JPH0839054A - 過酸化水素の分解方法 - Google Patents
過酸化水素の分解方法Info
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- JPH0839054A JPH0839054A JP17546394A JP17546394A JPH0839054A JP H0839054 A JPH0839054 A JP H0839054A JP 17546394 A JP17546394 A JP 17546394A JP 17546394 A JP17546394 A JP 17546394A JP H0839054 A JPH0839054 A JP H0839054A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｈ2 Ｏ2 含有水を活性炭充填塔に通水してＨ
2 Ｏ2 を分解するに当り、Ｈ2 Ｏ2 の分解で発生する酸
素気泡による活性炭充填塔のチャンネリング現象を防止
すると共に、スライムトラブルを抑制して、長期間安定
かつ効率的な処理を行う。 【構成】 Ｈ2 Ｏ2 含有水を活性炭充填塔１に通水した
後、銀担持活性炭充填塔２に通水する。 【効果】 活性炭充填塔１においてはＨ2 Ｏ2 を残留さ
せるため、スライム発生の問題はない。Ｈ2 Ｏ2 の分解
を完結させる銀担持活性炭充填塔２においては、銀の抗
菌作用でスライム発生は防止される。酸素気泡は通水Ｓ
Ｖの大きい活性炭充填塔１より効率的に押し出される。
2 Ｏ2 を分解するに当り、Ｈ2 Ｏ2 の分解で発生する酸
素気泡による活性炭充填塔のチャンネリング現象を防止
すると共に、スライムトラブルを抑制して、長期間安定
かつ効率的な処理を行う。 【構成】 Ｈ2 Ｏ2 含有水を活性炭充填塔１に通水した
後、銀担持活性炭充填塔２に通水する。 【効果】 活性炭充填塔１においてはＨ2 Ｏ2 を残留さ
せるため、スライム発生の問題はない。Ｈ2 Ｏ2 の分解
を完結させる銀担持活性炭充填塔２においては、銀の抗
菌作用でスライム発生は防止される。酸素気泡は通水Ｓ
Ｖの大きい活性炭充填塔１より効率的に押し出される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は過酸化水素の分解方法に
係り、特に、有機物含有水中の高濃度過酸化水素（Ｈ2
Ｏ2 ）を効率的に分解処理する方法に関する。
係り、特に、有機物含有水中の高濃度過酸化水素（Ｈ2
Ｏ2 ）を効率的に分解処理する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工程から排出されるウ
ェハ洗浄排水（リンス排水）を回収、再利用するシステ
ムとして、活性炭充填塔と純水装置とを備えるものが採
用されている。
ェハ洗浄排水（リンス排水）を回収、再利用するシステ
ムとして、活性炭充填塔と純水装置とを備えるものが採
用されている。
【０００３】このシステムにより半導体排水を処理する
に当り、排水中のＨ2 Ｏ2 濃度が高い場合には、含有さ
れるＨ2 Ｏ2 を活性炭充填塔で完全に分解させるため
に、 活性炭充填塔の通水ＳＶを小さくする。 還元剤を活性炭充填塔出口に添加する。 といった処理方法が採用されている。
に当り、排水中のＨ2 Ｏ2 濃度が高い場合には、含有さ
れるＨ2 Ｏ2 を活性炭充填塔で完全に分解させるため
に、 活性炭充填塔の通水ＳＶを小さくする。 還元剤を活性炭充填塔出口に添加する。 といった処理方法が採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の処理方法では、 (i) 活性炭充填塔が、Ｈ2 Ｏ2 分解で発生する酸素気
泡によりチャンネリングを生じ、頻度の高い逆洗が必要
となる。 (ii) 通水ＳＶが小さいと、上向流通水でもこの酸素気
