JPH083785A - チタン表面への銅被覆方法 - Google Patents
チタン表面への銅被覆方法Info
- Publication number
- JPH083785A JPH083785A JP13044594A JP13044594A JPH083785A JP H083785 A JPH083785 A JP H083785A JP 13044594 A JP13044594 A JP 13044594A JP 13044594 A JP13044594 A JP 13044594A JP H083785 A JPH083785 A JP H083785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- titanium
- blank
- copper
- plate
- pure water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、チタンあるいはチタン合金から
なる素材に密着性を確保しつつ銅を直接被覆できるチタ
ン表面への銅被覆方法を得ることを目的とする。 【構成】 チタン板１を表面研磨し、純水を用いてオー
バーフロー洗浄をする。そして、純水と界面活性剤との
混合溶液を用いて超音波洗浄をする。ついで、純水を用
いて、オーバーフロー洗浄、超音波洗浄さらにオーバー
フロー洗浄を行い、加熱乾燥する。その後、チタン板１
表面にイオンプレーティングにより下地銅被膜５を成膜
し、さらに下地銅被膜５上に電解あるいは無電解銅メッ
キにより銅被膜３を析出成長させる。そして、真空雰囲
気中で加熱処理を施し、密着性を向上させる。
なる素材に密着性を確保しつつ銅を直接被覆できるチタ
ン表面への銅被覆方法を得ることを目的とする。 【構成】 チタン板１を表面研磨し、純水を用いてオー
バーフロー洗浄をする。そして、純水と界面活性剤との
混合溶液を用いて超音波洗浄をする。ついで、純水を用
いて、オーバーフロー洗浄、超音波洗浄さらにオーバー
フロー洗浄を行い、加熱乾燥する。その後、チタン板１
表面にイオンプレーティングにより下地銅被膜５を成膜
し、さらに下地銅被膜５上に電解あるいは無電解銅メッ
キにより銅被膜３を析出成長させる。そして、真空雰囲
気中で加熱処理を施し、密着性を向上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、チタンあるいはチタ
ン合金の表面に銅を被覆する方法に関し、特に荷電粒子
加速器で加速された電子ビームを取り出す窓板に適用さ
れるチタン窓板の製法に関するものである。
ン合金の表面に銅を被覆する方法に関し、特に荷電粒子
加速器で加速された電子ビームを取り出す窓板に適用さ
れるチタン窓板の製法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、チタンは機械的強度に優れた特性
を有していることから、例えば薄板化したチタン板が荷
電粒子加速器で加速された電子ビームを取り出す窓板と
して適用されている。このチタン窓板では、電子ビーム
が窓板を通過する際に電子の損失が生じ、この電子の損
失により熱が発生する。しかしながら、チタンは熱伝導
が悪く、電子の損失により発生する熱を速やかに放熱で
きず、チタン窓板が溶けて穴があいてしまうという不具
合があった。
を有していることから、例えば薄板化したチタン板が荷
電粒子加速器で加速された電子ビームを取り出す窓板と
して適用されている。このチタン窓板では、電子ビーム
が窓板を通過する際に電子の損失が生じ、この電子の損
失により熱が発生する。しかしながら、チタンは熱伝導
が悪く、電子の損失により発生する熱を速やかに放熱で
きず、チタン窓板が溶けて穴があいてしまうという不具
合があった。
【０００３】その改善策として、チタン板に良好な熱伝
導の金属、例えば銅を被覆して放熱性を改善したチタン
窓板が提案されている。
導の金属、例えば銅を被覆して放熱性を改善したチタン
窓板が提案されている。
【０００４】一般にチタンは活性な金属であり、その表
面は酸化物で覆われている。そのために、脱脂、酸洗い
などの前処理を施した後、これに電解銅メッキを施して
も、極めて密着性が悪く実用にならない。そこで、図４
に示すように、チタン板１の表面に一旦無光沢ニッケル
メッキを施して下地メッキ被膜２を被覆し、その後電解
銅メッキを施して銅被膜３を被覆してチタン窓板４を製
