JPH0846110A - プログラム可能なリード調節装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子構成素子パッケージのリードの調節及び
検査を同時に、且つ繰り返して遂行できるような、電子
構成素子パッケージのための改善されたリード調節シス
テムを提供することである。 【解決手段】 リード調節システム（１０）は電子成分
パッケージ（３０）のリード（７４）を調節し、また電
子構成素子パッケージ（３０）を保持してリード（７
４）へのアクセスを可能にするための回転テーブル（１
６）を含む。調節ツール（２０）は、所定数のリード
（７４）と選択的に接触する調節腕（３４）及び調節ブ
レード（７０）とを含む。マニピュレータ（２２）は調
節ツール（２０）を運動させ、所定数のリード（７４）
と接触させてリード（７４）を調節するように位置決め
する。制御システム（２４）はマニピュレータ（２２）
の動作を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電子デバイスを処理
するためのシステム及び方法に関し、具体的には電子構
成素子パッケージのリードを適切に調節するプログラム
可能なリード調節システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】電子構成素子パッケージのリードが意図
しないような変形を生ずることは、電子産業の分野にお
いては公知の問題である。従来は、変形が発生した時に
リードを手で操作してそれらの正しい形状に戻すことに
よってこの問題を処理していた。しかしながらこの方法
に伴う問題は、リードのピッチが小さくなるにつれて手
による調節が益々困難になることである。更に、電子構
成素子パッケージの処理が一層自動化されるにつれて、
手による操作は非効率になってきた。従って、電子構成
素子パッケージのリードを調節するための手作業及び処
理は、望ましくなくなってきている。テキサス州ダラス
の Texas Instruments, Inc.に譲渡された T.P. Moore
らの米国特許第 5,219,404号（以下“ムーアの・・・”
と称する）“４側半導体パッケージのためのリード調節
装置”に開示されているリード調節システムは、オフセ
ット調節ステーション、平面度( planarity ) 調節ステ
ーション、及びトゥイーズ( tweeze )調節ステーション
を、センタリングステーション及び輸送組立体と共に備
え、また入力ステーション及び出力ステーションを有す
るキャビネットを電子制御装置と共に備えている。オフ
セット調節装置は、電子構成素子パッケージのリードを
軸方向の両方向に移動させ、次いでこれらのリードを所
定の仕様に従って中心位置へ戻すことによって電子構成
素子パッケージのリード間のオフセット間隔を調節す
る。平面度調節装置は、リードが本質的に直立するよう
にリードを変形させ、次いでリードの先端に下向きの力
を加えることによってリードを再位置決めする。これに
よりリードの先端は、本質的に、所定の仕様に従う同一
の平面をなす位置まで移動させられる。オフセット調節
装置は、セルフセンタリング装置であることを特徴と
し、このセルフセンタリング装置を半導体デバイス上に
降下させた時に半導体デバイスを正確にセンタリングす
るブレードを有している。またオフセット調節装置は、
ブレードの強度及び耐用度を増すために、鋼の連続積層
で構成されているブレードユニットからなることをも特
徴としている。

【０００３】ムーアの発明は多くの技術的利点を提供し
たが、若干の制約も受けている。例えば、ムーアのシス
テムはサイズの異なる電子構成素子パッケージ毎にツー
ルを必要とする。ムーアの装置では、電子構成素子パッ
ケージのリードを通って櫛が走る。これらの櫛は、電子
構成素子パッケージのリード間の間隔に一致していなけ
ればならない。この間隔が異なっているパッケージのリ
ードを調節するためには、異なる櫛が必要である。この
ため、パッケージ毎に櫛を交換し、異なる櫛を使用する
必要がある。このようなツールの交換は時間を消費し、
また電子構成素子パッケージの処理量を制限する。ムー
ア及び他の従来装置の別の制約は、リードを調節するの
に必要な力の大きさである。一般に電子構成素子パッケ
ージは多くのリードを含んでいるので、パッケージの全
てのリードを調節する機構を作動させるには 250 ポン
ドもの力が必要であり得る。もしパッケージが適切に整
列されていなければ、この大きさの力はリードを破損さ
せるのに十分である。

【０００４】従来の装置に存在するさらなる制約は、単
一の処理段階でリードの検査及び調節の両方を行うこと
ができないことである。検査及び調節の両方ができない
場合には、半導体デバイスのパッケージを、システムを
通してもう一度走らせるか、または通常のプロセスの流
れに逆らって上流へ移動させなければならないので半導
体デバイスのパッケージの処理量が制限されてしまう。
ムーアのシステムのような従来のリード調節システムの
更に別の制約は、リードが調節を必要とするか否かには
無関係に、電子構成素子パッケージの一つの側の全ての
リードを調節することである。リードを調節する作業
は、そのリードの表面仕上げをある程度損なう。これは
20 倍に拡大して始めて見えるようなマーキングをリー
ド上に生じさせるが、リードを破損するか、またははん
だの裂片を作るか、もしくはリードからはんだ片を剥離
させる可能性も存在している。一般的には、これは調節
を必要としないリードまでを調節するので、半導体デバ
イスの動作を劣化させる恐れがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従って、付加的なツー
ルを、もしくはそのツールを購入して維持するための関
連費用を必要としないリード調節システムに対する要望
が存在している。リードを調節する櫛もしくはツールを
交換するための時間を必要としないリード調節システム
に対する要望が存在している。従来のリード調節システ
ムに使用されている大きい調節用の力に電子構成素子パ
ッケージを曝す可能性がない、改善されたリード調節シ
ステムに対する要望が存在している。

【０００６】電子構成素子パッケージのリードの調節及
び検査を同時に、且つ繰り返して遂行できるような、電
子構成素子パッケージのための改善されたリード調節シ
ステムに対する要望も存在している。また、調節する必
要がない個々のリードを調節することから発生し得る潜
在的なリード破損を制限する改善されたリード調節シス
テムに対する要望も存在している。本発明によれば、今
までに開発されたリード調節システムに関連する欠点及
び問題を実質的に排除乃至は減少させるプログラム可能
なリード調節システムが提供される。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、電子構成素子
パッケージを保持してリードへのアクセスを可能ならし
めるテーブルを含み、電子構成素子パッケージのリード
を調節するリード調節システムを提供する。調節ツール
が所定数のリードと選択的に接触する。マニピュレータ
は調節ツールを三次元に運動させて接触した所定数のリ
ードを位置決めし、それらのリードを調節させる。制御
システムがマニピュレータの動作を制御する。テーブル
は、例えば回転テーブルであって、電子構成素子パッケ
ージを回転させてその全ての側へのアクセスを可能にす
る。調節ツールは、単一のリードと接触する単一のブレ
ードツール、複数のリードと選択的に接触する複数のブ
レードツール、もしくはリードを内側または外側へ運動
させるバーであることができる。マニピュレータは、選
択されたリードの平面度、ピッチ、及びトゥイーズを修
正するために調節ツールを三次元運動させる能力を有し
ている。マニピュレータは、調節ツールの三次元運動を
可能ならしめる例えばステッパモータ、リニアステッパ
モータ、サーボモータ、もしくは空気圧式アクチュエー
タ構成であってよい。本発明の制御システムは、所定数
のリードを調節するのに必要な位置決めの量を計算する
能力に加えて、複数のデバイスのデータベースを維持
し、所定数のこれらのリードの調節の解析を行う能力を
も含むことができる。