泡を抜くことはできない。 (iii) Ｈ2 Ｏ2 を完全に分解すると、排水中のＴＯＣに
よりスライムが活性炭充填塔内に発生する。 (iv) 還元剤添加では、Ｈ2 Ｏ2 濃度の変動に対応でき
ない上に、後段の純水装置のイオン負荷が増大する。
来の処理方法では、 (i) 活性炭充填塔が、Ｈ2 Ｏ2 分解で発生する酸素気
泡によりチャンネリングを生じ、頻度の高い逆洗が必要
となる。 (ii) 通水ＳＶが小さいと、上向流通水でもこの酸素気
泡を抜くことはできない。 (iii) Ｈ2 Ｏ2 を完全に分解すると、排水中のＴＯＣに
よりスライムが活性炭充填塔内に発生する。 (iv) 還元剤添加では、Ｈ2 Ｏ2 濃度の変動に対応でき
ない上に、後段の純水装置のイオン負荷が増大する。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決し、Ｈ2
Ｏ2 含有水を活性炭充填塔に通水してＨ2 Ｏ2 を分解す
るに当り、Ｈ2 Ｏ2 の分解で発生する酸素気泡による活
性炭充填塔のチャンネリング現象を防止すると共に、ス
ライムトラブルを抑制して、長期間安定かつ効率的な処
理を行える過酸化水素の分解方法を提供することを目的
とする。
Ｏ2 含有水を活性炭充填塔に通水してＨ2 Ｏ2 を分解す
るに当り、Ｈ2 Ｏ2 の分解で発生する酸素気泡による活
性炭充填塔のチャンネリング現象を防止すると共に、ス
ライムトラブルを抑制して、長期間安定かつ効率的な処
理を行える過酸化水素の分解方法を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の過酸化水素の分
解方法は、過酸化水素含有水を活性炭充填塔に通水した
後、銀担持活性炭充填塔に通水することを特徴とする。
解方法は、過酸化水素含有水を活性炭充填塔に通水した
後、銀担持活性炭充填塔に通水することを特徴とする。
【０００７】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明
する。
する。
【０００８】図１は本発明の過酸化水素の分解方法の一
実施例方法を示す系統図である。
実施例方法を示す系統図である。
【０００９】本実施例の方法においては、上向流式活性
炭充填塔１と下向流式銀担持活性炭充填塔２とを用い、
これらの充填塔１，２にＨ2 Ｏ2 含有水を順次通水処理
する。図中、３はガス抜き弁であり、１１〜１３の各符
号は配管を示す。Ｐはポンプである。
炭充填塔１と下向流式銀担持活性炭充填塔２とを用い、
これらの充填塔１，２にＨ2 Ｏ2 含有水を順次通水処理
する。図中、３はガス抜き弁であり、１１〜１３の各符
号は配管を示す。Ｐはポンプである。
【００１０】上向流式活性炭充填塔１に充填する活性炭
としては特に制限はないが、ヤシガラ系、石炭系等の活
性炭を用いることができ、その粒径は５〜５０メッシ
ュ、好ましくは２０〜４０メッシュであることが好まし
い。
としては特に制限はないが、ヤシガラ系、石炭系等の活
性炭を用いることができ、その粒径は５〜５０メッシ
ュ、好ましくは２０〜４０メッシュであることが好まし
い。
【００１１】この上向流式活性炭充填塔２の通水条件
は、Ｈ2 Ｏ2 含有水中のＨ2 Ｏ2 の７０％以上、好まし
くは８０〜９５％が分解されるように設定するのが望ま
しく、このようなＨ2 Ｏ2 分解率であれば、通水ＳＶを
比較的大きくすることができ、酸素気泡を効率的に押し
出すことができる。特に、上向流式活性炭充填塔１にお
いては、活性炭充填層の展開率が１０％以上（即ち、静
置時の活性炭充填層高さの１．１倍以上）となるように
通水を行うことにより、Ｈ2 Ｏ2 の分解で発生する酸素
気泡を効率的に押し出すことができる。この活性炭充填
層の展開率はとりわけ１５〜３０％とするのが好まし
い。
は、Ｈ2 Ｏ2 含有水中のＨ2 Ｏ2 の７０％以上、好まし
くは８０〜９５％が分解されるように設定するのが望ま
しく、このようなＨ2 Ｏ2 分解率であれば、通水ＳＶを