作している。このように構成された従来のチタン窓板４
は、チタン板１上に良好な熱伝導の銅被膜３が被覆され
ているので、放熱効果が改善され、電子ビームにより穴
があくことが防止されている。なお、下地メッキ被膜２
としては、チタンとの密着性が良好な金属であることが
必要で、ニッケルメッキの他には、例えばクロムメッキ
が用いられる。
面は酸化物で覆われている。そのために、脱脂、酸洗い
などの前処理を施した後、これに電解銅メッキを施して
も、極めて密着性が悪く実用にならない。そこで、図４
に示すように、チタン板１の表面に一旦無光沢ニッケル
メッキを施して下地メッキ被膜２を被覆し、その後電解
銅メッキを施して銅被膜３を被覆してチタン窓板４を製
作している。このように構成された従来のチタン窓板４
は、チタン板１上に良好な熱伝導の銅被膜３が被覆され
ているので、放熱効果が改善され、電子ビームにより穴
があくことが防止されている。なお、下地メッキ被膜２
としては、チタンとの密着性が良好な金属であることが
必要で、ニッケルメッキの他には、例えばクロムメッキ
が用いられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のチタンへの銅被
覆方法は以上のように、密着性のよい下地メッキ被膜２
をチタン板１表面に被覆した後、銅被膜３を被覆してお
り、チタン板１表面に銅被膜３を直接被覆できないとい
う課題があった。したがって、銅被膜３が被覆されたチ
タン窓板４を荷電粒子加速器のビーム取り出し用の窓板
として適用した場合には、ニッケル、クロム等の下地メ
ッキ被膜２が電子ビームの通過を妨げたり、熱伝導を低
下させてしまうという不具合があった。
覆方法は以上のように、密着性のよい下地メッキ被膜２
をチタン板１表面に被覆した後、銅被膜３を被覆してお
り、チタン板１表面に銅被膜３を直接被覆できないとい
う課題があった。したがって、銅被膜３が被覆されたチ
タン窓板４を荷電粒子加速器のビーム取り出し用の窓板
として適用した場合には、ニッケル、クロム等の下地メ
ッキ被膜２が電子ビームの通過を妨げたり、熱伝導を低
下させてしまうという不具合があった。
【０００６】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、チタンあるいはチタン合金表面
に直接銅被膜を被覆できるチタン表面への銅被覆方法を
得ることを目的とする。
ためになされたもので、チタンあるいはチタン合金表面
に直接銅被膜を被覆できるチタン表面への銅被覆方法を
得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係るチタン表
面への銅被覆方法は、チタンあるいはチタン合金からな
る素材を表面研磨する工程と、表面研磨された素材を界
面活性剤を用いて超音波洗浄する工程と、素材を純水を
用いて超音波洗浄し、その後純水を用いてオーバーフロ
ー洗浄する工程と、洗浄後素材を１００〜１５０℃の雰
囲気で乾燥させる工程と、乾燥後真空雰囲気中で素材上
に下地銅被膜を成膜する工程と、メッキ浴中で下地銅被
膜上に銅被膜を析出成長させる工程と、４５０〜６００
℃の真空雰囲気中で加熱する工程とを備えたものであ
る。
面への銅被覆方法は、チタンあるいはチタン合金からな
る素材を表面研磨する工程と、表面研磨された素材を界
面活性剤を用いて超音波洗浄する工程と、素材を純水を
用いて超音波洗浄し、その後純水を用いてオーバーフロ
ー洗浄する工程と、洗浄後素材を１００〜１５０℃の雰
囲気で乾燥させる工程と、乾燥後真空雰囲気中で素材上
に下地銅被膜を成膜する工程と、メッキ浴中で下地銅被
膜上に銅被膜を析出成長させる工程と、４５０〜６００
℃の真空雰囲気中で加熱する工程とを備えたものであ
る。
【０００８】
【作用】この発明においては、表面研磨および界面活性
剤を用いた超音波洗浄により、素材表面の酸化物、汚れ
等が除去され、素材表面の活性化がはかられる。そし
て、純水を用いた超音波洗浄およびオーバーフロー洗浄
により、素材表面から研磨材、界面活性剤、除去異物等
が洗い流される。ついで、真空雰囲気中で下地銅被膜が
成膜され、成膜過程における素材表面の酸化が抑えら
れ、素材への下地銅被膜の密着性が向上される。さら
に、下地銅被膜上に銅被膜が被覆された後、真空雰囲気
中で加熱処理されることにより、素材、下地銅被覆およ
び銅被膜のそれぞれの境界で熱拡散が起こり、密着性が
向上される。
剤を用いた超音波洗浄により、素材表面の酸化物、汚れ