【０００８】本発明は、電子構成素子パッケージのリー
ドを検査するリード検査システムをも含む。本発明のリ
ード検査システムは制御システムと共に動作し、リード
検査解析の結果に基づいて調節ツールの所望の動作を精
密に制御する。本発明の技術的長所は、従来のリード調
節システムに優るその柔軟性にある。本発明のプログラ
ム可能なリード調節装置は、全てのリードの運動をプロ
グラム可能にし、１つの電子構成素子パッケージの型か
ら別の電子構成素子パッケージの型へ変わる時にハード
ウェアの切り替えを必要としない。本発明の別の技術的
長所は、１つのシステムにおいてリード検査及びリード
修正の両方を行うことである。本発明の検査部分は、リ
ード調節装置の基準フレームと電子構成素子パッケージ
の基準フレームとを結びつける。これにより、装置上の
全てのリードを正確に探知してリードを精密に調節する
ことができる。

【０００９】本発明の別の技術的長所は、リード調節工
程の実時間解析が可能になることである。この情報は調
節工程を自動的に調整するために使用することができ
る。例えば、実時間解析に基づいて、リード調節システ
ムは調節ツールを位置決めし、ツールの必要運動量を決
定し、そして調節ツールの速度を評価することができ
る。リード調節システムは、もしリードを調節すること
ができなければ、自動的に運転停止させることもでき
る。

【００１０】本発明のさらなる技術的長所は、デバイス
毎に特定のツールの必要性を排除したことである。これ
は、従来装置には必要であったパッケージツール交換の
ためのダウン時間を実質的に排除する。本発明の別の技
術的長所は、リードの検査及び調節の両方を統合してリ
ードを調節するためのサイクル時間を節約した他に、分
離した検査システム及び調節システムを設けるのに要す
る床空間をも節約し、曲げられたリードだけを選択的に
調節することによって一般的な半導体デバイスのパッケ
ージの完全性を維持することである。本発明の更に別の
技術的長所は、調節を必要とするリードだけを選択的に
調節することである。従って本発明は、潜在的なリード
仕上げの劣化を、調節を必要とするリードだけに制限す
る。以下に添付図面を参照して本発明の実施例を説明す
るが、添付図面を通して同一の部品に対しては同一の番
号を付してある。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１を参照する。リード調節シス
テム１０を通るプロセスの流れは、電子装置パッケージ
のリードを検査し、調節する必要がある構成素子を収容
するキャビネットもしくはシャーシ１２内で開始され
る。電子構成素子パッケージは入口１４からリード調節
システム１０内へ入り、テーブル１６上に位置決めされ
る。電子構成素子パッケージがテーブル１６上にある間
に、検査システム１８はそのリードを検査して調節が必
要か否かを決定する。もし調節が必要であれば、調節ツ
ール２０は、識別されたリードを調節する。マニピュレ
ータ２２は三次元動作して、調節ツール２０を制御する
能力を有している。制御システム２４はマニピュレータ
２２の動作を制御する。調節後に、経路２６で示されて
いるように検査システム１８を使用して再検査を行うこ
とができる。もしさらなる調節が必要でなければ、電子
構成素子パッケージはテーブル１６から外され、出口２
８から出て行く。一方、もしさらなる調節が必要であれ
ば調節ツール２０が調節を遂行し、さらなる調節が必要
でなくなるまで検査が続けられる。

【００１２】図２は、回転テーブル１６上の電子構成素
子パッケージ３０を見る検査システム１８を含む本発明
の実施の一形態の斜視図である。図５に示すように、調
節ツール２０は調節腕３４を含んでいる。調節ツール２
０はマニピュレータ２２に接続されている。マニピュレ
ータ２２は、調節腕３４を三次元制御するために調節ツ
ール２０をＸ、Ｙ、及びＺ方向に運動させる能力を有し
ている。マニピュレータ２２は、Ｘ並進卓３８の運動を
制御するＸ方向ステッパモータ３６を含んでいる。Ｙ方
向ステッパモータ４０はＹ並進卓４２の運動を制御す
る。Ｚ方向ステッパモータ４４はＺ並進卓４６の運動を
制御する。リード検査システム１８は、電子構成素子パ
ッケージ３０上のリードの位置を記録するためのカメラ
５０を有する光学系を含んでいる。カメラ５０はレンズ
５２を含み、レンズ５２が受ける画像は、上側画像調整
機構５４がビームスプリッタ５６の位置を変えることに
よって調整される画像である。ビームスプリッタ５６は
下側画像調整機構５８によっても制御される。リード検
査システム１８のための付加的な制御は、倍率調整機構
６４と、カメラ５０が受ける画像をより精密に合焦させ
る精密合焦調整機構６６とを含む。光学式プラットホー
ム高さマイクロメータ６８は、リード検査システム１８
の高さを調整する。電子構成素子パッケージ３０のリー
ドの必要調節量を精密に決定するために、調節腕３４は
実時間基準を含んでいる（後で説明するが、図６ａ、６
ｂ、７ａ及び７ｂ参照）。

【００１３】キャビネット１２は普通のものであり、主
としてリード調節システム１０を収容している他に、種
々のステーションに対して物理的な支持及び環境からの
保護を与えている。キャビネット１２は、電子制御シス
テム２４のようなリード調節システム１０の異なる構成
素子を収容するための個々の区画を有することができ
る。更にこの実施の形態の若干の技術的な考察は、Troy
D. Moore らが発明し（発明者の若干は本発明の発明者
と共通である）、テキサス州ダラスの Texas Instrumen
ts Incorporated に譲渡された米国特許第 5,219,404
号、即ちムーアの“４側半導体パッケージのためのリー
ド調節装置”を参照すると一層容易に理解することがで
きる。本実施の形態の調節システム１０内の輸送は自動
化されたトレイ・トゥ・トレイシステム(tray-to-try s
ystem)であり、このトレイ・トゥ・トレイシステムは、
電子構成素子パッケージ３０を入口１４（及びキャビネ
ット１２に適切な他のステーション）から、リード検査
及び調節を行うことができる回転テーブル１６へ、自動
化された輸送に適する構造を含んでいる。実際に、もし
望むならば、リード調節システム１０内の輸送は、電子
構成素子パッケージ３０を入口１４へ導入する点から出
口２８から出て行く点まで自動化することができる。こ
のような輸送組立体は当分野においては公知であり、従
ってここでは詳細な説明は省略する。