比較的大きくすることができ、酸素気泡を効率的に押し
出すことができる。特に、上向流式活性炭充填塔１にお
いては、活性炭充填層の展開率が１０％以上（即ち、静
置時の活性炭充填層高さの１．１倍以上）となるように
通水を行うことにより、Ｈ2 Ｏ2 の分解で発生する酸素
気泡を効率的に押し出すことができる。この活性炭充填
層の展開率はとりわけ１５〜３０％とするのが好まし
い。
【００１２】一方、下向流式銀担持活性炭充填塔２に充
填する銀担持活性炭としては、銀担持量０．０５〜１．
０重量％、特に０．０５〜０．５重量％のものを用いる
のが好ましく、その粒径は１０〜３２メッシュであるこ
とが好ましい。
填する銀担持活性炭としては、銀担持量０．０５〜１．
０重量％、特に０．０５〜０．５重量％のものを用いる
のが好ましく、その粒径は１０〜３２メッシュであるこ
とが好ましい。
【００１３】下向流式銀担持活性炭充填塔２の通水条件
は、上向流式活性炭充填塔の流出水中に残留するＨ2 Ｏ
2 をほぼ完全に分解除去できる程度であれば良く、特に
制限はないが、上向流式活性炭充填塔と同様の通水条件
を採用するのが好ましい。通常の場合、上向流式活性炭
充填塔及び下向流式銀担持活性炭充填塔の通水ＳＶは５
〜３０ｈｒ-1，ＬＶは１０〜５０ｍ／ｈｒの範囲で、上
向流式活性炭充填塔において、上記活性炭充填層の展開
率及びＨ2 Ｏ2 分解率が得られると共に、下向流式銀担
持活性炭充填塔において、残留Ｈ2 Ｏ2 の完全分解が可
能な程度に適宜設定される。
は、上向流式活性炭充填塔の流出水中に残留するＨ2 Ｏ
2 をほぼ完全に分解除去できる程度であれば良く、特に
制限はないが、上向流式活性炭充填塔と同様の通水条件
を採用するのが好ましい。通常の場合、上向流式活性炭
充填塔及び下向流式銀担持活性炭充填塔の通水ＳＶは５
〜３０ｈｒ-1，ＬＶは１０〜５０ｍ／ｈｒの範囲で、上
向流式活性炭充填塔において、上記活性炭充填層の展開
率及びＨ2 Ｏ2 分解率が得られると共に、下向流式銀担
持活性炭充填塔において、残留Ｈ2 Ｏ2 の完全分解が可
能な程度に適宜設定される。
【００１４】図示の方法に従ってＨ2 Ｏ2 含有水を通水
処理するには、ポンプＰを作動させて、配管１１よりＨ
2 Ｏ2 含有水を上向流式活性炭充填塔１に導入し、上向
流処理を行う。この通水処理においては、前述の如く、
活性炭充填層を展開率１０％以上で流動させると共に、
通水ＳＶを比較的大きく設定することにより、Ｈ2 Ｏ2
の分解で発生する酸素気泡を効率的に上方へ押し出すこ
とができる。
処理するには、ポンプＰを作動させて、配管１１よりＨ
2 Ｏ2 含有水を上向流式活性炭充填塔１に導入し、上向
流処理を行う。この通水処理においては、前述の如く、
活性炭充填層を展開率１０％以上で流動させると共に、
通水ＳＶを比較的大きく設定することにより、Ｈ2 Ｏ2
の分解で発生する酸素気泡を効率的に上方へ押し出すこ
とができる。
【００１５】本実施例においては、後段の下向流式銀担
持活性炭充填塔２において、Ｈ2 Ｏ2 の分解を完結さ
せ、上向流式活性炭充填塔１においては、Ｈ2 Ｏ2 を完
全に分解除去する必要はなく、この上向流式活性炭充填
塔１内には、少量のＨ2 Ｏ2 を残留させることができる
ことから、スライムの発生の問題はない。
持活性炭充填塔２において、Ｈ2 Ｏ2 の分解を完結さ
せ、上向流式活性炭充填塔１においては、Ｈ2 Ｏ2 を完
全に分解除去する必要はなく、この上向流式活性炭充填
塔１内には、少量のＨ2 Ｏ2 を残留させることができる
ことから、スライムの発生の問題はない。
【００１６】上向流式活性炭充填塔１の流出水は、酸素
気泡と共に、配管１２より下向流式銀担持活性炭充填塔
２に導入される。この下向流式銀担持活性炭充填塔２に
おいては、上向流式活性炭充填塔１の流出水中に残留す
るＨ2 Ｏ2 の分解を行うが、充填された活性炭が抗菌作