等が除去され、素材表面の活性化がはかられる。そし
て、純水を用いた超音波洗浄およびオーバーフロー洗浄
により、素材表面から研磨材、界面活性剤、除去異物等
が洗い流される。ついで、真空雰囲気中で下地銅被膜が
成膜され、成膜過程における素材表面の酸化が抑えら
れ、素材への下地銅被膜の密着性が向上される。さら
に、下地銅被膜上に銅被膜が被覆された後、真空雰囲気
中で加熱処理されることにより、素材、下地銅被覆およ
び銅被膜のそれぞれの境界で熱拡散が起こり、密着性が
向上される。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の一実施例に係るチタン表面への銅
被覆方法で製作されたチタン窓板を示す斜視図であり、
図において図４に示した従来のチタン窓板と同じまたは
相当部分には同一符号を付し、その説明を省略する。図
において、５はチタン板１表面に被覆された下地銅被
膜、６はチタン板１表面に下地銅被膜５および銅被膜３
が積層されて構成されたチタン窓板である。
る。図１はこの発明の一実施例に係るチタン表面への銅
被覆方法で製作されたチタン窓板を示す斜視図であり、
図において図４に示した従来のチタン窓板と同じまたは
相当部分には同一符号を付し、その説明を省略する。図
において、５はチタン板１表面に被覆された下地銅被
膜、６はチタン板１表面に下地銅被膜５および銅被膜３
が積層されて構成されたチタン窓板である。
【００１０】つぎに、この実施例によるチタン窓板６の
製作方法について説明する。まず、チタンあるいはチタ
ン合金からなる素材としてのチタン板１（例えば、０．
０３０ｍｍ厚）上に純水（導電率：約１μＳ／ｃｍ）を
流しながらスコッチブライト（研磨材）でチタン板１の
表面を研磨する。表面研磨後は、次の工程までチタン板
１を乾燥させないように純水中に保管しておく。つぎ
に、表面研磨されたチタン板１を純水にて３分以上オー
バーフロー洗浄して、研磨材、除去異物を洗い流す。つ
いで、純水と界面活性剤、例えばセミコクリーン５６
（フルウチ化学製）との混合溶液にて５分以上超音波洗
浄する。その後、チタン板１を純水にて３分以上オーバ
ーフロー洗浄し、純水にて３分以上超音波洗浄し、さら
に純水にて５分以上オーバーフロー洗浄して、界面活性
剤、除去異物等を洗い流す。そして、洗浄されたチタン
板１に窒素（Ｎ2）ガスを吹き付けて水切りし、真空炉
にて１２０℃で４０分間加熱乾燥する。乾燥後、素早く
真空チャンバ内にセットし、チタン板１表面に銅のイオ
ンプレーティングを施し、チタン板１表面に下地銅被膜
５を０．０００２５〜０．０００３０ｍｍ厚成膜する。
その後、電解メッキあるいは無電解メッキにより下地銅
被膜５上に銅被膜３を０．０２〜０．０３ｍｍ厚析出成
長させる。さらに、メッキ処理後に真空雰囲気中で４５
０〜６００℃で６０分間加熱処理し、密着性を向上させ
る。
製作方法について説明する。まず、チタンあるいはチタ
ン合金からなる素材としてのチタン板１（例えば、０．
０３０ｍｍ厚）上に純水（導電率：約１μＳ／ｃｍ）を
流しながらスコッチブライト（研磨材）でチタン板１の
表面を研磨する。表面研磨後は、次の工程までチタン板
１を乾燥させないように純水中に保管しておく。つぎ
に、表面研磨されたチタン板１を純水にて３分以上オー
バーフロー洗浄して、研磨材、除去異物を洗い流す。つ
いで、純水と界面活性剤、例えばセミコクリーン５６
（フルウチ化学製）との混合溶液にて５分以上超音波洗
浄する。その後、チタン板１を純水にて３分以上オーバ
ーフロー洗浄し、純水にて３分以上超音波洗浄し、さら
に純水にて５分以上オーバーフロー洗浄して、界面活性
剤、除去異物等を洗い流す。そして、洗浄されたチタン
板１に窒素（Ｎ2）ガスを吹き付けて水切りし、真空炉
にて１２０℃で４０分間加熱乾燥する。乾燥後、素早く
真空チャンバ内にセットし、チタン板１表面に銅のイオ
ンプレーティングを施し、チタン板１表面に下地銅被膜
５を０．０００２５〜０．０００３０ｍｍ厚成膜する。
その後、電解メッキあるいは無電解メッキにより下地銅
被膜５上に銅被膜３を０．０２〜０．０３ｍｍ厚析出成
長させる。さらに、メッキ処理後に真空雰囲気中で４５
０〜６００℃で６０分間加熱処理し、密着性を向上させ
る。
【００１１】ここで、この実施例では、通常の脱脂、酸
洗い等の前処理を行うことなく、純水を用いてチタン板
１の表面研磨および洗浄を行っているので、イオンプレ
ーティングに供されるチタン板１に密着性の低下に起因