【００１４】本実施の形態のリード調節システム１０
は、管もしくは他の型の装置容器内にある電子構成素子
パッケージを調節する能力をも提供する。本発明によれ
ば、電子構成素子パッケージをそれらのトレイから取り
外すことなく、それらを検査し、調節するように構成す
ることができる。回転テーブル１６は電子構成素子パッ
ケージ３０を比較的精密に探知し、そして電子構成素子
パッケージ３０を定位置に保持するどのようなステーシ
ョンであってもよい。例えば、本実施の形態では回転テ
ーブル１６は真空ポートを有するチャックを含み、これ
らのポートを通して真空に引くようになっている。チャ
ック及びその真空は、真空力を使用して電子構成素子パ
ッケージ３０を定位置に保持する。本実施の形態の長所
は、調節中に電子構成素子パッケージを保持するのに比
較的小さい力（例えば 10 ポンドより小さい）でよいこ
とである。これは、調節機構を作動させるのに 250 ポ
ンドのような大きい力を必要とする従来システムとは対
比的である。

【００１５】図３は、検査システム１８のカメラ５０か
らの画像を表示するモニタ画面１００を示す。モニタ画
面１００は、上側画面部分１０２と下側画面部分１０４
とに分割されている。上側画面部分１０２には、電子構
成素子パッケージ３０の１つの側の一部分が現れてい
る。下側画面部分１０４には、電子構成素子パッケージ
３０の同一の側の残りの部分が現れている。上側画面部
分１０２は、基準方形開口１０８を含む調節腕３４を示
している。これらの開口１０８は、電子構成素子パッケ
ージ３０のリード７４の相対位置を示しており、詳細を
後述するように、各リード毎に必要な調節の程度を測定
するための必要基準を与える。下側画面部分１０４も方
形開口１０８を有する調節腕３４を示していると共に、
残りの電子構成素子パッケージ３０をも示している。図
示の目的からリード１１０が曲がって示されている。詳
細を後述するように、方形開口１０８はリード１１０が
受けた曲がりの量を示している。画面１００を上側画面
部分１０２と下側画面部分１０４とに分割したことによ
って、本実施の形態は個々の各リード７４をより詳細に
検査することを可能にしている。

【００１６】説明の目的から、本発明のこの実施の形態
が識別と、必要に応じて矯正の両方を遂行することがで
きるリードが存在する状況を図４の（ａ）乃至（ｄ）に
示す。例えば図４の（ａ）は距離表示１２０を使用する
リードの高さ違い( もしくはスタンドオフ )を示してい
る。リード１２２の高さがリード１２４の高さよりも高
いことに注目されたい。この高さの差をリードの同一平
面度( coplanarity )誤差と呼ぶ。図４の（ａ）では、
リード１２２が電子構成素子パッケージ３０の特定の側
での最高のリードである。このリードにパッケージ３０
の基準面もしくは着座面( seating plane ) を確立する
ことができる。この場合、リード１２２の同一平面度誤
差は０である。リード１２４は基準面に届いていないの
で、その同一平面度誤差は０よりも大きい。

【００１７】図４の（ｂ）はリード７４間の望ましいピ
ッチ１２６を示している。殆どの場合、ピッチは１つの
リード７４から別のリードまで均一であるべきである。
ピッチを適正に維持するために、リード調節システム１
０は各リード７４の位置を独立的に調節することができ
る。図４の（ｃ）は本実施の形態が取り組んでいる片寄
り（もしくはスイープ）の問題を示している。接触その
他によって、全てのリード７４が横方向に移動してしま
う片寄りが発生し得る。図４の（ｃ）においてリード７
４を移動させることによって、本実施の形態は片寄りを
修正する。図４の（ｄ）は曲がったリードの問題を示
す。図４の（ｄ）のリード７４は異なる方向に移動して
いる。更に、図４の（ｄ）の異なるリード７４間には異
なるピッチ及び高さ違いが存在している。例えばリード
１２８はリード１３０とは異なる方向に曲がっている。
本実施の形態のリード検査システム１８を使用すれば、
これらの各状況を識別することが可能であり、そしても
し必要であれば、電子構成素子パッケージ３０の１もし
くはそれ以上のリード７４を調節することによって修正
することができる。

【００１８】図５は、調節ツール２０をマニピュレータ
２２と共に示す斜視図である。調節ツール２０は調節腕
３４を含み、調節腕３４には調節ブレード７０が取付け
られている。調節腕３４は取付け具１４０に固定され、
取付け具１４０自体はマニピュレータ２２に取付けられ
ている。Ｘ方向においては、ステッパモータ３６が回転
し、Ｘ方向並進テーブル３８の運動を制御する。Ｙ方向
の運動に対しては、ステッパモータ４０が回転し、Ｙ方
向並進テーブル４２を運動せしめる。Ｚ方向並進テーブ
ル４６を運動せしめるステッパモータ４４を制御するこ
とによりＺ方向運動が可能である。Ｘ方向並進テーブル
３８とＺ方向並進テーブル４６との間にアングル腕１４
４が取付けられていて、Ｚ方向並進テーブル４６の垂直
運動を可能にしている。これらのステッパモータ３６、
４０、及び４４を精密に制御することによって、本実施
の形態は調節ブレード７０を１もしくはそれ以上のリー
ドに接触させ、それらを以下に説明するように調節す
る。マニピュレータ２２は、Ｙ方向並進テーブル４２、
Ｘ方向並進テーブル３８、及びＺ方向並進テーブル４６
の運動を可能にしながらマニピュレータ２２を定位置に
しっかりと保持するベース１４６に固定されている。

【００１９】図６の（ａ）及び（ｂ）は、調節ブレード
７０及び基準方形開口１０８を含む調節腕３４の構成を
示している。図６の（ａ）及び（ｂ）から明白なように
調節腕３４は２つの機能を遂行する。１つの機能は、電
子構成素子パッケージ３０の個々のリードを整列させる
ことである。調節ブレード７０がこの機能を遂行する。
しかしながら、調節ブレード７０は一時に１より多いリ
ードの調節を受け持つように幅広くすることができるこ
とに注目されたい。代替として、調節ブレード７０をバ
ーとし、電子構成素子パッケージ３０のある側上のリー
ドの集合を調節することもできる。図６の（ｂ）に示し
てあるように、調節腕３４はリード検査システム１８に
実時間基準を与える機能をも遂行する。即ち、基準方形
開口１０８間の間隔及びそれらの高さを精密に知ること
によって、リード検査システム１８が要求する高い精度
で識別することが可能である。