用を有する銀担持活性炭であるため、Ｈ2 Ｏ2 をほぼ完
全に分解除去してもスライムの発生のおそれは殆どな
い。また、分解するＨ2Ｏ2 量も少ないことから、発生
する酸素気泡も少なく、酸素気泡によるチャンネリング
の問題もない。
気泡と共に、配管１２より下向流式銀担持活性炭充填塔
２に導入される。この下向流式銀担持活性炭充填塔２に
おいては、上向流式活性炭充填塔１の流出水中に残留す
るＨ2 Ｏ2 の分解を行うが、充填された活性炭が抗菌作
用を有する銀担持活性炭であるため、Ｈ2 Ｏ2 をほぼ完
全に分解除去してもスライムの発生のおそれは殆どな
い。また、分解するＨ2Ｏ2 量も少ないことから、発生
する酸素気泡も少なく、酸素気泡によるチャンネリング
の問題もない。
【００１７】このため、下向流式銀担持活性炭充填塔２
からはＨ2 Ｏ2 濃度が極めて低く、しかも、スライムに
よる菌の混入もない高水質処理水を得ることができる。
この処理水は、配管１３より系外へ排出される。
からはＨ2 Ｏ2 濃度が極めて低く、しかも、スライムに
よる菌の混入もない高水質処理水を得ることができる。
この処理水は、配管１３より系外へ排出される。
【００１８】なお、下向流式銀担持活性炭充填塔２にお
いては、通水を継続することにより、酸素気泡が貯まる
ため、間欠的にガス抜き弁３を開放してガス抜きを行
う。
いては、通水を継続することにより、酸素気泡が貯まる
ため、間欠的にガス抜き弁３を開放してガス抜きを行
う。
【００１９】このような本発明の過酸化水素の分解方法
は、Ｈ2 Ｏ2 ：５０ｐｐｍ以上、ＴＯＣ：０．５ｐｐｍ
以上のＨ2 Ｏ2 含有有機排水、具体的には半導体製造工
程のリンス排水等の処理に極めて有効である。
は、Ｈ2 Ｏ2 ：５０ｐｐｍ以上、ＴＯＣ：０．５ｐｐｍ
以上のＨ2 Ｏ2 含有有機排水、具体的には半導体製造工
程のリンス排水等の処理に極めて有効である。
【００２０】
【作用】本発明の方法においては、活性炭充填塔と銀担
持活性炭充填塔との２段処理にてＨ2 Ｏ2 の分解を行う
ため、前段の活性炭充填塔においては、Ｈ2 Ｏ2 を完全
に分解する必要はなく、Ｈ2 Ｏ2 を残留させることがで
きる。このため残留Ｈ2Ｏ2 により、活性炭充填塔内の
スライム発生は抑制される。
持活性炭充填塔との２段処理にてＨ2 Ｏ2 の分解を行う
ため、前段の活性炭充填塔においては、Ｈ2 Ｏ2 を完全
に分解する必要はなく、Ｈ2 Ｏ2 を残留させることがで
きる。このため残留Ｈ2Ｏ2 により、活性炭充填塔内の
スライム発生は抑制される。
【００２１】後段の銀担持活性炭充填塔においては、残
留Ｈ2 Ｏ2 の分解を行って、Ｈ2 Ｏ2 をほぼ完全に除去
するが、この銀担持活性炭充填塔では、銀の抗菌作用に
より、スライムの発生は抑制される。
留Ｈ2 Ｏ2 の分解を行って、Ｈ2 Ｏ2 をほぼ完全に除去
するが、この銀担持活性炭充填塔では、銀の抗菌作用に
より、スライムの発生は抑制される。
【００２２】また、活性炭存在下のＨ2 Ｏ2 の分解で、
下記反応式に従って、１ｐｐｍのＨ2 Ｏ2 から０．４７
ｐｐｍの酸素が発生するが、この酸素は、Ｈ2 Ｏ2 の完
全分解の必要がなく、従って、通水ＳＶを大きく設定す
ることができる前段の活性炭充填塔、特に展開率１０％
以上とした上向流式活性炭充填塔により効率的に押し出
される。
下記反応式に従って、１ｐｐｍのＨ2 Ｏ2 から０．４７
ｐｐｍの酸素が発生するが、この酸素は、Ｈ2 Ｏ2 の完
全分解の必要がなく、従って、通水ＳＶを大きく設定す
ることができる前段の活性炭充填塔、特に展開率１０％
以上とした上向流式活性炭充填塔により効率的に押し出
される。
【００２３】
【化１】
【００２４】一方、後段の銀担持活性炭充填塔では、分
解するＨ2 Ｏ2 量が少ないため、発生する酸素量も少な
く、酸素気泡による問題は殆どない。
解するＨ2 Ｏ2 量が少ないため、発生する酸素量も少な
く、酸素気泡による問題は殆どない。