する薬品の付着がなく、チタン板１への下地銅被膜５の
密着性が向上される。また、洗浄後真空炉内でチタン板
１を加熱乾燥しているので、チタン板１表面の酸化が抑
えられる。また、イオンプレーティングによりチタン板
１に下地銅被膜５を成膜しているので、イオンボンバー
ドによりチタン板１表面の酸化物等の除去がなされてチ
タン板１表面が清浄化および活性化され、さらには銅の
蒸発粒子がイオン化され、イオン化された銅の蒸発粒子
が加速され、下地銅被膜５はチタン板１表面に良好な密
着性をもって成膜される。また、イオンプレーティング
によりチタン板１表面に成膜された下地銅被膜５上に電
解メッキあるいは無電解メッキにより銅被膜３を析出成
長させているので、被メッキ材とメッキ材とが同一材料
であり、銅被膜３が下地銅被膜５上に良好な密着性をも
って被覆される。したがって、この実施例によれば、チ
タン板１上にニッケル、クロム等の金属を介することな
く、密着性を確保しつつ銅を直接被覆できる。さらに、
メッキ処理後、真空雰囲気中で加熱処理を施しているの
で、チタン板１、下地銅被膜５および銅被膜３のそれぞ
れの界面で熱拡散が生じ、密着性を一層向上させること
ができる。
洗い等の前処理を行うことなく、純水を用いてチタン板
１の表面研磨および洗浄を行っているので、イオンプレ
ーティングに供されるチタン板１に密着性の低下に起因
する薬品の付着がなく、チタン板１への下地銅被膜５の
密着性が向上される。また、洗浄後真空炉内でチタン板
１を加熱乾燥しているので、チタン板１表面の酸化が抑
えられる。また、イオンプレーティングによりチタン板
１に下地銅被膜５を成膜しているので、イオンボンバー
ドによりチタン板１表面の酸化物等の除去がなされてチ
タン板１表面が清浄化および活性化され、さらには銅の
蒸発粒子がイオン化され、イオン化された銅の蒸発粒子
が加速され、下地銅被膜５はチタン板１表面に良好な密
着性をもって成膜される。また、イオンプレーティング
によりチタン板１表面に成膜された下地銅被膜５上に電
解メッキあるいは無電解メッキにより銅被膜３を析出成
長させているので、被メッキ材とメッキ材とが同一材料
であり、銅被膜３が下地銅被膜５上に良好な密着性をも
って被覆される。したがって、この実施例によれば、チ
タン板１上にニッケル、クロム等の金属を介することな
く、密着性を確保しつつ銅を直接被覆できる。さらに、
メッキ処理後、真空雰囲気中で加熱処理を施しているの
で、チタン板１、下地銅被膜５および銅被膜３のそれぞ
れの界面で熱拡散が生じ、密着性を一層向上させること
ができる。
【００１２】つぎに、このようにして作製されたチタン
窓板６は、図２および図３に示すように、窓枠１０の開
口部に配置され、外側から窓押え板１１により押え付け
れられた状態で、ロウ材１２にて窓枠１０にロウ付け
（真空シール）される。この窓枠１０には、チタン窓板
６を取り囲むように冷却水路１３が形成されている。そ
して、この窓枠１０は荷電粒子加速器の真空チャンバ
（図示せず）に溶接されて取り付けられる。そこで、荷
電粒子加速器で加速された電子ビームはチタン窓板６を
介して取り出される。この時、チタン窓板６を通過する
電子の損失による熱は、良好な熱伝導を有する下地銅被
膜５および銅被膜３により窓枠１０に速やかに伝達され
る。そして、窓枠１０に伝達された熱は冷却水路１３を
流通される冷却水により冷却される。したがって、この
チタン窓板６は、電子の通過を妨げたり、熱伝導を低下
させるニッケルやクロム等の金属を介することなく、チ
タンあるいはチタン合金上に良好な熱伝導を有する銅が
被覆されているので、電子ビームにより穴があけられる
ことがなく、電子の通過を妨げることがなく、荷電粒子
加速器のビーム取り出し用の窓板として適用することが
できる。
窓板６は、図２および図３に示すように、窓枠１０の開
口部に配置され、外側から窓押え板１１により押え付け
れられた状態で、ロウ材１２にて窓枠１０にロウ付け
（真空シール）される。この窓枠１０には、チタン窓板
６を取り囲むように冷却水路１３が形成されている。そ
して、この窓枠１０は荷電粒子加速器の真空チャンバ
（図示せず）に溶接されて取り付けられる。そこで、荷
電粒子加速器で加速された電子ビームはチタン窓板６を
介して取り出される。この時、チタン窓板６を通過する
電子の損失による熱は、良好な熱伝導を有する下地銅被
膜５および銅被膜３により窓枠１０に速やかに伝達され