【００２０】一般に電子構成素子パッケージ３０、例え
ば表面取付けパッケージに対するリード７４の位置の許
容公差は厳しくなっている。そのため、これらの装置に
は 100％の検査が要求される。精度を増し、検査を繰り
返す程、保護帯域が小さくなり、これら装置内のオーバ
キルが少なくなる。リード検査システム１８は、リード
検査の精度を増すために調節腕３４の基準方形開口１０
８を使用する。これによりリード７４の調節はより正確
になる。図６の（ａ）の平面図、及び図６の（ｂ）の側
面図から、調節腕３４の２つの機能は明白である。本実
施の形態のリード調整システム１０は、リード検査とリ
ード調節とを１つのシステム内に組合わせてある。本実
施の形態の重要な面は、調節腕３４に代表される一般的
なリード調節ツールである。本実施の形態の制御システ
ムを通して調節腕３４は、入力パラメタファイルに基づ
いて異なる型のデバイスに自動的に適合するリード調節
のプログラムを遂行することができる。

【００２１】マニピュレータ２２は、調節腕３４を三次
元空間で運動させるためにホストコンピュータによって
制御される。制御システム２４は本質的に普通のもので
あり、図１に概要を示してある種々のステーションへの
適切な接続回路を有するコンピュータもしくはマイクロ
プロセッサであることができる。リード調節システム１
０は、曲がったリードを、調節ブレード７０を使用して
リードを横方向、もしくは上下方向に押すことによって
調節する。一般にリード７４は、普通はばね特性を有し
ている金属製であるから、リード７４はそれらの始めの
位置よりも遠くまで押された後にそれらのばねによって
正常位置へ戻るようになる。リードを押すこの余分な距
離の量を“オーバドライブ”と呼ぶ。本実施の形態のリ
ード調節システム１０は、横方向及び上下方向に関する
３つの分離したオーバドライブを記憶している。これら
の数は、各デバイスの型に関連するファイル内にも保管
することができる。

【００２２】リード調節システム１０は、各リード７４
は電子構成素子パッケージ３０の付け根ではその正しい
位置にあるものとしている。リード調節システム１０
は、リード７４の電子構成素子パッケージ３０の付け根
の近くで調節ブレード７０を挿入する。次いでリード調
節システム１０は、曲がりとは反対に横方向に調節ブレ
ード７０を移動させる前に、調節ブレード７０をリード
の先端まで移動させる。リード調節システム１０は、リ
ード７４の脚の上に調節ブレード７０を配置し、リード
７４の脚を下方へ押すことによって、上方へ曲がった各
リードを調節する。下方へ曲がったリードは、調節ブレ
ード７０をリードの脚の下に配置してそれを上方へ押す
ことによって修正する。リードが上方に曲がる時、脚の
先端があるアークで運動する傾向があるために、一般的
にはパッケージに向かって曲がっている。反対に、リー
ドが下方へ曲がる時には、一般にはそれは外向きに曲が
るようになる。従ってリードの高さの修正は、一般にパ
ッケージに向かって、もしくはパッケージから離すよう
に位置を修正することである。調節腕３４及び調節ブレ
ード７０は、高さの修正の一部として、もしくは独立運
動として、必要に応じてリードをパッケージに向かっ
て、もしくはパッケージから遠去けるように移動させる
ことができる。

【００２３】本実施の形態の別の重要な面は、従来の装
置が提供していたよりも一層再現可能な検査測定を可能
にする実時間較正機能にある。本実施の形態の実時間較
正システムはデバイスに特定の費用を減少させる汎用較
正ツールを提供する。調節腕３４は多数の方形開口１０
８を含み、また回転テーブル１６は電子構成素子パッケ
ージ３０を保持する。本発明の技術的長所は、ドラフト
角( draft angle ) には無関係に同じ回転テーブル１６
を同じパッケージサイズの全てのデバイスに対して使用
できることである。実際に、回転テーブル１６は調節計
算のための基準として役立たせることができる。従っ
て、本実施の形態では調節腕の方形開口１０８、調節腕
３４の下側の縁、及び回転テーブル１６がリード測定及
び較正のための基準である。方形開口１０８は検査視野
の水平及び垂直の両方の倍率（スケールファクタ）を与
える。これは、例えば較正ブロック技術では修正されな
い水平視差誤差を修正するのに特に有用である。

【００２４】図６の（ａ）及び（ｂ）を参照する。本実
施の形態の制御システム２４内のソフトウェアは、 10
個の方形開口１０８のデジタル画像を、調節腕３４の下
側の縁を走査する補間ゾーンとして使用する。しかしな
がら本実施の形態の調節腕３４が 24 個の方形開口１０
８を含んでいることに注目されたい。倍率に依存して
（倍率自体は電子構成素子パッケージ３０のサイズに依
存する）、可変数の方形開口１０８がリード検査システ
ム１８の視野内に入る。スケールファクタは制御システ
ム２４のファイル内に記憶されている情報を使用して計
算される。方形開口１０８はモニタ１００のＸ軸を横切
って伸びているから、リード検査システム１８は最も離
れている方形の縁（即ち、垂直の縁）を見出し、これら
を測定してＸスケールファクタを（例えば画素当たりの
所定のミル数の尺度で）計算する。Ｙスケールファクタ
は方形開口１０８の平均高さから計算される。

【００２５】図７の（ａ）及び（ｂ）において、 10 個
の各方形開口１０８は固定された水平距離だけ分離され
ている。制御システム２４のソフトウェアは、デジタル
画像信号内に発生する明から暗への移り変わりの高さを
測定する。これらの値は線形回帰と呼ばれる数学的方法
によって、下側の縁の位置と角度とを計算するのに使用
される。線形回帰は 10 個の移り変わり点を平均し、そ
の縁を表す二次元一次方程式を生成する。この一次方程
式は新しい座標系のＸ軸を作成するために使用される。
Ｙ軸は板の下側縁から 90 °下向きの角度にある。この
側の全ての測定値は新しい座標系に参照される。本実施
の形態では、各補間ゾーンは３画素の幅で 12 画素の高
さの箱である。方形開口１０８は座標系のＸ軸参照線を
決定する。方形開口１０８は、カメラ５０の視野を横切
る垂直及び高さの測定値をも与える。方形開口１０８の
実際の寸法は制御システム２４のファイル内に記憶され
ている。各板は通し番号を有し、動作に際して、ファイ
ルはそれぞれの通し番号を呼び出す。各方形開口の各側
は0.050インチであり、0.025 インチだけ離れている。
中心の開口間の距離は 0.050インチであって、光学的調
整中に基準板の中心を視覚的に識別できるようにしてあ
る。本実施の形態では、方形開口１０８に適用される補
間ゾーンが各方形開口１０８の各側を測定して各開口の
中心を決定する。個々の方形開口１０８の測定値が平均
され、塵埃の累積に起因して生じ得る誤差を最小にする
と共に、電気的雑音を濾波する。