【００２５】従って、本発明によれば、気泡発生による
チャンネリング現象を防ぎ、また、スライムトラブルを
引き起こすこともなく、Ｈ2 Ｏ2 を効率的に分解するこ
とができる。
チャンネリング現象を防ぎ、また、スライムトラブルを
引き起こすこともなく、Ｈ2 Ｏ2 を効率的に分解するこ
とができる。
【００２６】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００２７】実施例１ 図１に示す方法に従って、下記水質の半導体リンス排水
の処理を行った。
の処理を行った。
【００２８】半導体リンス排水水質 ｐＨ：４．１ ＴＯＣ：１ｐｐｍ（イソプロピルアルコール主体） Ｈ2 Ｏ2 ：１００ｐｐｍ ＳＯ4 2- ，Ｃｌ- ，Ｆ- の合計：５５ｐｐｍ（ＣａＣＯ
3 換算） なお、上向流式活性炭充填塔１及び下向流式銀担持活性
炭充填塔２の仕様及び処理条件は、次の通りである。
3 換算） なお、上向流式活性炭充填塔１及び下向流式銀担持活性
炭充填塔２の仕様及び処理条件は、次の通りである。
【００２９】上向流式活性炭充填塔１ 活性炭：クリコールＷＧ−１６０ ２０Ｘ４２( 栗田工
業 (株）商標）を１００ｍｌ充填 ＳＶ：１０ｈｒ-1 ＬＶ：１７ｍ／ｈｒ 充填層の展開率：１３％下向流式銀担持活性炭充填塔２ 銀担持活性炭：Ａｇ担持量０．１重量％のＡｇ担持活性
炭（アクティブライト（１０〜３２メッシュ 栗田工業
(株) 製））を１００ｍｌ充填 ＳＶ：１０ｈｒ-1 ＬＶ：１７ｍ／ｈｒ 通水開始５時間、２４時間、５０時間、１００時間後の
差圧と、充填塔流出水のＨ2 Ｏ2 濃度及び処理水の生菌
数を測定したところ、差圧は１００時間経過後も０．１
ｋｇｆ／ｃｍ2 以内に維持され安定運転を継続すること
ができた。また、上向流式活性炭充填塔の流出水のＨ2
Ｏ2 濃度は５〜１５ｐｐｍで、下向流式銀担持活性炭充
填塔の流出水のＨ2 Ｏ2 濃度は１ｐｐｍ以下であり、Ｈ
2 Ｏ2 は効率的に除去された。処理水の生菌数の経時変
化は表１に示す通りであり、スライムトラブルのおそれ
は全くなかった。
業 (株）商標）を１００ｍｌ充填 ＳＶ：１０ｈｒ-1 ＬＶ：１７ｍ／ｈｒ 充填層の展開率：１３％下向流式銀担持活性炭充填塔２ 銀担持活性炭：Ａｇ担持量０．１重量％のＡｇ担持活性
炭（アクティブライト（１０〜３２メッシュ 栗田工業
(株) 製））を１００ｍｌ充填 ＳＶ：１０ｈｒ-1 ＬＶ：１７ｍ／ｈｒ 通水開始５時間、２４時間、５０時間、１００時間後の
差圧と、充填塔流出水のＨ2 Ｏ2 濃度及び処理水の生菌
数を測定したところ、差圧は１００時間経過後も０．１
ｋｇｆ／ｃｍ2 以内に維持され安定運転を継続すること
ができた。また、上向流式活性炭充填塔の流出水のＨ2
Ｏ2 濃度は５〜１５ｐｐｍで、下向流式銀担持活性炭充
填塔の流出水のＨ2 Ｏ2 濃度は１ｐｐｍ以下であり、Ｈ
2 Ｏ2 は効率的に除去された。処理水の生菌数の経時変
化は表１に示す通りであり、スライムトラブルのおそれ
は全くなかった。
【００３０】なお、下向流式銀担持活性炭充填塔２は、
１０時間に１回、２０秒間ガス抜き弁３を開放してガス
抜きを行った。
１０時間に１回、２０秒間ガス抜き弁３を開放してガス
抜きを行った。
【００３１】比較例１ 実施例１において、下向流式銀担持活性炭充填塔の代り
に、銀を担持していない活性炭（クリコールＷＧ−１６
０ １０Ｘ３２（栗田工業 (株) 商標））を１００ｍｌ
充填した下向流式活性炭充填塔を用いたこと以外は同様
に処理を行った。
に、銀を担持していない活性炭（クリコールＷＧ−１６
０ １０Ｘ３２（栗田工業 (株) 商標））を１００ｍｌ
充填した下向流式活性炭充填塔を用いたこと以外は同様
に処理を行った。
【００３２】その結果、差圧及び流出水のＨ2 Ｏ2 濃度
については実施例１と同様の結果が得られたが、処理水
の生菌数については表１に示す如く、経時的に生菌数が