る。そして、窓枠１０に伝達された熱は冷却水路１３を
流通される冷却水により冷却される。したがって、この
チタン窓板６は、電子の通過を妨げたり、熱伝導を低下
させるニッケルやクロム等の金属を介することなく、チ
タンあるいはチタン合金上に良好な熱伝導を有する銅が
被覆されているので、電子ビームにより穴があけられる
ことがなく、電子の通過を妨げることがなく、荷電粒子
加速器のビーム取り出し用の窓板として適用することが
できる。
【００１３】なお、上記実施例では、下地銅被膜５をイ
オンプレーティングにより成膜するものとしているが、
下地銅被膜５の成膜方法はイオンプレーティングに限ら
ず、チタンが活性な金属であることから真空中で成膜す
るものであればよい。この時、密着性の点から、イオン
プレーティング、イオンビーム蒸着、クラスタイオンビ
ーム蒸着、スパッタリング等の成膜方法が有効である。
オンプレーティングにより成膜するものとしているが、
下地銅被膜５の成膜方法はイオンプレーティングに限ら
ず、チタンが活性な金属であることから真空中で成膜す
るものであればよい。この時、密着性の点から、イオン
プレーティング、イオンビーム蒸着、クラスタイオンビ
ーム蒸着、スパッタリング等の成膜方法が有効である。
【００１４】また、チタン窓板６を窓枠１０にロウ付け
する場合、銅の純度が悪いと、不純物により気泡が発生
したり、脆化したりすることが生じる。そこで、銅被膜
３として高純度である青化銅を用いるのが望ましい。一
方、蒸着材料として高純度の銅材が用いられるので、下
地銅被膜５も高純度は保たれている。
する場合、銅の純度が悪いと、不純物により気泡が発生
したり、脆化したりすることが生じる。そこで、銅被膜
３として高純度である青化銅を用いるのが望ましい。一
方、蒸着材料として高純度の銅材が用いられるので、下
地銅被膜５も高純度は保たれている。
【００１５】また、上記実施例では、純水を用いて表面
研磨および表面研磨後のオーバーフロー洗浄をおこなっ
ているが、純水に変えてアルコール、アセトンを用いて
もよい。ただし、表面研磨後のオーバーフロー洗浄以降
の工程では、純水に変えてアルコール、アセトンを用い
ることは、イオンプレーティングにより成膜された被膜
の密着性を低下させる要因となってしまう。
研磨および表面研磨後のオーバーフロー洗浄をおこなっ
ているが、純水に変えてアルコール、アセトンを用いて
もよい。ただし、表面研磨後のオーバーフロー洗浄以降
の工程では、純水に変えてアルコール、アセトンを用い
ることは、イオンプレーティングにより成膜された被膜
の密着性を低下させる要因となってしまう。
【００１６】また、上記実施例では、洗浄後チタン板１
を真空炉にて加熱乾燥しているが、下地銅被膜５を例え
ばイオンプレーティングにより成膜する場合には、イオ
ンプレーティングにおけるイオンボンバード処理により
チタン板１表面の酸化膜除去が可能であり、加熱乾燥は
必ずしも真空雰囲気中で処理する必要もない。また、加
熱温度は、１００〜１５０℃が適当である。
を真空炉にて加熱乾燥しているが、下地銅被膜５を例え
ばイオンプレーティングにより成膜する場合には、イオ
ンプレーティングにおけるイオンボンバード処理により
チタン板１表面の酸化膜除去が可能であり、加熱乾燥は
必ずしも真空雰囲気中で処理する必要もない。また、加
熱温度は、１００〜１５０℃が適当である。
【００１７】また、上記実施例では、荷電粒子加速器の
ビーム取り出し用の窓板に適用するチタン窓板６を製作
するものとして説明しているが、このように製作された
銅被膜３が被覆されたチタン板１は、優れた機械的強度
を有するとともに、半田付けが容易であり、ビーム取り
出し用の窓板以外にも利用できることはいうまでもない
ことである。
ビーム取り出し用の窓板に適用するチタン窓板６を製作
するものとして説明しているが、このように製作された
銅被膜３が被覆されたチタン板１は、優れた機械的強度
を有するとともに、半田付けが容易であり、ビーム取り
出し用の窓板以外にも利用できることはいうまでもない
ことである。
【００１８】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、チタン
あるいはチタン合金からなる素材を表面研磨する工程
と、表面研磨された素材を界面活性剤を用いて超音波洗
浄する工程と、素材を純水を用いて超音波洗浄し、その
後純水を用いてオーバーフロー洗浄する工程と、洗浄後
素材を１００〜１５０℃の雰囲気で乾燥させる工程と、