【００２６】本実施の形態は、補間ゾーンを用いて回転
テーブル１６の上側の縁をも走査し、線形回帰によって
回転テーブル１６の縁の二次元一次方程式を計算する。
これらの測定値から二次元ペデスタル座標系が作られ
る。次いで制御システム２４のソフトウェア内におい
て、回転テーブル１６の測定値を用いて方形開口１０８
の測定値の変換が行われる。本実施の形態のリード検査
システムのさらなる実施の形態では、回転テーブル１６
を回転させ、調節腕３４の各方形開口１０８に関連した
測定を行うことによって、電子構成素子パッケージ３０
の各側毎に二次元座標系が形成される。図８は本実施の
形態の制御システム２４の重要な面を示すものであっ
て、これは回転テーブル１６の上面の三次元平面を更に
計算するものである。回転テーブル１６を回転させ、調
節腕３４の方形開口１０８に対する測定を行うことによ
って、本実施の形態が形成する二次元座標系が、三次元
平面を計算するために使用される。ペデスタル平面が計
算されて、リード７４の先端測定のための基準座標系が
与えられる。二次元座標系において測定されたリード７
４の先端の位置は、制御システムソフトウェア内の三次
元座標系へ転送される。これらの測定値は本実施の形態
のリード検査プロセスにおいて使用される。

【００２７】動作 以下に電子構成素子パッケージ３０のリード７４を調節
するプロセスを説明する。本実施の形態のリード検査シ
ステム、もしくは本実施の形態のリード調節システムは
別々に動作させることは可能であるが、以下の説明では
それらを一緒に使用するものとする。即ち、リード調節
システム１０は、調節動作を遂行することなくリード７
４を検査するだけの検査ステーションとして使用するこ
とができる。一方電子構成素子パッケージ３０上の１も
しくはそれ以上のリードを調節するために、既知の要望
及び測定値が与えられれば、本実施の形態のリード調節
システムは、検査ステーションには無関係に、指定され
たリードを調節することができる。リード調節システム
は、パッケージの型、及びどのリードを調節する必要が
あるのかに関する情報だけが必要であり、曲がりの量も
しくは方向は何れも必要としない。これらのことを考察
するために、以下に全体としてのシステムの動作を詳述
する。

【００２８】再度図１乃至８を参照する。電子構成素子
パッケージ３０は入口１４からリード調節システム１０
内へ導入され、システム１０内において適切な配置を保
証するための調整が行われる。電子構成素子パッケージ
３０は回転テーブル１６と係合する。次いで検査システ
ム１８が動作し、電子構成素子パッケージ３０のリード
を調節する必要があるか否かを決定する。調節腕３４が
Ｘ、Ｙ及びＺ方向に操作され、調節ツール２０が電子構
成素子パッケージ３０の識別されたリード７４を調節す
る。マニピュレータ２２の制御は制御システム２４によ
って行われる。リード７４に所望の調節が得られるまで
検査システム１８が検査を続行するように、プロセスを
繰り返すことができる。本実施の形態のリード調節シス
テム１０は、初期化中にプログラムスタートアップ機能
を遂行する。カメラ５０、及び電子構成素子パッケージ
３０を回転テーブル１６上に配置するシステムのハンド
ラ（図示してない）の初期化に加えて、リード調節シス
テム１０はマニピュレータ２２をも初期化する。マニピ
ュレータ２２はホームセンサを運動させて３つの全ての
軸内にそのホーム位置を限定する。一旦ホーム位置を見
出すと、方形開口１０８の実時間基準を回転テーブル１
６と整列させるようにマニピュレータ２２が調節腕３４
を運動させる。これにより、回転テーブル１６及び方形
開口１０８を含むシステムは電子構成素子パッケージ３
０のリード７４を検査する準備が整う。次いでコンピュ
ータ制御のために、システムは制御システム２４のコン
ピュータモニタ１００上に幾つかのメニューを表示する
ことができる。これらのメニューによって、操作員は生
産、準備、保守、及びエンジニアリング動作のような動
作を選択することができる。

【００２９】調節動作においては準備が必要である。準
備機能の１つは、調節腕３４の較正である。これは、最
初の調節システム１０の準備中に、もしくはカメラ５０
または調節腕３４を変更した後に１回だけ行えばよい。
他の準備は、調節装置パラメタの準備である。これは、
一般的な調節装置パラメタ及び若干のデバイスに依存す
るパラメタの両方を含む。これらのパラメタは、各デバ
イスの型毎に準備される。調節装置の較正は、調節ブレ
ードの位置情報を、カメラ５０及び回転テーブル１６に
対して適応させる。調節ブレード７０はカメラ５０の視
野内の既知の位置“Ｘ”に位置決めされ、次いでカメラ
５０が映像を撮影し、そして“Ｙ”及び“Ｚ”の値を直
接測定する。較正中、カメラの映像がビデオモニタ１０
０上に表示される。これは、ユーザが調節腕３４を回転
テーブル１６に対して位置決めするのを援助する。

【００３０】調節腕３４を較正した後に、調節装置パラ
メタが較正される。これらのパラメタは各デバイスの型
毎に保管される。ファイル名は“ ^*.twk”のような新し
い拡張を用いて現デバイスパラメタファイル名から導出
することができる。このファイルは、デバイスが調節の
ために選択された時に自動的にロードされる。リード調
節システム１０を初期化する際に、本実施例に含まれる
パラメタを以下の表１に示す。 表 １ 調節装置パラメタ 定 義 オーバドライブ 側 調節腕３４が正常の点を越えてリード７４を横方向に押 す距離。殆どの 10 ミルリードでは５ミルの省略時の値 が用いられる。ユーザは特定のリード特性に基づいてこ の値を増減することができる。 オーバドライブ 下 リード７４の材料特性を補償するために下向きに運動さ せる値。 オーバドライブ 上 リード７４の材料特性を補償するために上向きに運動さ せる値。省略時の値は５ミル。 リードの厚み 各リード７４の厚み。リード７４の正常位置はデッドバ グ位置におけるリードの頂部に定義されているから、リ ード調節システム１０は押し上げ距離を補償するのにこ の量を必要とする。 脚の長さ リードの先端から最初の曲げ位置までの長さ。リード調 節システム１０はこの数を使用して、調節ブレード７０ がリード７４を上方へ曲げる前にリード７４を下方へ移 動させなければならない距離を限定する。 ツール Ｙ基準 較正中の調節腕３４の先端から回転テーブル１６の中心 までのＹ方向の基準。 ツールの速度 調節腕３４を運動させる速度（ミル／秒）。 ツール可能化 マニピュレータ２２のターンオンもしくはターンオフに 関するフラグ。ユーザはこれを変更することができる。 このフラグは、運転モード中にリード調節システム１０ がリード７４を固定するために可能化される。