増加し、スライムトラブルが予想された。
については実施例１と同様の結果が得られたが、処理水
の生菌数については表１に示す如く、経時的に生菌数が
増加し、スライムトラブルが予想された。
【００３３】比較例２ 比較例１において、上向流式活性炭充填塔を用いず、即
ち、下向流式活性炭充填塔のみを用いたこと以外は同様
に処理を行った。ただし、下向流式活性炭充填塔の活性
炭充填量は２００ｍｌとし、通水ＳＶ＝５ｈｒ-1，ＬＶ
＝１７ｍ／ｈｒとした。
ち、下向流式活性炭充填塔のみを用いたこと以外は同様
に処理を行った。ただし、下向流式活性炭充填塔の活性
炭充填量は２００ｍｌとし、通水ＳＶ＝５ｈｒ-1，ＬＶ
＝１７ｍ／ｈｒとした。
【００３４】その結果、通水開始７〜１４時間で差圧は
０．３ｋｇｆ／ｃｍ2 に上昇し、逆洗が必要となった。
なお、処理水のＨ2 Ｏ2 濃度は１ｐｐｍ以下であった。
必要に応じて逆洗を行って、通水を繰り返し実施したと
ころ、処理水の生菌数は表１に示す如く経時的に増加
し、スライムトラブルが予想された。
０．３ｋｇｆ／ｃｍ2 に上昇し、逆洗が必要となった。
なお、処理水のＨ2 Ｏ2 濃度は１ｐｐｍ以下であった。
必要に応じて逆洗を行って、通水を繰り返し実施したと
ころ、処理水の生菌数は表１に示す如く経時的に増加
し、スライムトラブルが予想された。
【００３５】
【表１】
【００３６】以上の結果より、本発明の方法によれば、
気泡発生による充填塔内差圧の上昇もなく、かつ生菌の
増殖も認められず、安定かつ効率的な処理を長期にわた
り継続できることが明らかである。
気泡発生による充填塔内差圧の上昇もなく、かつ生菌の
増殖も認められず、安定かつ効率的な処理を長期にわた
り継続できることが明らかである。
【００３７】これに対して、下向流式活性炭充填塔のみ
の比較例１では、気泡による差圧上昇で逆洗を頻繁に行
う必要があり、しかも、菌の増殖もみられる。また、上
向流式活性炭充填塔と下向流式活性炭充填塔とを用いる
比較例１では、Ｈ2 Ｏ2 濃度の低い後段の下向流式活性
炭充填塔において菌の増殖が大きく、経時的に処理水質
が低下する。
の比較例１では、気泡による差圧上昇で逆洗を頻繁に行
う必要があり、しかも、菌の増殖もみられる。また、上
向流式活性炭充填塔と下向流式活性炭充填塔とを用いる
比較例１では、Ｈ2 Ｏ2 濃度の低い後段の下向流式活性
炭充填塔において菌の増殖が大きく、経時的に処理水質
が低下する。
【００３８】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の過酸化水素
の分解方法によれば、Ｈ2 Ｏ2 含有水を活性炭充填塔に
通水してＨ2 Ｏ2 を分解処理するに当り、Ｈ2 Ｏ2 の分
解により発生する酸素気泡による充填塔のチャンネリン
グを防止して、逆洗頻度を低減することができる。ま
た、スライムトラブルを抑制して長期間安定かつ効率的
な処理を行って、高水質処理水を得ることができる。
の分解方法によれば、Ｈ2 Ｏ2 含有水を活性炭充填塔に
通水してＨ2 Ｏ2 を分解処理するに当り、Ｈ2 Ｏ2 の分
解により発生する酸素気泡による充填塔のチャンネリン
グを防止して、逆洗頻度を低減することができる。ま
た、スライムトラブルを抑制して長期間安定かつ効率的
な処理を行って、高水質処理水を得ることができる。
【図１】本発明の過酸化水素の分解方法の一実施例方法
を示す系統図である。
を示す系統図である。
１ 上向流式活性炭充填塔 ２ 下向流式銀担持活性炭充填塔 ３ ガス抜き弁
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 1/50 ５３１ Ｅ ５４０ Ｆ ５５０ Ｂ ５６０ Ｚ 1/58 ＺＡＢ Ｈ
Claims (1)
- 【請求項１】 過酸化水素含有水を活性炭充填塔に通水
した後、銀担持活性炭充填塔に通水することを特徴とす