乾燥後真空雰囲気中で素材上に下地銅被膜を成膜する工
程と、メッキ浴中で下地銅被膜上に銅被膜を析出成長さ
せる工程と、４５０〜６００℃の真空雰囲気中で加熱す
る工程とを備えているので、チタンあるいはチタン合金
からなる素材上に銅を密着性を確保しつつ直接被覆する
ことができるチタン表面への銅被覆方法が得られる効果
がある。
あるいはチタン合金からなる素材を表面研磨する工程
と、表面研磨された素材を界面活性剤を用いて超音波洗
浄する工程と、素材を純水を用いて超音波洗浄し、その
後純水を用いてオーバーフロー洗浄する工程と、洗浄後
素材を１００〜１５０℃の雰囲気で乾燥させる工程と、
乾燥後真空雰囲気中で素材上に下地銅被膜を成膜する工
程と、メッキ浴中で下地銅被膜上に銅被膜を析出成長さ
せる工程と、４５０〜６００℃の真空雰囲気中で加熱す
る工程とを備えているので、チタンあるいはチタン合金
からなる素材上に銅を密着性を確保しつつ直接被覆する
ことができるチタン表面への銅被覆方法が得られる効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の一実施例に係るチタン表面への銅
被覆方法で製作されたチタン窓板を示す斜視図である。
被覆方法で製作されたチタン窓板を示す斜視図である。
【図２】 この発明の一実施例に係るチタン表面への銅
被覆方法で製作されたチタン窓板を用いた荷電粒子加速
器のビーム取り出し用窓を示す斜視図である。
被覆方法で製作されたチタン窓板を用いた荷電粒子加速
器のビーム取り出し用窓を示す斜視図である。
【図３】 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線の沿った断面斜視図
である。
である。
【図４】 荷電粒子加速器のビーム取り出し用窓に用い
られる従来のチタン窓板を示す斜視図である。
られる従来のチタン窓板を示す斜視図である。
１ チタン板（素材）、３ 銅被膜、５ 下地銅被膜、
６ チタン窓板。
６ チタン窓板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２５Ｄ 5/50
Claims (1)
- 【請求項１】 チタンあるいはチタン合金からなる素材
を表面研磨する工程と、表面研磨された前記素材を界面
活性剤を用いて超音波洗浄する工程と、前記素材を純水
を用いて超音波洗浄し、その後純水を用いてオーバーフ
ロー洗浄する工程と、洗浄後前記素材を１００〜１５０
℃の雰囲気で乾燥させる工程と、乾燥後真空雰囲気中で
前記素材上に下地銅被膜を成膜する工程と、メッキ浴中
で前記下地銅被膜上に銅被膜を析出成長させる工程と、
４５０〜６００℃の真空雰囲気中で加熱する工程とを備
えたことを特徴とするチタン表面への銅被覆方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13044594A JP2878118B2 (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | チタン表面への銅被覆方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13044594A JP2878118B2 (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | チタン表面への銅被覆方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH083785A true JPH083785A (ja) | 1996-01-09 |
| JP2878118B2 JP2878118B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=15034416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13044594A Expired - Lifetime JP2878118B2 (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-13 | チタン表面への銅被覆方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2878118B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001023637A1 (fr) * | 1999-09-27 | 2001-04-05 | Citizen Watch Co., Ltd. | Procede de depot autocatalytique |