【００３１】リード調節システム１０の調節部分が初期
化された後、ユーザが制御システムのモニタから生産モ
ードを選択することによって動作を更に継続することが
できる。もしマニピュレータ２２が較正されていなけれ
ばリード調節システム１０はユーザにマニピュレータ２
２を較正することを促し、生産モードから退出する。マ
ニピュレータ２２が較正されていれば、リード調節シス
テム１０は通常のリード調節システム１０の生産を画面
に表示する。本実施の形態のリード調節システム１０の
運転モードは、手動モード及び自動モードを含む。曲が
ったリード７４を固定する手動モードでは、ユーザは検
査命令を使用してデバイスを検査しなければならない。
次いで、リード７４を固定するために、ユーザはリード
調節システム１０にデバイスの全ての側のリードを固定
させる命令を入力することができる。自動モードでは、
リード調節システム１０は先ず、各リード７４を検査す
る。次いでリード調節システム１０は、識別されたリー
ドの、検査が曲がりリードであることを示した箇所だけ
を調節する。リード７４を調節した後に、リード調節シ
ステム１０は電子構成素子パッケージ３０を再検査す
る。もしリード７４が適切に調節されていれば、調節さ
れた電子構成素子パッケージ３０は回転テーブル１６か
ら取り外される。しかしながらもしリードが修復以上に
曲がっているか、もしくはパラメタが適正に準備されて
いなければ、リード７４を固定することはできない。こ
の場合、影響を受けている電子構成素子パラメタ３０は
２回目の修正を受けるか、もしくは回転テーブル１６か
ら取り外されて拒絶分類へ移動させられる。

【００３２】本実施の形態の重要部分は、リード検査シ
ステム１８と組合わされた処理動作である。即ち、初期
較正の後にリード検査システム１８は電子構成素子パッ
ケージ３０を回転テーブル１６上に配置することによっ
て動作を開始することができる。リード検査プロセスで
は、電子構成素子パッケージ３０は回転テーブル１６内
に配置される。第１の側のリードが探知される。種々の
測定値が、パッケージの特定の側に適用される二次元座
標系に変換される。次いで、残りの各側のために回転テ
ーブル１６が回転させられて走査される。各側のリード
７４の位置がそれぞれの二次元座標系に変換される。次
いで、リード位置の垂直測定値が、回転テーブル１６の
面に適用可能な三次元座標系に変換される。次いで、あ
たかも電子構成素子パッケージ３０が反転され、平らな
表面上に配置されているかのように形成された基準面と
して、３点平面( three-point plane ) が計算される。
この計算により、３つのリードの先端だけが基準面に接
するようになる。他のリードの先端は基準面に極めて接
近するかも知れないが、実際には３つのリードの先端だ
けが接しているに過ぎない。この構成では、三角形が計
算により形成され、この三角形は３点平面に接している
３つのリードを接続している。

【００３３】デバイスの重心（３点平面上に投影され
た）はこの三角形の内側にある。しかしながら、若干の
デバイスは双安定（デバイスの中心付近を３点平面の１
つの側が通過しているために２つの重心が存在すること
を意味する）であり得ることに注目されたい。２つの基
準面の共通の側がパッケージの重心と交差する。３点平
面から各リードの先端までの全ての同一平面度が測定さ
れる。３点平面に対する個々のリードの先端距離が計算
され、その電子構成素子パッケージ３０のための同一平
面度の値が求められる。次いで、高さの違い、片寄り、
曲がったリード、及びピッチのような他のリード測定値
をその電子構成素子パッケージ３０のために決定するこ
とができる。この情報を使用して制御システム２４はマ
ニピュレータ２２を適切に作動させ、調節腕３４に個々
のリードを調節させることができる。

【００３４】図９に、本実施の形態の動作を説明する流
れ図２００を示す。検査及び調節の組合わせはブロック
２０２から開始され、上述したように、リード検査シス
テム１８が電子構成素子パッケージ３０を検査してその
電子構成素子パッケージ３０が検査基準に合格しなかっ
たことを決定する。次いで判断ブロック２０４は、リー
ド７４が“ＯＫ”であるか否かを決定する試験を行う。
もし否であれば、リード検査システム１８は判断ブロッ
ク２０６において、誤差が存在するか否かを決定する。
もし測定誤差が存在すれば、判断ブロック２０８は、不
良リードを探知することが可能か否かを決定する。もし
不可能であれば、プログラムはブロック２１０へ進めら
れ、電子構成素子パッケージ３０は再検査される。もし
判断ブロック２０６において測定誤差が認めれないか、
もしくは不良リードを探知することができれば、プログ
ラムはブロック２１２へ進められ、リード調節システム
１０はアクセスした側のリードを固定する。判断ブロッ
ク２１４においてリード調節システム１０は、電子構成
素子パッケージ３０の全ての側が固定もしくは調節され
たか否かを試験する。もし全ての側が固定もしくは調節
されていれば、プログラムはブロック２１０へ進めら
れ、プログラム可能なリード調節は終了する。これで、
各電子構成素子パッケージ３０のリード７４のリード調
節システム１０による調節プロセスが完了する。

【００３５】代替できる実施の形態 図１０に、本実施の形態のプログラム可能なリード調節
システムの代替できる実施の形態３００を示す。ベース
３０２に設けられているレール３０４及び３０６内に並
進ビーム３０８が滑り可能に係合している。並進ビーム
３０８はレール３１０及び３１２を含み、これらのレー
ルの中を並進ベッド３１４が滑る。調節装置具取付け具
３１６が並進ベッド３１４のレール３１８及び３２０内
を滑る。調節装置取付け具３１６内には、上述した図２
及び５に示す実施の形態の調節ツールと類似の調節装置
が配置されている。更に調節装置取付け具３１６は、電
子構成素子パッケージ３０の頂部と接触するための指
（もしくはサム）３２４をも含む。調節装置取付け具３
１６の下には電子構成素子パッケージ３０のトレイ３２
６が配置されている。調節装置取付け具３１６には、ト
レイ３２６内の電子構成素子パッケージ３０を検査でき
るようにするリード検査視点を組合わせることができ
る。

