への照射に使用されるビームを用いて形成する方法であって、前記ビームが自身の横断面に少なくとも１つの定形領域を有し、前記定形領域が前記表面に対して移動可能であり、相対的移動の方向に沿って延びる定形領域の長さが同相対的移動の速度とともに照射量を決定することを特徴とする方法。２．前記相対的移動は、一方が他方に対して角度をともなう傾斜をなす２つの方向のうちの少なくとも一方に沿って実施されることを特徴とする請求項１に記載の方法。３．前記角度が９０度であることを特徴とする請求項２に記載の方法。４．レンズ・アレイを形成すべく複数の互いに隣接する平行な照射が前記相対的移動の方向に沿って実施されることを特徴とする請求項２または３に記載の方法。５．前記相対的移動が回動であることを特徴とする請求項１に記載の方法。６．構造化された表面を形成する照射量プロフィールを前記表面への照射に使用されるビームを用いて形成する光学装置であって、前記ビームの横断面を整形する手段を備え、前記手段が少なくとも１つの定形領域（８）を形成し、前記定形領域（８）が前記表面に対して移動可能であり、相対的移動の方向に沿って延びる定形領域（８）の長さが同相対的移動の速度とともに照射量を決定することを特徴とする装置。７．前記ビームの横断面を整形する手段が絞り（２）であって、移動方向に沿って延びる同絞り（２）の開口（９，１０，１４，１５，２０，２１，２６，２９，３２）が前記相対的移動の速度とともに照射量を決定することを特徴とする請求項６に記載の光学装置。８．前記絞り（２）は複数絞りであって、同複数絞り内において、個々の絞りが移動方向に沿って前後に配置されており、相対的移動の方向に沿って延びる個々の絞りの開口（１４）が前記相対的移動の速度とともに照射量を決定することを特徴とする請求項７に記載の光学装置。９．ピエゾ・アクチュエータは相対的移動を実現させるべく複数絞りに対して接続されていることを特徴とする請求項８に記載の光学装置。１０．前記相対的移動の距離は移動方向に沿った個々の絞り間の距離にほぼ一致していることを特徴とする請求項９に記載の光学装置。１１．前記絞り開口（９，２０）は直線（Ｇ₁，Ｇ₄）及び放物線（Ｐ₁，Ｐ₅）によって形成されたリムを有し、前記放物線（Ｐ₁，Ｐ₅）の対称軸（ＳＹ₁，ＳＹ₄ ）が移動方向に延び、さらに前記放物線（Ｐ₁，Ｐ₅）が移動方向に直交する方向に延びる直線（Ｇ₁，Ｇ₄）上の２つの点（Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₇，Ｓ₈）を接続していることを特徴とする請求項７乃至１０のうちのいづれか一項に記載の光学装置。１２．前記絞り開口（１０）は移動方向に延びる共通の対称軸（ＳＹ₂）を有する２つの放物線（Ｐ₂，Ｐ₃）によって形成されたリムを有し、前記２つの放物線（Ｐ₂，Ｐ₃）はそれそれ移動方向及び同移動方向とは逆方向に向かって凸状をなしており、さらには移動方向に直交する方向に延びる直線（Ｇ２）上に共通の交点（Ｓ₃，Ｓ₄）を有していることを特徴とする請求項７乃至１０のうちのいづれか一項に記載の光学装置。１３．少なくとも１つの矩形シャドー・エレメント（Ｒ₁，Ｒ₂）が絞り開口（２０）内に配置されており、同矩形シャドー・エレメント（Ｒ₁，Ｒ₂）の１つの側部（Ｓ₉，Ｓ₁₀）は前記直線（Ｇ₄）と一致し、前記側部（Ｓ₉，Ｓ₁₀）に対向する側部（Ｓ₁₁，Ｓ₁₂）はその両端において放物線（Ｐ₅）と接触していることを特徴とする請求項１１に記載の光学装置。１４．シャドー・エレメント（Ｒ₁，Ｒ₂）によって形成された開口の領域（Ａ₁, Ａ₂）は、移動方向に直交する方向に沿って延びる同領域（Ａ₁，Ａ₂）の端縁が共通の境界（Ｇ₅）上に位置することを特徴とする請求項１３に記載の光学装置。１５．絞り開口（１５，２１）は矩形リム（１６，２２）内にシャドー・エレメント（１７，２３）によって形成された開口部分であり、一対のリム側部は移動方向と直交する方向に延びる側部（１８，１９，２４，２５）を有していることを特徴とする請求項７乃至１０のうちのいづれか一項に記載の光学装置。１６．移動方向に直交する方向に延びる側部（１８，１９）のうちの一方はシャドー・エレメント（１７）の直線リム（Ｇ₃）と一致しており、前記シャドー・エレメント（１７）の他方のリムは放物線（Ｐ₄）であり、同放物線（Ｐ₄）は移動方向に延びる対称軸（ＳＹ₃）を有し、さらには直線リム（Ｇ₃）上の２つの点（Ｓ₅，Ｓ₆）を接続していることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。１７．シャドー・エレメント（２３）は直線（Ｇ₆）及び放物線（Ｐ₆）によって囲まれた表面から少なくとも１つの矩形部分（Ｒ₃，Ｒ₄）が取り除かれた後に残された部分エレメント（Ｅ₁，Ｅ₂，Ｅ₃）によって形成され、前記放物線（Ｐ₆）の対称軸（ＳＹ₅）は移動方向に延び、さらに前記放物線（Ｐ₆）は移動方向と直交する方向に延びる直線（Ｇ₆）上に位置する２つの点（Ｓ₁₃，Ｓ₁₄）を接続しており、前記矩形部分（Ｒ₃，Ｒ₄）の１つの側部（Ｓ₁₅，Ｓ₁₆）は直線（Ｇ₆）に一致しており、さらに前記側部（Ｓ₁₅，Ｓ₁₆）に対向する側部（Ｓ₁，Ｓ₁₈）の両端が放物線（Ｐ₆）にそれそれ接触していることと、前記部分エレメント（Ｅ₁，Ｅ₂，Ｅ₃）は移動方向と直交する方向に延びる同部分エレメント（Ｅ₁，Ｅ₂，Ｅ₃）の直線リムが矩形リム（２２）のうちの移動方向と直交する方向に延びる側部（２４，２５）のうちの一方の上に配置されていることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。１８．前記絞り開口は直角三角形（２６）であり、同直角三角形（２６）の垂直辺（２７，２８）のうちの一方が移動方向に延びていることを特徴とする請求項７乃至１０のうちのいづれか一項に記載の光学装置。１９．前記絞り開口は二等辺三角形（２９）であり、同二等辺三角形（２９）のうちの等しい２辺によって形成された頂点が移動方向に向いて配置されていることを特徴とする請求項７乃至１０のうちのいづれか一項に記載の光学装置。２０．絞りの形状または大きさを調整すべく調整用スライド（３０，３１）を提供することを特徴とする請求項７乃至１９のうちのいづれか一項に記載の光学装置。２１．ビームの横断面を整形すべく表示スクリーンを使用することを特徴とする請求項６に記載の光学装置。