る過酸化水素の分解方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17546394A JPH0839054A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 過酸化水素の分解方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17546394A JPH0839054A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 過酸化水素の分解方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0839054A true JPH0839054A (ja) | 1996-02-13 |
Family
ID=15996509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17546394A Pending JPH0839054A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 過酸化水素の分解方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0839054A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000002819A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | United States Filter Corporation | Ion exchange removal of metal ions from wastewater |
| US7488423B2 (en) | 2005-08-02 | 2009-02-10 | Siemens Water Technologies Holding Corp. | System and method of slurry treatment |
| JPWO2013084855A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2015-04-27 | 栗田工業株式会社 | 過酸化水素含有水の処理方法 |
-
1994
- 1994-07-27 JP JP17546394A patent/JPH0839054A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000002819A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | United States Filter Corporation | Ion exchange removal of metal ions from wastewater |
| US6818129B2 (en) | 1998-07-10 | 2004-11-16 | Usfilter Corporation | Ion exchange removal of metal ions from wastewater |
| US7488423B2 (en) | 2005-08-02 | 2009-02-10 | Siemens Water Technologies Holding Corp. | System and method of slurry treatment |
| JPWO2013084855A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2015-04-27 | 栗田工業株式会社 | 過酸化水素含有水の処理方法 |
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