【００３６】図１乃至９に関連して説明したように、イ
ン・トレイプログラマブルリード調節システム３００は
トレイ３２６内に１つずつ配置された電子構成素子パッ
ケージ３０を検査し、調節することができる。イン・ト
レイプログラマブルリード調節システム３００は、イン
・トレイ検査及び調節のさらなる長所を提供する。各電
子構成素子パッケージ３０をそのトレイ３２６内に入れ
たままにすることができるために、リードの検査及び調
節のためにハンドリングもしくは移動を必要としない。
これは製造プロセス中の各電子構成素子パッケージ３０
の処理量を大幅に改善する。図１１は、電子構成素子パ
ッケージ３０の指３２４の配置を示す。図１１に示すよ
に、リード調節装置取付け具３１６は調節腕３３０を含
む。調節腕３３０は調節ブレード３３２を含む。調節ブ
レード３３２は電子構成素子パッケージ３０のリード７
４に接触して必要な調節を行うことができる。並進ビー
ム３０８がレール３０４及び３０６内を滑り、並進ベッ
ド３１４がレール３１０及び３１２に沿って滑り、そし
て調節装置取付け具３１６が並進ベッド３１４のレール
３１８及び３２０内を滑ることによって、Ｘ、Ｙ、及び
Ｚ方向の並進運動が行われる。調節腕３３０の精密な操
作を達成することができる。代替として、調節腕３３０
の、従って調節ブレード３３２の、より精密な配置を達
成するために分離したＸ、Ｙ、及びＺ並進計画を調節装
置取付け具３１６内に組み込むことができる。調節ブレ
ード３３２がリード７４に加える調節力が電子構成素子
パッケージ３０を移動させることがないように、指３２
４は電子構成素子パッケージ３０に正の圧力を加えるよ
うになっている。

【００３７】図１１から、調節装置取付け具３１６内の
調節腕３３０を回転させることによって、指３２４を１
回配置すれば電子構成素子パッケージ３０のリードを有
する全ての側を処理できることは明白である。このよう
に、イン・トレイプログラマブルリード調節システム３
００は、イン・トレイ検査及び調節だけではなく、調節
装置取付け具３１６を１回配置するだけで電子構成素子
パッケージ３０の全てのリードを検査し、調節するとい
う技術的長所を提供するのである。イン・トレイプログ
ラマブルリード調節システム３００を使用して電子構成
素子パッケージ３０のリード７４に所望の調節を遂行す
る際に、リード検査システム１８に関して説明したのと
類似の計算をリード検査レンズの配向に適切に変換する
ことができる。

【００３８】以上に本発明を例示実施の形態に関して説
明したが、この説明は単なる例示に過ぎず、本発明を限
定するものではないことを理解されたい。例えば、調節
ブレード７０は複数のブレード、もしくはバーとし、指
定されたプログラムもしくは特定のプログラム内のパラ
メタの集合に従って全てのリードを上下させることがで
きる。更に、電子構成素子パッケージ３０のリード７４
を押す、引く、つかむ等によって操作するように設計さ
れたツールの数は幾つであってもよい。またマニピュレ
ータ２２は、ステッパモータ、サーボモータ、リニアス
テッパモータ、空気圧式アクチュエータ等のような運動
発生装置を幾つ使用しても差し支えない。制御システム
２４は、リード検査システム１８及びマニピュレータ２
２に上述した機能を遂行できるどのような型のプロセッ
サであっても差し支えない。また更に、当業者ならばこ
の明細書を参照して、本発明の実施の形態の細部の種々
の変更、及び本発明の別の実施の形態を発明できること
は明白である。従ってこれらの変更の全て及び別の実施
の形態は本発明の思想及び範囲内にあることを理解され
たい。

【００３９】以上の記載に関連して、以下の各項を開示
する。 １． 電子構成素子の電子回路を外部回路へ接続するた
めのリードの集合を有する電子構成素子パッケージのリ
ードを調節する装置において、上記電子構成素子パッケ
ージを保持し、上記リードの集合へのアクセスを可能に
するテーブルと、上記リードの集合の所定数と選択的に
接触する調節ツールと、上記調節ツールを、上記リード
の集合の所定数と接触して上記リードの集合を調節する
位置まで運動させるマニピュレータと、上記マニピュレ
ータの動作をプログラム可能に制御する制御装置とを備
えていることを特徴とするリード調節装置。 ２． 上記電子構成素子パッケージのリードを検査する
ためのリード検査システムをも備えている上記１項に記
載のリード調節装置。 ３． 上記テーブルは、上記電子構成素子パッケージを
回転させてその全ての側へのアクセスを可能ならしめる
回転テーブルからなる上記１項に記載のリード調節装
置。 ４． 上記調節ツールは、上記電子構成素子パッケージ
の単一のリードと接触する調節ブレードを有する調節腕
からなる上記１項に記載のリード調節装置。 ５． 上記調節ツールは、上記電子構成素子パッケージ
の複数のリードと接触する調節ブレードを備えた調節腕
からなる上記１項に記載のリード調節装置。 ６． 上記調節ツールは、上記電子構成素子パッケージ
の複数のリードと同時に接触して上記複数のリードをユ
ニットとして移動させる調節バーを有する調節腕からな
る上記１項に記載のリード調節装置。 ７． 上記マニピュレータは、上記リードの集合の同一
平面度、ピッチ、及びトゥイーズを調節するために、上
記調節ツールを三次元運動させる上記１項に記載のリー
ド調節装置。 ８． 前記電子構成素子パッケージのリードを検査する
ためのリード検査装置をも備え、上記制御装置は上記リ
ード検査装置からの結果に基づいて上記リードの集合の
上記所定数を調節するのに要する位置決めの量を計算す
る上記１項に記載のリード調節装置。 ９． 上記制御装置は、選択されたリードの所望調節量
を決定するための、複数の電子構成素子パッケージに関
連したパラメタを記憶しているデータベースをも備えて
いる上記１項に記載のリード調節装置。 １０． 上記テーブルはトレイの中に上記電子構成素子
パッケージを保持するように構成されており、更に上記
調節ツール及び上記マニピュレータは上記電子構成素子
パッケージを上記トレイ内に保持したまま上記リードの
集合を調節するように構成されている上記１項に記載の
リード調節装置。 １１． 電子構成素子パッケージのリードの集合を調節
する方法において、テーブルを使用して、上記電子構成
素子パッケージを保持し、上記リードの集合へのアクセ
スを可能にする段階と、調節ツールを使用して、上記リ
ードの集合の所定数と選択的に接触させる段階と、マニ
ピュレータを使用して、上記リードの集合の所定数と接
触して上記リードの集合を調節する位置まで上記調節ツ
ールを運動させる段階と、制御装置を使用して、上記マ
ニピュレータの動作を制御する段階とを備えていること
を特徴とするリード調節方法。 １２． 上記制御装置に組合わされているリード検査装
置を使用して、上記電子構成素子パッケージのリードを
検査する段階をも備えている上記１１項に記載の方法。 １３． 回転テーブル上の上記電子構成素子パッケージ
を回転させて、その全ての側へのアクセスを可能ならし
める段階をも備えている上記１１項に記載の方法。 １４． 調節ブレードを有する調節腕を備えた調節ツー
ルを使用して、上記電子構成素子パッケージの識別され
た単一のリードと選択的に接触させる段階をも備えてい
る上記１１項に記載の方法。 １５． 複数の調節ブレードを有する調節腕を備えた調
節ツールを使用して、上記電子構成素子パッケージの複
数のリードと選択的に接触させる段階をも備えている上
記１１項に記載の方法。 １６． 調節バーを有する調節腕を備えた調節ツールを
使用して、上記電子構成素子パッケージの複数のリード
に接触させ、上記複数のリードをユニットとして移動さ
せる段階をも備えている上記１１項に記載の方法。 １７． 上記調節ツールを三次元運動させるマニピュレ
ータを使用して、上記リードの集合の同一平面度、ピッ
チ、及びトゥイーズを調節する段階をも備えている上記
１１項に記載の方法。 １８． リード検査装置を使用して上記電子構成素子パ
ッケージのリードの集合を検査し、上記制御装置を使用
して上記所定数の上記リードの集合を調節するのに要す
る位置決めの量を計算する段階をも備えている上記１１
項に記載の方法。 １９． 上記制御装置と、複数の上記電子構成素子パッ
ケージに関連したパラメタを記憶しているデータベース
とを組合わせる段階をも備えている上記１１項に記載の
方法。 ２０． 上記電子構成素子パッケージをトレイ内に保持
しながら上記電子構成素子パッケージの上記リードの集
合を調節する段階をも備えている上記１１項に記載の方
法。 ２１． リード調節システム（１０）は電子構成素子パ
ッケージ（３０）のリード（７４）を調節し、また電子
構成素子パッケージ（３０）を保持してリード（７４）
へのアクセスを可能にするための回転テーブル（１６）
を含む。調節ツール（２０）は、所定数のリード（７
４）と選択的に接触する調節腕（３４）及び調節ブレー
ド（７０）とを含む。マニピュレータ（２２）は調節ツ
ール（２０）を運動させ、所定数のリード（７４）と接
触させてリード（７４）を調節するように位置決めす
る。制御システム（２４）はマニピュレータ（２２）の
動作を制御する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態のリード調節システムのプ
ロセスの流れの概念的なブロック線図である。