-
1994
- 1994-06-13 JP JP13044594A patent/JP2878118B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001023637A1 (fr) * | 1999-09-27 | 2001-04-05 | Citizen Watch Co., Ltd. | Procede de depot autocatalytique |
| US6841476B1 (en) | 1999-09-27 | 2005-01-11 | Citizen Watch Co., Ltd. | Electroless plating method |
| CN100335679C (zh) * | 1999-09-27 | 2007-09-05 | 西铁城时计株式会社 | 化学镀膜方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2878118B2 (ja) | 1999-04-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6783863B2 (en) | Plasma processing container internal member and production method thereof | |
| US5308463A (en) | Preparation of a firm bond between copper layers and aluminum oxide ceramic without use of coupling agents | |
| JPS6336941B2 (ja) | ||
| CN110284099A (zh) | 一种在twip汽车用冷轧钢板表面镀铝的方法 | |
| US5154816A (en) | Process for depositing an anti-wear coating on titanium based substrates | |
| JPH083785A (ja) | チタン表面への銅被覆方法 | |
| JP4820508B2 (ja) | スパッタリングターゲットとその製造方法、スパッタリング装置、薄膜の製造方法、電子部品の製造方法 | |
| JPH0387357A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JP2934263B2 (ja) | アルミニウム材及びその製造方法 | |
| JPS60174873A (ja) | 蒸着用金属基板の前処理方法 | |
| JP2691368B2 (ja) | ステンレス鋼の電解亜鉛被覆方法 | |
| JP2000067432A (ja) | スパッタリング装置 | |
| JPS6187893A (ja) | チタニウム又はチタニウム合金への表面処理方法 | |
| KR960014958B1 (ko) | 반도체 스펏터링 장비용 차단막(Shield)의 제조방법 | |
| JP3374402B2 (ja) | テ−プ走行用ロ−ラ−とその製造方法 | |
| JPS6077970A (ja) | 被蒸着物表面をクリ−ニングする物理蒸着前処理方法 | |
| JP2001220661A (ja) | セラミック基板の金属薄膜形成方法 | |
| JPH0684537B2 (ja) | 金色外装の製造方法 | |
| JPS591791B2 (ja) | 金属炭化物膜の被覆法 | |
| KR20120074050A (ko) | 기판에의 경질 피막 제조방법 | |
| JPH03215658A (ja) | 装飾被膜の構造 | |
| CN116855957A (zh) | 一种银残靶循环再利用的方法 | |
| JPS61113760A (ja) | アルミニウムへのコ−テイング方法 | |
| JP2001234325A (ja) | パーティクルゲッター用高強度電解銅箔、該銅箔を内部に配設した薄膜形成装置及び該電解銅箔の製造方法 | |
| JPH01253947A (ja) | リードフレームの前処理方法 |