【図２】本発明の実施の形態のリード調節システムの種
々の動作構成素子を示す斜視図である。

【図３】本発明の実施の形態のモニタの例示画面であっ
て、電子構成素子パッケージの１もしくはそれ以上のリ
ードを調節する必要を表示していることを示す図であ
る。

【図４】本発明の実施の形態が取り扱う電子構成素子パ
ッケージの、（ａ）は高さの違いを、（ｂ）はピッチ
を、（ｃ）は片寄りを、そして（ｄ）は曲がったリード
の概要を示す図である。

【図５】本発明の実施の形態のマニピュレータ及び調節
腕の構成を示す斜視図である。

【図６】本発明の実施の形態の調節腕の、（ａ）は平面
図、そして（ｂ）は側面図である。

【図７】本発明の実施の形態の調節腕の実時間基準が可
能ならしめる基準計算の面の、（ａ）は全体図、そして
（ｂ）は拡大図である。

【図８】本発明の実施例を使用するリード修正較正動作
を示す図である。

【図９】本発明の実施の形態の制御システムが使用でき
る電子構成素子パッケージのリードを調節するプロセス
の例の流れ図である。

【図１０】イン・トレイプログラマブルリード検査及び
調節システムの代替できる実施の形態の部分斜視図であ
る。

【図１１】図１１の一部の拡大斜視図である。

【符号の説明】

１０ リード調節システム １２ キャビネット（シャーシ） １４ 入口 １６ テーブル １８ 検査システム ２０ 調節ツール ２２ マニピュレータ ２４ 制御システム ２６ 再検査経路 ２８ 出口 ３０ 電子構成素子パッケージ ３４ 調節腕 ３６ Ｘ方向ステッパモータ ３８ Ｘ並進テーブル ４０ Ｙ方向ステッパモータ ４２ Ｙ並進テーブル ４４ Ｚ方向ステッパモータ ４６ Ｚ並進テーブル ５０ カメラ ５２ レンズ ５４ 上側画像調整機構 ５６ ビームスプリッタ ５８ 下側画像調整機構 ６４ 倍率調整機構 ６６ 精密合焦調整機構 ６８ 光学式プラットホーム高さマイクロメータ ７０ 調節ブレード ７４ リード １００ モニタ画面 １０２ 上側画面部分 １０４ 下側画面部分 １０８ 基準方形開口 １１０ 曲がったリード １２０ 距離表示 １２６ ピッチ １４０ 取付け具 １４４ アングル腕 １４６ ベース ３００ リード調節システム ３０２ ベース ３０４、３０６ レール ３０８ 並進ビーム ３１０、３１２ レール ３１４ 並進ベッド ３１６ 調節装置取付け具 ３１８、３２０ レール ３２４ 指 ３２６ トレイ ３３０ 調節腕 ３３２ 調節ブレード

フロントページの続き (72)発明者 トロイ ディー ムーア アメリカ合衆国 テキサス州 75040 ガ ーランド キングスブリッジ 1317 (72)発明者 ポール エイチ ハーステン アメリカ合衆国 テキサス州 75243 ダ ラス2196 アブラムス 12250 (72)発明者 デニス エム ボトキン アメリカ合衆国 テキサス州 75159 シ ーゴヴィル デル カーロ 1413 (72)発明者 ジェームズ イー ラヴレス アメリカ合衆国 テキサス州 75007 キ ャロルトン チェーシャム 1948 (72)発明者 ジョセフ アンタオ アメリカ合衆国 テキサス州 75023 プ ラノスミス ドライヴ 1920 (72)発明者 マイケル シー ゼメク アメリカ合衆国 テキサス州 75088 ロ ウレット ユニヴァーシティー 2321 (72)発明者 ラジヴ ロイ アメリカ合衆国 テキサス州 75023 プ ラノマウンテンヴィュー プレイス 2900

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子構成素子の電子回路を外部回路へ接
   続するためのリードの集合を有する電子構成素子パッケ
   ージのリードを調節する装置において、 上記電子構成素子パッケージを保持し、上記リードの集
   合へのアクセスを可能にするテーブルと、 上記リードの集合の所定数と選択的に接触する調節ツー
   ルと、 上記調節ツールを、上記リードの集合の所定数と接触し
   て上記リードの集合を調節する位置まで運動させるマニ
   ピュレータと、 上記マニピュレータの動作をプログラム可能に制御する
   制御装置とを備えていることを特徴とするリード調節装
   置。
2. 【請求項２】 電子構成素子パッケージのリードの集合
   を調節する方法において、 テーブルを使用して、上記電子構成素子パッケージを保
   持し、上記リードの集合へのアクセスを可能にする段階
   と、 調節ツールを使用して、上記リードの集合の所定数と選
   択的に接触させる段階と、 マニピュレータを使用して、上記リードの集合の所定数
   と接触して上記リードの集合を調節する位置まで上記調
   節ツールを運動させる段階と、 制御装置を使用して、上記マニピュレータの動作を制御
   する段階とを備えていることを特徴とするリード調節方
   法。